CN217351508U

CN217351508U - 一种单体镀膜机真空腔体

Info

Publication number: CN217351508U
Application number: CN202123442194.5U
Authority: CN
Inventors: 郭爱云; 朱选敏; 黄水平
Original assignee: Wuhan Keruida Vacuum Technology Co ltd
Current assignee: Wuhan Jiuyi Intelligent Technology Co ltd
Priority date: 2021-12-30
Filing date: 2021-12-30
Publication date: 2022-09-02
Anticipated expiration: 2031-12-30

Abstract

本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体涉及一种标准单体镀膜机真空腔体，解决了现有技术中辊圆侧板耐压性差、焊缝多易漏气、腔体结构复杂不易标准化的问题，其包括上顶板与下底板，上顶板与下底板之间一端连接有门筒，另一端连接有若干弯折板，相邻的弯折板之间形成有阴极门；本实用新型采用弯折板作为圆真空腔体的部分侧板，取代了传统技术中用钢板辊圆，开切口，再在切口上焊接阴极法兰板的工艺结构，增强了腔体的耐压性、增加了箱体的支撑强度。同时阴极门也可以按照需要随意在设计时随意增减，弯折部上采用夹层水冷套结构，安装方便、冷却充分，整体结构更为简单，焊缝长度减少，易于标准化。

Description

一种单体镀膜机真空腔体

技术领域

本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体涉及一种单体镀膜机真空腔体。

背景技术

目前市场上的大部分单体镀膜机的真空腔体都是采用以下制作工艺：一、先用长方形钢板辊圆；二、再焊接上下顶板；三、其次焊接门法兰板；四、再在圆侧板上开阴极安装口，后焊接阴极安装法兰；五，焊接门板和阴极法兰板。

现有技术的局限性和问题：

1、焊接阴极安装口会破环辊圆侧板的耐压性；

2、由于阴极安装口采用焊接连接，真空腔体的焊缝增加，增加了漏气风险；

3、外接水冷需要重新焊接U型水道，大量增加焊缝了数量和长度；腔体结构复杂，不容易标准化。

本方案即在此背景下展开。

实用新型内容

基于上述表述，本实用新型提供了一种单体镀膜机真空腔体，以解决现有技术中辊圆侧板耐压性差、焊缝多易漏气、腔体结构复杂不易标准化的问题。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：

一种单体镀膜机真空腔体，包括上顶板与下底板，所述上顶板与下底板之间一端连接有门筒，另一端连接有若干弯折板，相邻的所述弯折板之间形成有阴极门。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步的，定义所述门筒处为第一区，定义所述弯折板处为第二区，所述第一区与第二区之间设有门框，所述门框上固定连接有门法兰，所述第一区与门框相连，所述第二区与门法兰相连。

进一步的，所述上顶板包括与门框相连的第一顶板，以及与门法兰相连的第二顶板，所述下底板包括与门框相连的第一底板，以及与门法兰相连的第二底板。

进一步的，所述阴极门包括与两侧弯折板固定连接的阴极门框，封闭所述阴极门框的阴极门板，以及将所述阴极门框与阴极门板相连的门铰链。

进一步的，所述第一顶板上开设有功能法兰口，所述第一顶板上设置有弯折覆盖的第一水冷管，所述第二顶板上设置有第二水冷管，所述第一底板上设置有弯折覆盖的第三水冷管，所述第二底板上设置有第四水冷管。

进一步的，所述弯折板包括基板部与连接于基板部两侧的弯折部，所述弯折部构成阴极门的侧部，所述弯折部上设置有第五水冷管，所述门筒上设置有弯折覆盖的第六水冷管。

进一步的，所述第一顶板上设置有横纵分布并与门框相连的第一加强筋，所述第二顶板上设置有与门法兰相连的第二加强筋，所述第一底板上设置有横纵分布并与门框相连的第三加强筋，所述第二底板上设置有与门法兰相连的第四加强筋。

进一步的，所述下底板下方设有支撑机架，所述支撑机架与第三加强筋、门框相连。

与现有技术相比，本申请的技术方案具有以下有益技术效果：

采用弯折板作为圆真空腔体侧板；带来以下好处：

一，增强了腔体的耐压性；

二，增加了箱体的支撑强度；

三、阴极安装口可以按照需要随意增加；

四、采用夹层水冷套结构，冷却充分；

五、结构简单，焊缝长度减少，易于标准化。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的结构示意图；

图2为图1底部视角并隐去支撑机架后的结构示意图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、上顶板；11、第一顶板；111、第一水冷管；112、第一加强筋；12、第二顶板；121、第二水冷管；122、第二加强筋；13、功能法兰口；2、下底板；21、第一底板；211、第三水冷管；212、第三加强筋；22、第二底板； 221、第四水冷管；222、第四加强筋；3、门筒；31、第六水冷管；4、弯折板；41、基板部；42、弯折部；421、第五水冷管；5、阴极门；51、阴极门框；52、阴极门板；53、门铰链；6、第一区；7、第二区；8、门框；9、门法兰；10、支撑机架。

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使本申请的公开内容更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。

可以理解，空间关系术语例如“在…下”、“在…下面”、“下面的”、“在…之下”、“在…之上”、“上面的”等，在这里可以用于描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语还包括使用和操作中的器件的不同取向。例如，如果附图中的器件翻转，描述为“在其它元件下面”或“在其之下”或“在其下”元件或特征将取向为在其它元件或特征“上”。因此，示例性术语“在…下面”和“在…下”可包括上和下两个取向。此外，器件也可以包括另外地取向(譬如，旋转90度或其它取向)，并且在此使用的空间描述语相应地被解释。

如图1、2所示的单体镀膜机真空腔体，包括上顶板1与下底板2，上顶板1与下底板2之间一端连接有门筒3，另一端连接有若干弯折板4，相邻的弯折板4之间形成有阴极门5。为了方便描述，此处定义门筒3处为第一区6，定义弯折板4处为第二区7，第一区6与第二区7为竖向将类圆柱体的真空腔体分为两个部分。具体而言，在第一区6与第二区7之间设有门框8，门框8上固定连接有门法兰9，门框8与门法兰9一般可通过螺栓固定的方式拼接在一起，门框8与门法兰9将第一区6与第二区7隔开，第一区6 与门框8相连，第二区7与门法兰9相连。

相应的，上顶板1就分为与门框8相连的第一顶板11，以及与门法兰9 相连的第二顶板12，下底板2就分别与门框8相连的第一底板21，以及与门法兰9相连的第二底板22。以上连接方式都采用焊接固定。

弯折板4包括基板部41与连接于基板部41两侧的弯折部42，弯折部 42构成阴极门5的侧部，与第一顶板11、第一底板21焊接成真空腔体主体，与第二顶板12、第二底板22焊接成真空门体；由真空门体和腔体主体通过密封圈锁紧成真空腔体。

进一步的，阴极门5包括与两侧弯折板4固定连接的阴极门5框，封闭阴极门5框的阴极门5板，以及将阴极门5框与阴极门5板相连的门铰链53。阴极门5框与弯折板4焊接在一起组成靶安装腔，并与靶腔体门通过密封圈锁紧真空密封。

优选的，第一顶板11上开设有功能法兰口13，第一顶板11上设置有弯折覆盖的第一水冷管111，第二顶板12上设置有第二水冷管121，第一底板 21上设置有弯折覆盖的第三水冷管211，第二底板22上设置有第四水冷管 221。弯折部42上设置有第五水冷管421，门筒3上设置有弯折覆盖的第六水冷管31。

进一步的，第一顶板11上设置有横纵分布并与门框8相连的第一加强筋112，第二顶板12上设置有与门法兰9相连的第二加强筋122，第一底板 21上设置有横纵分布并与门框8相连的第三加强筋212，第二底板22上设置有与门法兰9相连的第四加强筋222。

在下底板2下方设有支撑机架10，支撑机架与第三加强筋212、门框8相连，连接处可放置一些支撑垫片起固定和保护作用。

本实用新型采用弯折板4作为圆真空腔体的部分侧板，取代了传统技术中用钢板辊圆，开切口，再在切口上焊接阴极法兰板的工艺结构，增强了腔体的耐压性、增加了箱体的支撑强度。同时阴极门5也可以按照需要随意在设计时随意增减。弯折部42上采用夹层水冷套结构，安装方便、冷却充分。整体结构更为简单，焊缝长度减少，易于标准化。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种单体镀膜机真空腔体，其特征在于，包括上顶板与下底板，所述上顶板与下底板之间一端连接有门筒，另一端连接有若干弯折板，相邻的所述弯折板之间形成有阴极门，定义所述门筒处为第一区，定义所述弯折板处为第二区，所述第一区与第二区之间设有门框，所述门框上固定连接有门法兰，所述第一区与门框相连，所述第二区与门法兰相连。

2.根据权利要求1所述的单体镀膜机真空腔体，其特征在于，所述上顶板包括与门框相连的第一顶板，以及与门法兰相连的第二顶板，所述下底板包括与门框相连的第一底板，以及与门法兰相连的第二底板。

3.根据权利要求1所述的单体镀膜机真空腔体，其特征在于，所述阴极门包括与两侧弯折板固定连接的阴极门框，封闭所述阴极门框的阴极门板，以及将所述阴极门框与阴极门板相连的门铰链。

4.根据权利要求2所述的单体镀膜机真空腔体，其特征在于，所述第一顶板上开设有功能法兰口，所述第一顶板上设置有弯折覆盖的第一水冷管，所述第二顶板上设置有第二水冷管，所述第一底板上设置有弯折覆盖的第三水冷管，所述第二底板上设置有第四水冷管。

5.根据权利要求1所述的单体镀膜机真空腔体，其特征在于，所述弯折板包括基板部与连接于基板部两侧的弯折部，所述弯折部构成阴极门的侧部，所述弯折部上设置有第五水冷管，所述门筒上设置有弯折覆盖的第六水冷管。

6.根据权利要求2所述的单体镀膜机真空腔体，其特征在于，所述第一顶板上设置有横纵分布并与门框相连的第一加强筋，所述第二顶板上设置有与门法兰相连的第二加强筋，所述第一底板上设置有横纵分布并与门框相连的第三加强筋，所述第二底板上设置有与门法兰相连的第四加强筋。

7.根据权利要求1所述的单体镀膜机真空腔体，其特征在于，所述下底板下方设有支撑机架，所述支撑机架与第三加强筋、门框相连。