CN217094655U - 一种高效率硅抛光片生产用清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种高效率硅抛光片生产用清洗装置，包括清洗箱和清洗结构，所述清洗结构设置在清洗箱的内部，所述清洗箱的左侧设置有烘干结构；所述清洗结构包括固定安装在清洗箱内底壁的电动推杆，所述电动推杆活塞杆的底端固定连接有清洗棉，所述清洗箱的右侧固定连接有第一储液箱，所述清洗箱的右侧固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定连接有第一水泵，所述清洗箱的内侧固定连接有环形板，所述清洗箱的内底壁活动连接有工作台。该高效率硅抛光片生产用清洗装置，可以对硅抛光片表面分别利用清洗液和去离子液进行清理，同时通过清洗棉可以对硅抛光片表面进行擦拭，不仅提高了清理效果，同时操作更加方便。

Description

一种高效率硅抛光片生产用清洗装置

技术领域

本实用新型涉及硅抛光片生产技术领域，具体为一种高效率硅抛光片生产用清洗装置。

背景技术

硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅，单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。

目前，为了保证硅抛光片生产的质量，通常需要利用对硅片的表面进行清洗，但是现有的硅抛光片通常需要多种清洗设备和人工进行操作，不仅清理效率不高，并且严重降低了硅抛光片的清洗效率。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高效率硅抛光片生产用清洗装置，具备清洗方便的优点，解决了现有的硅抛光片通常需要多种清洗设备和人工进行操作，不仅清理效率不高，并且严重降低了硅抛光片的清洗效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效率硅抛光片生产用清洗装置，包括清洗箱和清洗结构，所述清洗结构设置在清洗箱的内部，所述清洗箱的左侧设置有烘干结构；

所述清洗结构包括固定安装在清洗箱内底壁的电动推杆，所述电动推杆活塞杆的底端固定连接有清洗棉，所述清洗箱的右侧固定连接有第一储液箱，所述清洗箱的右侧固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定连接有第一水泵，所述清洗箱的内侧固定连接有环形板，所述清洗箱的内底壁活动连接有工作台，所述清洗箱的底部固定连接有转动结构，所述清洗箱的顶部固定连接有第二储液箱，所述清洗箱的顶部固定连接有第二水泵，所述第二水泵的左侧固定连接有第一连接管，所述第一连接管远离第二水泵的一端固定连接有空心板。

进一步，所述烘干结构包括固定安装在清洗箱左侧的风机，所述清洗箱的左侧固定连接有加热箱。

进一步，所述加热箱的内侧固定连接有两个电加热片，所述加热箱的顶部固定连接有第一通风管，所述第一通风管的顶部固定连接有过滤罐，所述过滤罐的内侧固定连接有灰尘过滤网。

进一步，所述转动结构包括固定安装在清洗箱底部的固定箱，所述固定箱的内底壁固定连接有步进电机，所述步进电机的输出端固定连接有转动杆。

进一步，所述清洗棉位于工作台顶部的左侧，所述空心板位于工作台顶部的右侧。

进一步，所述清洗箱的顶部嵌入有通风网，所述清洗箱的底板固定连接有两个与外界连通的排污管，排污管的右侧固定连接有控制阀。

进一步，所述第一连接管远离第二水泵的一端贯穿清洗箱并延伸至清洗箱的内侧，所述第二水泵的右侧固定连接有第二连接管，第二连接管的右端与第二储液箱连通。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

1、该高效率硅抛光片生产用清洗装置，通过清洗结构内部的电动推杆、清洗棉、第一储液箱、固定板、第一水泵、环形板、工作台、转动结构、第二储液箱、第二水泵、第一连接管和空心板可以对硅抛光片表面分别利用清洗液和去离子液进行清理，同时通过清洗棉可以对硅抛光片表面进行擦拭，不仅提高了清理效果，同时操作更加方便。

2、该高效率硅抛光片生产用清洗装置，通过烘干结构内部的风机、加热箱、加热片、第一通风管、过滤罐和灰尘过滤网可以对清洗好的硅抛光片进行烘干，提高清理的效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构正视图；

图3为本实用新型结构环形管俯视图。

图中：1清洗箱、200清洗结构、201电动推杆、202清洗棉、203 第一储液箱、204固定板、205第一水泵、206环形板、207工作台、 208转动结构、2081固定箱、2082步进电机、2083转动杆、209第二储液箱、210第二水泵211第一连接管、212空心板、300烘干结构、301风机、302加热箱、303加热片、304第一通风管、305过滤罐、306灰尘过滤网。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实施例中的一种高效率硅抛光片生产用清洗装置，包括清洗箱1和清洗结构200，清洗结构200固定安装在清洗箱1的内部，清洗箱1的左侧固定安装有烘干结构300；清洗结构200是对硅抛光片进行清洗的结构，烘干结构300是对清洗完毕后的硅抛光片进行烘干的结构。

本实施例中的清洗结构200是对硅抛光片进行清洗的结构。

如图1-3所示，本实施例中的清洗结构200包括固定安装在清洗箱1内底壁的电动推杆201，电动推杆201活塞杆的底端固定连接有清洗棉202，清洗箱1的右侧固定连接有第一储液箱203，清洗箱1 的右侧固定连接有固定板204，固定板204的顶部固定连接有第一水泵205，清洗箱1的内侧固定连接有环形板206，清洗箱1的内底壁活动连接有工作台207，清洗箱1的底部固定连接有转动结构208，清洗箱1的顶部固定连接有第二储液箱209，清洗箱1的顶部固定连接有第二水泵210，第二水泵210的左侧固定连接有第一连接管211，第一连接管211远离第二水泵210的一端固定连接有空心板212。

本实施例中的转动结构208包括固定安装在清洗箱1底部的固定箱2081，固定箱2081的内底壁固定连接有步进电机2082，步进电机 2082的输出端固定连接有转动杆2083，转动杆2083的顶端依次贯穿固定箱2081和清洗箱1并与工作台207的底部固定连接。

本实施例中的清洗棉202位于工作台207顶部的左侧，空心板212位于工作台207顶部的右侧，清洗箱1的顶部嵌入有通风网，清洗箱1的底板固定连接有两个与外界连通的排污管，排污管的右侧固定连接有控制阀。

本实施例中的第一连接管211远离第二水泵210的一端贯穿清洗箱1并延伸至清洗箱1的内侧，第二水泵210的右侧固定连接有第二连接管，第二连接管的右端与第二储液箱209连通，空心板212的底部固定连接有等距离分布的第一喷头，环形板206的内侧固定连接有等距离分布的第二喷头。

本实施例中的第一水泵205的顶部固定连接有第三连接管，第三连接管的顶端与第一储液箱203连通，第二水泵205的底部固定连接有第四连接管，第四连接管远离第一水泵205的一端依次贯穿固定板 204和清洗箱1并与环形板206连通。

本实施例中的清洗箱1的正面铰接有对开门，第一储液箱203的内部填充有去离子液，第二储液箱209的内侧填充有清洗液。

本实施例中的烘干结构300是对清洗完毕后的硅抛光片进行烘干的结构。

如图1所示，本实施例中的烘干结构300包括固定安装在清洗箱 1左侧的风机301，清洗箱1的左侧固定连接有加热箱302，加热箱 302的内侧固定连接有两个电加热片303，加热箱302的顶部固定连接有第一通风管304，第一通风管304的顶部固定连接有过滤罐305，过滤罐305的内侧固定连接有灰尘过滤网306。

本实施例中的风机301的底部固定连接有第一送风管，第一送风管远离风机301的一端与清洗箱1连通，第一连接管211位于工作台 207左侧的顶部，风机301的顶部固定连接有第二送风管，第二送风管的顶端与加热箱302连通，过滤罐305的顶部开设有通孔。

上述实施例的工作原理为：

将硅抛光片放置在加工台207表面，通过启动第二水泵210，通过第一连接管211和第二连接管将第二储液箱209内部的清洗液抽出，并送入到空心板212中，从第一喷头喷出，同时启动电动推杆 201，电动推杆201带动清洗棉202与硅抛光片表面接触进行清理，同时启动步进电机2082，步进电机2082带动转动杆2083进行旋转，从而带动硅抛光片进行旋转，对其不同部位进行清洗，清洗完毕后，开启控制阀，污水通过排污管流出，再启动第一水泵205，第一水泵 205带动第三连接管和第四连接管将第一储液箱203内部的去离子液抽出，并送入到环形板206中，从第二喷头喷出对硅抛光片进行清理，通过上述原理，通过清洗棉202对硅抛光片表面进行清洗，清洗完毕后，通过排污管将废液排出，在启动电动推杆201，电动推杆201带动清洗棉202恢复原位，启动风机301，通过灰尘过滤网306对气体进行除尘后，送入到加热箱302中，启动加热片303对其进行加热，再通过第一送风管和第二送风管将热风送入到清洗箱1内部，进行烘干。

与现有技术相比：通过清洗结构200内部的电动推杆201、清洗棉202、第一储液箱203、固定板204、第一水泵205、环形板206、工作台207、转动结构208、第二储液箱209、第二水泵210、第一连接管211和空心板212可以对硅抛光片表面分别利用清洗液和去离子液进行清理，同时通过清洗棉202可以对硅抛光片表面进行擦拭，不仅提高了清理效果，同时操作更加方便，通过烘干结构300内部的风机301、加热箱302、加热片303、第一通风管304、过滤罐305和灰尘过滤网306可以对清洗好的硅抛光片进行烘干，提高清理的效率。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种高效率硅抛光片生产用清洗装置，其特征在于：包括清洗箱(1)和清洗结构(200)，所述清洗结构(200)设置在清洗箱(1)的内部，所述清洗箱(1)的左侧设置有烘干结构(300)；

所述清洗结构(200)包括固定安装在清洗箱(1)内底壁的电动推杆(201)，所述电动推杆(201)活塞杆的底端固定连接有清洗棉(202)，所述清洗箱(1)的右侧固定连接有第一储液箱(203)，所述清洗箱(1)的右侧固定连接有固定板(204)，所述固定板(204)的顶部固定连接有第一水泵(205)，所述清洗箱(1)的内侧固定连接有环形板(206)，所述清洗箱(1)的内底壁活动连接有工作台(207)，所述清洗箱(1)的底部固定连接有转动结构(208)，所述清洗箱(1)的顶部固定连接有第二储液箱(209)，所述清洗箱(1)的顶部固定连接有第二水泵(210)，所述第二水泵(210)的左侧固定连接有第一连接管(211)，所述第一连接管(211)远离第二水泵(210)的一端固定连接有空心板(212)。

2.根据权利要求1所述的一种高效率硅抛光片生产用清洗装置，其特征在于：所述烘干结构(300)包括固定安装在清洗箱(1)左侧的风机(301)，所述清洗箱(1)的左侧固定连接有加热箱(302)。

3.根据权利要求2所述的一种高效率硅抛光片生产用清洗装置，其特征在于：所述加热箱(302)的内侧固定连接有两个电加热片(303)，所述加热箱(302)的顶部固定连接有第一通风管(304)，所述第一通风管(304)的顶部固定连接有过滤罐(305)，所述过滤罐(305)的内侧固定连接有灰尘过滤网(306)。

4.根据权利要求1所述的一种高效率硅抛光片生产用清洗装置，其特征在于：所述转动结构(208)包括固定安装在清洗箱(1)底部的固定箱(2081)，所述固定箱(2081)的内底壁固定连接有步进电机(2082)，所述步进电机(2082)的输出端固定连接有转动杆(2083)。

5.根据权利要求1所述的一种高效率硅抛光片生产用清洗装置，其特征在于：所述清洗棉(202)位于工作台(207)顶部的左侧，所述空心板(212)位于工作台(207)顶部的右侧。

6.根据权利要求1所述的一种高效率硅抛光片生产用清洗装置，其特征在于：所述清洗箱(1)的顶部嵌入有通风网，所述清洗箱(1)的底板固定连接有两个与外界连通的排污管，排污管的右侧固定连接有控制阀。

7.根据权利要求1所述的一种高效率硅抛光片生产用清洗装置，其特征在于：所述第一连接管(211)远离第二水泵(210)的一端贯穿清洗箱(1)并延伸至清洗箱(1)的内侧，所述第二水泵(210)的右侧固定连接有第二连接管，第二连接管的右端与第二储液箱(209)连通。

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