CN217426385U - 一种低电阻高透过率ito导电膜 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种低电阻高透过率ITO导电膜,其由依次层叠的PET基材层、高折射率涂层和ITO膜层构成,高折射率涂层为二氧化钛涂层或氧化铌涂层,高折射率涂层的厚度为1μm至2μm,ITO膜层的厚度为100nm至150nm且厚度均匀。该低电阻高透过率ITO导电膜具有较低的面电阻和较高的透过率,尤其适用于大面积触控屏、电磁脉冲屏蔽膜等领域。

Description

一种低电阻高透过率ITO导电膜
技术领域
本实用新型涉及导电膜技术领域,具体涉及一种低电阻高透过率ITO导电膜。
背景技术
ITO柔性导电膜是液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、电致发光显示器(EL/OLED)、触摸屏(Touch Panel)、太阳能电池以及其他电子仪表的透明电极最常用的薄膜材料。普通ITO导电膜在面电阻100~120Ω的条件下,透过率最高只能做到82%左右,如果面电阻的要求更低,比如30~60Ω,则常规透过率只能做到60%以下。目前市场上有着低阻高透柔性导电膜产品的强烈需求,要求电阻在30~60Ω,透过率在80%以上,应用于大面积触控屏、电磁脉冲屏蔽膜等领域,要求精度高、灵敏度高、抗损、易清洁、阳光下可视性好、可实现多点触控。
根据光学干涉的原理,当膜层厚度为1/4λ时(λ为光在薄膜中波长),会出现干涉相消的现象,从而减弱反射光的强度,增加透射光的强度,起到增透的作用。根据上述光学增透的原理,目前针对低阻高透导电膜的常规做法是,导电层由ITO/Ag/ITO膜层组成,在导电层和柔性基底之间引入折射率膜层SiO2层,PET基材经过等离子设备预处理后,工艺室的阴极依次镀制SiO2、ITO、Ag、ITO等膜系,按照控制变量法,通过对导电层以及折射层膜厚设计,经工艺调整得到市场所需的产品。但这种做法的缺点是工艺复杂、成本很高(比如用到银靶)、生产效率低,不利于推广和普及。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型的目的是提供一种低电阻高透过率ITO导电膜,该低电阻高透过率ITO导电膜具有较低的面电阻和较高的透过率,尤其适用于大面积触控屏、电磁脉冲屏蔽膜等领域。
为实现本实用新型的目的,本实用新型提供了一种低电阻高透过率ITO导电膜,其由依次层叠的PET基材层、高折射率涂层和ITO膜层构成,高折射率涂层为二氧化钛涂层或氧化铌涂层,高折射率涂层的厚度为1μm至2μm,ITO膜层的厚度为100nm至150nm且厚度均匀。
进一步的技术方案是,PET基材层的厚度为120μm至130μm。
进一步的技术方案是,PET基材层为柔性基材层。
进一步的技术方案是,ITO膜层由多次镀ITO形成。
进一步的技术方案是,ITO膜层的面电阻为30Ω至60Ω。
进一步的技术方案是,低电阻高透过率ITO导电膜的透过率在80%以上。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:
本实用新型的低电阻高透过率ITO导电膜通过在基材上设置特定厚度的高折射率涂层来改变PET基材的折射率,从而达到现有的PET基材上镀SiO2+Ag的效果,然后通过特定厚度且厚度均匀的ITO膜层来降低面电阻,并且设置合适的ITO膜层的厚度从而达到增透效果。该低电阻高透过率ITO导电膜还具有结构简单,成本低,生产步骤简单,适合批量化生产的优点。
附图说明
图1是本实用新型低电阻高透过率ITO导电膜实施例的结构示意图。
以下结合附图以及具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
具体实施方式
如图1所示,本实施例提供了一种低电阻高透过率ITO导电膜,该低电阻高透过率ITO导电膜面电阻能够控制在30Ω至60Ω之间,透过率能够达到80%以上,可用作液晶显示器、等离子显示器、电致发光显示器、触摸屏、太阳能电池以及其他电子仪表的透明电极,尤其适用于大面积触控屏、电磁脉冲屏蔽膜等领域。
在本实施例中,低电阻高透过率ITO导电膜由依次层叠的PET基材层10、高折射率涂层20和ITO膜层30构成,高折射率涂层20为二氧化钛涂层或氧化铌涂层,高折射率涂层20的厚度为1μm至2μm,ITO膜层30的厚度为100nm至150nm且厚度均匀。当高折射率涂层20的厚度为上述范围时,能够改变原先PET基材的折射率,增加透光率,从而达到现有技术中PET基材上镀SiO2+Ag的效果,减少镀膜层数,并且减少贵金属银的使用,降低成本。当采用上述特定厚度且厚度均匀的ITO膜层时,能够控制面电阻在30Ω~60Ω的范围内,该区间的膜厚也具备最佳的增透效果低电阻高透过率ITO导电膜的透过率在80%以上。在PET基材层上涂布高折射率涂层的过程为PET基材的PLASMA处理。
优选地,PET基材层10的厚度为120μm至130μm,例如可以是约125μm,可以较好地起到支撑作用,并且不影响透光率。优选地,透明基材层10为柔性基材层,便于低电阻高透过率ITO导电膜应用于不同形状表面、应用于不同场景,也便于低电阻高透过率ITO导电膜例如通过粘接等方式结合到所需的物件上。优选地,PET基材层10的卷内的面即镀膜面涂布该高折射率涂层,与镀膜面相对设置的PET基材层10的另一面可以是光滑面,镀膜面能够对涂层有更好的粘结力。
优选地,ITO膜层30由多次镀ITO形成,通过多次镀ITO能够严格控制ITO膜层30的厚度,使得ITO膜层30的结构中膜层厚度均匀性更高,更有利于获得较低的面电阻,容易使得ITO膜层30的面电阻维持在30Ω至60Ω,满足大面积触控屏、电磁脉冲屏蔽膜等领域的应用要求。
在本实施例的一个具体例子中,PET基材层10的厚度为125μm,高折射率涂层20的厚度为2μm,ITO膜层30的厚度为120nm且厚度均匀,所得的低电阻高透过率ITO导电膜实测数据为面电阻55欧左右,透过率81%,完全满足高性能产品的技术要求。
最后需要强调的是,以上所述仅为本实用新型的优选实施例,并不用于限制本实用新型。凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种低电阻高透过率ITO导电膜,其特征在于由依次层叠的PET基材层、高折射率涂层和ITO膜层构成,所述高折射率涂层为二氧化钛涂层或氧化铌涂层,所述高折射率涂层的厚度为1μm至2μm,所述ITO膜层的厚度为100nm至150nm且厚度均匀。
2.根据权利要求1所述的一种低电阻高透过率ITO导电膜,其特征在于所述PET基材层的厚度为120μm至130μm。
3.根据权利要求1或2所述的一种低电阻高透过率ITO导电膜,其特征在于所述PET基材层为柔性基材层。
4.根据权利要求1或2所述的一种低电阻高透过率ITO导电膜,其特征在于所述ITO膜层由多次镀ITO形成。
5.根据权利要求1或2所述的一种低电阻高透过率ITO导电膜,其特征在于所述ITO膜层的面电阻为30Ω至60Ω。
6.根据权利要求1或2所述的一种低电阻高透过率ITO导电膜,其特征在于所述低电阻高透过率ITO导电膜的透过率在80%以上。
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