CN216966346U - 一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于抛光盘生产技术领域，尤其为一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具，针对现有技术中的抛光机的上抛光盘钻孔装置对抛光盘的夹持效率较低，且夹持稳定性不佳，从而影响钻孔加工的效率和质量的问题，现提出如下方案，其包括底座，所述底座的顶部两侧均开设有滑槽，滑槽内滑动安装有滑板，两个滑板相互靠近的一侧均固定安装有横板，两个横板相互靠近的一侧均固定安装有竖板，两个竖板相互靠近的一侧均固定安装有弧形夹持垫。本实用新型通过带动两个弧形夹持垫向相靠近对抛光盘进行水平夹持的同时带动压板向下运动，对抛光盘进行竖向夹持，从而保证夹持效率的同时提升对于抛光盘的夹持稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及抛光盘生产技术领域，尤其涉及一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具。
背景技术
用于薄脆材料尤其是硅片抛光机的上抛光盘，由于在抛光过程中会产生大量的热，温度的变化必然会导致抛光盘发生形变，进而影响加工质量，因此必须严格控制抛光盘的温度。近年来IC加工硅片的尺寸趋向大直径化，对硅片形貌的质量要求也越来越严格，对于用来进行硅片双面抛光加工的抛光设备，必须严格控制抛光盘的形变。上抛光盘水冷结构主要用于抛光盘的温度控制。
抛光机的上抛光盘在生产过程中需要进行钻孔加工，现有技术中的抛光机的上抛光盘钻孔装置对抛光盘的夹持效率较低，且夹持稳定性不佳，从而影响钻孔加工的效率和质量，因此我们提出了一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具用于解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中的抛光机的上抛光盘钻孔装置对抛光盘的夹持效率较低，且夹持稳定性不佳，从而影响钻孔加工的效率和质量的缺点，而提出的一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具，包括底座，所述底座的顶部两侧均开设有滑槽，滑槽内滑动安装有滑板，两个滑板相互靠近的一侧均固定安装有横板，两个横板相互靠近的一侧均固定安装有竖板，两个竖板相互靠近的一侧均固定安装有弧形夹持垫，且竖板一侧开设有横向孔，横向孔内滑动安装有压板，所述底座的顶部固定安装有固定板，固定板的顶部固定安装有斜板，所述压板的顶部开设有斜孔，两个斜板分别与对应的斜孔滑动连接，所述底座的一侧开设有通孔，通孔内转动安装有丝杆，丝杆的外侧设置有两个旋向相反的外螺纹，两个滑板均螺纹套机在丝杆的外侧，且丝杆上固定安装有大齿轮，所述底座的一侧开设有横向孔，横向孔内转动安装有横轴，横轴的一端固定安装有小齿轮，小齿轮与大齿轮相啮合。
优选的，所述底座的顶部固定安装有两个支撑板，两个支撑板的顶部固定安装有同一个放置盘，放置盘的顶部开设有圆孔，便于对抛光盘进行放置。
优选的，所述横向孔的顶部内壁和底部内壁上固定连接有同一个限位杆，两个压板分别滑动套接在对应的限位杆的外侧，对压板进行导向限位。
优选的，所述丝杆的两端均固定安装有挡板，两个挡板分别与底座的两侧活动抵接，对丝杆进行限位。
优选的，所述滑槽的一侧内壁上固定安装有限位板，两个滑板分别滑动套接在对应的限位板的外侧，对滑板进行导向限位。
优选的，所述横轴的另一端固定安装有转盘，转盘的一侧底部固定安装有摇臂，便于控制横轴的旋转。
本实用新型中，所述的一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具，通过将抛光机的上抛光盘放置在放置盘的顶部，然后通过手握摇臂控制横轴进行旋转，横轴通过小齿轮与大齿轮的啮合带动丝杆进行慢速转动，丝杆通过与两个滑板的螺纹传动带动两个滑板向相互靠近的一侧运动，两个滑板分别通过对应的横板带动两个竖板向相互靠近的一侧运动，两个竖板带动两个弧形夹持垫向相互靠近的一侧运动，从而对抛光盘进行水平方向的夹持；
本实用新型中，所述的一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具，两个竖板向相互靠近一侧运动的同时通过对应的限位杆带动两个压板向相互靠近的一侧运动，两个斜板分别通过与对应的压板上的斜孔的配合带动两个压板横向运动的同时向下运动对抛光盘进行竖向压紧固定，从而提升对于抛光盘的夹持稳定性；
本实用新型结构设计合理，通过带动两个弧形夹持垫向相靠近对抛光盘进行水平夹持的同时带动压板向下运动，对抛光盘进行竖向夹持，从而保证夹持效率的同时提升对于抛光盘的夹持稳定性，保证对其进行钻孔加工的质量，可靠性高。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具的剖视结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具的A部分的结构示意图。
图中：1、底座；2、放置盘；3、丝杆；4、滑板；5、斜板；6、竖板；7、限位杆；8、挡板；9、摇臂；10、弧形夹持垫；11、横向孔；12、滑槽；13、限位板；14、大齿轮；15、小齿轮；16、横轴；17、固定板；18、横板；19、压板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-3，一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具，包括底座1，底座1的顶部两侧均开设有滑槽12，滑槽12内滑动安装有滑板4，两个滑板4相互靠近的一侧均固定安装有横板18，两个横板18相互靠近的一侧均固定安装有竖板6，两个竖板6相互靠近的一侧均固定安装有弧形夹持垫10，且竖板6一侧开设有横向孔11，横向孔11内滑动安装有压板19，底座1的顶部固定安装有固定板17，固定板17的顶部固定安装有斜板5，压板19的顶部开设有斜孔，两个斜板5分别与对应的斜孔滑动连接，底座1的一侧开设有通孔，通孔内转动安装有丝杆3，丝杆3的外侧设置有两个旋向相反的外螺纹，两个滑板4均螺纹套机在丝杆3的外侧，且丝杆3上固定安装有大齿轮14，底座1的一侧开设有横向孔，横向孔内转动安装有横轴16，横轴16的一端固定安装有小齿轮15，小齿轮15与大齿轮14相啮合。
本实用新型中，底座1的顶部固定安装有两个支撑板，两个支撑板的顶部固定安装有同一个放置盘2，放置盘2的顶部开设有圆孔，便于对抛光盘进行放置。
本实用新型中，横向孔11的顶部内壁和底部内壁上固定连接有同一个限位杆7，两个压板19分别滑动套接在对应的限位杆7的外侧，对压板19进行导向限位。
本实用新型中，丝杆3的两端均固定安装有挡板8，两个挡板8分别与底座1的两侧活动抵接，对丝杆3进行限位。
本实用新型中，滑槽12的一侧内壁上固定安装有限位板13，两个滑板4分别滑动套接在对应的限位板13的外侧，对滑板4进行导向限位。
本实用新型中，横轴16的另一端固定安装有转盘，转盘的一侧底部固定安装有摇臂9，便于控制横轴16的旋转。
本实用新型中，在使用时，通过将抛光机的上抛光盘放置在放置盘2的顶部，然后通过手握摇臂9控制横轴16进行旋转，横轴16通过小齿轮15与大齿轮14的啮合带动丝杆3进行慢速转动，丝杆3通过与两个滑板4的螺纹传动带动两个滑板4向相互靠近的一侧运动，两个滑板4分别通过对应的横板18带动两个竖板6向相互靠近的一侧运动，两个竖板6带动两个弧形夹持垫10向相互靠近的一侧运动，从而对抛光盘进行水平方向的夹持，且两个竖板6向相互靠近一侧运动的同时通过对应的限位杆7带动两个压板19向相互靠近的一侧运动，两个斜板5分别通过与对应的压板19上的斜孔的配合带动两个压板19横向运动的同时向下运动对抛光盘进行竖向压紧固定，从而提升对于抛光盘的夹持稳定性。
Claims (6)
1.一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的顶部两侧均开设有滑槽（12），滑槽（12）内滑动安装有滑板（4），两个滑板（4）相互靠近的一侧均固定安装有横板（18），两个横板（18）相互靠近的一侧均固定安装有竖板（6），两个竖板（6）相互靠近的一侧均固定安装有弧形夹持垫（10），且竖板（6）一侧开设有横向孔（11），横向孔（11）内滑动安装有压板（19），所述底座（1）的顶部固定安装有固定板（17），固定板（17）的顶部固定安装有斜板（5），所述压板（19）的顶部开设有斜孔，两个斜板（5）分别与对应的斜孔滑动连接，所述底座（1）的一侧开设有通孔，通孔内转动安装有丝杆（3），丝杆（3）的外侧设置有两个旋向相反的外螺纹，两个滑板（4）均螺纹套机在丝杆（3）的外侧，且丝杆（3）上固定安装有大齿轮（14），所述底座（1）的一侧开设有横向孔，横向孔内转动安装有横轴（16），横轴（16）的一端固定安装有小齿轮（15），小齿轮（15）与大齿轮（14）相啮合。
2.根据权利要求1所述的一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具，其特征在于，所述底座（1）的顶部固定安装有两个支撑板，两个支撑板的顶部固定安装有同一个放置盘（2），放置盘（2）的顶部开设有圆孔。
3.根据权利要求1所述的一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具，其特征在于，所述横向孔（11）的顶部内壁和底部内壁上固定连接有同一个限位杆（7），两个压板（19）分别滑动套接在对应的限位杆（7）的外侧。
4.根据权利要求1所述的一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具，其特征在于，所述丝杆（3）的两端均固定安装有挡板（8），两个挡板（8）分别与底座（1）的两侧活动抵接。
5.根据权利要求1所述的一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具，其特征在于，所述滑槽（12）的一侧内壁上固定安装有限位板（13），两个滑板（4）分别滑动套接在对应的限位板（13）的外侧。
6.根据权利要求1所述的一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具，其特征在于，所述横轴（16）的另一端固定安装有转盘，转盘的一侧底部固定安装有摇臂（9）。
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| CN202122366974.XU CN216966346U (zh) | 2021-09-29 | 2021-09-29 | 一种用于抛光机的上抛光盘生产的钻孔夹具 |
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