CN217398353U - 一种推拉舟升降装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种推拉舟升降装置，驱动电机连接驱动减速机，减速机通过联轴器与升降丝杠相连，升降丝杠的上部和下部分别与丝杠固定块活动连接定位，折叠滑台滑动安装在升降固定块上，升降固定块滑动安装在升降滑轨上，折叠滑台用于放置石英舟并将石英舟送至规定位置，控制装置用于控制折叠滑台在升降滑轨上升降，控制和显示折叠滑台在升降滑轨上的位置、控制折叠滑台的伸缩以及显示折叠滑台滑出和滑入到达指定位置，升降滑轨对应每个炉管的位置设置有一个光电开关，本实用新型具有升降平稳可靠、可停靠多个指定位置、降低劳动强度、减少作业风险的特点。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片加工设备技术领域，尤其是涉及一种用于扩散炉推拉舟升降装置。
背景技术
现有技术中，推拉舟上下料主要由人工搬运和涡轮蜗杆结构自动升降装置，这两种方式分别存在以下问题：①人工搬运，搬运过程中，存在劳动强度大，作业人员搬运过程中不稳定等因素，容易导致产品意外磕碰和跌落，存在安全隐患。②涡轮蜗杆结构是采用步进电机直接通过涡轮蜗杆结构控制料台升降，单级涡轮蜗杆驱动机构，在电机启动和停止瞬间，可能存在抖动情况发生，存在安全隐患，同时现有自动升降机构，料台为固定尺寸，在升降过程中可能存在与正在出舟的低层推拉舟碰撞风险且无法灵活根据现场情况与推拉舟进行配合；且现有自动升降机构通过光杆传动，传动效率低，重复定位精度差，存在定位不准的情况，现有自动升降机构无控制系统，只能进行简单的在两个端点间进行运动传输。
实用新型内容
本实用新型的目的在于改进已有技术的不足而提供一种升降平稳可靠、可停靠多个指定位置、降低劳动强度、减少作业风险的推拉舟升降装置。
本实用新型的目的是这样实现的，一种推拉舟升降装置，包括驱动电机、减速机和升降滑轨，其特点是还包括升降丝杠、升降固定块、折叠滑台、丝杠固定块、光电开关和控制装置，其中：
所述的驱动电机连接驱动减速机；
所述的减速机通过联轴器与升降丝杠相连；
所述的升降丝杠的上部和下部分别与丝杠固定块活动连接定位；
所述的折叠滑台滑动安装在升降固定块上，升降固定块滑动安装在升降滑轨上，升降丝杠连接带动升降固定块升降；
所述的折叠滑台用于放置石英舟并将石英舟送至规定位置；
所述的控制装置用于控制折叠滑台在升降滑轨上升降，控制和显示折叠滑台在升降滑轨上的位置、控制折叠滑台的伸缩以及显示折叠滑台滑出和滑入到达指定位置；
所述的升降滑轨对应每个炉管的位置设置有一个光电开关，所述的光电开关用于感应折叠滑台的升降位置并向控制装置传递信号。
为了进一步实现本实用新型的目的，可以是所述的折叠滑台包括控制电缸、滑块、滑台、滑轨和升降连接板，
所述的升降连接板与升降固定块固定连接；
所述的控制电缸、滑块安装在升降连接板上；
所述的滑轨与滑块配合安装，滑轨可以在滑块上活动；
所述的滑台固定在滑轨上；
所述的控制电缸的伸缩端与滑台固定连接，控制电缸伸缩带动滑台滑动，在控制电缸控制滑台滑出的极限位置、滑台滑入的极限位置处分别设有一限位开关，限位开关与控制装置连接。
为了进一步实现本实用新型的目的，可以是所述的滑块至少为一对，分别安装在升降连接板的两侧。
为了进一步实现本实用新型的目的，可以是所述的支撑块安装在升降连接板上，用于增加升降连接板的强度。
为了进一步实现本实用新型的目的，可以是所述的控制装置包含滑台位置到位指示灯、滑台位置选择按钮、滑台进出选择开关、滑台滑出到位指示灯、滑台滑入到位指示灯、急停开关和升降台升降选择开关，
所述的滑台位置到位指示灯用于在滑台到达指定位置进行显示；
所述的滑台位置选择按钮用于控制选择滑台到达指定位置；
所述的滑台进出选择开关用于控制滑台的进或出；
所述的急停开关用于在特殊情况紧急停止整个装置的工作；
所述的升降台升降选择开关用于控制升降固定块的上升或下降。
所述的滑台滑出到位指示灯用于在滑台滑出到达指定位置进行显示；
所述的滑台滑入到位指示灯用于在滑台滑入到达指定位置进行显示。
为了进一步实现本实用新型的目的，可以是所述的升降丝杠的上部和下部分别通过轴承与丝杠固定块连接。
本实用新型与已有技术相比具有以下显著特点和积极效果：本实用新型采用步进电机通过减速机、联轴器与丝杠相连控制升降，避免了电机启动和停止瞬间可能产生的晃动，保证运行安全，同时，又可以使用较小的电机驱动较大的料台，节省成本；升降滑轨安装有光电开关，使折叠滑台能够在各个炉管对应的位置都能停靠，满足生产需求；升降机构通过丝杠传动，保证了运动的定位精度；滑台机构通过升降连接板与升降机构的升降固定块相连，在升降过程中，滑台处于滑入状态，升降机构升降过程中与低层推拉舟无干涉，到达指定位置后，滑台机构滑出到预定位置，推拉舟推拉物料。滑台机构通过电缸控制滑台的滑入与滑出，保证滑台机构运行时速度的稳定与平台的平稳，避免运动过程中的晃动，保障产品的安全；控制装置通过按钮控制升降机构与滑台机构的运行状态。实现升降机构的稳定运行，避免误操作。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细说明。
图1为本实用新型的一种结构示意图。
图2为本实用新型的折叠滑台的一种结构示意图。
图3为本实用新型控制装置的一种结构示意图。
图中：1、驱动电机，2、减速机，3、轴承，4、升降滑轨，5、升降丝杠，6、升降固定块，7、折叠滑台，8、丝杠固定块，9、控制装置，10、光电开关，11、第四滑台位置到位指示灯，12、第三滑台位置到位指示灯，13、第四滑台位置选择按钮，14、第三滑台位置选择按钮，15、第二滑台位置选择按钮，16、滑台进出选择开关，17、第一滑台位置选择按钮，18、急停开关，19、第二滑台位置到位指示灯，20、第一滑台位置到位指示灯，21、升降台升降选择开关，22、滑台滑出到位指示灯，23、滑台滑入到位指示灯，24、控制电缸，25、滑块，26、滑台，27、滑轨，28、支撑块，29、升降连接板，101、第一光电开关，102、第二光电开关，103、第三光电开关，104、第四光电开关。
具体实施方式
一种推拉舟升降装置，参照图1，包括驱动电机1、减速机2和升降滑轨4，还包括升降丝杠5、升降固定块6、折叠滑台7、丝杠固定块8、光电开关10和控制装置9，驱动电机1连接驱动减速机2，驱动电机1采用步进电机，减速机2通过联轴器与升降丝杠5的下端相连，升降丝杠5的上部和下部分别与丝杠固定块8活动连接定位，为了保证升降丝杠5转动顺畅无阻碍，升降丝杠5的上部和下部分别通过轴承3与丝杠固定块8连接，折叠滑台7安装在升降固定块6上，折叠滑台7用于放置石英舟并将石英舟送至规定位置，升降固定块6滑动安装在升降滑轨4上，升降丝杠5连接带动升降固定块6升降，驱动电机1启动后，减速机2通过联轴器带动升降丝杠5转动，升降固定块6在升降滑轨4内随着升降丝杠5正反转进行上升下降运动；控制装置9用于控制折叠滑台7在升降滑轨4上升降，控制并显示折叠滑台7在升降滑轨4上的位置以及控制折叠滑台7的伸缩，升降滑轨4对应每个炉管的位置设置有一个光电开关10，所述的光电开关10用于感应折叠滑台7的升降位置，光电开关10与控制装置9配合。
参照图3，所述的折叠滑台7包括控制电缸24、滑块25、滑台26、滑轨27和升降连接板29，升降连接板29与升降固定块6固定连接，随升降固定块6升降；控制电缸24、滑块25安装在升降连接板29上，滑轨27与滑块25配合安装，滑轨27可以在滑块25上活动，滑台26固定在滑轨27上，控制电缸24的伸缩端与滑台26固定连接，控制电缸24的伸缩带动滑台26滑动，当滑轨27在滑块25上滑动时，滑台26随着滑轨27的运动进行滑动，在控制电缸24的前端和后端分别设有一与控制装置9连接的限位开关，分别用于在滑台26滑出到达固定的极限位置、滑台26滑入到达规定极限位置时向控制装置9传递信号；所述的滑块25至少为一对，分别固定在升降连接板29的两侧，本实施例采用2对，即4块滑块25，升降连接板29的两侧的分别固定2块；为了增加升降连接板29的强度，升降连接板29上安装有支撑块28。
参照图2，所述的控制装置9包含滑台位置到位指示灯、滑台位置选择按钮、滑台进出选择开关16、滑台滑出到位指示灯22、滑台滑入到位指示灯23、急停开关18和升降台升降选择开关21，所述的滑台位置到位指示灯用于在滑台26到达指定位置进行显示，其数量根据需要选择；所述的滑台位置选择按钮用于控制选择滑台到达指定位置，其数量与滑台位置到位指示灯数量一致；所述的滑台进出选择开关16用于控制滑台26的进或出；所述的滑台滑出到位指示灯22用于在滑台26滑出到达指定位置进行显示；所述的滑台滑入到位指示灯23用于在滑台26滑入到达指定位置进行显示；所述的急停开关18用于在特殊情况紧急停止整个装置的工作；所述的升降台升降选择开关21用于控制升降固定块的上升或下降。本实施例中，在升降滑轨4上设置4个光电开关10，第四光电开关104设置在升降滑轨4的底部，第一光电开关101设置在升降滑轨4的顶部，第二光电开关102、第三光电开关103间隔均匀设置在第一、四光电开关间并各自对应一个扩散炉，第一至第四光电开关分别连接控制装置9的第一滑台位置到位指示灯20、第二滑台位置到位指示灯19、第三滑台位置到位指示灯12、第四滑台位置到位指示灯11，相应设置有第一滑台位置选择按钮17、第二滑台位置选择按钮15、第三滑台位置选择按钮14和第四滑台位置选择按钮13，用于选择折叠滑台7到达位置；当折叠滑台7滑动到升降滑轨4某个光电开关10位置时，触发该光电开关10，该光电开关10对应的滑台位置到位指示灯亮，控制装置9控制停止升降，例如当折叠滑台7滑动到第三光电开关位置103时，触发第三光电开关103，对应的第三滑台位置到位指示灯亮12，表明折叠滑台7到达第三光电开关103位置处，控制装置9控制停止升降，可以对对应的扩散炉进行供取料操作；控制装置9上还设有第一滑台位置选择按钮17、第二滑台位置选择按钮15、第三滑台位置选择按钮14以及第四滑台位置选择按钮13，用于控制驱动电机1带动升降丝杠5转动，使升降固定块6带动折叠滑台7分别到达第一至第四光电开关所对应的位置；控制电缸24的前端和后端分别有一个与控制装置9连接限位开关，在滑台26滑出到达固定的极限位置时触发控制装置9的滑台滑出到位指示灯22以及在滑台26滑入到达规定极限位置时触发控制装置9的滑台滑入到位指示灯23；控制装置9还设有一个滑台进出选择开关16、一个急停开关18和一个升降台升降选择开关21，以控制驱动电机实现对应功能。
Claims (6)
1.一种推拉舟升降装置，包括驱动电机、减速机和升降滑轨，其特征是还包括升降丝杠、升降固定块、折叠滑台、丝杠固定块、光电开关和控制装置，其中：
所述的驱动电机连接驱动减速机；
所述的减速机通过联轴器与升降丝杠相连；
所述的升降丝杠的上部和下部分别与丝杠固定块活动连接定位；
所述的折叠滑台滑动安装在升降固定块上，升降固定块滑动安装在升降滑轨上，升降丝杠连接带动升降固定块升降；
所述的折叠滑台用于放置石英舟并将石英舟送至规定位置；
所述的控制装置用于控制折叠滑台在升降滑轨上升降，控制和显示折叠滑台在升降滑轨上的位置、控制折叠滑台的伸缩以及显示折叠滑台滑出和滑入到达指定位置；
所述的升降滑轨对应每个炉管的位置设置有一个光电开关，所述的光电开关用于感应折叠滑台的升降位置并向控制装置传递信号。
2.根据权利要求1所述的一种推拉舟升降装置，其特征是所述的折叠滑台包括控制电缸、滑块、滑台、滑轨和升降连接板，
所述的升降连接板与升降固定块固定连接；
所述的控制电缸、滑块安装在升降连接板上；
所述的滑轨与滑块配合安装，滑轨可以在滑块上活动；
所述的滑台固定在滑轨上；
所述的控制电缸的伸缩端与滑台固定连接，控制电缸伸缩带动滑台滑动，在控制电缸控制滑台滑出的极限位置、滑台滑入的极限位置处分别设有一限位开关，限位开关与控制装置连接。
3.根据权利要求2所述的一种推拉舟升降装置，其特征是所述的滑块至少为一对，分别安装在升降连接板的两侧。
4.根据权利要求2所述的一种推拉舟升降装置，其特征是支撑块安装在所述的升降连接板上，用于增加升降连接板的强度。
5.根据权利要求1所述的一种推拉舟升降装置，其特征是所述的控制装置包含滑台位置到位指示灯、滑台位置选择按钮、滑台进出选择开关、滑台滑出到位指示灯、滑台滑入到位指示灯、急停开关和升降台升降选择开关，
所述的滑台位置到位指示灯用于在滑台到达指定位置进行显示；
所述的滑台位置选择按钮用于控制选择滑台到达指定位置；
所述的滑台进出选择开关用于控制滑台的进或出；
所述的急停开关用于在特殊情况紧急停止整个装置的工作；
所述的升降台升降选择开关用于控制升降固定块的上升或下降；
所述的滑台滑出到位指示灯用于在滑台滑出到达指定位置进行显示；
所述的滑台滑入到位指示灯用于在滑台滑入到达指定位置进行显示。
6.根据权利要求1所述的一种推拉舟升降装置，其特征是所述的升降丝杠的上部和下部分别通过轴承与丝杠固定块连接。
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