CN217479539U - 一种蒸镀装置及其冷却组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种蒸镀装置及其冷却组件，包括用于传导热量的导热板，所述导热板的内部设有用于流通冷却介质的流体通道，所述冷却组件还包括用于向所述流体通道内接入冷却介质的第一入口接头、用于向所述流体通道内接入压缩空气的第二入口接头以及用于将所述流体通道内的流体接出的出口接头。在蒸镀装置停止蒸镀工作后，向流体通道内通入冷却介质，将蒸镀装置的热量快速带走，对蒸镀装置进行快速降温，在蒸镀装置进行蒸镀工作前，向流体通道内通入压缩空气，将流体通道内的冷却介质排空，不会造成设备异常，蒸镀装置的温度可以快速上升，在对蒸镀装置进行冷却和加热时均不需要移动导热板，节省了能源消耗。

Description

一种蒸镀装置及其冷却组件

技术领域

本实用新型属于蒸镀技术领域，具体涉及一种蒸镀装置及其冷却组件。

背景技术

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

在OLED真空镀膜生产线中，大面积的产业化生产需要用线型蒸发源来蒸发有机材料，以实现较高的生产效率，降低产品成本。线源在工作中，需要升温到300-500度(蒸发不同的材料，温度不同)给材料加热，使材料在真空中蒸发出来。为保证较好的加热效果及较低的功耗，线源的坩埚及加热体外部会设置较好的保温结构，该结构也可以避免线源的高温影响到蒸镀室内其它零件。

由于是真空，没有气体进行热传导，温度传导只能靠幅射或零件的接触传导，而线源外部又设置有保温层，因此，在线源停止工作时，需要很长的时间(数小时至数十小时)才能把温度降下来以便进行填料或维护，非常浪费时间，造成设备停机时间较长，影响产能。

公开号为CN109666899A的中国实用新型专利公开了一种蒸发源的冷却装置、蒸发源装置及蒸镀装置。蒸发源的冷却装置包括冷却件和驱动装置。冷却件用于冷却蒸发源的坩埚。驱动装置与冷却件连接，用于驱动冷却件移动至坩埚处。本发明通过驱动装置将冷却件推进到坩埚处，加快了坩埚的降温速度，减少了坩埚的降温时长。上述专利中的冷却件通过驱动装置带动其移动，冷却件不宜设计的过大。当需要对大型的蒸镀装置(例如线源蒸镀装置)冷却时，冷却件也要相应设计的很大，此时如继续采用驱动装置带动冷却件移动，一方面需要配置动力更大的驱动装置，另一方面日常的能源消耗也很大。

实用新型内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于如何对大型蒸镀装置进行冷却。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种蒸镀装置的冷却组件，包括用于传导热量的导热板，所述导热板的内部设有用于流通冷却介质的流体通道，所述冷却组件还包括用于向所述流体通道内接入冷却介质的第一入口接头、用于向所述流体通道内接入压缩空气的第二入口接头以及用于将所述流体通道内的流体接出的出口接头。

本实用新型的一个实施例中，所述导热板远离蒸镀装置的一侧设有保温层。

本实用新型的一个实施例中，所述导热板远离蒸镀装置的一侧设有朝向蒸镀装置的热量反射面。

本实用新型的一个实施例中，所述导热板朝向蒸镀装置的一侧设有柔性导热层。

本实用新型的一个实施例中，所述第一入口接头、所述第二入口接头以及所述出口接头均设于所述导热板远离蒸镀装置的一侧。

本实用新型的一个实施例中，所述导热板包括叠置在一起的第一板体和第二板体，所述第一板体设有所述流体通道，所述第二板体设有与所述流体通道连通的第一入口通道、第二入口通道以及出口通道，所述第一入口接头连接所述第一入口通道，所述第二入口接头连接所述第二入口通道，所述出口接头连接所述出口通道。

本实用新型的一个实施例中，所述第一入口接头和/或第二入口接头复用为出口接头，所述第一入口接头和第二入口接头分别连接所述流体通道的两端。

本实用新型的一个实施例中，所述第一入口接头和所述第二入口接头设置在所述流体通道的一端，所述出口接头连接所述流体通道的另一端。

本实用新型的一个实施例中，所述冷却组件为水冷板。

本实用新型还提供另外一个技术方案：一种蒸镀装置，包括坩埚，所述坩埚底部设有所述的冷却组件。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1)本实用新型公开的蒸镀装置的冷却组件，在蒸镀装置停止蒸镀工作后，向流体通道内通入冷却介质，将蒸镀装置的热量快速带走，对蒸镀装置进行快速降温，在蒸镀装置进行蒸镀工作前，向流体通道内通入压缩空气，将流体通道内的冷却介质排空，不会造成设备异常，蒸镀装置的温度可以快速上升，在对蒸镀装置进行冷却和加热时，均不需要移动导热板；

2)本实用新型公开的蒸镀装置的冷却组件，通过设置保温层，冷却组件与蒸镀装置组合在一起后，保温层可以防止蒸镀装置在进行加热时热量散失；

3)本实用新型公开的蒸镀装置的冷却组件，通过设置热量反射面，可以防止蒸镀装置在进行加热时热量散失；

4)本实用新型公开的蒸镀装置的冷却组件，通过设置柔性导热层，柔性导热层能够与蒸镀装置进行更好的接触贴合，提高导热效率；

5)本实用新型公开的蒸镀装置的冷却组件，各个接头设于导热板远离蒸镀装置的一侧，各个接头有足够的空间进行安装，且能够最大限度的远离蒸镀装置，尽可能减少蒸镀装置的高温对各个接头的影响；

6)本实用新型公开的蒸镀装置的冷却组件，导热板包括第一板体和第二板体，流体通道靠近蒸镀装置，提高冷却时的换热效率，入口通道和出口通道远离蒸镀装置，尽可能减少蒸镀装置的高温对各个接头的影响；

7)本实用新型公开的蒸镀装置的冷却组件，第一入口接头与出口接头共用一个接头或第二接头与出口接头共用一个接头，可以减少接头数量；

8)本实用新型公开的蒸镀装置的冷却组件，冷却组件为水冷板，水冷板技术成熟，换热效率高；

9)本实用新型公开的蒸镀装置，冷却组件贴合在坩埚的底部，结构紧凑，冷却组件的保温层和热量反射面相当于坩埚底部的保温层。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。

图1为本实用新型公开的冷却组件的组装示意图；

图2为本实用新型公开的冷却组件的分解示意图；

图3为本实用新型公开的蒸镀装置的组装示意图。

其中，10、冷却组件；1、导热板；11、流体通道；12、第一板体；13、第二板体；14、第一入口通道；15、第二入口通道；16、出口通道；2、第一入口接头；3、第二入口接头；4、出口接头；20、坩埚保温板；30、线源。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。

应该指出，以下详细说明都是示例性的，旨在对本申请提供作为进一步改进说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、部件和/或它们的组合。在本公开中，术语如“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“侧”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，只是为了便于叙述本公开各部件或元件结构关系而确定的关系词，并非特指本公开中任一部件或元件，不能理解为对本公开的限制。本公开中，术语如“固接”、“相连”、“连接”等应做广义理解，表示可以是固定连接,也可以是一体地连接或可拆卸连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的相关科研或技术人员，可以根据具体情况确定上述术语在本公开中的具体含义，不能理解为对本公开的限制。

以下为用于说明本实用新型的一较佳实施例，但不用来限制本实用新型的范围。

实施例一

参见图1和图2，如其中的图例所示，一种蒸镀装置的冷却组件10，包括用于传导热量的导热板1，上述导热板1的内部设有用于流通冷却介质的流体通道11，上述冷却组件10还包括用于向上述流体通道11内接入冷却介质的第一入口接头2、用于向上述流体通道11内接入压缩空气的第二入口接头3以及用于将上述流体通道11内的流体接出的出口接头4。具体的，上述导热板能够传导热量，上述流体通道能够流通流体，此处的流体可以为气体，也可以为液体，上述流体通道可以是直接开设在导热板中的通道，也可以是贯穿导热板内部的金属管道。上述流体通道一般设置为曲形通道(例如U形或S形)或者矩形空腔，保证导热板具有较大的换热面积。上述第一入口接头、上述第二入口接头以及上述出口接头为管接头，上述第一入口接头能够与外部空气压缩机的出口管道连接，外部空气压缩机提供的压缩空气通过上述第一入口接头进入上述流体通道中，上述第二入口接头能够与外部冷却介质源的出口管道连接，外部冷却介质源提供的冷却介质通过上述第二入口接头进入流体通道中，上述出口接头能够与外接管道接通，上述流体通道内的压缩空气和冷却介质通过上述出口接头排出。在蒸镀装置停止蒸镀工作后，向上述流体通道内通入冷却介质，将蒸镀装置的热量快速带走，对蒸镀装置进行快速降温，在蒸镀装置进行蒸镀工作前，向上述流体通道内通入压缩空气，将上述流体通道内的冷却介质排空，避免造成异常，蒸镀装置的温度可以快速上升，在对蒸镀装置进行冷却和加热时，均不需要移动导热板。

本实施例中优选的实施方式，上述导热板1远离蒸镀装置的一侧设有保温层(图中未示出)。具体到本实施例中，上述保温层与导热板分别设置，保温层为设在导热板外侧的保温板，通过设置保温层，冷却组件与蒸镀装置组合在一起后，保温层可以防止蒸镀装置在进行加热时热量散失。在其他实施例中还可以是：上述保温层为导热板的组成部分，例如导热板包括第一板体和第二板体，第一板体靠近蒸镀装置，第一板体上设有流体通道，第二板体远离蒸镀装置，第二板体为保温板，一方面便于制作流体通道，另一方面便于设置保温层，或者不设置上述保温层。

本实施例中优选的实施方式，上述导热板1远离蒸镀装置的一侧设有热量反射面(图中未示出)。具体到本实施例中，上述保温板朝向导热板的表面为热量反射面，热量反射面可以防止蒸镀装置在进行加热时热量散失。在其他实施例中还可以是：导热板包括第一板体和第二板体，第一板体靠近蒸镀装置，第一板体上设有流体通道，第二板体远离蒸镀装置，第二板体朝向第一板体的表面为热量反射面，一方面便于制作流体通道，另一方面便于设置热量反射面，或者不设置上述热量反射面。

本实施例中优选的实施方式，上述导热板1朝向蒸镀装置的一侧设有柔性导热层(图中未示出)。上述柔性导热层具有一定材料弹性并且具有良好的导热性能，柔性导热层的弹性性能使得柔性导热层可以自动补偿蒸镀装置与导热板之间的间隙，保证蒸镀装置、柔性导热层以及导热板之间的贴合面积最大，上述柔性导热层例如可以为导热硅胶片。通过设置柔性导热层，柔性导热层能够与蒸镀装置进行更好的接触贴合，提高散热效率。在其他实施例中还可以是：不设置上述柔性导热层。

本实施例中优选的实施方式，上述第一入口接头2、上述第二入口接头3以及上述出口接头4均设于上述导热板1远离蒸镀装置的一侧。上述导热板具有相背的两个矩形外板面和多个长条形侧面，上述导热板的其中一个矩形外板面朝向蒸镀装置，是用于热传导的主要区域，上述导热板的另一个矩形外板面背向蒸镀装置，上述第一入口接头、上述第二入口接头以及上述出口接头均设于上述导热板背向蒸镀装置的矩形外板面。各个接头设于导热板远离蒸镀装置的矩形外板面，各个接头有足够的空间进行安装，且能够最大限度的远离蒸镀装置，尽可能减少蒸镀装置的高温对各个接头的影响。在其他实施例中还可以是：第一入口接头、第二入口接头以及出口接头设于导热板的长条形侧面上。

本实施例中优选的实施方式，上述导热板1包括叠置在一起的第一板体12和第二板体13，上述第一板体12设有上述流体通道11，上述第二板体13设有与上述流体通道11连通的第一入口通道14、第二入口通道15以及出口通道16，上述第一入口接头2连接上述第一入口通道14，上述第二入口接头3连接上述第二入口通道15，上述出口接头4连接上述出口通道16。将流体通道设于第一板体上，第一板体靠近蒸镀装置，将入口通道和出口通道设于第二板体上，第二板体远离蒸镀装置，流体通道靠近蒸镀装置，提高冷却时的换热效率，入口通道和出口通道远离蒸镀装置，尽可能减少蒸镀装置的高温对各个接头的影响。在其他实施例中还可以是：第一板体和第二板体均设有凹槽部，第一板体的凹槽部和第二板体的凹槽部对合后形成上述流体通道。

本实施例中优选的实施方式，上述第一入口接头2和上述第二入口接头3设置在上述流体通道11的一端，上述出口接头4连接上述流体通道11的另一端。在其他实施例中还可以是：上述第一入口接头和/或第二入口接头复用为出口接头，上述第一入口接头和第二入口接头分别连接上述流体通道的两端。第一入口接头与出口接头共用一个接头或第二接头与出口接头共用一个接头，可以减少接头数量。

本实施例中优选的实施方式，上述冷却组件10为水冷板。冷却组件为水冷板，水冷板技术成熟，换热效率高。在其他实施例中还可以是：上述冷却组件为风冷板。

参见图3，如其中的图例所示，一种蒸镀装置，包括坩埚，坩埚的四周设有坩埚保温板20，坩埚的底部设有上述的冷却组件10。上述冷却组件10贴合设置在上述坩埚底部，结构紧凑，冷却组件的保温层和热量反射面可以防止坩埚加热时热量散失。

上述蒸镀装置进行蒸镀工作时，将线源30放在坩埚上，通过压缩空气排空上述流体通道，蒸镀装置对线源进行加热，线源快速升温，上述蒸镀装置停止蒸镀工作后，向流体通道内通入冷却介质，冷却介质将蒸镀装置的热量快速带走，蒸镀装置快速降温。

以上为对本实用新型实施例的描述，通过对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种蒸镀装置的冷却组件，其特征在于，包括用于传导热量的导热板，所述导热板内部设有用于流通冷却介质的流体通道，所述冷却组件还包括用于向所述流体通道内接入冷却介质的第一入口接头、用于向所述流体通道内接入压缩空气的第二入口接头以及用于将所述流体通道内的流体接出的出口接头。

2.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，所述导热板远离蒸镀装置的一侧设有保温层。

3.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，所述导热板远离蒸镀装置的一侧设有朝向蒸镀装置的热量反射面。

4.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，所述导热板朝向蒸镀装置的一侧设有柔性导热层。

5.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，所述第一入口接头、所述第二入口接头以及所述出口接头均设于所述导热板远离蒸镀装置的一侧。

6.根据权利要求5所述的冷却组件，其特征在于，所述导热板包括叠置在一起的第一板体和第二板体，所述第一板体设有所述流体通道，所述第二板体设有与所述流体通道连通的第一入口通道、第二入口通道以及出口通道，所述第一入口接头连接所述第一入口通道，所述第二入口接头连接所述第二入口通道，所述出口接头连接所述出口通道。

7.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，所述第一入口接头和/或第二入口接头复用为出口接头，所述第一入口接头和第二入口接头分别连接所述流体通道的两端。

8.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，所述第一入口接头和所述第二入口接头设置在所述流体通道的一端，所述出口接头连接所述流体通道的另一端。

9.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，所述冷却组件为水冷板。

10.一种蒸镀装置，包括坩埚，其特征在于，所述坩埚底部设有如权利要求1至9任一所述的冷却组件。

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