CN217112032U - 测量硅片碳、氧含量的辅助工装 - Google Patents

Abstract

一种测量硅片碳、氧含量的辅助工装，包括测量装置、夹持固定装置，测量装置包括底板、第一侧板、第二侧板，第一侧板、第二侧板对向固定设置在底板的两端，第一侧板上设置有激光发射源，第二侧板上设置有激光接收点，底板上固定设置有立板，立板位于第一侧板、第二侧板之间的中间位置，立板的上部开设有圆孔，使激光发射源产生的光线能够穿过，夹持固定装置设置在立板与第二侧板之间；在使用时，通过将需要测量的硅片固定在夹持固定装置上，根据硅片的大小规格不同，通过移动夹持固定装置的位置，以及调整夹持固定装置的高度，使需要测量的硅片能够处于较佳的测量位置，从而实现对不同规格大小的硅片的快速测量，大大提高了测量效率。

Description

测量硅片碳、氧含量的辅助工装

技术领域

本实用新型涉及硅片检测技术领域，尤其涉及一种测量硅片碳、氧含量的辅助工装。

背景技术

现有技术中，利用激光测量仪器测量硅片时，对于6寸以下硅片进行测量时，零件距离激光中心测量高度较高，不利于测量，以至于工作效率低，测量过程中不便于操作。

发明内容

为解决上述技术中存在的技术问题，鉴于此，有必要提供一种测量硅片碳、氧含量的辅助工装。

一种测量硅片碳、氧含量的辅助工装，包括测量装置、夹持固定装置，所述测量装置包括底板、第一侧板、第二侧板，所述第一侧板、第二侧板对向固定设置在底板的两端，所述第一侧板上设置有激光发射源，所述第二侧板上设置有激光接收点，所述底板上固定设置有立板，所述立板位于第一侧板、第二侧板之间的中间位置，所述立板的上部开设有圆孔，使激光发射源产生的光线能够穿过，所述夹持固定装置设置在立板与第二侧板之间，夹持固定装置用于夹持需要测量的硅片，并能够根据硅片的尺寸，调整硅片的位置。

优选的，所述夹持固定装置包括底座、高度调节杆、夹持部件，所述底座设置在底板上，底座能够沿底板的短边方向移动，所述高度调节杆的下部与底座相连接，高度调节杆的上端与夹持部件固定连接，调整高度调节杆，能够调整夹持部件距离底板的高度，所述夹持部件用于固定需要测量的硅片。

优选的，所述高度调节杆的下部与底座螺纹连接。

优选的，所述底座与底板滑动连接。

优选的，所述夹持部件包括基板、第一夹板、第二夹板、锁定调节杆，所述基板固定设置在高度调节杆的上端，所述第一夹板固定在基板上部表面的一侧，且第一夹板沿基板的长边方向设置，所述第二夹板设置设置在基板的上部表面，第二夹板与第一夹板对向平行设置，第二夹板与基板的上部表面滑动连接，所述锁定调节杆依次贯穿第一夹板及第二夹板，调整锁定调节杆，能够使锁定调节杆带动第二夹板向第一夹板移动。

优选的，所述锁定调节杆的端部与第一夹板转动连接，锁定调节杆远离端部的部位与第二夹板螺纹连接。

优选的，所述第二夹板上设置有可供锁定调节杆穿过的连接孔，所述连接孔与锁定调节杆螺纹连接。

优选的，所述底座的上部设置有可供高度调节杆的下部穿过的导向孔，所述导向孔与高度调节杆的下部螺纹连接。

由上述技术方案可知，本实用新型提供的测量硅片碳、氧含量的辅助工装，包括测量装置、夹持固定装置，测量装置包括底板、第一侧板、第二侧板，第一侧板、第二侧板对向固定设置在底板的两端，第一侧板上设置有激光发射源，第二侧板上设置有激光接收点，底板上固定设置有立板，立板位于第一侧板、第二侧板之间的中间位置，立板的上部开设有圆孔，使激光发射源产生的光线能够穿过，夹持固定装置设置在立板与第二侧板之间；夹持固定装置用于夹持需要测量的硅片，并能够根据硅片的尺寸，调整硅片的位置；本实用新型在使用时，通过将需要测量的硅片固定在夹持固定装置上，根据硅片的大小规格不同，通过移动夹持固定装置的位置，以及调整夹持固定装置的高度，使需要测量的硅片能够处于较佳的测量位置，从而实现对不同规格大小的硅片的快速测量，大大提高了测量效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为图1另一角度的结构示意图。

图3为本实用新型夹持固定装置的结构示意图。

图4为本实用新型底座的结构示意图。

图5为本实用新型夹持部件的结构示意图。

图中：测量装置01、底板11、第一侧板12、激光发射源121、第二侧板13、激光接收点131、夹持固定装置02、底座21、导向孔211、高度调节杆22、夹持部件23、基板231、第一夹板232、第二夹板233、连接孔2331、锁定调节杆234、立板03、圆孔31、硅片04。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”、“下”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参看图1至图5，本实用新型实施例提供了一种测量硅片碳、氧含量的辅助工装，包括测量装置01、夹持固定装置02，测量装置01包括底板11、第一侧板12、第二侧板13，第一侧板12、第二侧板13对向固定设置在底板11的两端，第一侧板12上设置有激光发射源121，第二侧板13上设置有激光接收点131，底板11上固定设置有立板03，立板03位于第一侧板12、第二侧板13之间的中间位置，立板03的上部开设有圆孔31，使激光发射源121产生的光线能够穿过，夹持固定装置02设置在立板03与第二侧板13之间，夹持固定装置02用于夹持需要测量的硅片04，并能够根据硅片04的尺寸，调整硅片04的位置。在使用时，通过将需要测量的硅片04固定在夹持固定装置02上，根据硅片04的大小规格不同，通过移动夹持固定装置02的位置，以及调整夹持固定装置02的高度，使需要测量的硅片04能够处于较佳的测量位置，从而实现对不同规格大小的硅片04的快速测量，大大提高了测量效率。

在一种实施方式中，夹持固定装置02包括底座21、高度调节杆22、夹持部件23，底座21设置在底板11上，底座21能够沿底板11的短边方向移动，高度调节杆22的下部与底座21相连接，高度调节杆22的上端与夹持部件23固定连接，调整高度调节杆22，能够调整夹持部件23距离底板11的高度，夹持部件23用于固定需要测量的硅片04。

其中，底座21的上部设置有可供高度调节杆22的下部穿过的导向孔211，导向孔211与高度调节杆22的下部螺纹连接，从而使高度调节杆22的下部与底座21螺纹连接。通过旋拧高度调节杆22，可以实现高度调节杆22的上下移动，从而可以调整夹持部件23上固定的硅片04高度。

其中，底座21与底板11滑动连接。可采用滑轨连接的方式，即在底板11上设置滑轨，在底座21上设置滑块，使滑块可以沿滑轨移动。也可以采用滑槽连接的方式，即在底板11上开设滑槽，在底座21上设置滑块，使滑块可以沿滑槽滑动。

在一种实施方式中，夹持部件23包括基板231、第一夹板232、第二夹板233、锁定调节杆234，基板231固定设置在高度调节杆22的上端，第一夹板232固定在基板231上部表面的一侧，第一夹板232沿基板231的长边方向设置，第二夹板233设置设置在基板231的上部表面，第二夹板233与第一夹板232对向平行设置，第二夹板233与基板231的上部表面滑动连接，锁定调节杆234依次贯穿第一夹板232及第二夹板233，调整锁定调节杆234，能够使锁定调节杆234带动第二夹板233向第一夹板232移动，将需要测量的硅片04夹持固定。

其中，锁定调节杆234的端部与第一夹板232转动连接，第二夹板233上设置有可供锁定调节杆234穿过的连接孔2331，连接孔2331与锁定调节杆234螺纹连接，从而实现锁定调节杆234远离端部的部位与第二夹板233螺纹连接。

以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于实用新型所涵盖的范围。

Claims (8)

1.一种测量硅片碳、氧含量的辅助工装，其特征在于：包括测量装置、夹持固定装置，所述测量装置包括底板、第一侧板、第二侧板，所述第一侧板、第二侧板对向固定设置在底板的两端，所述第一侧板上设置有激光发射源，所述第二侧板上设置有激光接收点，所述底板上固定设置有立板，所述立板位于第一侧板、第二侧板之间的中间位置，所述立板的上部开设有圆孔，使激光发射源产生的光线能够穿过，所述夹持固定装置设置在立板与第二侧板之间，夹持固定装置用于夹持需要测量的硅片，并能够根据硅片的尺寸，调整硅片的位置。

2.根据权利要求1所述的测量硅片碳、氧含量的辅助工装，其特征在于：所述夹持固定装置包括底座、高度调节杆、夹持部件，所述底座设置在底板上，底座能够沿底板的短边方向移动，所述高度调节杆的下部与底座相连接，高度调节杆的上端与夹持部件固定连接，调整高度调节杆，能够调整夹持部件距离底板的高度，所述夹持部件用于固定需要测量的硅片。

3.根据权利要求2所述的测量硅片碳、氧含量的辅助工装，其特征在于：所述高度调节杆的下部与底座螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的测量硅片碳、氧含量的辅助工装，其特征在于：所述底座与底板滑动连接。

5.根据权利要求2或4所述的测量硅片碳、氧含量的辅助工装，其特征在于：所述夹持部件包括基板、第一夹板、第二夹板、锁定调节杆，所述基板固定设置在高度调节杆的上端，所述第一夹板固定在基板上部表面的一侧，且第一夹板沿基板的长边方向设置，所述第二夹板设置设置在基板的上部表面，第二夹板与第一夹板对向平行设置，第二夹板与基板的上部表面滑动连接，所述锁定调节杆依次贯穿第一夹板及第二夹板，调整锁定调节杆，能够使锁定调节杆带动第二夹板向第一夹板移动。

6.根据权利要求5所述的测量硅片碳、氧含量的辅助工装，其特征在于：所述锁定调节杆的端部与第一夹板转动连接，锁定调节杆远离端部的部位与第二夹板螺纹连接。

7.根据权利要求6所述的测量硅片碳、氧含量的辅助工装，其特征在于：所述第二夹板上设置有可供锁定调节杆穿过的连接孔，所述连接孔与锁定调节杆螺纹连接。

8.根据权利要求2所述的测量硅片碳、氧含量的辅助工装，其特征在于：所述底座的上部设置有可供高度调节杆的下部穿过的导向孔，所述导向孔与高度调节杆的下部螺纹连接。

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