CN217141462U - 一种水流自动控制清洗样片的夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种水流自动控制清洗样片的夹具，属于清洗设备技术领域，其技术方案要点包括酸洗槽，所述酸洗槽的左右两侧分别设置有左盛水槽和右盛水槽，所述左盛水槽和右盛水槽的底部分别设置有左水洗槽和右水洗槽，所述左盛水槽和右盛水槽的顶部分别连接有左进水管和右进水管。本实用新型通过左盛水槽和右盛水槽对水进行收集，左盛水槽和右盛水槽内部的水通过管道流入到酸洗槽中，对花篮进行冲击，带动花篮实现一定频率的摆动，摆动频率相对固定，硅片表面清洗质量均匀，差异小，同时，不需要人为摆动，减少对人体伤害，然后对酸洗后的样片进行水洗，将花篮在移动到水洗槽中进行清洗即可，整体材料全部采用聚四氟乙烯材料，避免腐蚀。

Description

一种水流自动控制清洗样片的夹具

技术领域

本实用新型涉及清洗设备技术领域，特别涉及一种水流自动控制清洗样片的夹具。

背景技术

随着集成电路的发展，对单晶品质要求越来越高，单晶中的氧碳含量、缺陷直接会影响器件的性能，为保证单晶品质，需要每根单晶头尾取样测试单晶的氧碳含量及缺陷，样片表面的清洗质量直接影响测试的准确性；测试不准确导致异常单晶流出会造成后道制程过程硅片报废，或者制造出来的器件性能低劣，稳定性和可靠性很差。

目前清洗样片需要将样片放入花篮中先经过酸洗再通过水洗，由于人工摆动花篮频率波动大，酸洗时样片表面会产生过多热量，硅片表面出现橘皮、酸印记等，导致样片表面清洗质量差，影响氧碳含量及缺陷检验准确性，人工摆动酸洗花篮存在安全风险高，容易造成人体伤害。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提出一种水流自动控制清洗样片的夹具来解决上述问题。

本实用新型是这样实现的，一种水流自动控制清洗样片的夹具，包括酸洗槽，所述酸洗槽的左右两侧分别设置有左盛水槽和右盛水槽，所述左盛水槽和右盛水槽的底部分别设置有左水洗槽和右水洗槽，所述左盛水槽和右盛水槽的顶部分别连接有左进水管和右进水管。

为了对水进行收集，作为本实用新型的一种水流自动控制清洗样片的夹具优选的，所述左盛水槽和右盛水槽的顶部通过管道与酸洗槽相互连接，所述管道延伸至酸洗槽的内部，通过左盛水槽和右盛水槽对水进行收集，左盛水槽和右盛水槽内部的水通过管道流入到酸洗槽中，对花篮进行冲击，带动花篮实现一定频率的摆动，摆动频率相对固定，硅片表面清洗质量均匀，差异小，同时，不需要人为摆动，减少对人体伤害。

为了将水排入到左水洗槽，作为本实用新型的一种水流自动控制清洗样片的夹具优选的，所述左盛水槽的底部设置有左排水口，所述左排水口延伸至左水洗槽的内部，当左盛水槽内部的水过多时，通过左排水口将水排入到左水洗槽内部，对酸洗后的样片进行水洗，左排水口上设置有阀门。

为了将水排入到右水洗槽，作为本实用新型的一种水流自动控制清洗样片的夹具优选的，所述右盛水槽的底部设置有右排水口，所述右排水口延伸至右水洗槽的内部，当右盛水槽内部的水过多时，通过右排水口将水排入到右水洗槽内部，对酸洗后的样片进行水洗，右排水口上设置有阀门。

为了对进水管的进水进行控制，作为本实用新型的一种水流自动控制清洗样片的夹具优选的，所述左进水管和右进水管上均设置有电磁阀，电磁阀连接外接的控制设备，通过控制电磁阀的开闭及开闭大小，从而对水压控制，成本低且结构简单。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该种水流自动控制清洗样片的夹具，通过左盛水槽和右盛水槽对水进行收集，左盛水槽和右盛水槽内部的水通过管道流入到酸洗槽中，对花篮进行冲击，带动花篮实现一定频率的摆动，摆动频率相对固定，硅片表面清洗质量均匀，差异小，同时，不需要人为摆动，减少对人体伤害，然后对酸洗后的样片进行水洗，将花篮在移动到水洗槽中进行清洗即可，整体材料全部采用聚四氟乙烯材料，避免腐蚀。

附图说明

图1为本实用新型的一种水流自动控制清洗样片的夹具结构图。

图中：1、左盛水槽；2、右盛水槽；3、左排水口；4、右排水口；5、左进水管；6、右进水管；7、左水洗槽；8、右水洗槽；9、花篮；10、酸洗槽。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1，一种水流自动控制清洗样片的夹具，包括左盛水槽1、右盛水槽2、左排水口3、右排水口4、左进水管5、右进水管6、左水洗槽7、右水洗槽8、花篮9、酸洗槽10，酸洗槽10的左右两侧分别设置有左盛水槽1和右盛水槽2，左盛水槽1和右盛水槽2的底部分别设置有左水洗槽7和右水洗槽8，左盛水槽1和右盛水槽2的顶部分别连接有左进水管5和右进水管6。

作为本实用新型的一种技术优化方案，左盛水槽1和右盛水槽2的顶部通过管道与酸洗槽10相互连接，管道延伸至酸洗槽10的内部。

本实施例中：通过左盛水槽1和右盛水槽2对水进行收集，左盛水槽1和右盛水槽2内部的水通过管道流入到酸洗槽10中，对花篮9进行冲击，带动花篮9实现一定频率的摆动，摆动频率相对固定，硅片表面清洗质量均匀，差异小，同时，不需要人为摆动，减少对人体伤害。

作为本实用新型的一种技术优化方案，左盛水槽1的底部设置有左排水口3，左排水口3延伸至左水洗槽7的内部。

本实施例中：当左盛水槽1内部的水过多时，通过左排水口3将水排入到左水洗槽7内部，对酸洗后的样片进行水洗，左排水口3上设置有阀门。

作为本实用新型的一种技术优化方案，右盛水槽2的底部设置有右排水口4，右排水口4延伸至右水洗槽8的内部。

本实施例中：当右盛水槽2内部的水过多时，通过右排水口4将水排入到右水洗槽8内部，对酸洗后的样片进行水洗，右排水口4上设置有阀门。

作为本实用新型的一种技术优化方案，左进水管5和右进水管6上均设置有电磁阀，电磁阀连接外接的控制设备。

本实施例中：通过控制电磁阀的开闭及开闭大小，从而对水压控制，成本低且结构简单。

本实用新型的工作原理及使用流程：使用时，通过左盛水槽1和右盛水槽2对水进行收集，左盛水槽1和右盛水槽2内部的水通过管道流入到酸洗槽10中，对花篮9进行冲击，带动花篮9实现一定频率的摆动，摆动频率相对固定，硅片表面清洗质量均匀，差异小，同时，不需要人为摆动，减少对人体伤害，然后对酸洗后的样片进行水洗，将花篮9在移动到水洗槽中进行清洗即可，整体材料全部采用聚四氟乙烯材料，避免腐蚀。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种水流自动控制清洗样片的夹具，包括酸洗槽(10)，其特征在于：所述酸洗槽(10)的左右两侧分别设置有左盛水槽(1)和右盛水槽(2)，所述左盛水槽(1)和右盛水槽(2)的底部分别设置有左水洗槽(7)和右水洗槽(8)，所述左盛水槽(1)和右盛水槽(2)的顶部分别连接有左进水管(5)和右进水管(6)。

2.根据权利要求1所述的一种水流自动控制清洗样片的夹具，其特征在于：所述左盛水槽(1)和右盛水槽(2)的顶部通过管道与酸洗槽(10)相互连接，所述管道延伸至酸洗槽(10)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种水流自动控制清洗样片的夹具，其特征在于：所述左盛水槽(1)的底部设置有左排水口(3)，所述左排水口(3)延伸至左水洗槽(7)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种水流自动控制清洗样片的夹具，其特征在于：所述右盛水槽(2)的底部设置有右排水口(4)，所述右排水口(4)延伸至右水洗槽(8)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种水流自动控制清洗样片的夹具，其特征在于：所述左进水管(5)和右进水管(6)上均设置有电磁阀。

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