CN217387076U - 一种应用于真空等离子清洗机的电极 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种应用于真空等离子清洗机的电极，其包括电极框，电极框设置有用于固定在于真空等离子清洗机处理腔内的安装座，电极板设有电极棒固定块，电极棒固定块设有电极棒固定孔，电极框安装有作为电极导体的冷却铝管，冷却铝管的两端设有分别设有接水口；本实用新型通过冷却铝管作为电极导体，以实现均匀地对电极进行冷却和提高蚀刻，同时解决现有板状结构的电极在钻孔时容易出现钻偏，导致电极容易出现漏、冷却管路分布不均匀和使电极冷却不均匀；本实用新型属于真空等离子清洗机的技术领域。

Description

一种应用于真空等离子清洗机的电极

技术领域

本实用新型属于真空等离子清洗机的技术领域，尤其涉及一种应用于真空等离子清洗机的电极。

背景技术

真空等离子清洗机是通过两个电极形成电磁场，使真空环境内的分子间距及分子或郭受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体和发生辉光，等离子体在电磁场内空间运动时轰击被处理物体表面的油污、表面氧化物、灰化表面有机物以及其它化学物质，达到去除产品的表面处理、清洗和刻蚀。在现有的技术中，真空等离子清洗机内的电极板状结构的铝板，并通过在铝板钻深孔形成冷却水管路，从而导致铝板在钻孔时产生大量的废料和容易钻偏，以使生产电极需要耗费大量铝材、容易出现漏水和电极冷却不均。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种应用于真空等离子清洗机的电极，以实现生产电极时减少铝材的损耗、避免电极内的冷却水管路出现漏水和均匀地对电极进行冷却。

所述电极包括电极框，电极框设置有用于固定在于真空等离子清洗机处理腔内的安装座，电极框设有电极棒固定块，电极棒固定块设有电极棒固定孔，电极框安装有作为电极导体的冷却铝管，冷却铝管的两端设有分别设有接水口。

真空等离子清洗机的处理腔安装有两个电极，工作时，处理腔内反应腔抽气至一定的真空度，真空等离子清洗机的的高压电源与电极电性连接，使位于反应腔室内的两个形成电磁场。

更佳地，冷却铝管为弯曲状，电极框上阵列安装有若干个相互连接的冷却铝管；根据所述技术方案，使冷却铝管均匀地分布于电极框上，从而提高蚀刻均匀性。

更佳地，两个冷却铝管的连接端设置有连接套；根据所述技术方案，以使本电极组装时，便于对两个冷却铝管连接。

可选的，接水口旁为弯曲部；根据所述技术方案，使本实用新型根据不同尺寸电极框均分地分布冷却铝管。

更佳地，电极框设有与冷却铝管配合的镂空孔；根据所述技术方案，以提冷却铝管更好地形成电磁场。

可选的，电极框设有放置冷却铝管配合的固定槽；根据所述技术方案，以更好地固定于电极框上和便于将冷却铝管焊接于电极框上。

可选的，固定槽设置有固定压板；根据所述技术方案，以便于对冷却铝管安装和拆卸。

以下为本实用新型的有益效果：

1、本实用新型通过冷却铝管作为电极导体，以实现均匀地对电极进行冷却和提高蚀刻；

2、解决现有板状结构的电极在钻孔时容易出现钻偏，导致电极容易出现漏，同时现有板状结构的电极在钻孔的方式形成冷却管路，从而导致电极中的冷却管路分布不均匀，使电极冷却不均匀；

3、解决现有板状结构的电极因钻孔而产生的废料和同时降低电极加工难度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型中的具体实施方式，以下将对具体实施方式中描述中需要使用的附图及标号作简单说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

附图标记：

1、电极框；11、安装座；12、电极棒固定块；13、电极棒固定孔；14、镂空孔；15、固定槽；16、固定压板；2、冷却铝管；21、接水口；22、连接套； 23、弯曲部。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

如图1所示，本实用新型提供一种应用于真空等离子清洗机的电极，所述电极包括电极框1和冷却铝管2。电极框1设置有安装座11，电极框1设有电极棒固定块12，电极棒固定块12设有电极棒固定孔13；电极框1的中心设有镂空孔14，电极框1上设有用于放置冷却铝管2的固定槽15。

冷却铝管2为弯曲状，若干个相互连接的冷却铝管2阵列安装于电极框1 上，相邻的两个冷却铝管2通过连接套22的连接，冷却铝管2与固定槽15配合，冷却铝管2的两端设有分别设有接水口21；接水口21旁可根据电极框1的尺寸设有弯曲部23，以使若干个冷却铝管2分布安装于电极框1上时，位于电极框1最左侧或最右侧的更好地与冷却液装置连接。

冷却铝管2可选择通过焊接方式固定于电极框1上，或可选择通过在固定槽15设置有将冷却管固定于固定槽15上的固定压板16。

以下是本实用新型应用场景和工作过程：

真空等离子清洗机包括设置有反应腔室、真空泵组、高压电源、用于提供冷却液的冷却装置，真空泵组与反应腔室连接，冷却装置与冷却铝管2连接，电极棒固定孔13放置有与高压电源连接的电极棒，电极框1通过安装座11固定于反应腔室内，反应腔室内至少放置有两个电极。

蚀刻时，产品放置于反应腔室内，真空泵组对反应腔抽气至一定的真空度，高压电源启动时，位于反应腔室内的两个形成电磁场，使反应腔内的分子间距及分子或郭受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体和发生辉光，等离子体在电磁场内空间运动时轰击被处理物体表面的油污、表面氧化物、灰化表面有机物以及其它化学物质，达到产品的表面处理、清洗和刻蚀。

应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

Claims (7)

1.一种应用于真空等离子清洗机的电极，其包括电极框(1)，所述电极框(1)设置有安装座(11)，其特征在于：所述电极框(1)设有电极棒固定块(12)，所述电极棒固定块(12)设有电极棒固定孔(13)，所述电极框(1)安装有冷却铝管(2)，所述冷却铝管(2)的两端设有分别设有接水口(21)。

2.根据权利要求1所述的一种应用于真空等离子清洗机的电极，其特征在于：所述冷却铝管(2)为弯曲状，所述电极框(1)上阵列安装有若干个相互连接的冷却铝管(2)。

3.根据权利要求2所述的一种应用于真空等离子清洗机的电极，其特征在于：两个所述冷却铝管(2)的连接端设置有连接套(22)。

4.根据权利要求3所述的一种应用于真空等离子清洗机的电极，其特征在于：所述接水口(21)旁为弯曲部(23)。

5.根据权利要求4所述的一种应用于真空等离子清洗机的电极，其特征在于：所述电极框(1)设有与所述冷却铝管(2)配合的镂空孔(14)。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的一种应用于真空等离子清洗机的电极，其特征在于：所述电极框(1)设有放置所述冷却铝管(2)配合的固定槽(15)。

7.根据权利要求6所述的一种应用于真空等离子清洗机的电极，其特征在于：所述固定槽(15)设置有固定压板(16)。

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