CN217077846U - 检测装置及具有其的单晶炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种检测装置及具有其的单晶炉，检测装置包括：支架组件、旋转平台、检测元件，旋转平台包括底座和第一转盘，底座固定连接于支架组件上，且第一转盘可转动地与底座相连；检测元件与第一转盘固定连接。根据本实用新型的检测装置，通过设置检测元件，利用检测元件可以精确的检测籽晶是否位于参考位置，与传统的通过人工观测籽晶的位置相比，具有检测精确高和可以自动测量的优点，可以减轻操作人员劳动强度，同时还可以实现快速检测，提高工作效率。此外通过设置旋转平台，且检测元件可转动地设在旋转平台上，利用旋转平台可以调节检测元件的位置，从而实现对籽晶参考位置的调节，同时还可以保证调节的精度。

Description

检测装置及具有其的单晶炉

技术领域

本实用新型涉及晶体制造技术领域，特别涉及一种检测装置及具有其的单晶炉。

背景技术

相关技术中，单晶炉在拉晶生长时，需要用到籽晶。籽晶安装在提拉晶棒的硬轴的下端，单晶炉在工艺上需要知道籽晶所在的参考位置，用来校准籽晶位置，目前是通过单晶炉副室上的观察窗人工观测籽晶的位置，存在测量误差且加大了操作人员的劳动强度。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种具有检测装置，通过设置可以转动的检测元件，可以实现自动化测量，利于提高检测准确性、且利于减轻操作人员的劳动强度。

本实用新型的另一个目的在于提出一种单晶炉，所述单晶炉包括上述检测装置。

根据本实用新型实施例的检测装置，包括：支架组件、旋转平台、检测元件，所述旋转平台包括底座和第一转盘，所述底座固定连接于所述支架组件上，且所述第一转盘可转动地与所述底座相连；所述检测元件与所述第一转盘固定连接。

根据本实用新型实施例的检测装置，通过设置检测元件，利用检测元件可以精确的检测籽晶是否位于参考位置，与传统的通过人工观测籽晶的位置相比，具有检测精确高和可以自动测量的优点，可以减轻操作人员劳动强度，同时还可以实现快速检测，提高工作效率。此外，通过设置旋转平台，且检测元件可转动地设在旋转平台上，利用旋转平台可以调节检测元件的位置，从而实现对籽晶参考位置的调节，同时还可以保证调节的精度。

另外，根据本实用新型上述实施例的检测装置还可以具有如下附加的技术特征：

一些实施例中，所述旋转平台还包括：第二转盘、调节件、弹性件，所述第二转盘可转动地与所述底座相连，所述第二转盘的周缘设有滑块，所述第二转盘被构造成在与所述第一转盘相对固定和相对分离的状态之间可切换；所述调节件设于所述底座上并抵接所述滑块，以驱动所述第二转盘转动；所述弹性件分别与所述底座和所述滑块相连，以驱动所述滑块抵接所述调节件。

一些实施例中，所述底座上设有第一安装块和第二安装块，所述第一安装块和所述第二安装块沿所述第二转盘的周向间隔排布，所述滑块设于所述第一安装块和所述第二安装块之间，其中，所述调节件包括丝杆和旋转手柄，所述丝杆可伸缩地与所述第一安装块相连，所述丝杆抵接所述滑块，所述旋转手柄可转动地与所述第一安装块相连，并与所述旋转手柄螺纹转动连接，所述旋转手柄适于驱动所述丝杆伸缩。

一些实施例中，所述弹性件包括弹簧，所述弹簧抵接于所述第二安装块和所述滑块之间。

一些实施例中，所述调节件还包括细调锁紧件，细调锁紧件与所述第二安装块螺纹传动连接，所述细调锁紧件与所述调节件适于分别抵接于所述滑块的相对两侧，以锁紧所述滑块。

一些实施例中，所述旋转平台还包括：粗调锁紧件，所述粗调锁紧件与所述第二转盘相连，并被构造成适于锁紧和释放所述第一转盘，所述粗调锁紧件锁紧所述第一转盘时所述第一转盘与所述第二转盘相对固定，且所述粗调锁紧件释放所述第一转盘时所述第一转盘与所述第二转盘相对分离。

一些实施例中，所述旋转平台还包括粗调手柄，所述粗调手柄与所述第一转盘相连，以调节所述第一转盘与所述底座的相对位置，所述粗调手柄沿所述第一转盘的径向延伸。

一些实施例中，所述第一转盘的外周面上设有第一刻度标识，所述底座上设有第二刻度标识，所述第二刻度标识与所述第一刻度标识在所述第一转盘的径向上靠近并相对。

一些实施例中，所述支架组件包括：固定架、安装座，所述固定架用于定位安装所述检测装置；所述安装座与所述固定架相连，且所述安装座在所述固定架上沿左右方向位置可调。

一些实施例中，所述固定架上设有竖向板，所述竖向板上设有装置安装孔，所述装置安装孔被构造成沿上下方向延伸的腰型孔。

一些实施例中，所述固定架上设有第一水平板，所述安装座上设有第二水平板，所述第一水平板上设有第一安装孔，所述第二水平板上设有第二安装孔，所述第一水平板和所述第二水平板适于通过嵌入所述第一安装孔和所述第二安装孔的固定件固定连接，所述第一安装孔和所述第二安装孔中的至少一个被构造成沿左右方向延伸的腰型孔。

一些实施例中，所述旋转平台还包括：安装板，所述安装板与所述第一转盘固定连接，所述检测元件安装于所述安装板上。

一些实施例中，所述检测元件安装于所述安装板上偏离所述第一转盘的旋转中心轴的位置。

一些实施例中，所述安装板上设有用于安装所述检测元件的多个第三安装孔，所述第三安装孔被构造成腰型孔状，以适于所述检测元件的至少一端在靠近和远离所述第一转盘的旋转中心轴的方向上位置可调。

根据本实用新型实施例的单晶炉，包括：炉体、检测装置，所述检测装置与所述炉体相连，所述检测装置为前述的检测装置。

根据本实用新型实施例的单晶炉，通过设置检测元件，利用检测元件可以精确的检测籽晶是否位于参考位置，与传统的通过人工观测籽晶的位置相比，具有检测精确高和可以自动测量的优点，可以减轻操作人员劳动强度，同时还可以实现快速检测，提高工作效率。此外，通过设置旋转平台，且检测元件可转动地设在旋转平台上，利用旋转平台可以调节检测元件的位置，从而实现对籽晶参考位置的调节，同时还可以保证调节的精度。

附图说明

图1是本实用新型一些实施例中检测装置的结构示意图。

图2是图1中A处的放大图。

图3是本实用新型一些实施例中检测装置的主视图。

图4是本实用新型一些实施例中旋转平台的局部结构示意图(示出了第一转盘和第二转盘的配合方式)。

图5是本实用新型一些实施例中固定架的结构示意图。

图6是本实用新型一些实施例中安装座的结构示意图。

图7是本实用新型一些实施例中安装板的结构示意图。

附图标记：

检测装置100，

固定架11，第一安装孔110，竖向板111，第一水平板112，加强板113，安装座12，第二安装孔120，第二水平板121，安装部122，

旋转平台2，底座21，第一安装块211，第二安装块212，第一转盘22，凸部221，安装板23，通孔230，第三安装孔231，第二转盘24，

调节件3，丝杆31，滑块32，旋转手柄33，粗调锁紧件4，细调锁紧件5，粗调手柄6。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的检测装置100。

结合图1至图7，根据本实用新型实施例的检测装置100，包括：支架组件、旋转平台2和检测元件(图中未示出)。

具体地，旋转平台2包括底座21和第一转盘22，底座21固定连接于支架组件上，且第一转盘22可转动地与底座21相连。可以理解的是，支架组件可以为旋转平台2和检测元件提供支撑，且可以通过支架组件将检测装置100稳定安装于待检测设备(例如单晶炉)上，以提高检测装置100安装的可靠性和工作的灵活性。

检测元件与第一转盘22固定连接。可以理解的是，当需要调整检测位置时，第一转盘22在底座21上转动，检测元件可以随第一转盘22的转动而转动，实现对检测元件位置的调节，从而可以改变籽晶的预设参考位置。

需要说明的是，与检测元件正对的检测位置为预设的籽晶的参考位置，当籽晶移动至参考位置时，籽晶可以被检测元件检测到。在本实用新型中，通过设置旋转平台2，利用旋转平台2可以调节检测元件的位置，从而实现对籽晶参考位置的调节，同时还可以保证调节的精度。此外，通过设置检测元件，利用检测元件可以精确的检测籽晶是否位于参考位置，与传统的通过人工观测籽晶的位置相比，具有检测精确高和可以自动测量的优点，可以减轻操作人员劳动强度，同时还可以实现快速检测，提高工作效率。

例如，在本实用新型的一个示例中，检测元件为激光传感器，激光传感器上设有激光发射端和激光接收端，通过激光发射端适于向单晶炉没发射激光信号，当籽晶位于预设的参考位置时，激光信号照射到籽晶上并发生反射，最终被激光接收端捕获，由此可以判断出籽晶已经处于参考位置。

根据本实用新型实施例的检测装置100，通过设置检测元件，利用检测元件可以精确的检测籽晶是否位于参考位置，与传统的通过人工观测籽晶的位置相比，具有检测精确高和可以自动测量的优点，可以减轻操作人员劳动强度，同时还可以实现快速检测，提高工作效率。此外，通过设置旋转平台2，且检测元件可转动地设在旋转平台2上，利用旋转平台2可以调节检测元件的位置，从而实现对籽晶参考位置的调节，同时还可以保证调节的精度。

可选地，旋转平台2可以是可拆卸的连接于支架组件上的形式；检测元件也可以是可拆卸的设于第一转盘22上的形式，以提高装置的实用性。当然，旋转平台2也可以固定连接支架组件；检测元件也可以固定连接第一转盘22。

结合图2和图3，可选地，旋转平台2还包括第二转盘24、调节件3和弹性件(图中未示出)，具体地，第二转盘24可转动地与底座21相连，第二转盘24被构造成在与第一转盘22相对固定和相对分离的状态之间可切换。也就是说，第一转盘22和第二转盘24可以同步转动，第一转盘22和第二转盘24也可以分离，以使第一转盘22和第二转盘24相对独立地转动，以提高旋转平台2使用的灵活性。具体地，第二转盘24的周缘设有滑块32，调节件3设于底座21上并抵接滑块32，以驱动第二转盘24转动，即可以通过调节件3驱动与调节件3抵接的滑块32，进而驱动第二转盘24转动。进一步地，弹性件分别与底座21和滑块32相连，可以驱动滑块32抵接调节件3，还可以提高滑块32的稳定性。如，在静止状态下，弹性件抵接于滑块32与底座21之间，可以保持滑块32处于稳定状态不易移动；在运动状态下，即调节件3调节滑块32转动时，弹性件可以提供弹性力，保持滑块32在运动时的稳定，利于提高调节的稳定性和准确性。此外，调节件3设于底座21上，可以简化装置结构，提高旋转平台2的集成度。

在实际使用时，第一转盘22和第二转盘24均与底座21可转动的相连，其中，可以根据实际调节需要，将第一转盘22和第二转盘24设置成相对固定的状态，即调节时第一转盘22和第二转盘24可以同步转动；或者将第一转盘22和第二转盘24设置成相对分离的状态，以分别转动第一转盘22或第二转盘24，提高旋转平台2使用的灵活性。当需要调节第二转盘24时，调节件3驱动与之抵接的滑块32，从而驱动第二转盘24转动，弹性件可以保持滑块32稳定运动，调节完成时，滑块32分别被弹性件和调节件3抵住，从而保持第二转盘24的稳定，提高调节稳定性，进而提高检测元件检测准确性。

可选地，底座21上设有第一安装块211和第二安装块212，第一安装块211和第二安装块212沿第二转盘24的周向间隔排布，滑块32设于第一安装块211和第二安装块212之间，使得滑块32可以在第一安装块211和第二安装块212之间进行运动，以实现第二转盘24的周向转动。

调节件3包括丝杆31和旋转手柄33，丝杆31可伸缩地与第一安装块211相连，丝杆31抵接滑块32，旋转手柄33可转动地与第一安装块211相连，并与旋转手柄33螺纹转动连接，旋转手柄33适于驱动丝杆31伸缩。具体地，滑块32的一端与丝杆31抵接，丝杆31可伸缩地与第一安装块211连接；滑块32的另一端与弹性件抵接，弹性件与第二安装块212抵接，滑块32在第一安装块211和第二安装块212之间可以被丝杆31推动或者被弹性件推动。更为具体地，旋转手柄33与第一安装块211相连并螺纹连接，使得转动旋转手柄33时，丝杆31可以在第一安装块211上伸缩，丝杆31抵接滑块32，以驱动滑块32位移，进而实现第二转盘24的转动。由此，第一安装块和旋转手柄33通过螺纹传动将回转运动转化为第二转盘的周向运动，而且通过螺纹传动可以减小摩擦阻力提高装置精密度，从而提高检测装置100的使用寿命。

可选地，调节件3还包括细调锁紧件5，细调锁紧件5与第二安装块212螺纹传动连接，细调锁紧件5与调节件3适于分别抵接于滑块32的相对两侧，以锁紧滑块32。也就是说，旋紧细调锁紧件5时，细调锁紧件5与滑块32抵接，以限制滑块32移动，提高锁定时的稳定性，可以避免误触；放松细调锁紧件5时滑块32与细调锁紧件5分离，滑块32可以被移动。

可选地，弹性件包括弹簧，弹簧抵接于第二安装块212和滑块32之间，以提供弹性力，提高滑块32的稳定性，利于滑块32在第一安装块211和第二安装块212之间稳定移动。

可选地，弹簧可以套设于细调锁紧件5上，以便于弹性件的装配和定位。

在实际使用时，松开细调锁紧件5对第二转盘24进行调节，第二转盘24转动可以沿轴向做顺时针或逆时针的转动。当需要调节第二转盘24顺时针转动时，调节旋转手柄33使得丝杆31向远离第二安装块212的方向运动，滑块32受到弹性件弹力的推动向靠近第一安装块211的方向移动；当需要调节第二转盘24逆时针转动时，调节旋转手柄33使得丝杆31向靠近第二安装块212的方向运动，丝杆31推动滑块32向靠近第二安装块212的方向运动，此时弹性件被压缩。调节完成后，锁紧细调锁紧件5，以固定滑块32位置，保持调节的稳定性，是检测元件稳定固定于调节后的位置，提高检测的准确性。

具体地，在本实用新型的一个示例中，第一安装块211和第二安装块212为一体成型件。由此，一体成型的结构不仅可以保证第一安装块211和第二安装块212的结构、性能稳定性，并且方便成型、制造简单，而且省去了多余的装配件以及连接工序，大大提高了第一安装块211和第二安装块212的装配效率，保证了第一安装块211和第二安装块212的连接可靠性，再者，一体成型的结构的整体强度和稳定性较高，组装更方便，寿命更长。

结合图1和图3，可选地，旋转平台2还包括粗调锁紧件4，粗调锁紧件4与第二转盘24相连，并被构造成适于锁紧和释放第一转盘22，粗调锁紧件4锁紧所述第一转盘22时第一转盘22与第二转盘24相对固定，且粗调锁紧件4释放第一转盘22时第一转盘22与第二转盘24相对分离。由此，粗调锁紧件4锁紧时可以使第一转盘22与第二转盘24联动，从而使第一转盘22和第二转盘24同步转动，粗调锁紧件4释放时第一转盘22与第二转盘24分离不进行动力传递，第一转盘22和第二转盘24可以相对转动。举例而言，结合图4，第一转盘22可以具有凸部221，第二转盘24套接于凸部221上，粗调锁紧件4穿过第二转盘24与凸部221抵接或者插入凸部221中，以使第一转盘22被锁定与第二转盘24上。此时，第一转盘22与第二转盘24相对固定。当粗调锁紧件4向远离凸部221的方向运动时，第一转盘22和第二转盘24之间可以相对分离，此时，可以单独转动第一转盘22。其中，可以通过在粗调锁紧件4与第二转盘24之间螺纹连接，以实现锁紧或松开。

当然，粗调锁紧件4也可以采用其他方式锁紧和释放第一转盘22，本实用新型不限于此。例如，粗调锁紧件4与第二转盘24相连，粗调锁紧件4可以与滑块32在第二转盘24内部卡接，锁紧粗调锁紧件4时，滑块32与粗调锁紧件4卡接，松开粗调锁紧件4时释放滑块32，使得滑块32可以滑动。

结合图3，可选地，旋转平台2还包括粗调手柄6，粗调手柄6与第一转盘22相连，以调节第一转盘22与底座21的相对位置，粗调手柄6沿第一转盘22的径向延伸，以便于对第一转盘22进行调节。具体地，粗调手柄6可以直接连接于第一转盘22上，操作人员通过粗调手柄6可以直接转动第一转盘22。

根据前述，检测装置100还可以具有调节件3，由此，操作人员可以根据实际情况选择调节方式。可以理解的是，可以直接通过手柄转动第一转盘22以进行粗调，由于直接通过粗调手柄6转动，因此转动的位移可能较大，可以较大范围的调节第一转盘22的转动距离。而调节件3通过螺纹传动调节第二转盘24的转动，调节较为精确。因此，通过在检测装置100上同时设置粗调手柄6和调节件3，使得操作人员可以根据实际情况对检测装置100进行调节。例如，当检测元件需要调节的范围较大，第一转盘22转动距离较大时，可以通过松开粗调锁紧件4，使用粗调手柄6，直接将第一转盘22转动到目标位置，再通过调节件3进行精确调节，不仅可以提高调节的精确度，还可以提高调节效率，利于快速完成调节。进一步地，调节完成后，若需要再进行微调，也可以直接使用调节件3进行调节，以提高工作效率。

可选地，粗调手柄6可以设置成朝远离第一转盘22延伸一定长度的柱状，以便于操作人员进行把握和调节，利于操作人员进行调节且利于操作人员控制调节位置。

可选地，第一转盘22与底座21之间可以构造成具有一定阻尼的形式，提高第一转盘22在底座21上转动的稳定性。

可选地，第一转盘22的外周面上设有第一刻度标识，底座21上设有第二刻度标识，第二刻度标识与第一刻度标识在第一转盘22的径向上靠近并相对。具体而言，底座21上的第二刻度标识和第一转盘22上的第一刻度标识相对应，可以便于显示出调节范围或调节的距离，便于操作人员记录数据进行分析和参考。具体地，第一转盘22的外周面可以设置第一刻度标识，底座21上的至少一部分设置第二刻度标识，其中，第二刻度标识与第一刻度标识至少有一部分相对。由此，在调节过程中，或第一转盘22转动时，可以以底座21的刻度为基准，观察第一转盘22位移的变化的刻度，以确定转动数据，利于提高调节精准度。在实际应用时，操作人员也可以通过历史数据，确定调节的大致范围，先将第一转盘22通过粗调手柄6将检测元件调节至目标范围，再使用调节件3和细调锁紧件5进行精确调节，以提高调节效率和准确性。此外，通过设置刻度标识，记录调节数值，可以利于后期进行总结，发现规律，利于促进进步与发展。

结合图1至图3，根据本实用新型实施例的旋转平台2，包括底座21、第一转盘22、调节件3、粗调手柄6、粗调锁紧件4、细调锁紧件5和安装板23，其中，调节件3包括丝杆31旋转手柄33和细调锁紧件5，旋转手柄33与第一安装块211螺纹连接。具体地，底座21上设有第一安装块211和第二安装块212，第一安装块211和第二安装块212位于底座21顶端，第一安装块211和第二安装212块沿轴向间隔设置，滑块32位于第一安装块211和第二安装块212之间。即调节件3与第一安装块211和第二安装块212配合，且位于第二转盘24顶部。粗调锁紧件4位于第二转盘24底部，粗调锁紧件4伸入第二转盘24内部，通过旋转粗调锁紧件4或松开螺母可以锁定或释放第一转盘22。粗调锁紧件4松开后，可以通过转动连接于第一转盘22斜下方的粗调手柄6对第一转盘22进行粗调。

结合图1、图5和图6，可选地，支架组件包括：固定架11和安装座12，其中，固定架11用于定位安装检测装置100，安装座12适于安装旋转平台2和检测元件。安装座12与固定架11相连，且安装座12在固定架11上沿左右方向位置可调。使用时可以将固定架11与待检测设备连接，以在设备上定位检测装置100，安装旋转平台2和检测元件与安装座12连接，且安装座12在固定架11上沿左右方向可调，可以便于调整旋转平台2的安装位置，进而调节检测元件对应的检测位置，以提高安装灵活性。

结合图4，可选地，固定架11上设有竖向板111，竖向板111上设有装置安装孔，装置安装孔被构造成沿上下方向延伸的腰型孔，使固定架11在安装过程中可以进行竖直方向的调节，便于找到适宜的定位位置，提高检测效果和装配灵活性。

结合图2、图5和图6，可选地，固定架11上设有第一水平板112，安装座12上设有第二水平板121，第一水平板112上设有第一安装孔110，第二水平板121上设有第二安装孔120，第一水平板112和第二水平121板适于通过嵌入第一安装孔110和第二安装孔120的固定件固定连接，该固定件可以为螺栓、定位销、铆钉等，第一安装孔110和第二安装孔120中的至少一个被构造成沿左右方向延伸的腰型孔。具体地，固定架11上的第一水平板112和安装座12上的第二水平板121互相配合以连接固定架11和安装座12，第一水平板112和第二水平板121可以是上重叠或部分重叠后通过安装孔固定连接，其中第一安装孔110与第二安装孔120中至少一个被构造成左右方向延伸的腰型孔，可以便于第一水平板112和第二水平板121配合时在水平方向上可以进行调整，以利于调整检测元件的安装位置。例如第二水平板121可以安装于第一水平板112上，第一安装孔110与第二安装孔120相对，在定位时，为了将旋转平台2和检测元件的位置向左移动，则将第二水平板121向左稍移动后在通过固定件固定第一水平板112和第二水平板121。

需要说明的是，第一安装孔110与第二安装孔120均可以被构造出腰型孔，以增大调节范围。其中，可以是第一安装口被构成沿前后方向延伸的腰型孔，第二安装孔120被构成沿左右方向延伸的腰型孔，以在水平方向上调节安装位置。

结合图5和图6，根据本实用新型实施例的支架组件，固定架11包括竖向板111和第一水平板112，其中，第一水平板112与竖向板111下端的一侧边沿连接，在固定架11的一侧构造出L形结构。使得固定架11可以在竖直方向上连接设备，在水平方向上连接检测元件。进一步地，在竖向板111与第一水平板112的连接处，且远离检测元件的位置可以设有加强板113，加强板113呈直角三角形，以提高固定架11的结构强度。

安装座12具有第二水平板121和安装部122，第二水平板121和安装部122呈L形。具体地，第二水平板121层叠于第一水平板112上，第二水平板121上间隔设有两个沿左右方向延伸腰型孔，以在左右方向上调节安装位置，第一安装孔110为圆孔，第一安装孔110和第二安装孔120相对，再通过固定件，如螺钉固定连接。安装部122沿竖直方向延伸，旋转平台2安装于安装部122上。安装部122和第二水平板121也可以为一体构成的，以提高结构强度，便于制造。

结合图7，可选地，旋转平台2还包括：安装板23，安装板23与第一转盘22固定相连，其中，检测元件安装于安装板23上，且检测元件安装于偏离第一转盘22的旋转中心轴的位置。

可选地，检测元件安装于安装板23上偏离第一转盘22的旋转中心轴的位置。

可选地，安装板23上设有用于安装检测元件的多个第三安装孔231，第三安装孔231被构造成腰型孔状，以适于检测元件的至少一端在靠近和远离第一转盘22的旋转中心轴的方向上位置可调。其中，当检测元件的两端均移动时，可以实现检测元件的整体平移；当检测元件的一端移动时，可以实现检测元件的转动，从而调节检测元件的倾斜角度。

具体地，检测元件与第一转盘22之间通过安装板23连接，以提高检测元件安装的稳定性，且检测元件安装于偏离第一转盘22的旋转中心轴的位置利于提高调整效果。由此，对第一转盘22进行微调时，检测元件的检测位置就可以得到调整，可以提高调节灵敏性，利于快速找到适宜的检测点，提高检测效果和效率。

结合图6，根据本实用新型实施例的安装板23，安装板23的一侧被构造成圆弧形，以适于与第一转盘22配合，安装板23的一侧呈方形或其他形状，以适于与检测元件配合。进一步地，安装板23与第一转盘22连接的部分设置多个通孔230，可以提高连接稳定性。安装板23与检测元件连接的一侧表面间隔设置两个沿前后方向延伸的第三安装孔231，第三安装孔231被构造成腰型孔，以使检测元件可以在前后方向调节位置，还可以沿前后方向在一定范围内翻转检测元件。如，检测元件与两个第三安装孔231配合时，检测元件相对于两个第三安装孔231的移动位于或方向不一致时，可以使检测元件沿前后方向翻转，由此可以在多维度上调节检测元件的安装角度。

下面参照附图描述本实用新型一个具体实施例的检测装置100。

结合图1至图7，根据本实用新型实施例的检测装置100，包括：支架组件、旋转平台2和检测元件。其中，支架组件包括固定架11和安装座12，固定架11具有竖向板111和第一水平板112，第一水平板112上具有第一安装孔110；安装座12上具有第二水平板121和安装部122，旋转平台2安装于安装部122上，第二水平板121上设有第二安装孔120，第一安装孔110和第二安装孔120通过固定件将第一水平板112和第二水平板121固定连接。旋转平台2包括底座21、第一转盘22、调节件3、粗调模块、粗调锁紧件4、细调锁紧件5和安装板23，其中，调节件3包括丝杆3131和滑块32，丝杆3131与滑块32螺纹连接，粗调模块包括粗调手柄6。具体地，第一转盘22的一侧可转动的与底座21相连，第一转盘22的另一侧与安装板23相连，调节件3与第一转盘22传动连接，粗调手柄6直接连接于第一转盘22上。进一步地，粗调锁紧件4与第二转盘24连接，且适于锁紧或松开第一转盘22；细调锁紧件5与底座21相连，通过锁紧或松开，细调锁紧件5可以锁紧或释放滑块32，以调节第二转盘24。检测元件安装于安装板23上，其中检测元件可以是激光传感器。

举例而言，检测装置100实际应用时，固定架11通过螺钉固定在观察窗上，竖向板111上设有竖向的腰型孔，用于调节整个支架上下的位置。安装座12与固定件通过螺钉固定连接，安装座12用于安装旋转平台2，安装座12的第二水平板121上设有沿左右方向延伸的腰型孔，用于调整激光传感器的横向位置。

进一步地，旋转平台2用于在垂直平面内调整激光传感器的激光发射的测量角度。旋转平台2分为粗调模块和调节件3，粗调模块是将底部的粗调锁紧件4螺母松开后，手动旋转粗调旋钮进行调节；调节件3是通过松开细调锁件件螺母，手动旋转丝杆3131进行调节。安装板23固定在旋转平台2的第一转盘22上，用于安装激光传感器。第一转盘22旋转时，激光传感器随之旋转。

更进一步地，底座21、第一转盘22和调节件3上均设有刻度标识，以便于计算调节范围，其中，调节件3的量程可以为0-6.5mm，精度为0.01mm；粗调模块的量程可以为0-360°旋转，精度为1°。

根据本实用新型实施例的检测装置100，通过采用可以横向和竖向调节的支架组件及旋转平台2，可以实现检测元件横向和竖向的位移和测量角度的调整。通过安装本实用新型检测装置100，能够方便地安装激光传感器，从而实现了籽晶参考位置的自动化检测，代替了人工的检查测量，有效避免了人工测量的误差和遗漏，并直接减轻了操作人员的劳动强度。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的单晶炉。

根据本实用新型实施例的单晶炉，包括：炉体和前述的检测装置100，检测装置100与炉体相连。通过在单晶炉上应用前述的检测装置100，可以实现自动化测量，利于提高检测准确性、且利于减轻操作人员的劳动强度。

在本实用新型的一个示例中，单晶炉的炉体上具有观察窗，通过观察窗可以观测到籽晶位置。检测装置100通过固定架11固定于观察窗上，并可以通过竖向板111在上下方向上调整检测装置100的安装位置。安装架安装于固定架11上，且在左右方向上调节位置，以使检测元件找到合适的安装位置，符合测量要求。检测装置100工作时，通过调节粗调模块和调节件3可以调节第一转盘22相对于底座21转动，进而使检测元件上下移动，以校准籽晶位置，提高了检测效率和检测精准性。

例如，单晶炉包括炉体和检测装置100，其中炉体上具有观察窗，观察窗设有法兰，检测装置100安装于炉体。该检测装置100通过螺钉固定在观察窗的法兰上，并能在上下、左右(或横向、竖向)方向调整位置，同时在垂直平面能调整角度，便于符合激光传感器的测量要求。通过在单晶炉上应用上述检测装置100，能够实现籽晶位置的自动化测量，有效减轻的操作人员的劳动强度，避免了人工测量的误差和滞后。

根据本实用新型实施例的单晶炉，通过设置检测元件，利用检测元件可以精确的检测籽晶是否位于参考位置，与传统的通过人工观测籽晶的位置相比，具有检测精确高和可以自动测量的优点，可以减轻操作人员劳动强度，同时还可以实现快速检测，提高工作效率。此外，通过设置旋转平台2，且检测元件可转动地设在旋转平台2上，利用旋转平台2可以调节检测元件的位置，从而实现对籽晶参考位置的调节，同时还可以保证调节的精度。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“长度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内模块的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种检测装置，其特征在于，包括：

支架组件；

旋转平台，所述旋转平台包括底座和第一转盘，所述底座固定连接于所述支架组件上，且所述第一转盘可转动地与所述底座相连；

检测元件，所述检测元件与所述第一转盘固定连接。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述旋转平台还包括：

第二转盘，所述第二转盘可转动地与所述底座相连，所述第二转盘的周缘设有滑块，所述第二转盘被构造成在与所述第一转盘相对固定和相对分离的状态之间可切换；

调节件，所述调节件设于所述底座上并抵接所述滑块，以驱动所述第二转盘转动；

弹性件，所述弹性件分别与所述底座和所述滑块相连，以驱动所述滑块抵接所述调节件。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述底座设有第一安装块和第二安装块，所述第一安装块和所述第二安装块沿所述第二转盘的周向间隔排布，所述滑块设于所述第一安装块和所述第二安装块之间，其中，

所述调节件包括丝杆和旋转手柄，所述丝杆可伸缩地与所述第一安装块相连，所述丝杆抵接所述滑块，所述旋转手柄可转动地与所述第一安装块相连，并与所述旋转手柄螺纹转动连接，所述旋转手柄适于驱动所述丝杆伸缩；和/或

所述弹性件包括弹簧，所述弹簧抵接于所述第二安装块和所述滑块之间；和/或

所述调节件还包括细调锁紧件，细调锁紧件与所述第二安装块螺纹传动连接，所述细调锁紧件与所述调节件适于分别抵接于所述滑块的相对两侧，以锁紧所述滑块。

4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述旋转平台还包括：

粗调锁紧件，所述粗调锁紧件与所述第二转盘相连，并被构造成适于锁紧和释放所述第一转盘，所述粗调锁紧件锁紧所述第一转盘时所述第一转盘与所述第二转盘相对固定，且所述粗调锁紧件释放所述第一转盘时所述第一转盘与所述第二转盘相对分离。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的检测装置，其特征在于，

所述旋转平台还包括粗调手柄，所述粗调手柄与所述第一转盘相连，以调节所述第一转盘与所述底座的相对位置，所述粗调手柄沿所述第一转盘的径向延伸；和/或

所述第一转盘的外周面上设有第一刻度标识，所述底座上设有第二刻度标识，所述第二刻度标识与所述第一刻度标识在所述第一转盘的径向上靠近并相对。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述支架组件包括：

固定架，所述固定架用于定位安装所述检测装置；

安装座，所述安装座与所述固定架相连，且所述安装座在所述固定架上沿左右方向位置可调。

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，

所述固定架上设有竖向板，所述竖向板上设有装置安装孔，所述装置安装孔被构造成沿上下方向延伸的腰型孔；和/或

所述固定架上设有第一水平板，所述安装座上设有第二水平板，所述第一水平板上设有第一安装孔，所述第二水平板上设有第二安装孔，所述第一水平板和所述第二水平板适于通过固定件固定连接，所述固定件嵌入所述第一安装孔和所述第二安装孔，所述第一安装孔和所述第二安装孔中的至少一个被构造成沿左右方向延伸的腰型孔。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述旋转平台还包括：

安装板，所述安装板与所述第一转盘固定连接，所述检测元件安装于所述安装板上。

9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，

所述检测元件安装于所述安装板上偏离所述第一转盘的旋转中心轴的位置；和/或

所述安装板上设有用于安装所述检测元件的多个第三安装孔，所述第三安装孔被构造成腰型孔状，以适于所述检测元件的至少一端在靠近和远离所述第一转盘的旋转中心轴的方向上位置可调。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括：

炉体；

检测装置，所述检测装置与所述炉体相连，所述检测装置为根据权利要求1-9中任一项所述的检测装置。

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