CN217017680U - 一种浸泡柜 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及清洗设备技术领域，公开了一种浸泡柜，包括柜体和工控机，柜体内开设有多个浸泡槽，浸泡槽内设置有框体，柜体于浸泡槽的上方设置有提升组件，框体与提升组件传动连接，浸泡槽的一侧设置有进液管，浸泡槽的底部设置有出液管，柜体一侧设置有补液组件和排液组件，补液组件包括多个补液罐，多个补液罐与出液管之间连通有补液管道，排液组件包括多个排液桶，排液桶与出液管之间连通有排液管道，浸泡槽外设置有循环管道，循环管道的一端与出液管连通，另一端与进液管连通，进液管上设置有加热器。本实用新型能够解决在Cup组件清洗时，清洗操作人员长时间与化学品及其挥发物直接或者间接接触，对操作人员身体危害较大的问题。

Description

一种浸泡柜

技术领域

本实用新型涉及清洗设备技术领域，尤其涉及一种浸泡柜。

背景技术

芯片生时，在涂布机台(coater)作业后，Cup上盖内壁、CupB-E下部中会附着大量光刻胶，外防液盖等也会附着上一定的光刻胶。目前，在对Cup上盖内壁、Cup B-E下部、外防液盖等进行清洁时，会使用ACE(丙酮)、ZX238等化学品进行清洗。

但在Cup组件清洗时，清洗操作人员长时间与化学品及其挥发物直接或者间接接触，对操作人员的身体危害较大。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种浸泡柜，解决在Cup组件清洗时，清洗操作人员长时间与化学品及其挥发物直接或者间接接触，对操作人员身体危害较大的问题。

本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：

一种浸泡柜，包括柜体和工控机，所述柜体内开设有多个浸泡槽，所述浸泡槽内设置有框体，所述柜体于浸泡槽的上方设置有提升组件，所述框体与提升组件传动连接，所述浸泡槽的一侧设置有进液管，所述浸泡槽的底部设置有出液管，所述柜体一侧设置有补液组件和排液组件，所述补液组件和排液组件均与工控机电连接，所述补液组件包括多个补液罐，多个所述补液罐与出液管之间连通有补液管道，所述排液组件包括多个排液桶，所述排液桶与出液管之间连通有排液管道，所述浸泡槽外设置有循环管道，所述循环管道的一端与出液管连通，另一端与进液管连通，所述进液管上设置有加热器，所述加热器与工控机电连接。

进一步，所述进液管上设置有第一气动阀，所述补液管道上设置有第二气动阀，所述补液罐上设置有氮气管道，所述氮气管道连接有氮气储罐，所述氮气管道上设置有第三气动阀，所述浸泡槽的内壁设置有第一液位传感器，所述第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀和第一液位传感器均与工控机电连接。

进一步，所述补液罐上设置有真空管道和连接管道，所述真空管道连接有真空泵，所述连接管道连接有药液储罐，所述真空管道上设置有第四气动阀，所述连接管道上设置有第五气动阀，所述补液罐内设置有第二液位传感器，所述真空泵、第四气动阀、第五气动阀和第二液位传感器均与工控机电连接。

进一步，所述出液管上设置有第六气动阀，所述循环管道上设置有气动泵，所述气动泵的输出端设置有第七气动阀，所述浸泡槽的内壁设置有第一温度传感器，所述加热器处设置有第二温度传感器，所述第六气动阀、气动泵、第七气动阀、第一温度传感器和第二温度传感器均与工控机电连接。

进一步，所述循环管道上靠近出液管的一端设置有过滤器，所述过滤器的输出端设置有第八气动阀，所述过滤器和第八气动阀均与工控机电连接。

进一步，所述排液管道上设置有第九气动阀，所述排液桶的内壁设置有第三液位传感器，所述第九气动阀和第三液位传感器均与工控机电连接。

进一步，所述提升组件包括气缸和安装架，所述气缸与工控机电连接，所述安装架与柜体固定连接，所述气缸与安装架固定连接，所述浸泡槽上方设置有封盖，所述封盖固定安装于气缸的输出轴上，所述框体与气缸的输出端之间连接有连接条。

本实用新型的有益效果：

1、通过提升组件，操作人员只需将Cup组件放置在框体中，处理器控制气缸下移，将框体中的Cup组件浸入药液中，取出时，再通过气缸将框体提起即可，避免操作人员长时间与药液直接或者间接接触。

2、通过设置补液组件，处理器控制第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀打开即可向浸泡槽中补充药液，且通过第一液位传感器能够自动判断是否需要向浸泡槽中补液。

3、通过设置循环管道，能够对浸泡槽中的药液进行循环加热，使浸泡槽中的药液处于最佳温度，保证药液的浸泡效果。

附图说明

图1是本实用新型一种浸泡柜的结构示意图；

图2是本实用新型一种浸泡柜的管路结构示意图；

图3是本实用新型一种浸泡柜的系统框图；

其中，柜体1，浸泡槽11，进液管111，出液管112，加热器113，第一气动阀114，第六气动阀115，第一液位传感器12，第一温度传感器13，第二温度传感器14，工控机2，框体31，气缸32，安装架33，封盖34，连接条35，补液罐4，补液管道41，第二气动阀411，氮气管道42，氮气储罐421，第三气动阀422，真空管道43，真空泵431，第四气动阀432，连接管道44，药液储罐441，第五气动阀442，第二液位传感器45，排液桶5，排液管道51，第九气动阀511，第三液位传感器52，循环管道6，气动泵61，第七气动阀62，过滤器63，第八气动阀631。

具体实施方式

以下通过特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容了解本实用新型的优点和功效。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本实用新型的限制，为了更好地说明本实用新型的实施例，图中某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

本实用新型实施例的图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件，在本实用新型的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本实用新型的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述用于的具体含义。

如图1-3所示，本实用新型的一种浸泡柜，包括柜体1和工控机2，柜体1内开设有多个浸泡槽11，本实施例中设置有四个浸泡槽11，分别浸泡机台的四组Cup组件。浸泡槽11内设置有框体31，柜体1于浸泡槽11的上方设置有提升组件，提升组件包括气缸32和安装架33，气缸32与工控机2电连接，安装架33与柜体1固定连接，气缸32与安装架33固定连接，浸泡槽11上方设置有封盖34，封盖34固定安装于气缸32的输出轴上，封盖34用于将浸泡槽11密封，避免药液挥发。框体31与气缸32的输出端之间连接有连接条35。通过设置气缸32和框体31，操作人员只需将Cup组件放入框体31中，再通过控制气缸32，下沉框体31，将Cup组件浸入浸泡槽11内的药液中。取出时，控制气缸32，上升框体31，将Cup组件提起离开药液，静置晾干待用，避免操作人员长时间与药液直接或者间接接触。

浸泡槽11的一侧设置有进液管111，浸泡槽11的底部设置有出液管112，柜体1一侧设置有补液组件和排液组件，补液组件和排液组件均与工控机2电连接，补液组件用于向浸泡槽11中补充药液，排液组件用于将浸泡槽11中的药液排出。

补液组件包括多个补液罐4，多个补液罐4与出液管112之间连通有补液管道41，进液管111上设置有加热器113，加热器113与工控机2电连接。通过设置加热器113，能够对补充的药液进行加热，提高药液的去胶清洗效率。

进液管111上设置有第一气动阀114，第一气动阀114用于控制进液管111的开关。补液管道41上设置有第二气动阀411，第二气动阀411用于控制补液管道41的开关。补液罐4上设置有氮气管道42，氮气管道42连接有氮气储罐421，氮气管道42上设置有第三气动阀422，第三气动阀422用于控制氮气管道42的开关。浸泡槽11的内壁设置有第一液位传感器12，第一液位传感器12用于检测浸泡槽11内药液的高位和低位。第一气动阀114、第二气动阀411、第三气动阀422和第一液位传感器12均与工控机2电连接。

第一液位传感器12对浸泡槽11内的药液进行测量，若浸泡槽11内的药液液位低于第一液位传感器12检测的低位时，则需要向浸泡槽11内补充药液，通过工控机2控制第一气动阀114、第二气动阀411和第三气动阀422打开，氮气储罐421中的氮气通过氮气管道42进入到补液罐4中，增加补液罐4中的压强，从而将补液罐4中的药液通过补液管道41和进液管111压入浸泡槽11内，直至浸泡槽11中药液液位达到第一液位传感器12检测的高位，工控机2控制第一气动阀114、第二气动阀411和第三气动阀422关闭，停止向浸泡槽11中补液。

补液罐4上设置有真空管道43和连接管道44，真空管道43连接有真空泵431，真空泵431用于抽取补液罐4中的氮气。连接管道44连接有药液储罐441，药液储罐441用于向补液罐4中补充药液。真空管道43上设置有第四气动阀432，连接管道44上设置有第五气动阀442，补液罐4内设置有第二液位传感器45，真空泵431、第四气动阀432、第五气动阀442和第二液位传感器45均与工控机2电连接。第二液位传感器45与第一液位传感器12结构相同，当第二液位传感器45检测到补液罐4中的药液液位处于第二液位传感器45检测的低位时，工控机2控制第一气动阀114、第二气动阀411和第三气动阀422关闭，第四气动阀432和第五气动阀442开启，并控制真空泵431工作，真空泵431将补液罐4中的氮气抽出，降低补液罐4中的压强，从而将药液储罐441中的药液通过连接管道44吸入补液罐4中，直至补液罐4中药液液位处于第二液位传感器45检测的高位处。工控机2控制第四气动阀432和第五气动阀442关闭，并控制真空泵431停止工作，停止向补液罐4中补充药液。

出液管112上设置有第六气动阀115，第六气动阀115用于控制出液管112的开关。排液组件包括多个排液桶5，排液桶5与出液管112之间连通有排液管道51，排液管道51上设置有第九气动阀511。排液桶5的内壁设置有第三液位传感器52，第九气动阀511和第三液位传感器52均与工控机2电连接。需要将浸泡槽11中的废液排出时，工控机2控制第六气动阀115和第九气动阀511开启，使浸泡槽11中的废液顺着出液管112和排液管道51进入到排液桶5储放。第三液位传感器52用于检测排液桶5中的废液液位高度，且本实施例中第三液位传感器52与第一液位传感器12结构相同。当第三液位传感器52检测到废液液位高度处于第三液位传感器52检测的高位时，工控机2控制第六气动阀115和第九气动阀511关闭，并向通知操作人员更换排液桶5。

浸泡槽11外设置有循环管道6，循环管道6的一端与出液管112连通，另一端与进液管111连通，循环管道6上设置有气动泵61，气动泵61的输出端设置有第七气动阀62，浸泡槽11的内壁设置有第一温度传感器13，第一温度传感器13用于检测浸泡槽11中药液的温度。加热器113处设置有第二温度传感器14，第二温度传感器14用于检测加热器113中药液的温蒂。第六气动阀115、气动泵61、第七气动阀62、第一温度传感器13和第二温度传感器14均与工控机2电连接。当第一温度传感器13检测到浸泡槽11中药液温度过低时，工控机2控制气动泵61工作，将浸泡槽11中的药液抽出，并向加热器113输送，进过加热器113加热后，再送回浸泡槽11内，进行循环加热，直至浸泡槽11中的药液温度达到预设值。

循环管道6上靠近出液管112的一端设置有过滤器63，过滤器63的输出端设置有第八气动阀631，过滤器63和第八气动阀631均与工控机2电连接。通过设置过滤器63，对循环管道6中的药液进行过滤，降低循环管道6中的杂质。

本实用新型的一种浸泡柜使用时，操作人员将Cup组件放入框体31中，通过工控机2控制气缸32工作，下沉框体31，将Cup组件浸入浸泡槽11内的药液中。浸泡完成后，工控机2控制气缸32工作，上升框体31，将Cup组件提起离开药液，静置晾干待用，避免操作人员长时间与药液直接或者间接接触。

当第一液位传感器12检测到浸泡槽11内的药液低于第一液位传感器12检测的低位时，工控机2控制第一气动阀114、第二气动阀411和第三气动阀422打开，氮气储罐421中的氮气通过氮气管道42进入到补液罐4中，增加补液罐4中的压强，从而将补液罐4中的药液通过补液管道41和进液管111压入浸泡槽11内，直至浸泡槽11中药液液位达到第一液位传感器12检测的高位，工控机2控制第一气动阀114、第二气动阀411和第三气动阀422关闭，停止向浸泡槽11中补液。

当第二液位传感器45检测到补液罐4中的药液液位处于第二液位传感器45检测的低位时，工控机2控制第一气动阀114、第二气动阀411和第三气动阀422关闭，第四气动阀432和第五气动阀442开启，并控制真空泵431工作，真空泵431将补液罐4中的氮气抽出，降低补液罐4中的压强，从而将药液储罐441中的药液通过连接管道44吸入补液罐4中，直至补液罐4中药液液位处于第二液位传感器45检测的高位处。工控机2控制第四气动阀432和第五气动阀442关闭，并控制真空泵431停止工作，停止向补液罐4中补充药液。随后再继续向浸泡槽11中补液。

当第一温度传感器13检测到浸泡槽11中药液温度过低时，工控机2控制气动泵61工作，将浸泡槽11中的药液抽出，并向加热器113输送，进过加热器113加热后，再送回浸泡槽11内，进行循环加热，直至浸泡槽11中的药液温度达到预设值。

需要将浸泡槽11中的废液排出时，工控机2控制第六气动阀115和第九气动阀511开启，使浸泡槽11中的废液顺着出液管112和排液管道51进入到排液桶5储放。当第三液位传感器52检测到废液液位高度处于第三液位传感器52检测的高位时，工控机2控制第六气动阀115和第九气动阀511关闭，并向通知操作人员更换排液桶5，更换排液桶5后，继续排液。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。

Claims (7)

1.一种浸泡柜，其特征在于：包括柜体和工控机，所述柜体内开设有多个浸泡槽，所述浸泡槽内设置有框体，所述柜体于浸泡槽的上方设置有提升组件，所述框体与提升组件传动连接，所述浸泡槽的一侧设置有进液管，所述浸泡槽的底部设置有出液管，所述柜体一侧设置有补液组件和排液组件，所述补液组件和排液组件均与工控机电连接，所述补液组件包括多个补液罐，多个所述补液罐与出液管之间连通有补液管道，所述排液组件包括多个排液桶，所述排液桶与出液管之间连通有排液管道，所述浸泡槽外设置有循环管道，所述循环管道的一端与出液管连通，另一端与进液管连通，所述进液管上设置有加热器，所述加热器与工控机电连接。

2.根据权利要求1所述的一种浸泡柜，其特征在于：所述进液管上设置有第一气动阀，所述补液管道上设置有第二气动阀，所述补液罐上设置有氮气管道，所述氮气管道连接有氮气储罐，所述氮气管道上设置有第三气动阀，所述浸泡槽的内壁设置有第一液位传感器，所述第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀和第一液位传感器均与工控机电连接。

3.根据权利要求2所述的一种浸泡柜，其特征在于：所述补液罐上设置有真空管道和连接管道，所述真空管道连接有真空泵，所述连接管道连接有药液储罐，所述真空管道上设置有第四气动阀，所述连接管道上设置有第五气动阀，所述补液罐内设置有第二液位传感器，所述真空泵、第四气动阀、第五气动阀和第二液位传感器均与工控机电连接。

4.根据权利要求2所述的一种浸泡柜，其特征在于：所述出液管上设置有第六气动阀，所述循环管道上设置有气动泵，所述气动泵的输出端设置有第七气动阀，所述浸泡槽的内壁设置有第一温度传感器，所述加热器处设置有第二温度传感器，所述第六气动阀、气动泵、第七气动阀、第一温度传感器和第二温度传感器均与工控机电连接。

5.根据权利要求4所述的一种浸泡柜，其特征在于：所述循环管道上靠近出液管的一端设置有过滤器，所述过滤器的输出端设置有第八气动阀，所述过滤器和第八气动阀均与工控机电连接。

6.根据权利要求5所述的一种浸泡柜，其特征在于：所述排液管道上设置有第九气动阀，所述排液桶的内壁设置有第三液位传感器，所述第九气动阀和第三液位传感器均与工控机电连接。

7.根据权利要求1所述的一种浸泡柜，其特征在于：所述提升组件包括气缸和安装架，所述气缸与工控机电连接，所述安装架与柜体固定连接，所述气缸与安装架固定连接，所述浸泡槽上方设置有封盖，所述封盖固定安装于气缸的输出轴上，所述框体与气缸的输出端之间连接有连接条。

Images