CN217459591U - 一种化学气相沉积炉的基体支撑装置及基体旋转驱动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的基体支撑装置，包括连接板，连接板的上表面中部开设有第一安装凹槽，连接板的上表面均匀开设有第二安装凹槽，若干第二安装凹槽以第一安装凹槽为中心星型分布，第二安装凹槽内转动设置有调节螺杆，调节螺杆的外侧套设有与第二安装凹槽相匹配的螺纹套，支撑架设置于螺纹套的上侧，第一安装凹槽内设置有同步驱动若干调节螺杆的驱动组件，该基体支撑装置能够根据基体的规格尺寸快速调整，同时还公开了一种化学气相沉积炉的基体旋转驱动装置，包括转盘和驱动连接板和转盘旋转运动的驱动机构以及基体支撑装置，转盘的下端转动设置有支架，转盘的上部均匀开设有与基体支撑装置相匹配的安装槽。

Description

一种化学气相沉积炉的基体支撑装置及基体旋转驱动装置

技术领域

本实用新型涉及化学气象沉积设备技术领域，具体为一种化学气相沉积炉的基体支撑装置及基体旋转驱动装置。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。

中国实用新型专利CN208201119U公开一种化学气相沉积炉中的基体支撑装置，包括支撑架、若干个沿着圆周方向设在支撑架上的滚动槽以及设在每个滚动槽中用于支撑基体的滚球，支撑架上设有用于限制基体离心甩出的挡块。该基体支撑装置不但可以支撑质量大小不同的基体，且支撑处不会产生无薄膜的缺口，使得基体表面能均匀地一次沉积到所需的薄膜，既提高了基体的表面质量，也降低了成本。本实用新型还公开一种化学气相沉积炉中的基体旋转驱动装置，包括转盘、驱动转盘转动的转盘驱动机构以及若干个基体支撑装置，转盘的转动中心构成公转中心，支撑架与转盘之间的转动结构的中心构成自转中心,转盘上设有驱动支撑架绕着自转中心转动的自转驱动机构。但仍存在一些问题，如支撑装置的无法根据基体的规格尺寸快速调整，同时基体支撑装置无法快速的安装到转盘上。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种化学气相沉积炉的基体支撑装置及基体旋转驱动装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种化学气相沉积炉的基体支撑装置及基体旋转驱动装置，包括连接板、支撑架、滚球和挡块，所述支撑架上滚动设置有滚球，所述支撑架的上设置有限制基体的挡块，所述连接板的上表面中部开设有第一安装凹槽，所述连接板的上表面均匀开设有第二安装凹槽，若干第二安装凹槽以第一安装凹槽为中心星型分布，所述第二安装凹槽内转动设置有调节螺杆，所述调节螺杆的外侧套设有与第二安装凹槽相匹配的螺纹套，所述支撑架设置于螺纹套的上侧，所述第一安装凹槽内设置有同步驱动若干调节螺杆的驱动组件。

优选的，所述驱动组件包括转轴、主动锥形齿轮、从动锥形齿轮、导向套、弹性条和摩擦片，所述第一安装凹槽内转动设置有转轴，转轴的上端开设有扭动凹槽，所述转动轴的外侧套设有主动锥形齿轮，所述调节螺杆的一端外侧套设有与主动锥形齿轮相匹配的从动锥形齿轮，所述转轴的上端外侧套设有与连接板固定连接的导向套，所述导向套的内侧对称开设有安装插槽，安装插槽内设置有弹性条，所述弹性条的一侧设置有用于固定转轴的摩擦片。

优选的，所述支撑架的一侧设置有用于刻度指针，刻度指针的中心线所在垂直平面与所述挡块内凹面相切，所述连接板的一侧设置有显示与连接板中心的距离的刻度线。

优选的，所述支撑架与所述螺纹套焊接连接，所述螺纹套与第二安装凹槽相匹配。

一种化学气相沉积炉的基体旋转驱动装置，包括转盘和驱动连接板和转盘旋转运动的驱动机构以及基体支撑装置，所述转盘的下端转动设置有支架，所述转盘的上部均匀开设有与基体支撑装置相匹配的安装槽，所述驱动机构包括驱动电机、第一齿轮、传动齿轮和第二齿轮，所述转盘的下端外侧套设有传动齿轮，所述支架的一侧设置有驱动电机，驱动电机的主轴外侧套设有驱动传动齿轮的第一齿轮，所述连接板的下端中部贯穿转盘连接有第二齿轮，所述传动齿轮内侧设置有与第二齿轮相匹配的齿牙槽。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种化学气相沉积炉的基体支撑装置及基体旋转驱动装置，具备以下有益效果：

1、通过驱动组件同时驱动若干调节螺杆同步同向转动，使得若干支撑架能够同步同向移动，从而使得支撑装置能够根据基体的规格尺寸快速调整，提高了基体化学气相沉积的工作效率。

2、通过采用第一齿轮、传动齿轮和第二齿轮相互间的啮合传动，使得基体无需二次沉积，并且连接板与转盘间采用活动连接方式，使得基体支撑装置安装到转盘上更加的方便快捷。

附图说明

图1为本实用新型中基体支撑装置的主视图；

图2为本实用新型中基体支撑装置的主视剖视图；

图3为本实用新型中基体支撑装置的俯视图；

图4中为图2中A部分放大结构示意图；

图5为本实用新型中基体旋转驱动装置的主视图；

图6为本实用新型中基体旋转驱动装置的主视剖视图；

图7为本实用新型中基体旋转驱动装置的俯视图。

图中：1、连接板；100、第一安装凹槽；101、第一安装凹槽；2、支撑架；3、调节螺杆；4、螺纹套；5、驱动组件；50、转轴；51、主动锥形齿轮；52、从动锥形齿轮；53、导向套；54、弹性条；55、摩擦片；6、滚球；7、挡块；8、转盘；9、驱动机构；90、驱动电机；91、第一齿轮；92、传动齿轮；93、第二齿轮；10、刻度指针；11、刻度线；12、支架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种化学气相沉积炉的基体支撑装置及基体旋转驱动装置实施例：一种化学气相沉积炉的基体支撑装置及基体旋转驱动装置，包括连接板1、支撑架2、滚球6和挡块7，支撑架2上滚动设置有滚球6，支撑架2的上设置有限制基体的挡块7，连接板1的上表面中部开设有第一安装凹槽100，连接板1的上表面均匀开设有第二安装凹槽101，若干第二安装凹槽101以第一安装凹槽100为中心星型分布，第二安装凹槽101内转动设置有调节螺杆3，调节螺杆3的外侧套设有与第二安装凹槽101相匹配的螺纹套4，支撑架2设置于螺纹套4的上侧，第一安装凹槽100内转动设置有转轴50，转轴50的上端开设有扭动凹槽，转动轴50的外侧套设有主动锥形齿轮51，调节螺杆3的一端外侧套设有与主动锥形齿轮51相匹配的从动锥形齿轮52，转轴50的上端外侧套设有与连接板1固定连接的导向套53，导向套53的内侧对称开设有安装插槽，安装插槽内设置有弹性条54，弹性条54的一侧设置有用于固定转轴50的摩擦片55，通过拧动转轴50带动主动锥形齿轮51旋转运动，经主动锥形齿轮51与从动锥形齿轮52间的啮合传动，使得从动锥形齿轮52带动调节螺杆3同步转动，再经调节螺杆3与螺纹套4间的啮合传动，使得螺纹套4带动支撑架2同时相向移动，同时在支撑架2的一侧设置有用于刻度指针10，刻度指针10的中心线所在垂直平面与挡块7内凹面相切，连接板1的一侧设置有显示与连接板1中心的距离的刻度线11，通过观察刻度指针10所指向的刻度线11，使得支撑装置能够根据基板的尺寸规格进行快速调整，使得调节更加的方便快捷。

在本实施中，如图3所示，支撑架2与螺纹套4焊接连接，螺纹套4与第二安装凹槽101相匹配，使得螺纹套4在第二安装凹槽101内保持平稳的移动，同时使得支撑架2移动时更加平顺。

如图5-7所述，在化学气相沉积过程中，包括转盘8和驱动连接板1和转盘8旋转运动的驱动机构9以及基体支撑装置，转盘8的下端转动设置有支架12，转盘8的上部均匀开设有与基体支撑装置相匹配的安装槽，转盘8的下端外侧套设有传动齿轮92，支架12的一侧设置有驱动电机90，驱动电机90的主轴外侧套设有驱动传动齿轮92的第一齿轮91，连接板1的下端中部贯穿转盘8连接有第二齿轮93，传动齿轮92内侧设置有与第二齿轮93相匹配的齿牙槽，通过驱动电机90驱动第一齿轮91旋转运动，经第一齿轮91与传动齿轮92间的啮合传动使得转盘8转动，使得若干连接板1同步转动，同时通过传动齿轮92与第二齿轮93间的啮合传动，使得若干连接板1进行自行的转动，使得基体无需二次沉积，同时使得基体支撑装置安装到转盘8上更加的方便快捷。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

Claims (5)

1.一种化学气相沉积炉的基体支撑装置，包括连接板(1)、支撑架(2)、滚球(6)和挡块(7)，所述支撑架(2)上滚动设置有滚球(6)，所述支撑架(2)的上设置有限制基体的挡块(7)，其特征在于：所述连接板(1)的上表面中部开设有第一安装凹槽(100)，所述连接板(1)的上表面均匀开设有第二安装凹槽(101)，若干第二安装凹槽(101)以第一安装凹槽(100)为中心星型分布，所述第二安装凹槽(101)内转动设置有调节螺杆(3)，所述调节螺杆(3)的外侧套设有螺纹套(4)，所述支撑架(2)设置于螺纹套(4)的上侧，所述第一安装凹槽(100)内设置有同步驱动若干调节螺杆(3)的驱动组件(5)。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的基体支撑装置，其特征在于：所述驱动组件(5)包括转轴(50)、主动锥形齿轮(51)、从动锥形齿轮(52)、导向套(53)、弹性条(54)和摩擦片(55)，所述第一安装凹槽(100)内转动设置有转轴(50)，转轴(50)的上端开设有扭动凹槽，所述转轴(50)的外侧套设有主动锥形齿轮(51)，所述调节螺杆(3)的一端外侧套设有与主动锥形齿轮(51)相匹配的从动锥形齿轮(52)，所述转轴(50)的上端外侧套设有与连接板(1)固定连接的导向套(53)，所述导向套(53)的内侧对称开设有安装插槽，安装插槽内设置有弹性条(54)，所述弹性条(54)的一侧设置有用于固定转轴(50)的摩擦片(55)。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的基体支撑装置，其特征在于：所述支撑架(2)的一侧设置有用于刻度指针(10)，刻度指针(10)的中心线所在垂直平面与所述挡块(7)内凹面相切，所述连接板(1)的一侧设置有显示与连接板(1)中心的距离的刻度线(11)。

4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的基体支撑装置，其特征在于：所述支撑架(2)与所述螺纹套(4)焊接连接，所述螺纹套(4)与第二安装凹槽(101)相匹配。

5.一种化学气相沉积炉的基体旋转驱动装置，其特征在于：包括转盘(8)和驱动转盘(8)旋转运动的驱动机构(9)以及权利要求1-4任意一项权利要求所述的一种化学气相沉积炉的基体支撑装置，所述转盘(8)的下端转动设置有支架(12)，所述转盘(8)的上部均匀开设有与基体支撑装置相匹配的安装槽，所述驱动机构(9)包括驱动电机(90)、第一齿轮(91)、传动齿轮(92)和第二齿轮(93)，所述转盘(8)的下端外侧套设有传动齿轮(92)，所述支架(12)的一侧设置有驱动电机(90)，驱动电机(90)的主轴外侧套设有驱动传动齿轮(92)的第一齿轮(91)，所述连接板(1)的下端中部贯穿转盘(8)连接有第二齿轮(93)，所述传动齿轮(92)内侧设置有与第二齿轮(93)相匹配的齿牙槽。

Images