CN217156723U - 一种晶圆测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种晶圆测试装置，包括探针卡板，所述探针卡板上设置有多根探针主体，所述探针主体上均连接有连接柱，所述探针主体通过调节机构安装在所述探针卡板上，所述探针主体在所述调节机构的驱动下调整与所述探针卡板之间的夹角。本实用新型使探针小臂更接近晶圆PAD中心点，便于测试，且使探针小臂在晶圆测试中，与晶圆有更佳的接触效果，以及更长的使用长度。

Description

一种晶圆测试装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试领域，特别是涉及一种晶圆测试装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。晶圆通常采用探针卡进行测试，探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试：将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程。因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。

其测试过程中针尖极易沾黏焊垫或凸垫上的成份，使针尖与晶圆接触不良，导致测试良率的下降而引起不必要的损失，所以在测试过程中，需要针对探针卡进行研磨清针，在研磨清针的过程中就会使针长变短，加速探针报废。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种晶圆测试装置，以实现提高探针的使用寿命。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆测试装置，包括探针卡板，所述探针卡板上设置有多根探针主体，所述探针主体上均连接有连接柱，所述探针主体通过调节机构安装在所述探针卡板上，所述探针主体在所述调节机构的驱动下调整与所述探针卡板之间的夹角。

进一步的，所述调节机构包括设置在所述探针主体端部的从动齿轮，所述从动齿轮内部设置有安装轴，且所述安装轴通过安装块转动安装在所述探针卡板上，所述从动齿轮上啮合连接有驱动齿条，所述驱动齿条内部通过限位滑杆安装在所述安装块内部，所述驱动齿条上转动连接有调节螺栓，所述调节螺栓外壁与所述探针卡板内部螺纹连接。

进一步的，所述驱动齿条外侧设置有定位杆，所述定位杆靠近所述驱动齿条一端通过定位孔插接在所述驱动齿条内部，且所述定位孔设有多个，所述定位杆活动安装在所述安装块上，所述定位杆靠近所述驱动齿条一侧外壁上设置有限位块，所述定位杆外壁上套设有压缩弹簧，且所述压缩弹簧位于所述安装块内壁以及所述限位块之间。

进一步的，所述探针主体包括探针大臂，所述探针大臂远离所述从动齿轮的一端设置有探针小臂，所述探针大臂与所述探针小臂之间呈一定夹角，所述夹角范围为94°-98°。

进一步的，所述探针大臂与所述探针卡板之间呈一定夹角，所述夹角范围为8°-12°。

进一步的，所述探针卡板上设置有垫块，所述垫块内部通过安装槽与所述探针大臂外壁连接。

相比于现有技术，本实用新型至少具有以下有益效果：设置调节机构，通过转动调节螺栓使得驱动齿条滑动，带动从动齿轮转动，实现探针主体与探针卡板之间夹角的调节，使探针小臂更接近晶圆PAD中心点，便于测试；且减小探针大臂与探针小臂之间的夹角，增加探针小臂与晶圆之间的可调整的空间，且使探针小臂在晶圆测试中，与晶圆有更佳的接触效果，以及更长的使用长度。

附图说明

图1为本实用新型一个实施例中的整体结构示意图；

图2为本实用新型一个实施例中的外部结构示意图；

图3为本实用新型一个实施例中的调节机构内部结构示意图；

图4为本实用新型一个实施例中的探针主体外部结构示意图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的晶圆测试装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

如图1以及图2所示，本实用新型实施例提出了一种晶圆测试装置，包括探针卡板1，所述探针卡板1上设置有多根探针主体11，所述探针主体11上均连接有连接柱12，所述探针主体11通过调节机构2安装在所述探针卡板1上，所述探针主体11在所述调节机构2的驱动下调整与所述探针卡板1之间的夹角。通过调节机构2的设置，可调节探针主体11与探针卡板1之间的夹角，使得探针主体11在磨损后，通过调节夹角的方式，调节探针主体11与晶圆之间的距离，提高探针主体11的使用周期，降低测试成本；且使探针主体11更接近晶圆PAD中心点，便于测试。

以下列举所述晶圆测试装置的较优实施例，以清楚的说明本实用新型的内容，应当明确的是，本实用新型的内容并不限制于以下实施例，其他通过本领域普通技术人员的常规技术手段的改进亦在本实用新型的思想范围之内。

所述调节机构2包括设置在所述探针主体11端部的从动齿轮22，所述从动齿轮22内部设置有安装轴23，且所述安装轴23通过安装块21转动安装在所述探针卡板1上，所述从动齿轮22上啮合连接有驱动齿条24，所述驱动齿条24 内部通过限位滑杆25安装在所述安装块21内部，所述驱动齿条24上转动连接有调节螺栓26，所述调节螺栓26外壁与所述探针卡板1内部螺纹连接。在本实施方式中，在转动调节螺栓26时，利用螺纹原理，使调节螺栓26带动驱动齿条24沿限位滑杆25的长度方向移动，通过驱动齿条24带动与其啮合的从动齿轮22转动，实现探针主体11与探针卡板1之间角度的调节。

所述驱动齿条24外侧设置有定位杆27，所述定位杆27靠近所述驱动齿条 24一端通过定位孔插接在所述驱动齿条24内部，且所述定位孔设有多个，所述定位杆27活动安装在所述安装块21上，所述定位杆27靠近所述驱动齿条24 一侧外壁上设置有限位块，所述定位杆27外壁上套设有压缩弹簧28，且所述压缩弹簧28位于所述安装块21内壁以及所述限位块之间。在本实施方式中，定位杆27通过定位孔插接在驱动齿条24内，实现驱动齿条24的位置锁定，避免驱动齿条24发生位移，导致探针主体11与探针卡板1之间的夹角改变。

所述探针主体11包括探针大臂111，所述探针大臂111远离所述从动齿轮 22的一端设置有探针小臂112，所述探针大臂111与所述探针小臂112之间呈一定夹角，所述夹角范围为94°-98°。现有技术中，探针大臂111与探针小臂112 之间的夹角为101°-103°，在本实施方式中，设置探针大臂111与探针小臂112 之间夹角为94°-98°，减小夹角度数，增加探针小臂112与晶圆之间的可调整的空间，且使探针小臂112在晶圆测试中，与晶圆有更佳的接触效果，以及更长的使用长度；在一个较优的实施例中，探针大臂111与探针小臂112之间夹角为96°。

所述探针大臂111与所述探针卡板1之间呈一定夹角，所述夹角范围为 8°-12°。现有技术中，探针大臂111与探针卡板1之间普遍为平行设置，在本实施方式中，设置探针大臂111与探针卡板1之间夹角为8°-12°，使探针小臂112 更接近晶圆PAD中心点，便于测试；在一个较优的实施例中，探针大臂111与探针卡板1之间夹角为10°。

所述探针卡板1上设置有垫块，所述垫块内部通过安装槽与所述探针大臂 111外壁连接。在本实施方式中，设置垫块以实现对探针大臂111的保护，避免探针大臂111发生晃动，增加探针大臂111的稳定性。

综上所述，设置调节机构2，通过转动调节螺栓26使得驱动齿条24滑动，带动从动齿轮22转动，实现探针主体11与探针卡板1之间夹角的调节，使探针小臂112更接近晶圆PAD中心点，便于测试；且减小探针大臂111与探针小臂112之间的夹角，增加探针小臂112与晶圆之间的可调整的空间，且使探针小臂112在晶圆测试中，与晶圆有更佳的接触效果，以及更长的使用长度。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (4)

1.一种晶圆测试装置，其特征在于，包括探针卡板，所述探针卡板上设置有多根探针主体，所述探针主体上均连接有连接柱，所述探针主体通过调节机构安装在所述探针卡板上，所述探针主体在所述调节机构的驱动下调整与所述探针卡板之间的夹角；

所述调节机构包括设置在所述探针主体端部的从动齿轮，所述从动齿轮内部设置有安装轴，且所述安装轴通过安装块转动安装在所述探针卡板上，所述从动齿轮上啮合连接有驱动齿条，所述驱动齿条内部通过限位滑杆安装在所述安装块内部，所述驱动齿条上转动连接有调节螺栓，所述调节螺栓外壁与所述探针卡板内部螺纹连接；

所述驱动齿条外侧设置有定位杆，所述定位杆靠近所述驱动齿条一端通过定位孔插接在所述驱动齿条内部，且所述定位孔设有多个，所述定位杆活动安装在所述安装块上，所述定位杆靠近所述驱动齿条一侧外壁上设置有限位块，所述定位杆外壁上套设有压缩弹簧，且所述压缩弹簧位于所述安装块内壁以及所述限位块之间。

2.如权利要求1所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述探针主体包括探针大臂，所述探针大臂远离所述从动齿轮的一端设置有探针小臂，所述探针大臂与所述探针小臂之间呈一定夹角，所述夹角范围为94°-98°。

3.如权利要求2所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述探针大臂与所述探针卡板之间呈一定夹角，所述夹角范围为8°-12°。

4.如权利要求2所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述探针卡板上设置有垫块，所述垫块内部通过安装槽与所述探针大臂外壁连接。

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