CN217152222U - 一种应用于半导体低温泵氦气气缸 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵氦气气缸，包括：法兰盘、连接柱、连接管和气缸，所述气缸安装在连接管的上端，所述连接管的下端与连接柱一体成型，所述连接柱的末端与法兰盘连接，所述法兰盘的表面开设有通孔，所述通孔内安装有氦气管，所述氦气管的中段与气缸连接。本实用新型气缸的壳体内部设置降温流道，在氦气管内部流通氦气的时候，部分氦气通过导液管进入到降温流道内，再由降温流道上端重新回到氦气管中，对气缸起到降温效果，提高气缸的使用寿命。通过法兰盘来对气缸进行安装，安装完成后，通过限位槽来对连接柱底部的螺栓起到限位效果，避免其发生松动、滑脱现象。

Description

一种应用于半导体低温泵氦气气缸

技术领域

本实用新型涉及低温泵技术领域，更具体为一种应用于半导体低温泵氦气气缸。

背景技术

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

目前，现有的低温泵氦气气缸在使用过程中，受到环境影响，气缸表面温度升高，影响气缸的使用寿命，且在长时间的使用中，气缸安装座螺栓容易发生松动。为此，需要设计一个新的方案给予改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种应用于半导体低温泵氦气气缸，解决了现有的低温泵氦气气缸在使用过程中，受到环境影响，气缸表面温度升高，影响气缸的使用寿命，且在长时间的使用中，气缸安装座螺栓容易发生松动的问题，满足实际使用需求。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种应用于半导体低温泵氦气气缸，包括：法兰盘、连接柱、连接管和气缸，所述气缸安装在连接管的上端，所述连接管的下端与连接柱一体成型，所述连接柱的末端与法兰盘连接，所述法兰盘的表面开设有通孔，所述通孔内安装有氦气管，所述氦气管的中段与气缸连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述气缸上安装有活塞杆，所述活塞杆的上端安装有连接头，所述连接头的侧壁与氦气管的上端固定连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述气缸的壳体内部开设有降温流道，所述降温流道呈螺旋状且向气缸的壳体两端延伸，降温流道的两端分别连接有导液管，所述导液管的末端与氦气管连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述法兰盘的顶面和底面分别开设有限位槽，两个限位槽之间开设有连接孔且通过连接孔连通。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述连接柱的末端嵌入到法兰盘顶部的限位槽中且连接柱的底部开设有螺孔，所述螺孔的内部螺纹连接有螺栓，所述螺栓的螺栓头厚度小于限位槽的厚度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

(1)本实用新型，气缸的壳体内部设置降温流道，在氦气管内部流通氦气的时候，部分氦气通过导液管进入到降温流道内，再由降温流道上端重新回到氦气管中，对气缸起到降温效果，提高气缸的使用寿命。

(2)本实用新型，通过法兰盘来对气缸进行安装，安装完成后，通过限位槽来对连接柱底部的螺栓起到限位效果，避免其发生松动、滑脱现象。

附图说明

图1为本实用新型所述应用于半导体低温泵氦气气缸的结构图；

图2为本实用新型所述气缸的内部结构图；

图3为本实用新型所述法兰盘的截面图。

图中:1、法兰盘；2、连接柱；3、连接管；4、气缸；5、活塞杆；6、连接头；7、导管；8、降温流道；9、连接管；10、螺孔；11、螺栓；12、限位槽；13、连接孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种应用于半导体低温泵氦气气缸，包括：法兰盘1、连接柱2、连接管3和气缸4，气缸4安装在连接管3的上端，连接管3的下端与连接柱2一体成型，连接柱2的末端与法兰盘1连接，法兰盘1的表面开设有通孔，通孔内安装有氦气管7，氦气管7的中段与气缸4连接，氦气管7中流通的部分氦气进入到气缸4壳体内部，对气缸4进行降温。

进一步改进地，气缸4上安装有活塞杆5，活塞杆5的上端安装有连接头6，连接头6的侧壁与氦气管7的上端固定连接。

进一步改进地，气缸4的壳体内部开设有降温流道8，降温流道8呈螺旋状且向气缸4的壳体两端延伸，降温流道8的两端分别连接有导液管9，导液管9的末端与氦气管7连接，氦气进入到降温流道8中，对壳体进行降温。

进一步改进地，法兰盘1的顶面和底面分别开设有限位槽12，两个限位槽12之间开设有连接孔13且通过连接孔13连通。连接柱2的末端嵌入到法兰盘1顶部的限位槽12中且连接柱2的底部开设有螺孔10，螺孔10的内部螺纹连接有螺栓11，螺栓11的螺栓11头厚度小于限位槽12的厚度。法兰盘1与其他法兰或者台面连接后对限位槽12进行封闭，可以对螺栓11起到限位效果，避免螺栓11松动、滑脱。

本实用新型在使用时，气缸4的壳体内部设置降温流道8，在氦气管7内部流通氦气的时候，部分氦气通过导液管9进入到降温流道8内，再由降温流道8上端重新回到氦气管7中，对气缸4起到降温效果，提高气缸4的使用寿命。通过法兰盘1来对气缸4进行安装，安装完成后，通过限位槽12来对连接柱2底部的螺栓11起到限位效果，避免其发生松动、滑脱现象。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种应用于半导体低温泵氦气气缸，包括：法兰盘(1)、连接柱(2)、连接管(3)和气缸(4)，其特征在于：所述气缸(4)安装在连接管(3)的上端，所述连接管(3)的下端与连接柱(2)一体成型，所述连接柱(2)的末端与法兰盘(1)连接，所述法兰盘(1)的表面开设有通孔，所述通孔内安装有氦气管(7)，所述氦气管(7)的中段与气缸(4)连接。

2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵氦气气缸，其特征在于：所述气缸(4)上安装有活塞杆(5)，所述活塞杆(5)的上端安装有连接头(6)，所述连接头(6)的侧壁与氦气管(7)的上端固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵氦气气缸，其特征在于：所述气缸(4)的壳体内部开设有降温流道(8)，所述降温流道(8)呈螺旋状且向气缸(4)的壳体两端延伸，降温流道(8)的两端分别连接有导液管(9)，所述导液管(9)的末端与氦气管(7)连接。

4.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵氦气气缸，其特征在于：所述法兰盘(1)的顶面和底面分别开设有限位槽(12)，两个限位槽(12)之间开设有连接孔(13)且通过连接孔(13)连通。

5.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵氦气气缸，其特征在于：所述连接柱(2)的末端嵌入到法兰盘(1)顶部的限位槽(12)中且连接柱(2)的底部开设有螺孔(10)，所述螺孔(10)的内部螺纹连接有螺栓(11)，所述螺栓(11)的螺栓头厚度小于限位槽(12)的厚度。

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