CN217479581U - 一种用于划片刀的电镀夹具 - Google Patents
一种用于划片刀的电镀夹具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN217479581U CN217479581U CN202221286223.5U CN202221286223U CN217479581U CN 217479581 U CN217479581 U CN 217479581U CN 202221286223 U CN202221286223 U CN 202221286223U CN 217479581 U CN217479581 U CN 217479581U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- main shaft
- scribing cutter
- swing joint
- scribing
- electroplating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种用于划片刀的电镀夹具，属于半导体设备划片刀电镀加工技术领域。本实用新型包括主轴，所述主轴表面的顶部活动连接有密封套，所述主轴表面的底部通过密封隔套活动连接有划片刀体，划片刀体的底部活动连接有锁紧套，锁紧套的底部活动连接有锁紧螺钉。本实用新型通过设置主轴、密封套、划片刀体、锁紧套、锁紧螺钉和密封盖帽，可以减少电镀夹具与划片刀体内孔的磨损，达到了减少划片刀内孔磨损的效果，解决了电镀夹具与划片刀内孔磨损的问题，该用于划片刀的电镀夹具，具备减少划片刀内孔磨损的优点，划片刀的内孔不会磨损，电镀夹具的拆卸工装效率高，电镀夹具的安装使用便捷，不需要增加密封性和减少划片刀内孔磨损，而且方便拆装和快速安装。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体设备划片刀电镀加工技术领域，具体为一种用于划片刀的电镀夹具。
背景技术
划片刀是用来切割晶圆，制造芯片的重要工具，它对于芯片的质量和寿命有直接的影响，电镀夹具是用于划片刀的装置，随着划片刀的生产合格率要求的不断提高，电镀夹具已不能满足生产和产品质量的要求，在电镀过程中，电镀夹具主轴与密封套之间容易渗入电镀液，导致划片刀导电不均或暴露在电镀液中的夹具主轴结镍，划片刀安装到夹具上，会跟着夹具锁紧块一起旋转摩擦，导致划片刀的内孔磨损，电镀夹具的拆卸工装效率低，电镀夹具的安装使用繁琐，不但需要增加密封性和减少划片刀内孔磨损，而且不方便拆装和快速安装。
实用新型内容
为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型的目的在于提供一种用于划片刀的电镀夹具，具备减少划片刀内孔磨损的优点，解决了电镀夹具与划片刀内孔磨损的问题。
本实用新型提供如下技术方案：一种用于划片刀的电镀夹具，包括主轴，所述主轴表面的顶部活动连接有密封套，所述主轴表面的底部通过密封隔套活动连接有划片刀体，所述划片刀体的底部活动连接有锁紧套，所述锁紧套的底部活动连接有锁紧螺钉，所述锁紧螺钉的顶部贯穿锁紧套并延伸至密封隔套的内部，所述锁紧套的表面活动连接有密封盖帽。
所述密封套内壁的顶部活动连接有O型圈，所述O型圈的内部与主轴的表面接触。
所述密封套内壁的底部活动连接有密封圈，所述密封圈的内部与主轴的表面接触。
所述锁紧套的内部形状为方形凹槽，所述主轴的底部形状为方形凸台。
所述主轴右侧的顶部开设有斜口，所述主轴表面的顶部活动连接有安装座，所述安装座右侧的底部设置有安装止动螺钉，所述安装止动螺钉的左侧贯穿安装座并延伸至斜口的内部。
所述划片刀体的表面设置有电镀桶，所述电镀桶的内部设置有电镀液。
本实用新型的有益效果如下：
1、本实用新型通过设置主轴、密封套、划片刀体、锁紧套、锁紧螺钉和密封盖帽，可以减少电镀夹具与划片刀体内孔的磨损，达到了减少划片刀内孔磨损的效果，解决了电镀夹具与划片刀内孔磨损的问题，该用于划片刀的电镀夹具，具备减少划片刀内孔磨损的优点，划片刀的内孔不会磨损，电镀夹具的拆卸工装效率高，电镀夹具的安装使用便捷，不需要增加密封性和减少划片刀内孔磨损，而且方便拆装和快速安装。
2、本实用新型通过设置O型圈，可以对密封套与主轴顶部之间的缝隙进行密封，防止密封套与主轴顶部之间的缝隙出现泄漏的现象。本实用新型通过设置密封圈，可以对密封套与主轴底部之间的缝隙进行密封，防止密封套与主轴顶部之间的缝隙出现意外的现象。本实用新型通过设置锁紧套的内部形状为方形凹槽，主轴的底部形状为方形凸台，可以防止主轴在锁紧套的内部出现晃动的现象，同时通过方形凹槽和方形凸台的配合使划片刀体及密封隔套只能上下移动。本实用新型通过设置斜口、安装座和安装止动螺钉，可以增加主轴顶部的面积。本实用新型通过设置电镀桶和电镀液，可以对划片刀体进行电镀。
附图说明
图1为本实用新型结构图；
图2为本实用新型图1的整体外观结构爆炸图；
图3为本实用新型图1的正视结构图；
图4为本实用新型图1中密封盖帽仰视外观结构图；
图5为本实用新型图1的倒立拆装使用结构图；
图6为本实用新型图1的夹具生产使用结构图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1至图6所示，本实用新型包括主轴1，主轴1表面的顶部活动连接有密封套2，主轴1表面的底部通过密封隔套活动连接有划片刀体3，划片刀体3的底部活动连接有锁紧套4，锁紧套4的底部活动连接有锁紧螺钉5，锁紧螺钉5的顶部贯穿锁紧套4并延伸至密封隔套的内部，锁紧套4的表面活动连接有密封盖帽6。
参考图1，密封套2内壁的顶部活动连接有O型圈7，O型圈7的内部与主轴1的表面接触。
本实施例通过设置O型圈7，可以对密封套2与主轴1顶部之间的缝隙进行密封，防止密封套2与主轴1顶部之间的缝隙出现泄漏的现象。
参考图1，密封套2内壁的底部活动连接有密封圈8，密封圈8的内部与主轴1的表面接触。
本实施例通过设置密封圈8，可以对密封套2与主轴1底部之间的缝隙进行密封，防止密封套2与主轴1顶部之间的缝隙出现意外的现象。
参考图2，锁紧套4的内部形状为方形凹槽，主轴1的底部形状为方形凸台。
本实施例通过设置锁紧套4的内部形状为方形凹槽，主轴1的底部形状为方形凸台，可以防止主轴1在锁紧套4的内部出现晃动的现象，同时通过方形凹槽和方形凸台的配合使划片刀体3及密封隔套只能上下移动。
参考图3，主轴1右侧的顶部开设有斜口9，主轴1表面的顶部活动连接有安装座10，安装座10右侧的底部设置有安装止动螺钉11，安装止动螺钉11的左侧贯穿安装座10并延伸至斜口9的内部。
本实施例通过设置斜口9、安装座10和安装止动螺钉11，可以增加主轴1顶部的面积。
参考图6，划片刀体3的表面设置有电镀桶12，电镀桶12的内部设置有电镀液13。
本实施例通过设置电镀桶12和电镀液13，可以对划片刀体3进行电镀。
本实用新型通过将划片刀体3通过密封隔套从主轴1的底部套入，再将锁紧套4扣住若干划片刀体3，以及用锁紧螺钉5并紧若干划片刀体3，使之不动，然后将密封盖帽6拧到锁紧套4上，和并紧划片刀体3，通过主轴1、密封套2、划片刀体3、锁紧套4、锁紧螺钉5和密封盖帽6组成夹具，当准备电镀的时候，再将安装座10安装在主轴1的顶部，如图6所示，再将预先拧进安装座10上的安装止动螺钉11止住主轴1的斜口9，当结束电镀的时候，先松开安装止动螺钉11，并脱离主轴1的斜口9，再从安装座10内拿出夹具。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种用于划片刀的电镀夹具，包括主轴(1)，其特征在于：所述主轴(1)表面的顶部活动连接有密封套(2)，所述主轴(1)表面的底部通过密封隔套活动连接有划片刀体(3)，所述划片刀体(3)的底部活动连接有锁紧套(4)，所述锁紧套(4)的底部活动连接有锁紧螺钉(5)，所述锁紧螺钉(5)的顶部贯穿锁紧套(4)并延伸至密封隔套的内部，所述锁紧套(4)的表面活动连接有密封盖帽(6)。
2.根据权利要求1所述的一种用于划片刀的电镀夹具，其特征在于：所述密封套(2)内壁的顶部活动连接有O型圈(7)，所述O型圈(7)的内部与主轴(1)的表面接触。
3.根据权利要求2所述的一种用于划片刀的电镀夹具，其特征在于：所述密封套(2)内壁的底部活动连接有密封圈(8)，所述密封圈(8)的内部与主轴(1)的表面接触。
4.根据权利要求3所述的一种用于划片刀的电镀夹具，其特征在于：所述锁紧套(4)的内部形状为方形凹槽，所述主轴(1)的底部形状为方形凸台。
5.根据权利要求4所述的一种用于划片刀的电镀夹具，其特征在于：所述主轴(1)右侧的顶部开设有斜口(9)，所述主轴(1)表面的顶部活动连接有安装座(10)，所述安装座(10)右侧的底部设置有安装止动螺钉(11)，所述安装止动螺钉(11)的左侧贯穿安装座(10)并延伸至斜口(9)的内部。
6.根据权利要求5所述的一种用于划片刀的电镀夹具，其特征在于：所述划片刀体(3)的表面设置有电镀桶(12)，所述电镀桶(12)的内部设置有电镀液(13)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221286223.5U CN217479581U (zh) | 2022-05-26 | 2022-05-26 | 一种用于划片刀的电镀夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221286223.5U CN217479581U (zh) | 2022-05-26 | 2022-05-26 | 一种用于划片刀的电镀夹具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217479581U true CN217479581U (zh) | 2022-09-23 |
Family
ID=83312655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202221286223.5U Active CN217479581U (zh) | 2022-05-26 | 2022-05-26 | 一种用于划片刀的电镀夹具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217479581U (zh) |
-
2022
- 2022-05-26 CN CN202221286223.5U patent/CN217479581U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109226914B (zh) | 一种自由曲面型腔电解加工用阴极 | |
| CN210817827U (zh) | 大扭曲叶片精密电解加工装置 | |
| CN217479581U (zh) | 一种用于划片刀的电镀夹具 | |
| CN104785603B (zh) | 一种用于内高压成形管件加工的分体式堵头 | |
| CN215393773U (zh) | 一种具有便于更换结构的切削刀具 | |
| CN111455438B (zh) | 一种继电器基座局部电镀夹具 | |
| CN111438411B (zh) | 手机镜头托架群组倒角电解加工夹具及其工艺方法 | |
| CN203743817U (zh) | 一种储氨罐 | |
| CN113324061A (zh) | 一种自动补偿旋塞阀 | |
| CN218937760U (zh) | 一种高纯气体系统测试用工装夹具 | |
| CN212615603U (zh) | 一种组合式流道泵 | |
| CN209977024U (zh) | 一种液压动力单元用密封销 | |
| CN216098288U (zh) | 一种应用于具有连续内沟道工件的抛光工装 | |
| CN209537662U (zh) | 一种旋转电铸设备用夹具 | |
| CN218534104U (zh) | 一种金相切片自动研磨抛光的夹紧组件 | |
| CN213437240U (zh) | 一种高压止水刀套 | |
| CN215615353U (zh) | 一种高效组合倒角刀 | |
| CN203796951U (zh) | 一种新型立盘过滤机主轴密封结构 | |
| CN216306986U (zh) | 一种密封气动终端接头 | |
| CN211693512U (zh) | 一种替代刀口法兰金属密封圈的o型胶圈 | |
| CN217647564U (zh) | 一种用于孔加工的新型复合钻孔刀具 | |
| CN215152973U (zh) | 便于清洁和装卸的移印用油盅系统 | |
| CN210916365U (zh) | 一种新型单孔喷头装置 | |
| CN213917349U (zh) | 一种异形镜片余弦磨削的装置 | |
| CN217134333U (zh) | 一种铝饱和用预沉积筒形硅舟 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |