CN217006949U

CN217006949U - 自动tsp检查机

Info

Publication number: CN217006949U
Application number: CN202220295854.7U
Authority: CN
Inventors: 吴自强; 周亮; 张信儒
Original assignee: Chengdu Zhongjia Micro Vision Technology Co ltd
Current assignee: Chengdu Zhongjia Micro Vision Technology Co ltd
Priority date: 2022-02-14
Filing date: 2022-02-14
Publication date: 2022-07-19
Anticipated expiration: 2032-02-14

Abstract

本实用新型公开了一种自动TSP检查机，包括工作台、载片平台、平台驱动装置、第一驱动装置、第二驱动装置、初检龙门和复检龙门；所述平台驱动装置设于工作台的顶部，所述载片平台设于平台驱动装置的顶部，所述平台驱动装置的驱动方向与工作台的长度方向一致，所述初检龙门和复检龙门沿平台驱动装置的驱动方向分别架设在平台驱动装置的顶部，且所述初检龙门的底部和复检龙门的底部分别连接平台驱动装置两侧的工作台的顶部；所述第一驱动装置设于初检龙门上，所述第二驱动装置设于复检龙门上，所述第一驱动装置上设有初检取像模组，所述第二驱动装置上设有复检取像模组。本实用新型的自动TSP检查机，可以降低漏检、误检率，增加检出率。

Description

自动TSP检查机

技术领域

本实用新型涉及TSP检查设备领域，特别是涉及一种自动TSP检查机。

背景技术

现有在OLED&CF制程或是有使用到涂布曝光显影，需要对制程TSP(touch sensorpanel)缺陷使用显微镜检查裂纹,划痕等缺陷，对误检进行过滤；现有TSP检查机为显微镜拍照,人员判别容易存在检查疲劳产生漏检、误检，缺陷检出效率低。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种自动TSP检查机，可以降低漏检、误检率，增加检出率。

本实用新型的技术方案是：

一种自动TSP检查机，包括工作台、载片平台、平台驱动装置、第一驱动装置、第二驱动装置、初检龙门和复检龙门；所述平台驱动装置设于工作台的顶部，所述载片平台设于平台驱动装置的顶部，所述平台驱动装置的驱动方向与工作台的长度方向一致，所述初检龙门和复检龙门沿平台驱动装置的驱动方向分别架设在平台驱动装置的顶部，且所述初检龙门的底部和复检龙门的底部分别连接平台驱动装置两侧的工作台的顶部；所述第一驱动装置设于初检龙门上，所述第二驱动装置设于复检龙门上，所述第一驱动装置上设有初检取像模组，所述第二驱动装置上设有复检取像模组。

上述技术方案的工作原理如下：

受检的玻璃面板首先放置在载片平台上，以初检龙门的底部检测区域作为初检区，以复检龙门底部的检测区域为复检区，平台驱动装置带动载片平台沿初检区向复检区的方向移动，平台驱动装置到达初检区时，在初检区做往复运动，同时初检取像模组在第一驱动装置上移动，初检取像模组对玻璃面板进行完全的扫描取像，以便对玻璃面板完成初检判别缺陷；初检后载片平台移动至复检区，复检龙门上的复检取像模组根据初检到的缺陷通过第二驱动装置移动至对应缺陷的位置，对初检判定的缺陷进行精准取像。

在进一步的技术方案中，所述复检龙门的底部设有第三驱动装置。

复检龙门可通过第三驱动装置进行移动，方便定位缺陷位置。

在进一步的技术方案中，所述平台驱动装置、第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置均为驱动直线电机。

驱动直线电机移动较为平稳，提高检查的准确率。

在进一步的技术方案中，所述平台驱动装置的两侧的工作台上设有与平台驱动装置的驱动方向平行的侧导轨，载片平台的两侧底部设有匹配侧导轨的限位块。

限位块在侧导轨中对载片平台的移动进行限位导向，载片平台在移动中不易左右晃动，不易歪斜。

在进一步的技术方案中，所述初检取像模组由多个相机组成，所述复检取像模组为具有自动对焦结构的显微镜头。

初检时由多个相机共同拍下玻璃平板的整体图像初步找出缺陷，复检是采用显微镜头对缺陷进行精准定位，相机可采集良好的影像，显微镜头可放大采集细节，进一步方便定位缺陷。

在进一步的技术方案中，所述工作台包括上基座和下基座，所述上基座和下基座之间设有减震台。

减少上基座的震动，防止上基座震动影像取像质量。

在进一步的技术方案中，所述下基座的底部四周设有支脚，所述支脚的底部设有支撑垫板。

支撑垫板增加下基座与地面的接触面积，支撑稳定。

在进一步的技术方案中，所述减震台为阻尼减震器。

减震效果好。

本实用新型的有益效果是：

1、可快速准确检查缺陷，可以降低漏检、误检率，增加检出率；

2、复检龙门可通过第三驱动装置进行移动，方便定位缺陷位置；

3、平台驱动装置、第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置均为驱动直线电机，驱动直线电机移动较为平稳，提高检查的准确率；

4、限位块在侧导轨中对载片平台的移动进行限位导向，载片平台在移动中不易左右晃动，不易歪斜；

5、初检时由多个相机共同拍下玻璃平板的整体图像初步找出缺陷，复检是采用显微镜头对缺陷进行精准定位，相机可采集良好的影像，显微镜头可放大采集细节，进一步方便定位缺陷；

6、减震台减少上基座的震动，防止上基座震动影像取像质量；

7、下基座的底部四周设置支脚，支脚的底部设有支撑垫板，支撑垫板增加下基座与地面的接触面积，支撑稳定。

附图说明

图1是本实用新型实施例所述自动TSP检查机的结构示意图。

附图标记说明：

1、上基座；2、下基座；21、支脚；22、支撑垫板；3、减震台；4、平台驱动装置；5、初检龙门；51、第一驱动装置；52、初检取像模组；6、复检龙门；61、第二驱动装置；62、复检取像模组；7、载片平台；8、第三驱动装置；9、侧导轨。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步说明。

实施例：

如图1所示，一种自动TSP检查机，包括工作台、载片平台7、平台驱动装置4、第一驱动装置51、第二驱动装置61、初检龙门5和复检龙门6；平台驱动装置4设于工作台的顶部，载片平台7设于平台驱动装置4的顶部，平台驱动装置4的驱动方向与工作台的长度方向一致，初检龙门5和复检龙门6沿平台驱动装置4的驱动方向分别架设在平台驱动装置4的顶部，且初检龙门5的底部和复检龙门6的底部分别连接平台驱动装置4两侧的工作台的顶部；第一驱动装置51设于初检龙门5上，第二驱动装置61设于复检龙门6上，第一驱动装置51上设有初检取像模组52，第二驱动装置61上设有复检取像模组62。

上述技术方案的工作原理如下：

受检的玻璃面板首先放置在载片平台7上，以初检龙门5的底部检测区域作为初检区，以复检龙门6底部的检测区域为复检区，平台驱动装置4带动载片平台7沿初检区向复检区的方向移动，平台驱动装置4到达初检区时，在初检区做往复运动，同时初检取像模组52在第一驱动装置51上移动，初检取像模组52对玻璃面板进行完全的扫描取像，以便对玻璃面板完成初检判别缺陷；初检后载片平台7移动至复检区，复检龙门6上的复检取像模组62根据初检到的缺陷通过第二驱动装置61移动至对应缺陷的位置，对初检判定的缺陷进行精准取像。

本设备可以及时在曝光机后进行TSP(touch sensor panel)缺陷检查,确认有无裂纹,划痕等并可以对于人员不易检查缺陷等进行判别,可以降低漏检、误检率，增加检出率,无需如传统方式由人员对每个TSP单元进行检查，初检取像模组52和复检取像模组62取像后经电脑影像和软件交互作用辨认出有无裂纹,划痕等缺陷,实现低成本,高效率。

在另一个实施例中，如图1所示，复检龙门6的底部设有第三驱动装置8。

复检龙门6可通过第三驱动装置8进行移动，方便定位缺陷位置。

本实施例中，复检龙门6的数量有两个。两个复检龙门6形成较大的复检区，以便精准定位缺陷。

在另一个实施例中，平台驱动装置4、第一驱动装置51、第二驱动装置61和第三驱动装置8均为驱动直线电机。

驱动直线电机移动较为平稳，提高检查的准确率。

在另一个实施例中，如图1所示，平台驱动装置4的两侧的工作台上设有与平台驱动装置4的驱动方向平行的侧导轨9，载片平台7的两侧底部设有匹配侧导轨9的限位块。

限位块在侧导轨9中对载片平台7的移动进行限位导向，载片平台7在移动中不易左右晃动，不易歪斜。

在另外一个实施例中，初检取像模组52由多个相机组成，复检取像模组62为具有自动对焦结构的显微镜头。

本实施例中，相机和显微镜头分别具有调节轴，方便调节取像角度。

在另外一个实施例中，如图1所示，工作台包括上基座1和下基座2，上基座1和下基座2之间设有减震台3。

减少上基座1的震动，防止上基座1震动影像取像质量。

在另外一个实施例中，如图1所示，下基座2的底部四周设有支脚21，支脚21的底部设有支撑垫板22。

支撑垫板22增加下基座2与地面的接触面积，支撑稳定。

在另外一个实施例中，减震台3采用阻尼减震器。

本实施例中，阻尼减震器，采用气囊阻尼器。减震效果好、灵敏度高、抗缓冲能力强、承压强。

以上实施例仅表达了本实用新型的具体实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种自动TSP检查机，其特征在于，包括工作台、载片平台、平台驱动装置、第一驱动装置、第二驱动装置、初检龙门和复检龙门；所述平台驱动装置设于工作台的顶部，所述载片平台设于平台驱动装置的顶部，所述平台驱动装置的驱动方向与工作台的长度方向一致，所述初检龙门和复检龙门沿平台驱动装置的驱动方向分别架设在平台驱动装置的顶部，且所述初检龙门的底部和复检龙门的底部分别连接平台驱动装置两侧的工作台的顶部；所述第一驱动装置设于初检龙门上，所述第二驱动装置设于复检龙门上，所述第一驱动装置上设有初检取像模组，所述第二驱动装置上设有复检取像模组。

2.根据权利要求1所述的自动TSP检查机，其特征在于，所述复检龙门的底部设有第三驱动装置。

3.根据权利要求2所述的自动TSP检查机，其特征在于，所述平台驱动装置、第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置均为驱动直线电机。

4.根据权利要求1所述的自动TSP检查机，其特征在于，所述平台驱动装置的两侧的工作台上设有与平台驱动装置的驱动方向平行的侧导轨，载片平台的两侧底部设有匹配侧导轨的限位块。

5.根据权利要求1所述的自动TSP检查机，其特征在于，所述初检取像模组由多个相机组成，所述复检取像模组为具有自动对焦结构的显微镜头。

6.根据权利要求1所述的自动TSP检查机，其特征在于，所述工作台包括上基座和下基座，所述上基座和下基座之间设有减震台。

7.根据权利要求6所述的自动TSP检查机，其特征在于，所述下基座的底部四周设有支脚，所述支脚的底部设有支撑垫板。

8.根据权利要求6所述的自动TSP检查机，其特征在于，所述减震台为阻尼减震器。