CN217334017U - 一种检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种检测装置，属于硅片生产技术领域。检测装置包括机架和设置于机架的检测相机、第一光源、第一反射组件、第二光源、第二反射组件、第三光源、第三反射组件。检测相机位于检测工位的一侧；第一光源位于检测工位的上方，第一光源向待测硅片的上表面发射光线，第一反射组件将待测硅片的上表面反射的光线反射至检测相机。第二光源位于检测工位的下方，第二光源向待测硅片的下表面发射光线，第二反射组件将待测硅片的下表面反射的光线反射至检测相机。第三光源位于检测工位的一侧，第三光源向待测硅片的断面发射光线，第三反射组件将待测硅片的断面反射的光线反射至检测相机。本实用新型能够提高对硅片的检测效率，降低成本。

Description

一种检测装置

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，尤其涉及一种检测装置。

背景技术

太阳能硅片生产中，大尺寸硅片需经划片分割为特定尺寸，为确保硅片品质，需对划片后硅片进行检测，以排除断面周围存在崩角、裂纹等缺陷的不良硅片。如图1所示，需要对硅片的断面101、与断面101相邻的上表面102、下表面103进行检测。

现有技术普遍采用皮带线连续输送硅片，使硅片依次经由三个检测工位，这三个检测的工位分别设置与断面101、上表面102和下表面103相对的相机，以分别获取断面101、上表面102和下表面103三处的影像，检测的效率较低，成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种检测装置，能够提高对硅片的检测效率，降低成本。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种检测装置，用于检测待测硅片的断面、上表面和下表面，包括：

机架和检测相机，所述检测相机设置于所述机架，且位于检测工位的一侧；

第一光源和第一反射组件，设置于所述机架，所述第一光源位于所述检测工位的上方，所述第一光源能够向位于所述检测工位处的所述待测硅片的上表面发射光线，所述第一反射组件被配置为将所述待测硅片的上表面反射的光线反射至所述检测相机；

第二光源和第二反射组件，设置于所述机架，所述第二光源位于所述检测工位的下方，所述第二光源能够向位于所述检测工位处的所述待测硅片的下表面发射光线，所述第二反射组件被配置为将所述待测硅片的下表面反射的光线反射至所述检测相机；及

第三光源和第三反射组件，设置于所述机架，所述第三光源位于所述检测工位的一侧，所述第三光源能够向位于所述检测工位处的所述待测硅片的断面发射光线，所述第三反射组件被配置为将所述待测硅片的断面反射的光线反射至所述检测相机。

可选地，所述第一反射组件包括第一固定结构和第一分光棱镜，所述第一固定结构连接于所述机架，所述第一分光棱镜设置于所述第一固定结构。

可选地，所述第一固定结构包括：

第一定位件，所述第一定位件包括两个相对设置的第一定位板、第二定位板以及连接所述第一定位板和所述第二定位板的第一连接体，所述第一定位板的侧壁开设有用于插设所述第一分光棱镜的第一定位槽，且所述第一定位槽朝向所述第二定位板，所述第二定位板上分别形成有与所述第一定位槽的槽底、底壁分别平齐的定位面；及

第一盖板，呈L形，所述第一盖板的一端连接于所述第二定位板，另一端与所述第一定位槽的槽底相对设置以夹紧所述第一分光棱镜。

可选地，所述第二反射组件包括第二固定结构和第二分光棱镜，所述第二固定结构连接于所述机架，所述第二分光棱镜设置于所述第二固定结构。

可选地，所述第二固定结构包括：

第二定位件，所述第二定位件包括两个相对设置的第二定位板、第二定位板以及连接所述第二定位板和所述第二定位板的第二连接体，所述第二定位板的侧壁开设有插设所述第二分光棱镜的第二定位槽，且所述第二定位槽朝向所述第二定位板，所述第二定位板上分别形成有与所述第二定位槽的槽底、底壁分别平齐的定位面；及

第二盖板，呈L形，所述第二盖板的一端连接于所述第二定位板，另一端与所述第二定位槽的槽底相对设置以夹紧所述第二分光棱镜。

可选地，所述第三反射组件包括第三固定结构和反射镜，所述第三固定结构固定于所述机架，所述反射镜设置于所述第三固定结构。

可选地，所述第三固定结构包括固定座，所述固定座位置可调地设置于所述机架，所述固定座上设置有卡槽，所述反射镜的一端卡接在所述卡槽内。

可选地，所述机架包括底座和设置于所述底座上的第一支撑组件、第二支撑组件、第三支撑组件，所述检测相机、所述第一光源和所述第二光源设置于所述第一支撑组件；所述第一反射组件、所述第二反射组件和所述第三反射组件设置于所述第二支撑组件；所述第三光源设置于所述第三支撑组件上。

可选地，所述第一支撑组件包括支撑座、第一安装板、第二安装板和支撑件，所述支撑座设置于所述底座顶部，所述第一安装板沿竖向位置可调地设置于所述支撑座，所述第二安装板沿水平方向位置可调地设置于所述第一安装板，所述检测相机设置于所述第二安装板，所述支撑件设置于所述第一安装板，所述第一反射组件、所述第二反射组件和所述第三反射组件分别设置于所述支撑件；

所述第二支撑组件包括第三安装板和第一安装座，所述第三安装板设置于所述底座，所述第一光源和所述第二光源分别通过一个所述第一安装座沿水平方向位置可调地连接于所述第三安装板；和/或

所述第三支撑组件包括支撑杆和第二安装座，所述支撑杆的底端连接于所述底座，所述第二安装座沿竖向、周向位置可调地连接于所述支撑杆，所述第三光源沿水平方向位置可调地连接于所述第二安装座。

可选地，还包括输送组件，设置于所述机架，所述输送组件用于将待检测的所述待测硅片输送至所述检测工位。

本实用新型的有益效果为：

使用本实用新型的检测装置对待测硅片进行检测时，将待测硅片放置于检测工位，通过第一光源向位于检测工位处的待测硅片的上表面发射光线，第一反射组件将待测硅片上表面反射的光线反射至检测相机，获取上表面的图像信息，从而能够对待测硅片的上表面进行检测；通过第二光源向位于检测工位处的待测硅片的下表面发射光线，第二反射组件将待测硅片下表面反射的光线反射至检测相机，获取下表面的图像信息，从而能够对待测硅片的下表面进行检测；通过第三光源向位于检测工位处的待测硅片的断面发射光线，第三反射组件将待测硅片断面反射的光线反射至检测相机，获取断面处的图像信息，从而可以通过一个检测相机获取断面、上表面和下表面的图像信息，无需将待测硅片依次输送至三个检测工位，能够提高对硅片的检测效率，降低成本。

附图说明

图1是待测硅片的侧视结构示意图；

图2是本实用新型具体实施方式提供的检测装置的第一视角的立体图；

图3是本实用新型具体实施方式提供的检测装置的第二视角的立体图；

图4是本实用新型具体实施方式提供的检测装置的第一反射组件、第二反射组件和第三反射组件的立体图；

图5是本实用新型具体实施方式提供的检测装置的第一反射组件、第二反射组件和第三反射组件的爆炸图。

图中：

101、断面；102、上表面；103、下表面；

1、机架；11、底座；12、第一支撑组件；121、支撑座；122、第一安装板；123、第二安装板；124、支撑件；13、第二支撑组件；131、第三安装板；132、第一安装座；14、第三支撑组件；141、支撑杆；142、第二安装座；

2、检测相机；

3、第一光源；

4、第一反射组件；41、第一固定结构；411、第一定位件；4111、第一定位板；41111、第一定位槽；4112、第二定位板；4113、第一连接体；412、第一盖板；42、第一分光棱镜；

5、第二光源；

6、第二反射组件；61、第二固定结构；62、第二分光棱镜；

7、第三光源；

8、第三反射组件；81、第三固定结构；811、固定座；82、反射镜。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。

除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图图1-图5并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

本实施例提供了一种检测装置，用于检测待测硅片的断面101、上表面102和下表面103，以排除断面101周围存在崩角、裂纹等缺陷的不良硅片。如图1-图2所示，检测装置包括机架1、检测相机2、第一光源3、第一反射组件4、第二光源5、第二反射组件6、第三光源7和第三反射组件8。检测相机2设置于机架1，且位于检测工位的一侧；第一光源3和第一反射组件4设置于机架1，第一光源3位于检测工位的上方，第一光源3能够向位于检测工位处的待测硅片的上表面102发射光线，第一反射组件4被配置为将待测硅片的上表面102反射的光线反射至检测相机2。第二光源5和第二反射组件6设置于机架1，第二光源5位于检测工位的下方，第二光源5能够向位于检测工位处的待测硅片的下表面103发射光线，第二反射组件6被配置为将待测硅片的下表面103反射的光线反射至检测相机2。第三光源7和第三反射组件8设置于机架1，第三光源7位于检测工位的一侧，第三光源7能够向位于检测工位处的待测硅片的断面101发射光线，第三反射组件8被配置为将待测硅片的断面101反射的光线反射至检测相机2。

对待测硅片进行检测时，将待测硅片放置于检测工位，通过第一光源3向位于检测工位处的待测硅片的上表面102发射光线，第一反射组件4将待测硅片上表面102反射的光线反射至检测相机2，获取上表面102的图像信息，从而能够对待测硅片的上表面102进行检测；通过第二光源5向位于检测工位处的待测硅片的下表面103发射光线，第二反射组件6将待测硅片下表面103反射的光线反射至检测相机2，获取下表面103的图像信息，从而能够对待测硅片的下表面103进行检测；通过第三光源7向位于检测工位处的待测硅片的断面101发射光线，第三反射组件8将待测硅片断面101反射的光线反射至检测相机2，获取断面101处的图像信息，从而可以通过一个检测相机2获取断面101、上表面102和下表面103的图像信息，无需将待测硅片依次输送至三个检测工位，能够提高对硅片的检测效率，降低成本。

为了避免受限于相机的视野而无法获取待检测硅片的待测表面完整的图像信息，本实施例中的检测装置还包括输送组件(未图示)，输送组件设置于机架1，输送组件用于将待检测的待测硅片输送至检测工位，从而可以使检测相机2连续拍照以获取待检测硅片的待测表面完整的图像信息。在不影响对待测硅片的待测表面的图像获取的情况下，输送组件可以为现有技术中的任一种，在此不进行限制。

如图2-图4所示，第一反射组件4包括第一固定结构41和第一分光棱镜42，第一固定结构41连接于机架1，第一分光棱镜42设置于第一固定结构41，以便于第一分光棱镜42的安装。

进一步地，第一固定结构41包括第一定位件411和第一盖板412，第一定位件411包括两个相对设置的第一定位板4111、第二定位板4112以及连接第一定位板4111和第二定位板4112的第一连接体4113，第一定位板4111的侧壁开设有用于插设第一分光棱镜42的第一定位槽41111，且第一定位槽41111朝向第二定位板4112，第二定位板4112上分别形成有与第一定位槽41111的槽底、底壁分别平齐的定位面。第一盖板412呈L形，第一盖板412的一端连接于第二定位板4112，另一端与第一定位槽41111的槽底相对设置以夹紧第一分光棱镜42。详细地，需要安装第一分光棱镜42时，将第一分光棱镜42插设在第一定位槽41111内，第一分光棱镜42的一侧通过第一定位槽41111的底壁支撑，另一侧通过第二定位板4112与第一定位槽41111的底壁平齐的支撑面支撑定位，并通过第一定位槽41111的槽底、顶壁和侧壁对第一分光棱镜42进行定位，将第一盖板412和第一定位件411连接后可以实现对第一分光棱镜42的夹紧。

第二反射组件6和第一反射组件4的结构相同，具体地，第二反射组件6包括第二固定结构61和第二分光棱镜62，第二固定结构61连接于机架1，第二分光棱镜62设置于第二固定结构61。

进一步地，第二固定结构61包括第二定位件和第二盖板。第二定位件包括两个相对设置的第二定位板4112、第二定位板4112以及连接第二定位板4112和第二定位板4112的第二连接体，第二定位板4112的侧壁开设有插设第二分光棱镜62的第二定位槽，且第二定位槽朝向第二定位板4112，第二定位板4112上分别形成有与第二定位槽的槽底、底壁分别平齐的定位面。第二盖板呈L形，第二盖板的一端连接于第二定位板4112，另一端与第二定位槽的槽底相对设置以夹紧第二分光棱镜62。

如图2、图4和图5所示，第三反射组件8包括第三固定结构81和反射镜82，第三固定结构81固定于机架1，反射镜82设置于第三固定结构81，以便于反射镜82的安装。

详细地，第三固定结构81包括固定座811，固定座811位置可调地设置于机架1，固定座811上设置有卡槽，反射镜82的一端卡接在卡槽内，进一步地，固定座811和反射镜82通过螺栓连接。

为了便于检测相机2、第一光源3、第二光源5、第一反射组件4、第二反射组件6和第三反射组件8的安装，如图2和图3所示，机架1包括底座11和设置于底座11上的第一支撑组件12、第二支撑组件13、第三支撑组件14，检测相机2、第一光源3和第二光源5设置于第一支撑组件12。第一反射组件4、第二反射组件6和第三反射组件8设置于第二支撑组件13。第三光源7设置于第三支撑组件14上。

本实施例中可选地，第一支撑组件12包括支撑座121、第一安装板122、第二安装板123和支撑件124，支撑座121设置于底座11顶部，第一安装板122沿竖向位置可调地设置于支撑座121，第二安装板123沿水平方向位置可调地设置于第一安装板122，检测相机2设置于第二安装板123，从而能够在竖向和水平方向调节检测相机2的位置。可选地，支撑座121上开设有竖向延伸的第一长槽，支撑座121、第一安装板122通过贯穿第一安装板122和第一长槽的螺栓连接，以实现第一安装板122相对支撑座121在竖直方向的位置调节。第二安装板123上开设有水平延伸的第二长槽，第二安装板123、第一安装板122通过贯穿第一安装板122和第二长槽的螺栓连接，以实现第二安装板123相对第一安装板122在水平方向的位置调节。支撑件124设置于第一安装板122，第一反射组件4、第二反射组件6和第三反射组件8分别设置于支撑件124，可以预先将第一反射组件4、第二反射组件6和第三反射组件8连接于支撑件124，再将支撑件124连接于第一安装板122，从而可以便于第一反射组件4、第二反射组件6和第三反射组件8的安装。

第二支撑组件13包括第三安装板131和第一安装座132，第三安装板131设置于底座11，第一光源3和第二光源5分别通过一个第一安装座132沿水平方向位置可调地连接于第三安装板131。详细地，第三安装板131上开设有沿水平方向延伸的第三长槽，第一安装座132、第三安装板131通过贯穿第一安装座132和第三长槽的螺栓连接，以实现第一安装座132相对第三安装板131在水平方向的位置调节。

第三支撑组件14包括支撑杆141和第二安装座142，支撑杆141的底端连接于底座11，第二安装座142沿竖向、周向位置可调地连接于支撑杆141，第三光源7沿水平方向位置可调地连接于第二安装座142，从而实现第三光源7在竖直方向和水平方向的位置调节。可选地，第二安装座142上开设有安装孔，第二安装座142通过安装孔套设在支撑杆141上，安装孔的一侧壁开设有开口，开口处的两侧壁通过螺栓连接，松开螺栓可以使第二安装座142沿支撑杆141滑动，拧紧螺栓可以使第二安装座142固定于支撑杆141。第二安装座142上开设有第四长槽，第二安装座142通过贯穿第四长槽并与第三光源7螺纹连接的螺栓连接。

以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理，而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式，这些方式都将落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种检测装置，用于检测待测硅片的断面(101)、上表面(102)和下表面(103)，其特征在于，包括：

机架(1)和检测相机(2)，所述检测相机(2)设置于所述机架(1)，且位于检测工位的一侧；

第一光源(3)和第一反射组件(4)，设置于所述机架(1)，所述第一光源(3)位于所述检测工位的上方，所述第一光源(3)能够向位于所述检测工位处的所述待测硅片的上表面(102)发射光线，所述第一反射组件(4)被配置为将所述待测硅片的上表面(102)反射的光线反射至所述检测相机(2)；

第二光源(5)和第二反射组件(6)，设置于所述机架(1)，所述第二光源(5)位于所述检测工位的下方，所述第二光源(5)能够向位于所述检测工位处的所述待测硅片的下表面(103)发射光线，所述第二反射组件(6)被配置为将所述待测硅片的下表面(103)反射的光线反射至所述检测相机(2)；及

第三光源(7)和第三反射组件(8)，设置于所述机架(1)，所述第三光源(7)位于所述检测工位的一侧，所述第三光源(7)能够向位于所述检测工位处的所述待测硅片的断面(101)发射光线，所述第三反射组件(8)被配置为将所述待测硅片的断面(101)反射的光线反射至所述检测相机(2)。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一反射组件(4)包括第一固定结构(41)和第一分光棱镜(42)，所述第一固定结构(41)连接于所述机架(1)，所述第一分光棱镜(42)设置于所述第一固定结构(41)。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述第一固定结构(41)包括：

第一定位件(411)，所述第一定位件(411)包括两个相对设置的第一定位板(4111)、第二定位板(4112)以及连接所述第一定位板(4111)和所述第二定位板(4112)的第一连接体(4113)，所述第一定位板(4111)的侧壁开设有用于插设所述第一分光棱镜(42)的第一定位槽(41111)，且所述第一定位槽(41111)朝向所述第二定位板(4112)，所述第二定位板(4112)上分别形成有与所述第一定位槽(41111)的槽底、底壁分别平齐的定位面；及

第一盖板(412)，呈L形，所述第一盖板(412)的一端连接于所述第二定位板(4112)，另一端与所述第一定位槽(41111)的槽底相对设置以夹紧所述第一分光棱镜(42)。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第二反射组件(6)包括第二固定结构(61)和第二分光棱镜(62)，所述第二固定结构(61)连接于所述机架(1)，所述第二分光棱镜(62)设置于所述第二固定结构(61)。

5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述第二固定结构(61)包括：

第二定位件，所述第二定位件包括两个相对设置的第二定位板(4112)、第二定位板(4112)以及连接所述第二定位板(4112)和所述第二定位板(4112)的第二连接体，所述第二定位板(4112)的侧壁开设有用于插设所述第二分光棱镜(62)的第二定位槽，且所述第二定位槽朝向所述第二定位板(4112)，所述第二定位板(4112)上分别形成有与所述第二定位槽的槽底、底壁分别平齐的定位面；及

第二盖板，呈L形，所述第二盖板的一端连接于所述第二定位板(4112)，另一端与所述第二定位槽的槽底相对设置以夹紧所述第二分光棱镜(62)。

6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第三反射组件(8)包括第三固定结构(81)和反射镜(82)，所述第三固定结构(81)固定于所述机架(1)，所述反射镜(82)设置于所述第三固定结构(81)。

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述第三固定结构(81)包括固定座(811)，所述固定座(811)位置可调地设置于所述机架(1)，所述固定座(811)上设置有卡槽，所述反射镜(82)的一端卡接在所述卡槽内。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述机架(1)包括底座(11)和设置于所述底座(11)上的第一支撑组件(12)、第二支撑组件(13)、第三支撑组件(14)，所述检测相机(2)、所述第一光源(3)和所述第二光源(5)设置于所述第一支撑组件(12)；所述第一反射组件(4)、所述第二反射组件(6)和所述第三反射组件(8)设置于所述第二支撑组件(13)；所述第三光源(7)设置于所述第三支撑组件(14)上。

9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述第一支撑组件(12)包括支撑座(121)、第一安装板(122)、第二安装板(123)和支撑件(124)，所述支撑座(121)设置于所述底座(11)顶部，所述第一安装板(122)沿竖向位置可调地设置于所述支撑座(121)，所述第二安装板(123)沿水平方向位置可调地设置于所述第一安装板(122)，所述检测相机(2)设置于所述第二安装板(123)，所述支撑件(124)设置于所述第一安装板(122)，所述第一反射组件(4)、所述第二反射组件(6)和所述第三反射组件(8)分别设置于所述支撑件(124)；

所述第二支撑组件(13)包括第三安装板(131)和第一安装座(132)，所述第三安装板(131)设置于所述底座(11)，所述第一光源(3)和所述第二光源(5)分别通过一个所述第一安装座(132)沿水平方向位置可调地连接于所述第三安装板(131)；和/或

所述第三支撑组件(14)包括支撑杆(141)和第二安装座(142)，所述支撑杆(141)的底端连接于所述底座(11)，所述第二安装座(142)沿竖向、周向位置可调地连接于所述支撑杆(141)，所述第三光源(7)沿水平方向位置可调地连接于所述第二安装座(142)。

10.根据权利要求1-7中任一项所述的检测装置，其特征在于，还包括输送组件，设置于所述机架(1)，所述输送组件用于将待检测的所述待测硅片输送至所述检测工位。

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