CN217116429U - 一种用于单晶炉的拼接式底加热器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于单晶炉的拼接式底加热器，涉及单晶硅制造技术领域，其可至少部分解决现有技术中由于底加热器一体化设计，导致不能单独更换部件，使用成本高昂的问题，本实用新型实施例的一种用于单晶炉的拼接式底加热器，包括发热条和脚板，所述发热条与脚板可拆卸连接。

Description

一种用于单晶炉的拼接式底加热器

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制造技术领域，具体涉及一种用于单晶炉的拼接式底加热器。

背景技术

低成本、高品质的单晶硅片是单晶硅制造企业的核心竞争力。为进一步降低成本，大尺寸热场及大尺寸硅片应运而生，但大热场随之带来了热场石墨件成本高的问题。单晶炉热场石墨件中影响成本的主要是大尺寸的加工成本和大尺寸部件易损坏两个方面，其中单晶炉热场中的底加热器由于结构问题导致损坏较多。

如图1和图2，目前单晶炉热场中使用的底加热器为一体式结构，一体式结构的底加热器与电极的连接位置处易损坏，与电极的连接位置处易损坏一旦有某个位置损坏就无法使用，只能更换，由于一体式结构单个成本高，因此，目前的一体式结构的底加热器使用成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的是一种用于单晶炉的拼接式底加热器，用于解决现有技术中底加热器一旦有部分位置损坏就导致整个底加热器无法使用，使用成本高昂的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：一种用于单晶炉的拼接式底加热器，包括发热条和脚板，所述发热条与脚板可拆卸连接。

可选的，所述发热条包括第一发热条和第二发热条，所述脚板包括第一脚板和第二脚板；

第一发热条的两端分别和第一脚板、第二脚板可拆卸连接，第二发热条的两端分别和第一脚板、第二脚板可拆卸连接。

可选的，所述第一发热条和所述第二发热条的结构相同，第一发热条和第二大热条均包括位于中间的发热部和位于发热部两侧的搭接部；

所述第一脚板和所述第二脚板的结构相同，第一脚板和第二脚板均包括位于中间的电极连接部和位于电极连接部两侧的承接部；

第一发热条和第二发热条的搭接部均分别搭接在第一脚板和第二脚板的承接部上。

可选的，所述第一脚板和第二脚板分别位于所述第一发热条和第二发热条的发热部的两侧，且第一脚板和第二脚板反向设置，第一发热条和第二发热条反向设置；

第一发热条和第二发热条的搭接部均包括A型搭接部和B型搭接部，第一脚板和第二脚板的承接部均包括A型承接部和B型承接部，A型搭接部与A型承接部相适配，B型搭接部与B型承接部相适配；

第一发热条的A型搭接部搭接在第一脚板的A型承接部上，第一发热条的B型搭接部搭接在第二脚板的B型承接部上；

第二发热条的A型搭接部搭接在第二脚板的A型承接部上，第二发热条的B型搭接部搭接在第一脚板的B型搭接部上。

可选的，还包括有石墨紧固件，所述第一发热条、所述第二发热条、所述第一脚板和所述第二脚板的材料均为石墨；

所述第一发热条和第二发热条的A型搭接部和B型搭接部均通过石墨紧固件分别搭接在第一脚板和第二脚板的A型承接部和B型承接部上。

可选的，所述石墨紧固件为石墨紧固螺栓，所述第一脚板和第二脚板的A型承接部、B型承接部上均设有螺纹孔，所述第一发热条和第二发热条的A型搭接部、B型搭接部均通过石墨紧固螺栓与第一脚板和第二脚板的A型承接部和B型承接部搭接。

可选的，所述第一脚板和第二脚板的电极连接部均设有用于加强结构强度的凸台。

可选的，还包括有电极连接点，电极连接点包括正极连接点、负极连接点，正极连接点、负极连接点分别设于第一脚板和第二脚板的凸台上，凸台底部设有用于降低吸附氧化面积的沉孔结构。

可选的，所述沉孔结构为圆形沉孔。

本实用新型具有的有益效果：

本实用新型的一种拼接式底加热器，包括发热条和脚板，所述发热条与脚板可拆卸连接。

其效果有：现有的技术中，一般脚板和发热条为一体化设计，但是一般易损坏的电极连接点设置于脚板上，本实用新型的脚板和发热条可拆卸连接，可以使得电极连接点或发热条损坏时，可以单独将脚板拆卸下来，更换脚板或发热条，避免了底加热器的整体更换，提高底加热器的使用寿命，降低使用成本。

附图说明

图1为本实用新型现有技术的俯视示意图；

图2为图2中A-A的剖视示意图；

图3为本实用新型的俯视示意图；

图4为图3中B-B的剖视示意图；

图5为本实用新型第二脚板的立体结构示意图。

附图标记：1-第一脚板，2-第二脚板，3-第一发热条，4-第二发热条，5-发热部，6-搭接部，7-正极连接点，8-负极连接点，9-石墨连接螺栓，10-承接部，11-凸台，12-沉孔结构，13-螺纹孔。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖向”、“纵向”、“侧向”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“开有”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面通过参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型：

如图3和图4，一种用于单晶炉的拼接式底加热器，包括发热条和脚板，所述发热条与脚板可拆卸连接。

现有的技术中，一般脚板和发热条为一体化设计，但是一般易损坏的电极连接点设置于脚板上，本实用新型的脚板和发热条可拆卸连接，可以使得电极连接点或发热条损坏时，可以单独将脚板拆卸下来，更换脚板或发热条，避免了底加热器的整体更换，从而降低使用成本。

具体的，所述发热条包括第一发热条3和第二发热条4，所述脚板包括第一脚板1和第二脚板2；

第一发热条3的两端分别和第一脚板1、第二脚板2可拆卸连接，第二发热条4的两端分别和第一脚板1、第二脚板2可拆卸连接。

本实施例中，底加热器四个容易损坏的部分通过可拆卸的方式连接，其中任何一个部分损坏均可单独进行更换，从而提高底加热器的综合利用效率，降低使用成本。

具体的，所述第一发热条3和所述第二发热条4的结构相同，第一发热条3和第二大热条均包括位于中间的发热部5和位于发热部5两侧的搭接部6；

所述第一脚板1和所述第二脚板2的结构相同，第一脚板1和第二脚板2均包括位于中间的电极连接部和位于电极连接部两侧的承接部10，

第一发热条3和第二发热条4的搭接部6均分别搭接在第一脚板1和第二脚板2的承接部10上。

具体的，所述第一脚板1和第二脚板2分别位于所述第一发热条3和第二发热条4的发热部5的两侧，且第一脚板1和第二脚板2反向设置，第一发热条3和第二发热条4反向设置；

第一发热条3和第二发热条4的搭接部6均包括A型搭接部和B型搭接部，第一脚板1和第二脚板2的承接部10均包括A型承接部和B型承接部，A型搭接部与A型承接部相适配，B型搭接部与B型承接部相适配；

第一发热条3的A型搭接部搭接在第一脚板1的A型承接部上，第一发热条3的B型搭接部搭接在第二脚板2的B型承接部上；

第二发热条4的A型搭接部搭接在第二脚板2的A型承接部上，第二发热条4的B型搭接部搭接在第一脚板1的B型搭接部上。

本实施例中，如图3，第一脚板1和第二脚板2分别位于底加热器的左侧和右侧，且第一脚板1和第二脚板2呈相反的方向设置，因此，第一脚板1和第二脚板2的A型承接部和B型承接部呈相反的方向设置。第一脚板1的A型承接部和B型承接部分别位于底加热器的下侧和上侧，第二脚板2的A型承接部和B型承接部分别位于底加热器的上侧和下侧。

第一发热条3和第二发热条4分别位于底加热器的上侧和下侧，且第一发热条3和第二发热条4分别呈相反的方向设置，因此，第一发热条3和第二发热条4的A型搭接部和B型搭接部呈相反的方向设置，第一发热条3的A型搭接部和B型搭接部分别位于底加热器的左侧和右侧，第二发热条4的A型搭接部和搭接部端分别位于底加热器的右侧和左侧。

具体的，还包括有石墨紧固件，所述第一发热条3、所述第二发热条4、所述第一脚板1和所述第二脚板2的材料均为石墨；

所述第一发热条3的A型搭接部和B型搭接部和第二发热条4的A型搭接部和B型搭接部均通过石墨紧固件分别搭接在第一脚板1和第二脚板2的A型承接部和B型承接部上。

具体的，所述石墨紧固件为石墨紧固螺栓，所述第一脚板1和第二脚板2的A型承接部、B型承接部上均设有螺纹孔13，所述第一发热条3和第二发热条4的A型搭接部、B型搭接部均通过石墨紧固螺栓与第一脚板1和第二脚板2的A型承接部和B型承接部搭接。

具体的，如图5，所述第一脚板1和第二脚板2的电极连接部均设有用于加强结构强度的凸台11。本实施例中，第一脚板1和第二脚板2底部的凸台11均为矩形凸台11。

具体的，还包括有电极连接点，电极连接点包括正极连接点7、负极连接点8，正极连接点7、负极连接点8分别设于第一脚板1和第二脚板2的凸台11上，凸台11底部设有用于降低吸附氧化面积的沉孔结构12。

具体的，所述沉孔结构12为圆形沉孔。本实施例中，第一脚板1和第二脚板2底部的沉孔结构12均为圆形的沉孔结构12。

本实施例中，发热条包括第一发热条3和第二发热条4，因此，对于同样的发热面积来说，可以使用尺寸较小的石墨材料进行加工，从而降低本实施例中底加热器的生产成本。

其次，在长期的使用后，底加热器的某个位置损坏后，由于本实施例中的脚板和发热条为可拆卸的结构，因此，可以单独的更换损坏掉的部分，从而提高底加热器的使用寿命，降低使用成本。

同时，由于本实施例中的第一脚板1和第二脚板2底部均设有凸台11结构，可以提高第一脚板1和第二脚板2的结构强度，有利于提高本实施例的使用寿命，凸台11底部具有沉孔结构12设计，可以有效减少接触面被氧化腐蚀，进一步提升底加热器使用寿命.

综上所述，本实施例中采用的可拆卸式的设计替代现有技术中一体化的结构设计，在满足同样功能效果的情况下，具有降低生产成本、提高使用寿命，降低使用成本的优势。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变形和改进，这些变形和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种用于单晶炉的拼接式底加热器，包括发热条和脚板，其特征在于，所述发热条与脚板可拆卸连接；

所述发热条包括第一发热条(3)和第二发热条(4)，所述脚板包括第一脚板(1)和第二脚板(2)；

第一发热条(3)的两端分别和第一脚板(1)、第二脚板(2)可拆卸连接，第二发热条(4)的两端分别和第一脚板(1)、第二脚板(2)可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的拼接式底加热器，其特征在于，所述第一发热条(3)和所述第二发热条(4)的结构相同，第一发热条(3)和第二大热条均包括位于中间的发热部(5)和位于发热部(5)两侧的搭接部(6)；

所述第一脚板(1)和所述第二脚板(2)的结构相同，第一脚板(1)和第二脚板(2)均包括位于中间的电极连接部和位于电极连接部两侧的承接部(10)；

第一发热条(3)和第二发热条(4)的搭接部(6)均分别搭接在第一脚板(1)和第二脚板(2)的承接部(10)上。

3.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉的拼接式底加热器，其特征在于，所述第一脚板(1)和第二脚板(2)分别位于所述第一发热条(3)和第二发热条(4)的发热部(5)的两侧，且第一脚板(1)和第二脚板(2)反向设置，第一发热条(3)和第二发热条(4)反向设置；

第一发热条(3)和第二发热条(4)的搭接部(6)均包括A型搭接部和B型搭接部，第一脚板(1)和第二脚板(2)的承接部(10)均包括A型承接部和B型承接部，A型搭接部与A型承接部相适配，B型搭接部与B型承接部相适配；

第一发热条(3)的A型搭接部搭接在第一脚板(1)的A型承接部上，第一发热条(3)的B型搭接部搭接在第二脚板(2)的B型承接部上；

第二发热条(4)的A型搭接部搭接在第二脚板(2)的A型承接部上，第二发热条(4)的B型搭接部搭接在第一脚板(1)的B型搭接部上。

4.根据权利要求3所述的一种用于单晶炉的拼接式底加热器，其特征在于，还包括有石墨紧固件，所述第一发热条(3)、所述第二发热条(4)、所述第一脚板(1)和所述第二脚板(2)的材料均为石墨；

所述第一发热条(3)和第二发热条(4)的A型搭接部、B型搭接部均通过石墨紧固件分别搭接在第一脚板(1)和第二脚板(2)的A型承接部和B型承接部上。

5.根据权利要求4所述的一种用于单晶炉的拼接式底加热器，其特征在于，所述石墨紧固件为石墨紧固螺栓，所述第一脚板(1)和第二脚板(2)的A型承接部、B型承接部上均设有螺纹孔(13)，所述第一发热条(3)和第二发热条(4)的A型搭接部、B型搭接部均通过石墨紧固螺栓与第一脚板(1)和第二脚板(2)的A型承接部、B型承接部搭接固定。

6.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的拼接式底加热器，其特征在于，所述第一脚板(1)和第二脚板(2)的电极连接部均设有用于加强结构强度的凸台(11)。

7.根据权利要求6所述的一种用于单晶炉的拼接式底加热器，其特征在于，还包括有电极连接点，电极连接点包括正极连接点(7)、负极连接点(8)，正极连接点(7)、负极连接点(8)分别设于第一脚板(1)和第二脚板(2)的凸台(11)上，凸台(11)底部设有用于降低吸附氧化面积的沉孔结构(12)。

8.根据权利要求7所述的一种用于单晶炉的拼接式底加热器，其特征在于，所述沉孔结构(12)为圆形沉孔。

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