CN217484693U - 一种涂胶显影设备与涂胶显影系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种涂胶显影设备与涂胶显影系统，涉及涂胶显影技术领域。该涂胶显影设备包括设备本体、第一管路、通道转换器件以及第二管路，通道转换器件分别与第一管路、第二管路连接，第一管路用于连接药液箱，第二管路与设备本体连接；其中，当通道转换器件处于第一导通状态时，药液箱的药液通过第一管路、第二管路流向设备本体；当通道转换器件处于第二导通状态时，第一管路与第二管路关断，且药液箱的药液通过第一管路、通道转换器件排出。本申请提供的涂胶显影设备与涂胶显影系统具有容易去除气泡，不易造成产品缺点的优点。

Description

一种涂胶显影设备与涂胶显影系统

技术领域

本申请涉及涂胶显影技术领域，具体而言，涉及一种涂胶显影设备与涂胶显影系统。

背景技术

在涂胶显影设备中，药液是通过药液柜中供应到主机台中，对于生产厂家而言，一般将药液柜放置于与主机台相聚较远的位置，因此其管路比较长(15米左右)。

为了保证主机台中药液中不会包含其它杂质，一般会在管道中设置过滤器，当过滤器使用一段时间后，需要更换过滤器。而在更换完管路中的过滤器后，管路中容易产生大的气泡，且该气泡较难清楚，可能造成产品缺陷。

综上所述，现有技术提供的涂胶显影设备中，可能出现由于药液气泡造成产品缺陷的问题。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种涂胶显影设备与涂胶显影系统，以解决现有技术中存在的由于药液气泡造成产品缺陷的问题。

为了实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

一方面，本申请实施例提供了一种涂胶显影设备，所述涂胶显影设备包括设备本体、第一管路、通道转换器件以及第二管路，所述通道转换器件分别与所述第一管路、所述第二管路连接，所述第一管路用于连接药液箱，所述第二管路与所述设备本体连接；其中，

当所述通道转换器件处于第一导通状态时，所述药液箱的药液通过所述第一管路、所述第二管路流向所述设备本体；

当所述通道转换器件处于第二导通状态时，所述第一管路与所述第二管路关断，且所述药液箱的药液通过所述第一管路、所述通道转换器件排出。

可选地，所述通道转换器件包括设置有至少三个接口的阀门，所述第一管路、所述第二管路分别与所述通道转换器件的一个接口连接。

可选地，所述通道转换器件包括三通阀，所述三通阀的接口包括入口、第一出口以及第二出口，所述入口与所述第一管路连接，所述第一出口与所述第二管路连接；其中，

当所述通道转换器件处于第一导通状态时，所述入口与所述第一出口连通；

当所述通道转换器件处于第二导通状态时，所述入口与所述第一出口关断，并与所述第二出口连通。

可选地，所述三通阀包括阀体及位于所述阀体内的活动件，所述阀体内设置有连通所述入口与所述第一出口的第一通道，及连通所述入口与所述第二出口的第二通道；

当所述活动件位于第一位置时，所述活动件关断所述第一通道；

当所述活动件位于第二位置时，所述活动件关断所述第二通道。

可选地，所述活动件上设置有防泄漏环。

可选地，所述通道转换器件包括四通阀，所述四通阀的接口包括入口、第一出口、第二出口以及第三出口，所述入口与所述第一管路连接，所述第一出口与所述第二管路连接；其中，

当所述通道转换器件处于不同的导通状态时，所述入口与不同的出口连接。

可选地，所述第一管路的宽度大于所述第二管路的宽度。

可选地，所述第一管路的宽度包括6.35mm，所述第二管路的宽度包括4mm。

另一方面，本申请实施例还提供了一种涂胶显影系统，所述涂胶显影系统包括药液箱与上述的涂胶显影设备。

可选地，所述涂胶显影系统还包括压力泵，所述压力泵与所述第一管路连接。

相对于现有技术，本申请具有以下有益效果：

本申请提供了一种涂胶显影设备与涂胶显影系统，涂胶显影设备包括设备本体、第一管路、通道转换器件以及第二管路，通道转换器件分别与第一管路、第二管路连接，第一管路用于连接药液箱，第二管路与设备本体连接；其中，当通道转换器件处于第一导通状态时，药液箱的药液通过第一管路、第二管路流向设备本体；当通道转换器件处于第二导通状态时，第一管路与第二管路关断，且药液箱的药液通过第一管路、通道转换器件排出。由于本申请提供的涂胶显影设备中设置有通道转换器件，且当正常给设备本体输送药液时，通道转换器件可以将第一管路与第二管路连通；当出现气泡时，可以将通道转换器件转换为第二导通状态，进而关断第一管路与第二管路，并将气泡排除，不会影响设备本体的正常运行，进而不会造成产品缺陷。

为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它相关的附图。

图1为本申请实施例提供的涂胶显影设备的模块示意图。

图2为本申请实施例提供的涂胶显影设备的结构示意图。

图3为本申请实施例提供的三通阀的结构示意图。

图中：

100-涂胶显影设备；110-第一管路；120-通道转换器件；130-第二管路；140-设备本体。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

下面结合附图，对本申请的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

正如背景技术中所述，在更换管路中的过滤器后，管路中容易产生大的气泡，会造成产品缺陷。因此，在更换管路中的过滤器后，需要将管路中的气泡去除。

现有技术中，去除管路中气泡的方式一般包括两种：

第一种：对过滤器进行排气，同时在涂胶显影设备100中，通过喷嘴喷涂的方式尽量去除气泡。然而，该方式会消耗大量的药液，并且也存在无法完全清除气泡的情况，容易造成产品缺陷。

第二种：通过人为拔管路接头的方式将气泡排出。即当更换过滤器后，人为将管路接头断开，然后将包含气泡的药液排出，并在此的安装好管路。然而，第一方面，通过人工插拔接头的方式，效率较低，增大了工作人员的工作量，并且，由于药液呈液态，因此在将管路重新接上时，需要做密封处理等，增大了成本。另一方面，插拔接头的安全性难以保证，且一旦发生泄漏，将产生较大影响。此外，在每次更换过滤器时，均需要插拔接头一次，因此接头的插拔频率较高，容易导致接头损坏。

有鉴于此，本申请提供了一种涂胶显影设备，通过设置通道转换器件的方式，实现通过切换通道转换器的导通状态的方式，达到快速去除气泡的目的。

下面对本申请提供的涂胶显影设备进行示例性说明：

作为一种可选的实现方式，请参阅图1，该涂胶显影设备100包括设备本体140、第一管路110、通道转换器件120以及第二管路130，通道转换器件120分别与第一管路110、第二管路130连接，第一管路110用于连接药液箱，第二管路130与设备本体140连接；其中，当通道转换器件120处于第一导通状态时，药液箱的药液通过第一管路110、第二管路130流向设备本体140；当通道转换器件120处于第二导通状态时，第一管路110与第二管路130关断，且药液箱的药液通过第一管路110、通道转换器件120排出。

其中，本申请所述的设备本体140，指能够进行光刻胶涂布的设备，并且，本申请所述的药液，即为光刻胶，当药液箱中的药液输送至设备本体140后，设备本体140能够将药液喷涂至半导体器件上，以用于后续设备对器件进行光刻。

通过设置通道转换器件120，使得可以通过切换通道转换器的导通状态的方式，能够更加便捷的将气泡排出，避免出现产品缺陷。当需要正常为设备本体140传输药液时，只需控制通道转换器件120处于第一导通状态，进而使第一管路110与第二管路130之间连通；而当更换过滤器后，可以将通道转换器件120切换为第二导通状态，从而可以通过通道转换器件120将带气泡的药液排出，且在该导通状态下，第一管路110与第二管路130之间关断，因此带气泡的药液不会输送至设备本体140，不会影响设备本体140的正常运行，避免了出现产品缺陷。并且，当将带气泡的药液排出后，可在此将通道切换器件切换为第一导通状态，进而使其正常工作。

可以理解地，在设置通道切换器件后，工作人员可以通过切换其导通状态将气泡排出，操作更加便捷，且无需对接头进行插拔，安全性更高，不会出现药液气泡造成产品缺陷的问题。

可选地，通道转换器件120可以为包括设置有至少三个接口的阀门，第一管路110、第二管路130分别与通道转换器件120的一个接口连接。通过设置阀门的方式，对整个涂胶显影设备100的改动较小，便于实施，且工作人员操作也更加方便。

作为一种实现方式，请参阅图2，通道转换器件120包括三通阀，三通阀的接口包括入口A、第一出口B以及第二出口C，入口A与第一管路110连接，第一出口B与第二管路130连接；其中，当通道转换器件120处于第一导通状态时，入口A与第一出口B连通；当通道转换器件120处于第二导通状态时，入口A与第一出口B关断，并与第二出口C连通。

其中，三通阀是指阀体有三个口，一进两出的一种阀门装置。当需要正常为设备本体140正常输入药液时，则将入口A与第一出口B连通，进而实现药液的输送，而当需要排出带气泡的药液时，则将入口A与第二出口C连通。如图2所述，第二出口C通过第三管路与药液回收桶相连，进而在入口A与第二出口C连通后，带气泡的药液直接流入药液回收桶中。

作为一种实现方式，请参阅图3，三通阀包括阀体及位于阀体内的活动件，阀体内设置有连通入口A与第一出口B的第一通道，及连通入口A与第二出口C的第二通道；当活动件位于第一位置时，活动件关断第一通道；当活动件位于第二位置时，活动件关断第二通道。

如图3所示，入口A与第一出口B之间形成第一通道，入口A与第二出口C之间形成第二通道。当正常生产时，阀门切换到AB通，更换完过滤器需要排泡时，阀门切换到AC通。

其中，工作人员可以通过控制活动件位置的方式，确定具体关断第一通道或第二通道。如图3所示，当控制活动件上提时，则第一通道关断，第二通道导通；而当将活动件下压时，则第一通道导通，第二通道关断。

并且，由于在通道关断时，需要阻挡药液流过该通道，因此，为了提升防药液泄漏的效果，活动件上设置有防泄漏环。

在另一种实现方式中，通道转换器件120包括四通阀，三通阀的接口包括入口、第一出口、第二出口以及第三出口，入口与第一管路110连接，第一出口与第二管路130连接；其中，当通道转换器件120处于不同的导通状态时，入口与不同的出口连接。

当然地，通道转换器件120可以包括更多接口的阀门，例如五通阀等，在此不做限定。

可选地，为了更好的实现流量调节，第一管路110的宽度大于第二管路130的宽度。例如，第一管路110的宽度包括6.35mm，第二管路130的宽度包括4mm。

基于上述实现方式，本申请实施例还提供了一种涂胶显影系统，该涂胶显影系统包括药液箱与上述的涂胶显影设备100。

其中，该涂胶显影系统还包括压力泵，压力泵与第一管路110连接。

综上所述，本申请提供了本申请提供了一种涂胶显影设备与涂胶显影系统，涂胶显影设备包括设备本体、第一管路、通道转换器件以及第二管路，通道转换器件分别与第一管路、第二管路连接，第一管路用于连接药液箱，第二管路与设备本体连接；其中，当通道转换器件处于第一导通状态时，药液箱的药液通过第一管路、第二管路流向设备本体；当通道转换器件处于第二导通状态时，第一管路与第二管路关断，且药液箱的药液通过第一管路、通道转换器件排出。由于本申请提供的涂胶显影设备中设置有通道转换器件，且当正常给设备本体输送药液时，通道转换器件可以将第一管路与第二管路连通；当出现气泡时，可以将通道转换器件转换为第二导通状态，进而关断第一管路与第二管路，并将气泡排除，不会影响设备本体的正常运行，进而不会造成产品缺陷。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

对于本领域技术人员而言，显然本申请不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本申请的精神或基本特征的情况下，能够以其它的具体形式实现本申请。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本申请的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本申请内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (10)

1.一种涂胶显影设备，其特征在于，所述涂胶显影设备包括设备本体、第一管路、通道转换器件以及第二管路，所述通道转换器件分别与所述第一管路、所述第二管路连接，所述第一管路用于连接药液箱，所述第二管路与所述设备本体连接；其中，

当所述通道转换器件处于第一导通状态时，所述药液箱的药液通过所述第一管路、所述第二管路流向所述设备本体；

当所述通道转换器件处于第二导通状态时，所述第一管路与所述第二管路关断，且所述药液箱的药液通过所述第一管路、所述通道转换器件排出。

2.如权利要求1所述涂胶显影设备，其特征在于，所述通道转换器件包括设置有至少三个接口的阀门，所述第一管路、所述第二管路分别与所述通道转换器件的一个接口连接。

3.如权利要求2所述涂胶显影设备，其特征在于，所述通道转换器件包括三通阀，所述三通阀的接口包括入口、第一出口以及第二出口，所述入口与所述第一管路连接，所述第一出口与所述第二管路连接；其中，

当所述通道转换器件处于第一导通状态时，所述入口与所述第一出口连通；

当所述通道转换器件处于第二导通状态时，所述入口与所述第一出口关断，并与所述第二出口连通。

4.如权利要求3所述涂胶显影设备，其特征在于，所述三通阀包括阀体及位于所述阀体内的活动件，所述阀体内设置有连通所述入口与所述第一出口的第一通道，及连通所述入口与所述第二出口的第二通道；

当所述活动件位于第一位置时，所述活动件关断所述第一通道；

当所述活动件位于第二位置时，所述活动件关断所述第二通道。

5.如权利要求4所述涂胶显影设备，其特征在于，所述活动件上设置有防泄漏环。

6.如权利要求2所述涂胶显影设备，其特征在于，所述通道转换器件包括四通阀，所述四通阀的接口包括入口、第一出口、第二出口以及第三出口，所述入口与所述第一管路连接，所述第一出口与所述第二管路连接；其中，

当所述通道转换器件处于不同的导通状态时，所述入口与不同的出口连接。

7.如权利要求1所述涂胶显影设备，其特征在于，所述第一管路的宽度大于所述第二管路的宽度。

8.如权利要求7所述涂胶显影设备，其特征在于，所述第一管路的宽度包括6.35mm，所述第二管路的宽度包括4mm。

9.一种涂胶显影系统，其特征在于，所述涂胶显影系统包括药液箱与如权利要求1至8任一项所述的涂胶显影设备。

10.如权利要求9所述涂胶显影系统，其特征在于，所述涂胶显影系统还包括压力泵，所述压力泵与所述第一管路连接。

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