CN217459569U - 一种液体蒸发镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种液体蒸发镀膜装置，包括：腔体；转架，用于携带产品在所述腔体中转动进行镀膜工艺；立式气液罐，设于所述腔体外部，用于将工艺液体蒸发为气体；气排，设于所述腔体内壁与所述转架之间的空隙中，并将所述转架包围；其中，通过所述气排将由所述立式气液罐蒸发出的所述气体输入到所述腔体中，并朝向所述转架喷出。本实用新型能够使蒸发出的气体更均匀地附着在产品表面进行沉积，即使在装夹密集的情况下，也能够达到使每个产品的表面上都形成均匀的膜层，有效满足了疏水疏油的性能要求。

Description

一种液体蒸发镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，特别是涉及一种液体蒸发镀膜装置。

背景技术

在利用PECVD设备对例如表带等产品进行表面镀碳氟膜层时，一般是采用在设备工艺腔体中设置转架的方式，将表带均匀装夹在转架上，通过转架的转动，使表带表面形成碳氟膜层，以满足疏水疏油的性能。

然而，由于表带通常是以密集装夹方式悬挂在转架上，使得相邻表带之间的间隙较小。这样，工艺中蒸发出的气体受到表带之间的干扰，就难以均匀地附着在每个产品的表面上，从而影响到整批产品的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种液体蒸发镀膜装置。

本实用新型实现上述目的的一种技术方案是：

一种液体蒸发镀膜装置，包括：

腔体；

转架，用于携带产品在所述腔体中转动进行镀膜工艺；

立式气液罐，设于所述腔体外部，用于将工艺液体蒸发为气体；

气排，设于所述腔体内壁与所述转架之间的空隙中，并将所述转架包围；

其中，通过所述气排将由所述立式气液罐蒸发出的所述气体输入到所述腔体中，并朝向所述转架喷出。

进一步地，所述气排包括纵向设于所述腔体侧壁与所述转架侧面之间的第一排气管，和水平设于所述腔体底面与所述转架下端面之间并与所述第一排气管相连的第二排气管，所述第一排气管通过所述腔体侧壁与所述立式气液罐上设有的输气管相连。

进一步地，所述第二排气管上还水平连接有弧形的第二排气支管。

进一步地，所述气排还包括水平设于所述腔体顶面与所述转架上端面之间并与所述第一排气管相连的第三排气管。

进一步地，所述第三排气管上还水平连接有弧形的第三排气支管。

进一步地，所述立式气液罐的下端上设有加热装置。

进一步地，所述加热装置包括加热带。

进一步地，所述立式气液罐的上端上设有视窗。

进一步地，所述输气管上设有阀门。

进一步地，所述气排上密布有出气孔。

从上述技术方案可以看出，本实用新型通过在腔体中围绕转架设置气排，利用气排设有的多个排气管，可从各个方向向转动中转架喷射由立式气液罐蒸发出的镀膜工艺气体，能够使蒸发出的气体更均匀地附着在产品表面进行沉积，即使在装夹密集的情况下，也能够达到使每个产品的表面上都形成均匀的膜层，有效满足了疏水疏油的性能要求。

附图说明

图1为本实用新型一较佳实施例的一种液体蒸发镀膜装置的结构示意图。

图2-图4为本实用新型一较佳实施例的一种转架的结构示意图。

图5为本实用新型一较佳实施例的一种立式气液罐的安装结构示意图。

图6为本实用新型一较佳实施例的一种气排的结构示意图。

具体实施方式

为了能更好地对本实用新型的技术方案进行理解，下面通过具体的实施方式对本实用新型进行详细的说明。

参考图1。本实用新型的一种液体蒸发镀膜装置，包括：腔体10,安装在腔体10内部的转架14，安装在腔体10外部的立式气液罐11，以及安装在腔体10内部并与立式气液罐11相连通的气排13等几个主要结构组成部分。

其中，转架14以转动方式竖直设置在腔体10中。在进行镀膜工艺时，转架14用于携带需要镀膜的产品，在腔体10中绕转动中心转动，并在转动中进行镀膜工艺。

立式气液罐11设于腔体10外部，例如可设于腔体10的外侧上。立式气液罐11中可通过通入方式盛有镀膜工艺用药液，并通过将药液蒸发为气体后输送进腔体10中，以提供镀膜工艺气体。这些蒸发气体在腔体10内的工艺过程中，将沉积在产品表面上形成镀膜。

有关镀膜工艺的原理，可参考现有技术加以理解。

本实用新型在腔体10内壁与转架14之间的空隙中设置了气排13；气排13位于转架14的外侧，从而对转架14形成了包围。

气排13与立式气液罐11之间形成了连接。通过气排13，可将由立式气液罐11蒸发出的气体输入到腔体10中，并朝向转架14均匀、密集地喷出，从而能够在转架14上装夹的众多的产品表面上沉积，形成均匀的膜层。

参考图2-图4。在一较佳实施例中，转架14可采用圆筒形支架结构。其中，可在转架14的中部沿转动中心设置支撑框架141，并在支撑框架141的周围安装多组呈水平辐射状的支撑杆142，以及与支撑杆142形成连接的支撑架143，可包括水平连接在支撑杆142端部的环形支撑架143和竖直连接在环形支撑架143之间的杆形支撑架143。这样，形成类似鸟笼状的转架14结构。转架14上可利用辐条144形成多个安装层，每个安装层上，沿辐条144可设置多个产品夹具，例如可用于安装表带的挂钩145等。挂钩145之间保留一定间距，可在一个转架14上装夹众多的小型产品，例如表带等。

将转架14安装在腔体10底面的转盘上，即可受控进行转动并进行镀膜工艺。

转架14还可采用其他的常规结构形式。

参考图5。在一较佳实施例中，立式气液罐11可安装在腔体10侧面的堵板101上。立式气液罐11的下端上设有加热装置113。例如，加热装置113可以是包括加热带的加热器。

通过加热器对立式气液罐11中的药液进行加热，使药液得到蒸发而形成用于镀膜的气体。

进一步地，立式气液罐11的上端上可设有视窗112，以便对立式气液罐11内部进行观察。

在一较佳实施例中，立式气液罐11的输出端上设有输气管114。输气管114可通过腔体10堵板101进入腔体10内，并与气排13形成连接。

进一步地，输气管114上可设有阀门111，例如可以是隔膜阀。

参考图6。在一较佳实施例中，气排13可包括纵向设于腔体10侧壁与转架14侧面之间的第一排气管131，和水平设于腔体10底面与转架14下端面之间并与第一排气管131相连的第二排气管132。第一排气管131可通过腔体10侧壁上的堵板101与立式气液罐11上的输气管114相连。

在一较佳实施例中，第二排气管132上还水平连接有弧形的第二排气支管133。例如图示的两个第二排气支管133。其中，第二排气支管133的弧形弯曲方向与转架14的圆周方向相对应。

在另一较佳实施例中，气排13还可包括水平设于腔体10顶面与转架14上端面之间，并与第一排气管131相连的第三排气管(图略)。

进一步地，第三排气管上还水平连接有弧形的第三排气支管。并且，第三排气支管的弧形弯曲方向与转架14的圆周方向相对应。

在其他可选实施例中，气排13还可采用其他的结构形式，例如以多个排气管形成的网状结构形式等，以满足将转架14包围且不影响其正常转动为宜。

参考图1。在一较佳实施例中，可在腔体10侧面上设置一个或多个立式气液罐11。例如图示设有六个立式气液罐11。同时，在腔体10内部可设置与立式气液罐11数量及位置对应的一个或多个第一排气管131及其连接的第二排气管132和第二排气支管133(图中示例性显示有两个第一排气管131及其分别连接的一个第二排气管132和两个第二排气支管133)。其中，每个第一排气管131与对应一个立式气液罐11相连通。且不同第二排气管132上的第二排气支管133之间按交错方式上下叠设在转架14下方(当还设有第三排气管以及第三排气支管时，也按照上述方式布置在转架14上方)。

这样，当转架14转动进行工艺时，由立式气液罐11提供的蒸发气体，可以通过布置在转架14周围的多个排气管和排气支管，朝向转架14上的产品均匀喷射，从而消除了因众多产品之间产生的干扰所带来的镀膜不均的问题。

在一实例中，气排13可采用不锈钢管进行制作，并可在气排13的各个排气管和排气支管上以密布形式加工出直径例如为1mm的出气孔。其中，第二排气支管133(第三排气支管)可通过三通接头134安装在第二排气管132(第三排气管)上。第一排气管131与第二排气管132(第三排气管)之间可直接采用弯管形式进行连通。

在一实例中，使用本实用新型在表带上镀碳氟膜层后，其疏油性能可达到5A水平，在水中浸泡10min时的吸水率小于10％；膜层满足AATTC150洗涤标准，且循环12次能保持性能不变。

并且，采用本实用新型能够很好得到不含PFOS和PFOA的均匀环保膜层。

本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本实用新型，而并非用作为对本实用新型的限定，只要在本实用新型的实质精神范围内，对以上实施例的变化、变型都将落在本实用新型的权利要求书范围内。

Claims (10)

1.一种液体蒸发镀膜装置，其特征在于，包括：

腔体；

转架，用于携带产品在所述腔体中转动进行镀膜工艺；

立式气液罐，设于所述腔体外部，用于将工艺液体蒸发为气体；

气排，设于所述腔体内壁与所述转架之间的空隙中，并将所述转架包围；

其中，通过所述气排将由所述立式气液罐蒸发出的所述气体输入到所述腔体中，并朝向所述转架喷出。

2.根据权利要求1所述的液体蒸发镀膜装置，其特征在于，所述气排包括纵向设于所述腔体侧壁与所述转架侧面之间的第一排气管，和水平设于所述腔体底面与所述转架下端面之间并与所述第一排气管相连的第二排气管，所述第一排气管通过所述腔体侧壁与所述立式气液罐上设有的输气管相连。

3.根据权利要求2所述的液体蒸发镀膜装置，其特征在于，所述第二排气管上还水平连接有弧形的第二排气支管。

4.根据权利要求2所述的液体蒸发镀膜装置，其特征在于，所述气排还包括水平设于所述腔体顶面与所述转架上端面之间并与所述第一排气管相连的第三排气管。

5.根据权利要求4所述的液体蒸发镀膜装置，其特征在于，所述第三排气管上还水平连接有弧形的第三排气支管。

6.根据权利要求1所述的液体蒸发镀膜装置，其特征在于，所述立式气液罐的下端上设有加热装置。

7.根据权利要求6所述的液体蒸发镀膜装置，其特征在于，所述加热装置包括加热带。

8.根据权利要求1所述的液体蒸发镀膜装置，其特征在于，所述立式气液罐的上端上设有视窗。

9.根据权利要求2所述的液体蒸发镀膜装置，其特征在于，所述输气管上设有阀门。

10.根据权利要求1所述的液体蒸发镀膜装置，其特征在于，所述气排上密布有出气孔。

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