CN217431512U - 纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，包括混搅筒主体，所述混搅筒主体的下表面设置有出料管，所述出料管的下端设置有中继管，所述中继管的内部设有活塞板，所述活塞板的右侧壁设置有连接杆，所述连接杆的右端延伸至中继管的外部并设有往复机构，所述出料管和中继管的内部分别设置有第一电磁阀和第二电磁阀，通过设置左端为锥型筒结构的中继管，能够在第一电磁阀开启后，混搅筒主体内部的研磨液通过出料管流入中继管内部，中继管管壁承受冲击力，同时中继管内的底部留余部分研磨液，对补充至中继管内部的研磨液起到缓冲作用，研磨液通过第二电磁阀缓慢流入盛放容器内部，防止研磨液流速过快损坏盛放容器。
Description
技术领域
本实用新型属于研磨液生产设备技术领域，具体涉及纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构。
背景技术
各种集成电路及及中央处理器的芯片，仰赖一块块尺寸相同地晶圆送入晶圆研磨机里，导入晶圆研磨液精细磨切分并抛光成一块块地细小芯片体，而芯片研磨液的产出要由多种原料以预定精确比例份量，分批送入晶圆研磨混搅机台内之混搅筒内混搅均匀而成。
目前的研磨液生产工序中，当研磨液原料混合完毕后从混搅筒中排出时，研磨液的流速受混料罐内压力的影响，导致研磨液流速过快，对盛放容器造成一定的破坏，影响研磨液的正常生产，为此我们提出纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，包括混搅筒主体，所述混搅筒主体的下表面设置有出料管，所述出料管的下端设置有中继管，所述中继管的内部设有活塞板，所述活塞板的右侧壁设置有连接杆，所述连接杆的右端延伸至中继管的外部并设有往复机构，所述出料管和中继管的内部分别设置有第一电磁阀和第二电磁阀，所述中继管的圆周外壁设有减震机构，所述第二电磁阀和活塞板分别位于出料管的左侧和右侧，所述混搅筒主体的左端为锥型筒结构。
优选的，所述往复机构包括安装载板，所述安装载板设置在混搅筒主体的圆周外壁，所述安装载板的上表面设置有往复电机，所述往复电机电机轴的下端贯穿安装载板并设置有偏心轮，所述偏心轮的外侧套设有联动框体，所述连接杆的右端设置在联动框体的外侧壁，所述连接杆的外侧套设有导向架，所述导向架设置在混搅筒主体的下表面。
优选的，所述减震机构包括外置架，所述外置架设置在混搅筒主体的下表面，所述中继管的圆周外壁设有内置架，所述内置架的底部铰接有导向伸缩杆，且导向伸缩杆阵列设有若干个，所述导向伸缩杆的下端均铰接在外置架的顶部，所述导向伸缩杆的外侧套设有减震弹簧，所述减震弹簧的两端分别设置在外置架的顶部和内置架的底部。
优选的，所述混搅筒主体的上表面设置有搅拌电机，所述搅拌电机电机轴的下端贯穿混搅筒主体顶部并设置有搅拌轴，所述搅拌轴与混搅筒主体内的底面转动连接，所述搅拌轴的圆周外壁设置有搅拌叶片，所述混搅筒主体的上表面设置有进料管，且搅拌叶片和进料管均设置有若干个。
优选的，所述搅拌轴的圆周外壁左右对称设置有刮料板，所述刮料板为L型结构，所述混搅筒主体内的底面及内侧壁均与刮料板相抵。
优选的，所述混搅筒主体的下表面设置有支座，且支座阵列设置有若干个。
优选的，所述活塞板的圆周外壁开设有安装槽，且安装槽的内部设置有橡胶环，所述橡胶环与中继管的内壁相抵。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
(1)、该纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，通过设置中继管，能够在第一电磁阀开启后，混搅筒主体内部的研磨液通过出料管流入中继管内部，中继管管壁承受冲击力，同时中继管内的底部留余部分研磨液，对补充至中继管内部的研磨液起到缓冲作用，通过设置往复机构，使得研磨液通过第二电磁阀缓慢流入盛放容器内部，防止研磨液流速过快损坏盛放容器。
(2)、该纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，通过设置减震机构，能够在研磨液通过出料管落入中继管内部，对中继管管壁产生冲击时，减震弹簧发生形变分担部分冲击力，进而减轻中继管的震动，防止中继管与出料管的连接处发生松动，导致研磨液外泄。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构示意图；
图2为本实用新型的正剖视图；
图3为本实用新型的侧视图；
图4为本实用新型的图3中A处的结构放大图。
图中：1、混搅筒主体；2、出料管；3、中继管；4、活塞板；5、连接杆；6、往复机构；601、安装载板；602、往复电机；603、偏心轮；604、联动框体；605、导向架；7、减震机构；701、外置架；702、内置架；703、导向伸缩杆；704、减震弹簧；8、第一电磁阀；9、第二电磁阀；10、搅拌电机；11、搅拌轴；12、搅拌叶片；13、刮料板；14、进料管；15、支座；16、橡胶环。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-图4，本实用新型提供纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，包括混搅筒主体1，混搅筒主体1的下表面设置有出料管2，出料管2的下端设置有中继管3，中继管3的内部设有活塞板4，活塞板4的右侧壁设置有连接杆5，连接杆5的右端延伸至中继管3的外部并设有往复机构6，出料管2和中继管3的内部分别设置有第一电磁阀8和第二电磁阀9，中继管3的圆周外壁设有减震机构7，第二电磁阀9和活塞板4分别位于出料管2的左侧和右侧，混搅筒主体1的左端为锥型筒结构。
本实施例中，优选的，往复机构6包括安装载板601，安装载板601设置在混搅筒主体1的圆周外壁，安装载板601的上表面设置有往复电机602，往复电机602电机轴的下端贯穿安装载板601并设置有偏心轮603，偏心轮603的外侧套设有联动框体604，连接杆5的右端设置在联动框体604的外侧壁，连接杆5的外侧套设有导向架605，导向架605设置在混搅筒主体1的下表面，往复电机602启动后，电机轴带动偏心轮603转动，偏心轮603在转动过程中，其圆周外壁始终与联动框体604的内侧壁相抵，进而带动连接杆5在导向架605的导向作用下左右往复移动。
本实施例中，优选的，减震机构7包括外置架701，外置架701设置在混搅筒主体1的下表面，中继管3的圆周外壁设有内置架702，内置架702的底部铰接有导向伸缩杆703，且导向伸缩杆703阵列设有若干个，导向伸缩杆703的下端均铰接在外置架701的顶部，导向伸缩杆703的外侧套设有减震弹簧704，减震弹簧704的两端分别设置在外置架701的顶部和内置架702的底部，当研磨液通过出料管2落入中继管3内部，对中继管3管壁产生冲击时，减震弹簧704发生形变分担部分冲击力，进而减轻中继管3的震动，防止中继管3与出料管2的连接处发生松动，导致研磨液外泄。
本实施例中，优选的，混搅筒主体1的上表面设置有搅拌电机10，搅拌电机10电机轴的下端贯穿混搅筒主体1顶部并设置有搅拌轴11，搅拌轴11与混搅筒主体1内的底面转动连接，搅拌轴11的圆周外壁设置有搅拌叶片12，混搅筒主体1的上表面设置有进料管14，且搅拌叶片12和进料管14均设置有若干个，搅拌电机10启动后，电机轴带动搅拌轴11及搅拌叶片12转动，将研磨液原料通过进料管14注入混搅筒主体1内部后进行搅拌混合。
本实施例中，优选的，搅拌轴11的圆周外壁左右对称设置有刮料板13，刮料板13为L型结构，混搅筒主体1内的底面及内侧壁均与刮料板13相抵。
本实施例中，优选的，混搅筒主体1的下表面设置有支座15，且支座15阵列设置有若干个，通过设置支座15，能够将混搅筒主体1放置在平稳地面上，为外置架701和往复机构6的设置提供安装空间。
本实施例中，优选的，活塞板4的圆周外壁开设有安装槽，且安装槽的内部设置有橡胶环16，橡胶环16与中继管3的内壁相抵，通过设置橡胶环16，能够提高活塞板4与中继管3内壁间的密封性，防止研磨液泄露至活塞板4的右侧。
本实用新型的工作原理及使用流程：该装置使用时，启动搅拌电机10，电机轴带动搅拌轴11及搅拌叶片12转动，将研磨液原料通过进料管14注入混搅筒主体1内部后进行搅拌混合，混合完毕后，开启第一电磁阀8，使得混搅筒主体1内部的研磨液通过出料管2流入中继管3内部，研磨液对中继管3管壁产生冲击时，减震弹簧704发生形变分担部分冲击力，进而减轻中继管3的震动，防止中继管3与出料管2的连接处发生松动，当研磨液填满中继管3内部活塞板4左侧的空间时，关闭第一电磁阀8并开启第二电磁阀9，启动往复电机602，电机轴带动偏心轮603转动，偏心轮603在转动过程中，其圆周外壁始终与联动框体604的内侧壁相抵，进而带动连接杆5在导向架605的导向作用下向左移动，活塞板4在中继管3内部同步向左移动，将盛放容器放置在中继管3左端的下方，中继管3内部的研磨液通过第二电磁阀9流入盛放容器内部，而后关闭第二电磁阀9并开启第一电磁阀8，往复电机602的电机轴继续带动偏心轮603转动，带动活塞板4向右移动，中继管3内部活塞板4左侧的空间扩大，混搅筒主体1内部的研磨液通过出料管2补充至中继管3内部，由于中继管3内的底部留余部分研磨液，对补充至中继管3内部的研磨液起到缓冲作用，防止研磨液猛烈冲击中继管3内壁，重复上述操作，直至将混搅筒主体1内部的研磨液全部排出。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，包括混搅筒主体(1)，其特征在于：所述混搅筒主体(1)的下表面设置有出料管(2)，所述出料管(2)的下端设置有中继管(3)，所述中继管(3)的内部设有活塞板(4)，所述活塞板(4)的右侧壁设置有连接杆(5)，所述连接杆(5)的右端延伸至中继管(3)的外部并设有往复机构(6)，所述出料管(2)和中继管(3)的内部分别设置有第一电磁阀(8)和第二电磁阀(9)，所述中继管(3)的圆周外壁设有减震机构(7)，所述第二电磁阀(9)和活塞板(4)分别位于出料管(2)的左侧和右侧，所述混搅筒主体(1)的左端为锥型筒结构。
2.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，其特征在于：所述往复机构(6)包括安装载板(601)，所述安装载板(601)设置在混搅筒主体(1)的圆周外壁，所述安装载板(601)的上表面设置有往复电机(602)，所述往复电机(602)电机轴的下端贯穿安装载板(601)并设置有偏心轮(603)，所述偏心轮(603)的外侧套设有联动框体(604)，所述连接杆(5)的右端设置在联动框体(604)的外侧壁，所述连接杆(5)的外侧套设有导向架(605)，所述导向架(605)设置在混搅筒主体(1)的下表面。
3.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，其特征在于：所述减震机构(7)包括外置架(701)，所述外置架(701)设置在混搅筒主体(1)的下表面，所述中继管(3)的圆周外壁设有内置架(702)，所述内置架(702)的底部铰接有导向伸缩杆(703)，且导向伸缩杆(703)阵列设有若干个，所述导向伸缩杆(703)的下端均铰接在外置架(701)的顶部，所述导向伸缩杆(703)的外侧套设有减震弹簧(704)，所述减震弹簧(704)的两端分别设置在外置架(701)的顶部和内置架(702)的底部。
4.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，其特征在于：所述混搅筒主体(1)的上表面设置有搅拌电机(10)，所述搅拌电机(10)电机轴的下端贯穿混搅筒主体(1)顶部并设置有搅拌轴(11)，所述搅拌轴(11)与混搅筒主体(1)内的底面转动连接，所述搅拌轴(11)的圆周外壁设置有搅拌叶片(12)，所述混搅筒主体(1)的上表面设置有进料管(14)，且搅拌叶片(12)和进料管(14)均设置有若干个。
5.根据权利要求4所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，其特征在于：所述搅拌轴(11)的圆周外壁左右对称设置有刮料板(13)，所述刮料板(13)为L型结构，所述混搅筒主体(1)内的底面及内侧壁均与刮料板(13)相抵。
6.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，其特征在于：所述混搅筒主体(1)的下表面设置有支座(15)，且支座(15)阵列设置有若干个。
7.根据权利要求1所述的纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构，其特征在于：所述活塞板(4)的圆周外壁开设有安装槽，且安装槽的内部设置有橡胶环(16)，所述橡胶环(16)与中继管(3)的内壁相抵。
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