CN218509664U - 一种应用于半导体低温泵隔热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵隔热装置，包括装置本体，装置本体包括隔热罩、进口管和隔热、隔冷垫层，进口管安装在隔热罩前端底部，隔热罩底部呈弧度状结构，隔热罩内部和顶部均为中空式结构，隔热、隔冷垫层安装在隔热罩内侧；隔热、隔冷垫层包括第一保温垫层、第二保温垫层和不锈钢板，第一保温垫层安装在第二保温垫层外侧，第二保温垫层安装在不锈钢板外侧，不锈钢板底部为弧度状结构，第一保温垫层和第二保温垫层内部均为中空式结构，第一保温垫层内填充有隔热陶瓷板，第二保温垫层内填充有隔热棉。该种装置可以十分便捷对低温泵内腔的温度进行保护，防止热流流失，进一步保证了低温泵运行的效果，从而提高了低温泵工作时的效率。

Description

一种应用于半导体低温泵隔热装置

技术领域

本实用新型涉及低温泵设备领域，具体为一种应用于半导体低温泵隔热装置。

背景技术

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

现有的低温泵设备有如下缺陷：

在半导体低温泵设备中，低温泵会出现极低温度(10K)，导致外腔体温度也跟着下降，从而导致冷气外泄，影响低温泵的效果，而现有低温泵却没有对外腔体进行隔热、隔冷的装置。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种应用于半导体低温泵隔热装置，解决了现有导致外腔体温度也跟着下降，从而导致冷气外泄，影响低温泵的效果，而现有低温泵没有对外腔体进行隔热、隔冷的装置的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种应用于半导体低温泵隔热装置，包括装置本体，所述装置本体包括隔热罩、进口管和隔热、隔冷垫层，所述进口管安装在隔热罩前端底部，所述隔热罩底部呈弧度状结构，所述隔热罩内部和顶部均为中空式结构，所述隔热、隔冷垫层安装在隔热罩内侧；

优选的，所述隔热、隔冷垫层包括第一保温垫层、第二保温垫层和不锈钢板，所述第一保温垫层安装在第二保温垫层外侧，所述第二保温垫层安装在不锈钢板外侧，所述不锈钢板底部为弧度状结构，所述第一保温垫层和第二保温垫层内部均为中空式结构，所述第一保温垫层内填充有隔热陶瓷板，所述第二保温垫层内填充有隔热棉。

优选的，所述进口管前端设有呈上下对称方式分布的上半管和下半管，所述上半管和下半管均呈半圆状结构且内部为贯通式结构，所述上半管和下半管之间含有间隙，所述上半管和下半管前端外侧均设有安装垫片，所述安装垫片呈半圆状结构，所述安装垫片表面开设有若干组呈弧度状分布的小固定孔。

优选的，所述隔热罩内部顶端设有两组呈环状等距方式分布的固定块，所述固定块呈矩形状结构，所述固定块顶部设有弧度凹槽，所述固定块内侧设有防滑垫。

优选的，所述隔热罩前端底部左右两端均开设有通气口。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种应用于半导体低温泵隔热装置。具备以下有益效果：

该种应用于半导体低温泵隔热装置可以有效地对低温泵外腔体进行包裹，从而该种应用于半导体低温泵隔热装置内的隔热罩就可对低温泵外腔体进行隔热和隔冷，防止低温泵外腔体内冷量流失，提高低温泵的制冷效果，而该种应用于半导体低温泵隔热装置内隔热罩内的隔热、隔冷垫片隔热、隔冷效果显著，可以大大对低温泵内腔体进行保温工作。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型整体底部的结构示意图；

图3为本实用新型隔热罩内部的结构示意图。

图中，1、装置本体；2、隔热罩；3、进口管；4、隔热、隔冷垫层；5、隔热棉；6、上半管；7、下半管；8、安装垫片；9、小固定孔；10、固定块； 11、防滑垫；12、弧度凹槽；13、通气口；14、第一保温垫层；15、第二保温垫层；16、不锈钢板；17、隔热陶瓷板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型实施例提供一种技术方案：一种应用于半导体低温泵隔热装置，包括装置本体1，所述装置本体1包括隔热罩2、进口管3 和隔热、隔冷垫层4，所述进口管3安装在隔热罩2前端底部，所述隔热罩2 底部呈弧度状结构，所述隔热罩2内部和顶部均为中空式结构，所述隔热、隔冷垫层4安装在隔热罩2内侧；

所述隔热、隔冷垫层4包括第一保温垫层14、第二保温垫层15和不锈钢板16，所述第一保温垫层14安装在第二保温垫层15外侧，所述第二保温垫层15安装在不锈钢板16外侧，所述不锈钢板16底部为弧度状结构，所述第一保温垫层14和第二保温垫层15内部均为中空式结构，所述第一保温垫层 14内填充有隔热陶瓷板17，所述第二保温垫层15内填充有隔热棉5，隔热、隔冷垫层4可以有效地对低温泵内腔进行保温，防止内腔的温度流失，进一步影响低温泵的效果，而该种隔热、隔冷垫层4垫层层次多，可以有效地提高保温效果。

所述进口管3前端设有呈上下对称方式分布的上半管6和下半管7，所述上半管6和下半管7均呈半圆状结构且内部为贯通式结构，所述上半管6和下半管7之间含有间隙，所述上半管6和下半管7前端外侧均设有安装垫片8，所述安装垫片8呈半圆状结构，所述安装垫片8表面开设有若干组呈弧度状分布的小固定孔9，工作人员可以通过连接管道插入进口管3内，从而通过对上半管6和下半管7之间进行扩张，从而适用于不同粗细的管道进行插入固定，而通过上半管6和下半管7进行回弹，进一步就可以对管道进行固定。

所述隔热罩2内部顶端设有两组呈环状等距方式分布的固定块10，所述固定块10呈矩形状结构，所述固定块10顶部设有弧度凹槽12，所述固定块 10内侧设有防滑垫11，固定块10是为了便于对低温泵进行卡住，防止低温泵出现移动的情况发生，而固定块10内侧的防滑垫11可以提高防滑效果。

所述隔热罩2前端底部左右两端均开设有通气口13，隔热罩2表面的通气口13便于连接的管道进行穿入，从而对低温泵内腔进行连接工作。

工作原理：作业时，工作人员把低温泵内腔放入隔热罩2内，从而隔热罩2内的固定块10是为了便于对低温泵进行卡住，防止低温泵出现移动的情况发生，而固定块10内侧的防滑垫11可以提高防滑效果，当低温泵内腔安装完成后，工作时，隔热罩2内的隔热、隔冷垫层4就可以有效地达到保温效果，防止热量的流时，而隔热、隔冷垫层4内的不锈钢板16可以对其他垫层进行保护，防止接触到水蒸气，而第二把我摁垫层15内的隔热棉5可以防止热量流失，进一步提高保温效果，而第一保温垫层14内的隔热陶瓷板17 耐寒性、受力弹性小、抗压力大、导热性能差、自重轻、摩擦系数小等优点，从而可以有效地达到隔热、保温的目的，进一步隔热陶瓷板17稳定性强，可以长时间使用，进一步提高了装置的使用寿命。

本实用新型的1、装置本体；2、隔热罩；3、进口管；4、隔热、隔冷垫层；5、隔热棉；6、上半管；7、下半管；8、安装垫片；9、小固定孔；10、固定块；11、防滑垫；12、弧度凹槽；13、通气口；14、第一保温垫层；15、第二保温垫层；16、不锈钢板；17、隔热陶瓷板，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是现有导致外腔体温度也跟着下降，从而导致冷气外泄，影响低温泵的效果，而现有低温泵没有对外腔体进行隔热、隔冷的装置的问题，本实用新型通过上述部件的互相组合，可以十分便捷对低温泵内腔的温度进行保护，防止热流流失，进一步保证了低温泵运行的效果，从而提高了低温泵工作时的效率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (4)

1.一种应用于半导体低温泵隔热装置，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括隔热罩(2)、进口管(3)和隔热、隔冷垫层(4)，所述进口管(3)安装在隔热罩(2)前端底部，所述隔热罩(2)底部呈弧度状结构，所述隔热罩(2)内部和顶部均为中空式结构，所述隔热、隔冷垫层(4)安装在隔热罩(2)内侧；

所述隔热、隔冷垫层(4)包括第一保温垫层(14)、第二保温垫层(15)和不锈钢板(16)，所述第一保温垫层(14)安装在第二保温垫层(15)外侧，所述第二保温垫层(15)安装在不锈钢板(16)外侧，所述不锈钢板(16)底部为弧度状结构，所述第一保温垫层(14)和第二保温垫层(15)内部均为中空式结构，所述第一保温垫层(14)内填充有隔热陶瓷板(17)，所述第二保温垫层(15)内填充有隔热棉(5)。

2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵隔热装置，其特征在于：所述进口管(3)前端设有呈上下对称方式分布的上半管(6)和下半管(7)，所述上半管(6)和下半管(7)均呈半圆状结构且内部为贯通式结构，所述上半管(6)和下半管(7)之间含有间隙，所述上半管(6)和下半管(7)前端外侧均设有安装垫片(8)，所述安装垫片(8)呈半圆状结构，所述安装垫片(8)表面开设有若干组呈弧度状分布的小固定孔(9)。

3.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵隔热装置，其特征在于：所述隔热罩(2)内部顶端设有两组呈环状等距方式分布的固定块(10)，所述固定块(10)呈矩形状结构，所述固定块(10)顶部设有弧度凹槽(12)，所述固定块(10)内侧设有防滑垫(11)。

4.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵隔热装置，其特征在于：所述隔热罩(2)前端底部左右两端均开设有通气口(13)。

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