CN216919390U - 一种磁棒安装结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种磁棒安装结构，包括磁棒本体、及与所述磁棒本体可拆卸连接的靶头，所述磁棒本体与所述靶头配合的一端设有安装接头，所述靶头与所述磁棒本体配合的一端设有延伸至所述安装接头内的定位芯，所述定位芯经紧固组件固定在所述安装接头上。本实用新型提供的磁棒安装结构，结构简单，安装拆卸方便，提高工作效率。

Description

一种磁棒安装结构

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射技术领域，特别涉及一种磁棒安装结构。

背景技术

磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。靶材会随着生产逐步消耗，每根旋转靶的靶材寿命约1个月左右，靶材消耗完后，需对阴极进行维保，更换靶材及保养磁棒。

保养磁棒前，需分离磁棒和靶头，参见图1，现有技术中，靶头200经四个螺钉300与磁棒本体100相连接，分离时需拆卸位于窄槽内的螺钉300，此操作需于狭小空间内展开，内六角扳手需要切短到合适长度才能塞进去扳紧螺钉300，由于场地限制，此处四只螺钉300拧紧需花费数分钟到十来分钟，且需要半蹲在地面上操作，极费精神，维保修人员对此抱怨不已。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种磁棒安装结构，结构简单，安装方便。

基于上述问题，本实用新型提供的技术方案是：

一种磁棒安装结构，包括磁棒本体、及与所述磁棒本体可拆卸连接的靶头，所述磁棒本体与所述靶头配合的一端设有安装接头，所述靶头与所述磁棒本体配合的一端设有延伸至所述安装接头内的定位芯，所述定位芯经紧固组件固定在所述安装接头上。

在其中的一些实施方式中，所述紧固组件包括穿设在所述安装接头和定位芯上的螺栓、及将所述螺栓紧固的螺母。

在其中的一些实施方式中，所述安装接头上设有沿径向布置的两个第一定位孔，所述定位芯上设有沿径向布置的两个第二定位孔，所述螺栓穿设在两个第一定位孔和两个第二定位孔中。

在其中的一些实施方式中，所述定位芯的外周上设有沿径向延伸的两个定位销，所述安装接头上端设有与所述两个定位销匹配的两个定位槽。

在其中的一些实施方式中，所述两个定位销的轴心连线、与所述两个第二定位孔的轴心连线垂直交错布置，所述两个定位槽的中心连线、与所述两个第一定位孔的轴心连线垂直交错布置。

与现有技术相比，本实用新型的优点是：

通过定位芯和安装接头、及紧固组件的配合将靶头固定在磁棒本体上，结构简单，安装拆卸方便，降低工作强度，提高工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中磁棒安装结构的结构示意图；

图2为本实用新型磁棒安装结构实施例的结构示意图；

图3为图2中I处局部放大图；

其中：

100、磁棒本体；200、靶头；300、螺钉；

1、磁棒本体；

2、靶头；

3、安装接头；3-1、第一定位孔；3-2、定位槽；

4、定位芯；4-1、第二定位孔；4-2、定位销；

5、螺栓；

6、螺母。

具体实施方式

以下结合具体实施例对上述方案做进一步说明。应理解，这些实施例是用于说明本实用新型而不限于限制本实用新型的范围。实施例中采用的实施条件可以根据具体厂家的条件做进一步调整，未注明的实施条件通常为常规实验中的条件。

参见图2、图3，为本实用新型的结构示意图，提供一种磁棒安装结构，包括磁棒本体1、及与磁棒本体1可拆卸连接的靶头2，磁棒本体1与靶头2配合的一端设有安装接头3，靶头2与磁棒本体1配合的一端设有延伸至安装接头3内的定位芯4，定位芯4经紧固组件固定在安装接头3上。

本例中，紧固组件包括穿设在安装接头3和定位芯4上的螺栓5、及将螺栓5紧固的螺母6。

具体的，在安装接头3上设有沿径向布置的两个第一定位孔3-1，在定位芯4上设有沿径向布置的两个第二定位孔4-1，螺栓5穿设在两个第一定位孔3-1和两个第二定位孔4-1中，螺母6与螺栓5螺纹配合并贴合在安装接头3的外侧。

为了进一步优化本实用新型的实施效果，提高安装的精度和效率，在定位芯4外周上设有沿径向延伸的两个定位销4-2，在安装接头3的上端设有与两个定位销4-2匹配的两个定位槽3-2。

本例中，两个定位销4-2的轴心连线、与两个第二定位孔4-1的轴心连线垂直交错布置，两个定位槽3-2的中心连线、与两个第一定位孔3-1的轴心连线垂直交错布置，便于定位芯4与安装接头3之间的定位和装配，提高装配的精度和稳定性。

上述实例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所做的等效变换或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种磁棒安装结构，包括磁棒本体、及与所述磁棒本体可拆卸连接的靶头，其特征在于：所述磁棒本体与所述靶头配合的一端设有安装接头，所述靶头与所述磁棒本体配合的一端设有延伸至所述安装接头内的定位芯，所述定位芯经紧固组件固定在所述安装接头上。

2.根据权利要求1所述的磁棒安装结构，其特征在于：所述紧固组件包括穿设在所述安装接头和定位芯上的螺栓、及将所述螺栓紧固的螺母。

3.根据权利要求2所述的磁棒安装结构，其特征在于：所述安装接头上设有沿径向布置的两个第一定位孔，所述定位芯上设有沿径向布置的两个第二定位孔，所述螺栓穿设在两个第一定位孔和两个第二定位孔中。

4.根据权利要求3所述的磁棒安装结构，其特征在于：所述定位芯的外周上设有沿径向延伸的两个定位销，所述安装接头上端设有与所述两个定位销匹配的两个定位槽。

5.根据权利要求4所述的磁棒安装结构，其特征在于：所述两个定位销的轴心连线、与所述两个第二定位孔的轴心连线垂直交错布置，所述两个定位槽的中心连线、与所述两个第一定位孔的轴心连线垂直交错布置。

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