CN217438284U - 一种共蒸法Se蒸发源结构 - Google Patents
一种共蒸法Se蒸发源结构 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种共蒸法Se蒸发源结构，包括支撑框架，所述支撑框架内设有铠装加热器，支撑框架外套设有套管，所述支撑框架下端水平固定设有底部法兰，且底部法兰下部固定连接有多个反射板，所述铠装加热器均匀绕制为螺旋弹簧状，所述铠装加热器内设有温度传感器，且温度传感器线端贯穿底部法兰以及多个反射板延伸至外部，本实用新型，解决了目前硒源加热的蒸发温度高、热场不均匀等问题，在底部设置了温度传感器，解决了以往加热温控难度大的问题，保证了热场稳定，加热器采用铠装热电偶进行温度监测，控温方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及非晶硅玻璃基光伏电池技术领域，尤其涉及一种共蒸法Se蒸发源结构。
背景技术
铜铟镓硒(CIGS)玻璃基太阳能电池采用多元共蒸法在真空环境下完成镀膜。利用铜铟镓硒各元素进行共蒸，在基底表面反应形成多晶镀层。
多元共蒸法的蒸发的原理是将铜铟镓硒各金属蒸发源通过高温熔化，金属原子在加热情况下，由液态向气态升华，并以蒸气压的形式沉积到基底表面，现有的硒源加热的蒸发温度高、热场不均匀，难以控温，因此，现提出一种共蒸法Se蒸发源结构。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种共蒸法Se蒸发源结构。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种共蒸法Se蒸发源结构，包括支撑框架，所述支撑框架内设有铠装加热器，支撑框架外套设有套管，所述支撑框架下端水平固定设有底部法兰，且底部法兰下部固定连接有多个反射板。
优选的，所述铠装加热器均匀绕制为螺旋弹簧状。
优选的，所述铠装加热器内设有温度传感器，且温度传感器线端贯穿底部法兰以及多个反射板延伸至外部。
优选的，所述套管内设有加热模块。
本实用新型的有益效果为：
1.通过设置的铠装加热器以及设置了加热模块作为加热源，解决了目前硒源加热的蒸发温度高、热场不均匀等问题，在底部设置了温度传感器，解决了以往加热温控难度大的问题。
2.采用电阻式铠装加热器，加热温控，控温方便，将铠装加热器缠绕成螺旋弹簧状，然后均匀固定在支撑框架上，采用管卡固定，保证了热场稳定，加热器采用铠装热电偶进行温度监测，控温方便。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种共蒸法Se蒸发源结构的平面结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种共蒸法Se蒸发源结构的平面剖视结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种共蒸法Se蒸发源结构的铠装加热器平面结构示意图；
图4为本实用新型提出的一种共蒸法Se蒸发源结构的支撑框架结构示意图。
图中：1、套管；2、支撑框架；3、铠装加热器；4、温度传感器； 5、底部法兰；6、反射板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-4，一种共蒸法Se蒸发源结构，包括支撑框架2，支撑框架2内设有铠装加热器3，支撑框架2外套设有套管1，支撑框架 2下端水平固定设有底部法兰5，且底部法兰5下部固定连接有多个反射板6。
本实用新型中，铠装加热器3均匀绕制为螺旋弹簧状，铠装加热器3内设有温度传感器4，且温度传感器4线端贯穿底部法兰5以及多个反射板6延伸至外部，套管1内设有加热模块。
本实施例工作原理：将铠装加热器3以及加热模块作为加热源，使得加热温控准确，在支撑框架2底部设置了温度传感器4，解决了以往加热温控难度大的问题，将铠装加热器3缠绕成螺旋弹簧状，然后均匀固定在支撑框架2上固定，保证了热场稳定，加热器采用铠装热电偶进行温度监测，控温方便。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种共蒸法Se蒸发源结构，包括支撑框架(2)，其特征在于，所述支撑框架(2)内设有铠装加热器(3)，支撑框架(2)外套设有套管(1)，所述支撑框架(2)下端水平固定设有底部法兰(5)，且底部法兰(5)下部固定连接有多个反射板(6)。
2.根据权利要求1所述的一种共蒸法Se蒸发源结构，其特征在于，所述铠装加热器(3)均匀绕制为螺旋弹簧状。
3.根据权利要求1所述的一种共蒸法Se蒸发源结构，其特征在于，所述铠装加热器(3)内设有温度传感器(4)，且温度传感器(4)线端贯穿底部法兰(5)以及多个反射板(6)延伸至外部。
4.根据权利要求1所述的一种共蒸法Se蒸发源结构，其特征在于，所述套管(1)内设有加热模块。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122843468.5U CN217438284U (zh) | 2021-11-19 | 2021-11-19 | 一种共蒸法Se蒸发源结构 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN202122843468.5U CN217438284U (zh) | 2021-11-19 | 2021-11-19 | 一种共蒸法Se蒸发源结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN217438284U true CN217438284U (zh) | 2022-09-16 |
Family
ID=83208785
Family Applications (1)
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| CN202122843468.5U Active CN217438284U (zh) | 2021-11-19 | 2021-11-19 | 一种共蒸法Se蒸发源结构 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN217438284U (zh) |
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2021
- 2021-11-19 CN CN202122843468.5U patent/CN217438284U/zh active Active
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