CN217983277U - 一种碳化硅高温氧化激活炉炉体 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种碳化硅高温氧化激活炉炉体,包括炉顶、炉壳、进气法兰、隔热组件、工艺管和内衬管，隔热组件安装在工艺室，设备发热体安装在隔热组件和工艺管之间，本实用新型提高了炉体的最高工作温度，工艺管与内衬管采用耐热材料且表面涂层处理，满足半导体工艺级别要求，提高了使用寿命，反应室与炉体加热室完全隔开，降低了工艺气体和反应产生的废气从炉体加热室逸出的风险，隔热屏内表面涂覆特殊涂料，保证工艺室及炉体内的高洁净度，炉体各部位对炉壳绝缘，炉壳通入循环水冷却，控制了炉壳表面温升在规定范围内。

Description

一种碳化硅高温氧化激活炉炉体

技术领域

本实用新型属于半导体领域，涉及一种碳化硅高温氧化激活炉炉体。

背景技术

碳化硅高温氧化激活炉，主要用于在SiC、GaN等衬底离子注入后退火/去应力/缺陷修复等真空、其它气氛下高温氧化激活等特殊工艺，要求反应腔室具备密封、耐腐蚀、耐温、绝缘，炉体表面温升低等特征。

已有的氧化激活炉的反应室采用双层石英管嵌套结构，内、外层石英管之间形成一环形空腔，采用电磁感应加热位于空腔内的发热体产生的热量加热内管，热量辐射传递给元器件，这种结构反应室最高耐温1500℃，容易破碎，电磁感应加热器产生的电磁场在金属壳体表面产生感应电流，本实用新型有效地解决了这种问题。

发明内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种碳化硅高温氧化激活炉炉体。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种碳化硅高温氧化激活炉炉体,其特征在于：包括炉顶、炉壳、进气法兰、隔热组件、工艺管和内衬管，隔热组件安装在工艺室，隔热组件包括若干内隔热屏和外隔热屏，内隔热屏和外隔热屏互为错缝结构并交错排列构成封闭组件，发热体安装在内隔热屏和外隔热屏，工艺管与内衬管安装在炉壳内部。

进一步的；所述内衬管位于工艺管内，内衬管底部与进气法兰之间设置为密封结构，工艺管顶部设置有工艺气体的进气管，进气管与工艺气管联结，工艺管与内衬管形成密封的反应室，工艺气体分别从进气法兰和工艺气管进入反应室，反应室与炉体的加热室隔开，工艺气体及反应产生的废气不能进入加热室。

进一步的；所述炉壳包括外壳和内壳,外壳和内壳设置为筒形结构，内壳位于外壳内部，且两者的中心轴共线，外壳和内壳的上端面固设有上法兰，外壳和内壳的下端面固设有下法兰，内壳与上法兰和下法兰形成气密焊缝和结构焊缝，外壳与上法兰和下法兰形成密封焊缝和结构焊缝，外壳、内壳、上法兰以及下法兰形成密封的冷却水道，外壳的上端设置有第一回水接头，第一回水接头与冷却水道连通，外壳的下端设置有第一进水接头，第一进水接头与冷却水道连通。

进一步的；所述外壳的上端固设有若干上电极安装座和吊耳，若干上电极安装座沿炉壳的圆周方向环形分布，外壳的中间位置固设有下电极安装座，上电极安装座和下电极安装座穿过外壳并延伸至内壳，上电极安装座和下电极安装座分别与外壳和内壳形成气密焊缝，且上电极安装座和下电极安装座与内壳的内腔连通，电加热电极安装上电极安装座和下电极安装座，形成Y形连接，炉壳上固设有若干热电偶座，若干热电偶座沿炉壳的轴向分布，热电偶座穿过外壳并延伸至内壳，热电偶座与外壳和内壳形成气密焊缝，热电偶座与内壳的内腔连通。

进一步的；所述上法兰上端固设有第一密封槽和第二定位止口，第一密封槽内安装第一密封圈,用于使上法兰与炉顶连接后保持密封状态，第二定位止口与炉顶设置的第二定位槽配合，下法兰下端固设有第三定位止口,第三定位止口与进气法兰设置的第三定位槽配合，下法兰固设有第二密封槽，第二密封槽内安装第二密封圈，用于与工艺管保持密封状态，下法兰上设置有冷却水道，通入循环冷却水后保持下法兰温升在规定范围内。

进一步的；所述隔热组件安装在内壳的内腔，并与内壳同心，内隔热屏和外隔热屏为圆弧型结构，内隔热屏位于圆周方向的两侧固设有内凹的凹腔，凹腔固设有若干沿内隔热屏轴向分布且贯穿内隔热屏的第一安装孔，内隔热屏的上方固设有第一上腔，外隔热屏位于圆周方向的两侧固设有外凸的凸板，凸板固设有若干沿外隔热屏轴向分布且贯穿外隔热屏的第二安装孔，外隔热屏的上方固设有第二上腔，第一安装孔与第二安装孔以及第一上腔和第二上腔的位置和数量一一对应，凸板与凹腔配合，外隔热屏的两组凸板分别扣入相邻内隔热屏的凹腔内，形成互为错缝结构，构成封闭的圆柱体，第一上腔和第二上腔形成与炉顶的隔热屏上设置的第一定位槽配合的第一定位止口。

进一步的；所述隔热组件通过若干第一固定装置安装在炉壳的内壳上，若干第一固定装置沿轴向以及圆周方向分布，第一固定装置包括固定杆、固定螺母、瓷套管、第一瓷垫圈、挡销、第二瓷垫圈和不锈钢垫圈，固定杆与固定螺母螺纹连接，瓷套管套设在固定杆外表面，第一瓷垫圈和第二瓷垫圈套设在瓷套管且位于瓷套管的两端，挡销固设在瓷套管外表面，第一瓷垫圈分别与挡销端面和瓷套管端面相抵，通过挡销对瓷套管的移动进行限制，不锈钢垫圈固设在瓷套管外表面，不锈钢垫圈分别与固定螺母的端面和第二瓷垫圈的端面相抵，第二瓷垫圈分别与不锈钢垫圈端面和瓷套管端面相抵。

进一步的；所述炉顶包括炉盖法兰，炉盖法兰还固设有若干吊板，若干吊板沿炉盖法兰的圆周方向分布，炉盖法兰的上端面固设有水套，水套包括水套盖板和水套分板，水套盖板为壳型结构，与炉盖法兰固设连接，并形成腔体，水套盖板的中心与炉盖法兰的中心共线，水套分板固设在腔体内将腔体进行分隔，水套上设置有第二进水接头和第二回水接头，第二进水接头和第二回水接头分别与水套的腔体连通，循环冷却水经过第二进水接头和第二回水接头流过腔体控制炉顶的外壁温升在规定范围内，隔热屏通过第二固定装置固定在炉盖法兰，隔热屏与水套位于炉盖法兰的两侧，第二固定装置与第一固定装置结构相同。

进一步的；所述工艺气管安装在炉顶，炉盖法兰的中心位置固设有第一通孔，水套盖板的中心位置固设有第二通孔，第一通孔和第二通孔间设置有钢管, 钢管的外径与第二通孔的直径相配，钢管沿第二通孔插入，钢管的两端分别与炉盖法兰和水套盖板气密焊接，钢管内安装工艺瓷套管，工艺瓷套管的内径与炉盖法兰的直径相配，工艺气管穿过工艺瓷套管以及贯穿隔热屏，水套盖板上设置有气管安装法兰和密封圈，通过气管安装法兰和密封圈将工艺气管安装在水套盖板，工艺气管与隔热屏通过第三固定装置固设连接。

进一步的；所述内壳与外壳之间固设有立筋和横筋，横筋水平设置将冷却水道在内壳的轴向进行分割，立筋竖直设置将冷却水道在内壳的径向进行分割，立筋和横筋作为分水板将冷却水道分为若干个冷却室，立筋和横筋作为筋板对内壳进行加强，工艺管与内衬管表面涂层处理，炉壳的下端固设有支架，上电极安装座数量设置为3组，下电极安装座数量设置为1组，内隔热屏和外隔热屏采用耐高温材料，内表面涂层处理，固定杆采用耐热材料，通过瓷套管、第一瓷垫圈、第二瓷垫圈使隔热组件对炉壳绝缘，隔热屏的内表面涂层处理，进气法兰安装在炉壳的下端与下法兰固设连接，进气法兰包括与炉壳相对的安装面和与炉门相对的密封面，第三定位槽固设于安装面，第三定位槽与第三定位止口配合，便于进气法兰与下法兰安装定位，安装面固设有第三密封槽，第三密封槽内安装第三密封圈，用于与下法兰保持密封状态，进气法兰固设有内衬管定位槽和气体匀流槽，内衬管定位槽、气体匀流槽以及第三定位槽的中心轴线与进气法兰中心轴线共线，内衬管定位槽内设有内衬管密封圈，进气法兰上还设置有管接头安装孔，管接头安装孔与气体匀流槽连通，管接头安装孔安装工艺气体接头，工艺气体流经气体匀流槽后流向反应室，密封面作为炉门的密封面。

综上所述，本实用新型的有益之处在于：

本实用新型提高了炉体的最高工作温度，缩短了获取所需SiC氧化层厚度的时间，工艺管与内衬管采用耐热材料且表面涂层处理，满足半导体工艺级别要求，提高了使用寿命，本实用新型将发热体安装在隔热组件和工艺管之间，相较于现有的加热结构，反应室与炉体加热室完全隔开，降低了工艺气体和反应产生的废气从炉体加热室逸出的风险，隔热屏内表面涂覆特殊涂料，保证工艺室及炉体内的高洁净度，炉体各部位对炉壳绝缘，炉壳通入循环水冷却，控制了炉壳表面温升在规定范围内，本实用新型的隔热组件设计为互为内错缝结构的隔热屏和外隔热屏，可有效减小热量从接缝处传出，使隔热组件和炉壳的最高工作温度达到2000℃。

附图说明

图1为本实用新型的装置主视图。

图2为本实用新型的半剖图。

图3为本实用新型的炉壳示意图。

图4为本实用新型的炉壳半剖示意图。

图5为图2中A的放大示意图。

图6为本实用新型的隔热组件装配示意图。

图7为本实用新型的内隔热屏示意图。

图8为本实用新型的外隔热屏示意图。

图9为本实用新型的炉顶示意图。

图10为本实用新型的水套内部示意图。

图11为本实用新型的炉顶半剖示意图。

图12为本实用新型的进气法兰半剖示意图。

图13为本实用新型的进气法兰示意图。

图14为图2中B的放大示意图。

图中标识：炉顶1、炉盖法兰10、隔热屏11、第一定位槽111、工艺气管14、第二定位槽101、水套12、水套盖板120、水套分板121、吊板13、第二进水接头122、第二回水接头123、炉壳2、冷却水道20、外壳21、内壳22、上法兰 23、下法兰24、立筋200、横筋201、第一回水接头251、第一进水接头252、上电极安装座261、下电极安装座262、吊耳253、热电偶座27、第一密封槽231、第二定位止口232、第一密封圈233、第三定位止口241、冷却水道242、第二密封槽243、第二密封圈244、进气法兰3、第三定位槽31、第三密封槽32、第三密封圈321、安装面33、密封面34、内衬管定位槽35、内衬管密封圈351、气体匀流槽36、管接头安装孔37、支架4、隔热组件5、内隔热屏51、凹腔511、第一安装孔513、第一上腔512、外隔热屏52、凸板521、第二上腔522、第二安装孔523、第一定位止口53、第一固定装置6、固定杆61、固定螺母62、瓷套管63、第一瓷垫圈64、挡销65、第二瓷垫圈66、不锈钢垫圈67、工艺管72、内衬管71、第二固定装置8、钢管91、工艺瓷套管92、第三固定装置9。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向……)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

实施例一：

如图1-14所示，一种碳化硅高温氧化激活炉炉体，包括炉顶1、炉壳2、进气法兰3、隔热组件5、工艺管72和内衬管71，隔热组件5安装在工艺室，发热体安装在隔热组件5和工艺管72之间。

工艺管72与内衬管71安装在炉壳2内部，工艺管72与内衬管71采用碳化硅材料制作，表面涂层处理，内衬管71位于工艺管72内，内衬管71底部与进气法兰3之间设置为密封结构，保证密封性，工艺管72顶部设置有工艺气体的进气管(图未显示)，进气管通过VCR直通管接头与工艺气管14联结，工艺管 72与内衬管71形成密封的反应室，工艺气体分别从进气法兰3和工艺气管14 进入反应室，反应室与炉体的加热室(图未标识)完全隔开，工艺气体及反应产生的废气不能进入炉体加热室。

炉壳2的下端固设有支架4，炉壳2包括外壳21和内壳22,外壳21和内壳 22设置为筒形结构，内壳22位于外壳21内部，且两者的中心轴共线，外壳21 和内壳22的上端面固设有上法兰23，外壳21和内壳22的下端面固设有下法兰24，内壳22与上法兰23和下法兰24形成气密焊缝和结构焊缝，外壳21与上法兰23和下法兰24形成密封焊缝和结构焊缝，外壳21、内壳22、上法兰23 以及下法兰24形成密封的冷却水道20，内壳22与外壳21之间固设有立筋200 和横筋201，横筋201水平设置将冷却水道20在内壳22的轴向进行分割，立筋 200竖直设置将冷却水道20在内壳22的径向进行分割，即立筋200和横筋201 作为分水板将冷却水道20分为若干个冷却室，同时立筋200和横筋201作为筋板对内壳22起到加强作用，外壳21的上端设置有第一回水接头251，第一回水接头251与冷却水道20连通，外壳21的下端设置有第一进水接头252，第一进水接头252与冷却水道20连通，循环冷却水通过第一进水接头252以及第一回水接头251均匀流过每个冷却室，保证炉壳2表面温升在规定范围内。

如图3所示，外壳21的上端固设有若干上电极安装座261和吊耳253，若干上电极安装座261沿炉壳2的圆周方向环形分布，优选数量设置为3组，外壳21的中间位置固设有下电极安装座262，下电极安装座262数量设置为1组，上电极安装座261和下电极安装座262穿过外壳21并延伸至内壳22，上电极安装座261和下电极安装座262分别与外壳21和内壳22形成气密焊缝，且上电极安装座261和下电极安装座262与内壳22的内腔连通，电加热电极安装上电极安装座261和下电极安装座262，形成Y形连接。

如图3所示，炉壳2上固设有若干热电偶座27，若干热电偶座27沿炉壳2 的轴向分布，热电偶座27穿过外壳21并延伸至内壳22，热电偶座27与外壳 21和内壳22形成气密焊缝，热电偶座27与内壳22的内腔连通，本实施例中，热电偶座27采用KF法兰，便于与热电偶的联结。

上法兰23上端固设有第一密封槽231和第二定位止口232，第一密封槽231 内安装第一密封圈233,用于使上法兰23与炉顶1连接后保持密封状态，第二定位止口232与炉顶1设置的第二定位槽101配合。

下法兰24下端固设有第三定位止口241,第三定位止口241与进气法兰3设置的第三定位槽31配合，下法兰24上固设有第二密封槽243，第二密封槽243 内安装第二密封圈244，用于与工艺管72保持密封状态，下法兰24上设置有冷却水道242，通入循环冷却水后保持下法兰24温升在规定范围内。

隔热组件5安装在内壳22的内腔，并与内壳22同心，隔热组件5包括若干内隔热屏51和外隔热屏52，内隔热屏51和外隔热屏52数量相同，内隔热屏 51和外隔热屏52为圆弧型结构，内隔热屏51和外隔热屏52互为错缝结构并交错排列构成封闭的结构，优选为圆柱体结构，具体来说，内隔热屏51位于圆周方向的两侧固设有内凹的凹腔511，凹腔511固设有若干沿内隔热屏51轴向均匀分布且贯穿内隔热屏51的第一安装孔513，内隔热屏51的上方固设有第一上腔512，外隔热屏52位于圆周方向的两侧固设有外凸的凸板521，凸板521固设有若干沿外隔热屏52轴向均匀分布且贯穿外隔热屏52的第二安装孔523，外隔热屏52的上方固设有第二上腔522，第一安装孔513与第二安装孔523以及第一上腔512和第二上腔522的位置和数量一一对应，凸板521与凹腔511配合，若干内隔热屏51和外隔热屏52进行安装时，外隔热屏52的两组凸板52 分别扣入相邻内隔热屏51的凹腔511内，形成互为错缝结构，构成封闭的圆柱体，此时第一上腔512和第二上腔522形成与炉顶1的隔热屏11上设置的第一定位槽111配合的第一定位止口53，发热体位于隔热组件5内，隔热组件5将发热体产生的热量反射，通过内隔热屏51和外隔热屏52的错缝结构可有效减小热量从接缝处传出，使隔热组件5和炉壳1的最高工作温度达到2000℃。

内隔热屏51和外隔热屏52采用耐高温材料，内表面涂覆特殊涂料，保证工艺室内的高洁净度。

隔热组件5通过若干第一固定装置6安装在炉壳2的内壳22上，若干第一固定装置6沿轴向以及圆周方向均匀分布，从而保证隔热组件5固设的稳定性，具体来说，第一固定装置6包括固定杆61、固定螺母62、瓷套管63、第一瓷垫圈64、挡销65、第二瓷垫圈66和不锈钢垫圈67，固定杆61与固定螺母62螺纹连接，固定杆61采用耐热材料，瓷套管63套设在固定杆61外表面，第一瓷垫圈64和第二瓷垫圈66套设在瓷套管63且位于瓷套管63的两端，挡销65固设在瓷套管63外表面，第一瓷垫圈64分别与挡销65端面和瓷套管63端面相抵，通过挡销65对瓷套管63的移动进行限制，不锈钢垫圈67固设在瓷套管63 外表面，不锈钢垫圈67分别与固定螺母62的端面和第二瓷垫圈66的端面相抵，第二瓷垫圈66分别与不锈钢垫圈67端面和瓷套管63端面相抵，从而对瓷套管 63的移动进行限制。

第一固定装置6用于内壳22与隔热组件5的固定安装时，固定螺母62焊接在内壳22的内侧面，固定杆61朝向内壳22的内腔，先将不锈钢垫圈67和第二瓷垫圈66依次套入固定杆61，固定杆61贯穿内隔热屏51的第一安装孔513，使内隔热屏51外圆弧面紧贴第二瓷垫圈66，固定杆61再贯穿外隔热屏 52上与第一安装孔51位置相对的第二安装孔523，使外隔热屏52的凸板521 扣入凹腔511，外隔热屏52与紧贴，将瓷套管63套设在固定杆61上并伸入第一安装孔51和第二安装孔523，瓷套管63的长度不小于隔热组件5的厚度，第一瓷垫圈64和挡销65依次套入固定杆61，将隔热组件5进行固定，通过瓷套管63、第一瓷垫圈64、第二瓷垫圈66使隔热组件5对炉壳1绝缘。

炉顶1包括炉盖法兰10，炉盖法兰10固设有第二定位槽101，第二定位槽 101与上法兰23的第二定位止口232配合，进行安装定位，炉盖法兰10还固设有若干吊板13，若干吊板13沿炉盖法兰10的圆周方向均匀分布，炉盖法兰10 的上端面固设有水套12，水套12包括水套盖板120和水套分板121，水套盖板 120为壳型结构，与炉盖法兰10固设连接，并形成腔体，水套盖板120的中心与炉盖法兰10的中心共线，水套分板121固设在腔体内将腔体进行分隔，水套 12上设置有第二进水接头122和第二回水接头123，第二进水接头122和第二回水接头123分别与水套12的腔体连通，循环冷却水经过第二进水接头122和第二回水接头123均匀流过腔体，可有效控制炉顶1的外壁温升在规定范围内。

炉盖法兰10的下端面通过第二固定装置8固设有隔热屏11，隔热屏11与水套12位于炉盖法兰10的两侧，本实施例中，第二固定装置8与第一固定装置6结构相同，只在尺寸上有所差异，在此不作赘述，第二固定装置8的固定螺母焊接在炉盖法兰10，隔热屏11上设置有第一定位槽111，第一定位槽111 与第一定位止口53配合，用于安装定位，隔热屏11的内表面涂覆特殊涂料，保证工艺室内的高洁净度。

炉顶1安装有工艺气管14，炉盖法兰10的中心位置固设有第一通孔(图未标识)，水套盖板120的中心位置固设有第二通孔(图未标识)，第一通孔和第二通孔间设置有钢管91,钢管91的外径与第二通孔的直径相配，钢管91沿第二通孔插入，钢管91的两端分别与炉盖法兰10和水套盖板120气密焊接，保证密封性，钢管91内安装工艺瓷套管92，工艺瓷套管92的内径与炉盖法兰10的直径相配，工艺气管14穿过工艺瓷套管92以及贯穿隔热屏11，通过工艺瓷套管 92实现工艺气管14与炉顶1的绝缘，水套盖板120上设置有气管安装法兰(图未标识)和密封圈(图未标识)，通过气管安装法兰和密封圈将工艺气管14安装在水套盖板120，从而保证工艺气管14与水套盖板120以及工艺气管14与外界的密封性以及安装稳定性。

工艺气管14与隔热屏11间通过与第二固定装置8、第一固定装置6类似的第三固定装置9固设连接，在此不作赘述，位于隔热屏11一端的工艺气管14 通过VCR直通管接头与工艺管72的进气管接通。

进气法兰3安装在炉壳2的下端与下法兰24固设连接，进气法兰3包括与炉壳2相对的安装面33和与炉门(图未显示)相对的密封面34，第三定位槽31 固设于安装面33，第三定位槽31与第三定位止口241配合，便于进气法兰3与下法兰24安装定位，安装面33固设有第三密封槽32，第三密封槽32内安装第三密封圈321，用于与下法兰24保持密封状态，

进气法兰3固设有内衬管定位槽35和气体匀流槽36，内衬管定位槽35、气体匀流槽36以及第三定位槽31的中心轴线与进气法兰3中心轴线共线，内衬管定位槽35内设有内衬管密封圈351，实现内衬管71与进气法兰3的密封和定位，进气法兰3上还设置有管接头安装孔37，管接头安装孔37与气体匀流槽 36连通，管接头安装孔37安装工艺气体接头(图未标识)，工艺气体流经气体匀流槽36后均匀流向反应室。

密封面34精加工后作为炉门(图未显示)的密封面，炉门升起到位后，炉门上的密封圈被压缩，实现炉门与进气法兰3的密封。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

Claims (10)

1.一种碳化硅高温氧化激活炉炉体,其特征在于：包括炉顶、炉壳、进气法兰、隔热组件、工艺管和内衬管，隔热组件安装在工艺室，发热体安装在隔热组件和工艺管之间，工艺管与内衬管安装在炉壳内部。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅高温氧化激活炉炉体，其特征在于：所述内衬管位于工艺管内，内衬管底部与进气法兰之间设置为密封结构，工艺管顶部设置有工艺气体的进气管，进气管与工艺气管联结，工艺管与内衬管形成密封的反应室，工艺气体分别从进气法兰和工艺气管进入反应室，反应室与炉体的加热室隔开，工艺气体及反应产生的废气不能进入加热室。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅高温氧化激活炉炉体，其特征在于：所述炉壳包括外壳和内壳,外壳和内壳设置为筒形结构，内壳位于外壳内部，且两者的中心轴共线，外壳和内壳的上端面固设有上法兰，外壳和内壳的下端面固设有下法兰，内壳与上法兰和下法兰形成气密焊缝和结构焊缝，外壳与上法兰和下法兰形成密封焊缝和结构焊缝，外壳、内壳、上法兰以及下法兰形成密封的冷却水道，外壳的上端设置有第一回水接头，第一回水接头与冷却水道连通，外壳的下端设置有第一进水接头，第一进水接头与冷却水道连通。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅高温氧化激活炉炉体，其特征在于：所述外壳的上端固设有若干上电极安装座和吊耳，若干上电极安装座沿炉壳的圆周方向环形分布，外壳的中间位置固设有下电极安装座，上电极安装座和下电极安装座穿过外壳并延伸至内壳，上电极安装座和下电极安装座分别与外壳和内壳形成气密焊缝，且上电极安装座和下电极安装座与内壳的内腔连通，电加热电极安装上电极安装座和下电极安装座，形成Y形连接，炉壳上固设有若干热电偶座，若干热电偶座沿炉壳的轴向分布，热电偶座穿过外壳并延伸至内壳，热电偶座与外壳和内壳形成气密焊缝，热电偶座与内壳的内腔连通。

5.根据权利要求3所述的一种碳化硅高温氧化激活炉炉体，其特征在于：所述上法兰上端固设有第一密封槽和第二定位止口，第一密封槽内安装第一密封圈,用于使上法兰与炉顶连接后保持密封状态，第二定位止口与炉顶设置的第二定位槽配合，下法兰下端固设有第三定位止口,第三定位止口与进气法兰设置的第三定位槽配合，下法兰固设有第二密封槽，第二密封槽内安装第二密封圈，用于与工艺管保持密封状态，下法兰上设置有冷却水道，通入循环冷却水后保持下法兰温升在规定范围内。

6.根据权利要求4所述的一种碳化硅高温氧化激活炉炉体，其特征在于：所述隔热组件安装在内壳的内腔，并与内壳同心，隔热组件包括内隔热屏和外隔热屏，内隔热屏和外隔热屏为圆弧型结构，内隔热屏和外隔热屏互为错缝结构并交错排列构成封闭结构，内隔热屏位于圆周方向的两侧固设有内凹的凹腔，凹腔固设有若干沿内隔热屏轴向分布且贯穿内隔热屏的第一安装孔，内隔热屏的上方固设有第一上腔，外隔热屏位于圆周方向的两侧固设有外凸的凸板，凸板固设有若干沿外隔热屏轴向分布且贯穿外隔热屏的第二安装孔，外隔热屏的上方固设有第二上腔，第一安装孔与第二安装孔以及第一上腔和第二上腔的位置和数量一一对应，凸板与凹腔配合，外隔热屏的两组凸板分别扣入相邻内隔热屏的凹腔内，形成互为错缝结构，构成封闭的圆柱体，第一上腔和第二上腔形成与炉顶的隔热屏上设置的第一定位槽配合的第一定位止口。

7.根据权利要求6所述的一种碳化硅高温氧化激活炉炉体，其特征在于：所述隔热组件通过若干第一固定装置安装在炉壳的内壳上，若干第一固定装置沿轴向以及圆周方向分布，第一固定装置包括固定杆、固定螺母、瓷套管、第一瓷垫圈、挡销、第二瓷垫圈和不锈钢垫圈，固定杆与固定螺母螺纹连接，瓷套管套设在固定杆外表面，第一瓷垫圈和第二瓷垫圈套设在瓷套管且位于瓷套管的两端，挡销固设在瓷套管外表面，第一瓷垫圈分别与挡销端面和瓷套管端面相抵，通过挡销对瓷套管的移动进行限制，不锈钢垫圈固设在瓷套管外表面，不锈钢垫圈分别与固定螺母的端面和第二瓷垫圈的端面相抵，第二瓷垫圈分别与不锈钢垫圈端面和瓷套管端面相抵。

8.根据权利要求7所述的一种碳化硅高温氧化激活炉炉体，其特征在于：所述炉顶包括炉盖法兰，炉盖法兰还固设有若干吊板，若干吊板沿炉盖法兰的圆周方向分布，炉盖法兰的上端面固设有水套，水套包括水套盖板和水套分板，水套盖板为壳型结构，与炉盖法兰固设连接，并形成腔体，水套盖板的中心与炉盖法兰的中心共线，水套分板固设在腔体内将腔体进行分隔，水套上设置有第二进水接头和第二回水接头，第二进水接头和第二回水接头分别与水套的腔体连通，循环冷却水经过第二进水接头和第二回水接头流过腔体控制炉顶的外壁温升在规定范围内，隔热屏通过第二固定装置固定在炉盖法兰，隔热屏与水套位于炉盖法兰的两侧，第二固定装置与第一固定装置结构相同。

9.根据权利要求2所述的一种碳化硅高温氧化激活炉炉体，其特征在于：所述工艺气管安装在炉顶，炉盖法兰的中心位置固设有第一通孔，水套盖板的中心位置固设有第二通孔，第一通孔和第二通孔间设置有钢管,钢管的外径与第二通孔的直径相配，钢管沿第二通孔插入，钢管的两端分别与炉盖法兰和水套盖板气密焊接，钢管内安装工艺瓷套管，工艺瓷套管的内径与炉盖法兰的直径相配，工艺气管穿过工艺瓷套管以及贯穿隔热屏，水套盖板上设置有气管安装法兰和密封圈，通过气管安装法兰和密封圈将工艺气管安装在水套盖板，工艺气管与隔热屏通过第三固定装置固设连接。

10.根据权利要求8所述的一种碳化硅高温氧化激活炉炉体，其特征在于：所述内壳与外壳之间固设有立筋和横筋，横筋水平设置将冷却水道在内壳的轴向进行分割，立筋竖直设置将冷却水道在内壳的径向进行分割，立筋和横筋作为分水板将冷却水道分为若干个冷却室，立筋和横筋作为筋板对内壳进行加强，工艺管与内衬管表面涂层处理，炉壳的下端固设有支架，上电极安装座数量设置为3组，下电极安装座数量设置为1组，内隔热屏和外隔热屏采用耐高温材料，内表面涂层处理，固定杆采用耐热材料，通过瓷套管、第一瓷垫圈、第二瓷垫圈使隔热组件对炉壳绝缘，隔热屏的内表面涂层处理，进气法兰安装在炉壳的下端与下法兰固设连接，进气法兰包括与炉壳相对的安装面和与炉门相对的密封面，第三定位槽固设于安装面，第三定位槽与第三定位止口配合，便于进气法兰与下法兰安装定位，安装面固设有第三密封槽，第三密封槽内安装第三密封圈，用于与下法兰保持密封状态，进气法兰固设有内衬管定位槽和气体匀流槽，内衬管定位槽、气体匀流槽以及第三定位槽的中心轴线与进气法兰中心轴线共线，内衬管定位槽内设有内衬管密封圈，进气法兰上还设置有管接头安装孔，管接头安装孔与气体匀流槽连通，管接头安装孔安装工艺气体接头，工艺气体流经气体匀流槽后流向反应室，密封面作为炉门的密封面。

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