CN216988878U - 一种钟罩清洗用喷淋系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种钟罩清洗用喷淋系统，包括喷淋盒组件、用来驱动喷淋盒组件进行升降运动的驱动组件，喷淋盒组件包括框体、清洗板，框体的底部设置有与框体内腔相连通的出口，清洗板的底部安装有多个喷头，驱动组件包括直线往复驱动装置、安装板、安装在安装板与清洗板之间且用来限定喷淋盒组件上下运动方向的滑轨、安装在直线往复驱动装置往复端的杆端关节轴承、滑板、与滑板呈相对滑动设置的滑套，滑套的中部设置有与滑板的边部呈间隙配合的滑槽。所述钟罩清洗用喷淋系统能够对钟罩的内壁进行喷淋清洗，清洗效果好，操作简单方便，能够适用于多种不同高度的钟罩，应用范围广，综合利用率高。

Description

一种钟罩清洗用喷淋系统

技术领域

本实用新型涉及一种钟罩清洗用喷淋系统，属于半导体行业外延钟罩清洗设备技术领域。

背景技术

目前，对半导体外延石英炉管钟罩的清洗通常都是对其内表面进行清洗，清洗方法通常选用喷淋式清洗，如使用高压水流(清洗液)对钟罩内表面进行冲洗，再进行烘干；又如授权公告号为CN101352714B“一种组合式钟罩清洗机及其操作方法”中所使用的喷淋组件。

上述清洗方法，存在以下缺陷：

只适用大小、型号固定的钟罩，一旦发生尺寸的变化，就需要对上下密封装置进行适应性调整，更换对应的配件，操作繁琐。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的不足，提供了一种钟罩清洗用喷淋系统，具体技术方案如下：

一种钟罩清洗用喷淋系统，包括喷淋盒组件、用来驱动喷淋盒组件进行升降运动的驱动组件，所述喷淋盒组件包括框体、清洗板，所述清洗板固定安装在框体的顶部并构成盒状结构，所述框体的底部设置有与框体内腔相连通的出口，所述清洗板的底部安装有多个喷头，所述清洗板为中空结构；所述驱动组件包括直线往复驱动装置、安装板、安装在安装板与清洗板之间且用来限定喷淋盒组件上下运动方向的滑轨、安装在直线往复驱动装置往复端的杆端关节轴承、滑板、与滑板呈相对滑动设置的滑套，所述杆端关节轴承的杆端与直线往复驱动装置的往复端转动连接，所述杆端关节轴承的轴承端与滑板的中部转动连接，所述滑套的下端与清洗板的顶部固定连接，所述滑套的中部设置有与滑板的边部呈间隙配合的滑槽。

作为上述技术方案的改进，所述直线往复驱动装置固定安装在安装板的中部，所述安装板与清洗板之间固定安装有两组圆柱螺旋弹簧，两组圆柱螺旋弹簧分别设置在直线往复驱动装置的左右两侧。

作为上述技术方案的改进，所述滑板与清洗板之间固定安装有多根压簧，所述压簧设置在滑槽的内部。

作为上述技术方案的改进，所述直线往复驱动装置是气缸、液压缸、直线电机中的一种。

作为上述技术方案的改进，所述框体的底部还设置有用来安装密封圈的环形槽。

本实用新型所述钟罩清洗用喷淋系统能够对钟罩的内壁进行喷淋清洗，清洗效果好，操作简单方便，能够适用于多种不同高度的钟罩，应用范围广，综合利用率高。

附图说明

图1为本实用新型所述钟罩清洗用喷淋系统的结构示意图；

图2为本实用新型所述钟罩清洗用喷淋系统的内部示意图；

图3为本实用新型所述钟罩清洗用喷淋系统对钟罩进行喷淋清洗时的示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1

如图1、2所示，所述钟罩清洗用喷淋系统，包括喷淋盒组件300、用来驱动喷淋盒组件300进行升降运动的驱动组件，所述喷淋盒组件300包括框体31、清洗板32，所述清洗板32固定安装在框体31的顶部并构成盒状结构，盒状结构即为盒状，一端为敞开，另一端封闭；所述框体31的底部设置有与框体31内腔相连通的出口311，所述清洗板32的底部安装有多个喷头321，所述清洗板32为中空结构；所述驱动组件包括直线往复驱动装置33、安装板34、安装在安装板34与清洗板32之间且用来限定喷淋盒组件上下运动方向的滑轨35、安装在直线往复驱动装置33往复端的杆端关节轴承39、滑板37、与滑板37呈相对滑动设置的滑套38，所述杆端关节轴承39的杆端与直线往复驱动装置33的往复端转动连接，所述杆端关节轴承39的轴承端与滑板37的中部转动连接，所述滑套38的下端与清洗板32的顶部固定连接，所述滑套38的中部设置有与滑板37的边部呈间隙配合的滑槽381。

其中，所述直线往复驱动装置33固定安装在安装板34的中部，所述安装板34与清洗板32之间固定安装有两组圆柱螺旋弹簧36，两组圆柱螺旋弹簧36分别设置在直线往复驱动装置33的左右两侧。

首先，直线往复驱动装置33驱动滑板37进行上下升降运动，滑板37在上下升降运动的过程中会带动喷淋盒组件300也上下升降运动，当框体31的底部压在钟罩40的顶部，如图3所示，出口311对准钟罩40顶部的开口，所有的喷头321喷出的射流能够对钟罩40的内壁进行喷淋清洗，清洗板32外接有清洗液或压缩气体，清洗液可以为纯水、稀酸(如硝酸、氢氟酸)、浓酸(如硝酸、氢氟酸)，稀酸、浓酸的浓度不同厂家有不同的配比，在此不再赘述；即可设置不同类型的阀门，如水阀、气阀、耐酸阀分别与清洗板32的内腔连通。

直线往复驱动装置33还能够提供压紧钟罩40的动力。杆端关节轴承39的设置，使得喷淋盒组件300能够在一定角度的偏移下仍然能正常工作。两组圆柱螺旋弹簧36相当于拉簧，拉力可抵消一部分甚至全部的喷淋盒组件300重量，使上升、下降更平稳。滑轨35的设置，使得喷淋盒组件只能沿着滑轨35限定的方向(竖直方向)进行上下升降运动；滑轨35的下端与清洗板32的顶部固定连接，所述安装板34处设置有与滑轨35相匹配的限位孔。

滑板37的设置，滑板37与滑套38之间还能够相对滑动，能够提供一定的缓冲，避免损坏设备。其中，滑套38设置有两组，分别安装在滑板37的两端。

所述钟罩40自带的排风孔20处通常外接一根排风管，喷淋产生的废气可从排风管处排至指定区域，防止液滴污染钟罩40的外壁。钟罩40的底部处的出口排出废液。安装板34固定安装在钟罩40的上方。当钟罩40的高度发生变化，仍不影响钟罩40放置在喷淋盒组件300的下方，同时，不影响密封性。

清洗板32与框体31构成盒状结构更容易压紧钟罩40的顶部并形成密封，同时不影响喷淋清洗。

实施例2

在一些实施例中，所述滑板37与清洗板32之间固定安装有多根压簧313，所述压簧313设置在滑槽381的内部。压簧313与滑板37的配合使喷淋盒组件300柔性压紧，避免硬连接损坏钟罩40。

实施例3

所述直线往复驱动装置33是气缸、液压缸、直线电机中的一种；优选是采用污染小且更柔性的气缸，气缸的活塞杆端部即为直线往复驱动装置33的往复端。

实施例4

如图2所示，所述框体31的底部还设置有用来安装密封圈的环形槽312。

通过在环形槽312处安装密封圈，能够进一步提高框体31的底部与钟罩40顶部之间的密封性。

在上述实施例中，所述钟罩清洗用喷淋系统能够对钟罩40的内壁进行喷淋清洗，清洗效果好，操作简单方便，能够适用于多种不同高度的钟罩40，应用范围广，综合利用率高。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种钟罩清洗用喷淋系统，其特征在于：包括喷淋盒组件(300)、用来驱动喷淋盒组件(300)进行升降运动的驱动组件，所述喷淋盒组件(300)包括框体(31)、清洗板(32)，所述清洗板(32)固定安装在框体(31)的顶部并构成盒状结构，所述框体(31)的底部设置有与框体(31)内腔相连通的出口(311)，所述清洗板(32)的底部安装有多个喷头(321)，所述清洗板(32)为中空结构；所述驱动组件包括直线往复驱动装置(33)、安装板(34)、安装在安装板(34)与清洗板(32)之间且用来限定喷淋盒组件上下运动方向的滑轨(35)、安装在直线往复驱动装置(33)往复端的杆端关节轴承(39)、滑板(37)、与滑板(37)呈相对滑动设置的滑套(38)，所述杆端关节轴承(39)的杆端与直线往复驱动装置(33)的往复端转动连接，所述杆端关节轴承(39)的轴承端与滑板(37)的中部转动连接，所述滑套(38)的下端与清洗板(32)的顶部固定连接，所述滑套(38)的中部设置有与滑板(37)的边部呈间隙配合的滑槽(381)。

2.根据权利要求1所述的一种钟罩清洗用喷淋系统，其特征在于：所述直线往复驱动装置(33)固定安装在安装板(34)的中部，所述安装板(34)与清洗板(32)之间固定安装有两组圆柱螺旋弹簧(36)，两组圆柱螺旋弹簧(36)分别设置在直线往复驱动装置(33)的左右两侧。

3.根据权利要求1所述的一种钟罩清洗用喷淋系统，其特征在于：所述滑板(37)与清洗板(32)之间固定安装有多根压簧(313)，所述压簧(313)设置在滑槽(381)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种钟罩清洗用喷淋系统，其特征在于：所述直线往复驱动装置(33)是气缸、液压缸、直线电机中的一种。

5.根据权利要求1所述的一种钟罩清洗用喷淋系统，其特征在于：所述框体(31)的底部还设置有用来安装密封圈的环形槽(312)。

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