CN216919388U - 一种可调式溅射设备用载盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型是关于一种可调式溅射设备用载盘，包括镀膜箱，所述镀膜箱的一侧外壁安装有电机B，所述电机B的输出端连接有主动齿轮，所述主动齿轮位于镀膜箱的内部且主动齿轮啮合有从动齿轮，所述从动齿轮的表面连接有转动杆，所述转动杆位于从动齿轮一侧的表面插接有固定座，所述固定座的表面前后对称开设有放置槽，所述位于放置槽左右两侧的固定座的表面均开设有滑动槽，本实用新型中通过设置固定座、主动齿轮、从动齿轮、转动杆、转动齿轮、固定座、固定块、放置槽、齿条、底板以及推动板A和推动板B等结构设计了一种自动化程度高、能够对基片表面进行充分镀膜且工作效率高的可调式溅射设备用载盘。

Description

一种可调式溅射设备用载盘

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射领域，尤其涉及一种可调式溅射设备用载盘。

背景技术

从上世纪80年代开始，磁控溅射技术得到了迅猛的发展，现在测控溅射技术在镀膜领域有着举足轻重的地位，广泛应用于光学、微电子、耐磨、耐蚀、装饰等产业领域，在科研领域和工业生产中发挥着巨大的作用，在磁控溅射过程中，需要将基片固定在基片夹具上，再安放到磁控溅射设备中的基片架上，一般磁控溅射设备靶材在下，基片架在上，因此磁控溅射的基片需要倒置。

目前的溅射设备用基片固定装置仍然存在一定的不足之处：现有部分溅射设备在使用时时，基片表面被夹持部位不能够得到溅射镀膜，且基片的固定以及倒置需要人工手动操作，自动化程度不高，另外，目前的部分机构一次只能固定一枚基片，操作不灵活，工作效率低，针对这些缺陷和不足，现可通过设计一种新型结构来解决。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种可调式溅射设备用载盘。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种可调式溅射设备用载盘，包括镀膜箱，所述镀膜箱的一侧外壁安装有电机B，所述电机B的输出端连接有主动齿轮，所述主动齿轮位于镀膜箱的内部且主动齿轮啮合有从动齿轮，所述从动齿轮的表面连接有转动杆，所述转动杆位于从动齿轮一侧的表面插接有固定座，所述固定座的表面前后对称开设有放置槽，所述位于放置槽左右两侧的固定座的表面均开设有滑动槽，两个呈现斜对称的所述滑动槽的内部均设置有推动板A，所述推动板A通过连接板连接有推动板B，所述推动板B位于一侧的滑动槽的内部且推动板A与推动板B的端部均连接有固定块，两个所述推动板A的底部均设置有底板，两个所述底板相对的表面均设置有齿条，两组所述齿条之间的固定座的底部表面设置有转动齿轮，所述转动齿轮的底壁连接有电机A，所述转动齿轮与两组齿条啮合。

优选的，四个所述固定块的一侧壁表面均设置有防滑齿，所述防滑齿的一端延伸至放置槽的内部；设备的靶材在下侧，基片在被固定好之后需要进行倒置，结构通过在固定块的表面设置防滑齿，增大基片于固定块之间的摩擦力，让基片在倒置时不会掉落。

优选的，所述放置槽的内部设置有基片，所述基片的大小与放置槽的尺寸相匹配；在进行镀膜操作前，用户可以将固定尺寸的基片放置到放置槽的内部。

优选的，所述滑动槽的两侧壁均连接有限位块A，所述镀膜箱的底部内壁安装有靶材；限位块A能够限制固定块的位置，防止固定块与滑动槽脱离滑动连接，结构之间连接紧凑。

优选的，所述固定座的底部前后斜对称设置有滑动套，两个所述底板分别滑动于两个滑动套的内部；底板能够在滑动套的内部进行滑动，这样底板就能够带动推动板A和推动板B将基片固定或松开。

优选的，两个所述底板的远离推动板A的一端均设置有限位块B，所述限位块B的宽度大于滑动套的宽度；限位块B用以限制底板的移动距离，避免底板与滑动套脱离滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，用户在使用此装置时将两个基片放置到两个放置槽的内部，然后启动电机A，让电机A带动转动齿轮转动，由于转动齿轮与两侧的齿条均啮合，因此两个底板会向着相对方向进行移动，底板会通过推动板A带动滑动槽内的固定块进行移动，而推动板 A又利用连接板带动推动板B和固定块在另一个滑动槽内部移动，这样结构就能够同时对两块基片进行固定，装置的固定结构操作灵活方便，工作效率高。

2、本实用新型中，在固定好之后，由于溅射设备的靶材在下方，因此需要对基片进行倒置，这时可以启动电机B，让电机B带动主动齿轮与从动齿轮的啮合带动从动齿轮旋转，这样与从动齿轮连接的转动杆会带动固定座翻转，由于固定块对基片的夹持，基片在倒悬的过程中不会发生掉落的情况，设备的自动化程度高，人工操作过程少。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种可调式溅射设备用载盘的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种可调式溅射设备用载盘的结构仰视图；

图3为本实用新型提出的一种可调式溅射设备用载盘的实施例二示意图。

图中：1.镀膜箱；2.固定座；3.靶材；4.主动齿轮；5.从动齿轮； 6.固定块；7.放置槽；8.基片；9.推动板A；10.推动板B；11.转动杆；12.滑动槽；13.限位块A；14.底板；15.限位块B；16.齿条；17. 滑动套；18.转动齿轮；19.电机A；20.电机B；21.防滑齿。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例一：

一种可调式溅射设备用载盘，包括镀膜箱1，镀膜箱1的一侧外壁安装有电机B20，电机B20的输出端连接有主动齿轮4，主动齿轮 4位于镀膜箱1的内部且主动齿轮4啮合有从动齿轮5，从动齿轮5 的表面连接有转动杆11，转动杆11位于从动齿轮5一侧的表面插接有固定座2，固定座2的表面前后对称开设有放置槽7，位于放置槽7左右两侧的固定座2的表面均开设有滑动槽12，放置槽7的内部设置有基片8，基片8的大小与放置槽7的尺寸相匹配，滑动槽12的两侧壁均连接有限位块A13，镀膜箱1的底部内壁安装有靶材3，转动杆11的一端与从动齿轮5连接，另一端与镀膜箱1的内壁转动连接，在对固定座2翻转时，利用电机B带动主动齿轮4旋转一定的角度，从而让基片8的表面刚好能够对准靶材3，当镀膜完成后再次操纵固定座2回转即可，见附图1和2；在进行镀膜操作前，用户可以将固定尺寸的基片8放置到放置槽7的内部，限位块A13能够限制固定块6的位置，防止固定块6与滑动槽12脱离滑动连接，结构之间连接紧凑。

两个呈现斜对称的滑动槽12的内部均设置有推动板A9，推动板 A9通过连接板连接有推动板B10，推动板B10位于一侧的滑动槽12 的内部且推动板A9与推动板B10的端部均连接有固定块6，两个推动板A9的底部均设置有底板14，两个底板14相对的表面均设置有齿条16，两组齿条16之间的固定座2的底部表面设置有转动齿轮18，转动齿轮18的底壁连接有电机A19，转动齿轮18与两组齿条16啮合，固定座2的底部前后斜对称设置有滑动套17，两个底板14分别滑动于两个滑动套17的内部，两个底板14的远离推动板A9的一端均设置有限位块B15，限位块B15的宽度大于滑动套17的宽度，电机A19会带动转动齿轮18进行旋转，通过齿条16与其啮合的两个底板14会向相对方向移动，这样两组推动板A9和推动板B10就会向着相对方向滑动，进而完成对放置槽7内部的基片8的固定和松开，结构的固定方式灵活简洁，见附图1和2；底板14能够在滑动套17的内部进行滑动，这样底板14就能够带动推动板A9和推动板B10将基片8固定或松开，限位块B15用以限制底板14的移动距离，避免底板14与滑动套17脱离滑动连接。

实施例二：

四个固定块6的一侧壁表面均设置有防滑齿21，防滑齿21的一端延伸至放置槽7的内部，见附图3；设备的靶材3在下侧，基片8 在被固定好之后需要进行倒置，结构通过在固定块6的表面设置防滑齿21，增大基片8于固定块6之间的摩擦力，让基片8在倒置时不会掉落。

工作原理：用户在使用此装置时将两个基片8放置到两个放置槽 7的内部，然后启动电机A19，让电机A19带动转动齿轮18转动，由于转动齿轮18与两侧的齿条16均啮合，因此两个底板14会向着相对方向进行移动，底板14会通过推动板A9带动滑动槽12内的固定块6进行移动，而推动板A9又利用连接板带动推动板B10和固定块 6在另一个滑动槽12内部移动，这样结构就能够同时对两块基片8 进行固定，装置的固定结构操作灵活方便，工作效率高，在固定好之后，由于溅射设备的靶材3在下方，因此需要对基片8进行倒置，这时可以启动电机B20，让电机B20带动主动齿轮4与从动齿轮5的啮合带动从动齿轮4旋转，这样与从动齿轮4连接的转动杆11会带动固定座2翻转，由于固定块6对基片8的夹持，基片8在倒悬的过程中不会发生掉落的情况，设备的自动化程度高，人工操作过程少。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种可调式溅射设备用载盘，包括镀膜箱(1)，其特征在于，所述镀膜箱(1)的一侧外壁安装有电机B(20)，所述电机B(20)的输出端连接有主动齿轮(4)，所述主动齿轮(4)位于镀膜箱(1)的内部且主动齿轮(4)啮合有从动齿轮(5)，所述从动齿轮(5)的表面连接有转动杆(11)，所述转动杆(11)位于从动齿轮(5)一侧的表面插接有固定座(2)，所述固定座(2)的表面前后对称开设有放置槽(7)，所述位于放置槽(7)左右两侧的固定座(2)的表面均开设有滑动槽(12)，两个呈现斜对称的所述滑动槽(12)的内部均设置有推动板A(9)，所述推动板A(9)通过连接板连接有推动板B(10)，所述推动板B(10)位于一侧的滑动槽(12)的内部且推动板A(9)与推动板B(10)的端部均连接有固定块(6)，两个所述推动板A(9)的底部均设置有底板(14)，两个所述底板(14)相对的表面均设置有齿条(16)，两组所述齿条(16)之间的固定座(2)的底部表面设置有转动齿轮(18)，所述转动齿轮(18)的底壁连接有电机A(19)，所述转动齿轮(18)与两组齿条(16)啮合。

2.根据权利要求1所述的一种可调式溅射设备用载盘，其特征在于，四个所述固定块(6)的一侧壁表面均设置有防滑齿(21)，所述防滑齿(21)的一端延伸至放置槽(7)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种可调式溅射设备用载盘，其特征在于，所述放置槽(7)的内部设置有基片(8)，所述基片(8)的大小与放置槽(7)的尺寸相匹配。

4.根据权利要求1所述的一种可调式溅射设备用载盘，其特征在于，所述滑动槽(12)的两侧壁均连接有限位块A(13)，所述镀膜箱(1)的底部内壁安装有靶材(3)。

5.根据权利要求1所述的一种可调式溅射设备用载盘，其特征在于，所述固定座(2)的底部前后斜对称设置有滑动套(17)，两个所述底板(14)分别滑动于两个滑动套(17)的内部。

6.根据权利要求1或5所述的一种可调式溅射设备用载盘，其特征在于，两个所述底板(14)的远离推动板A(9)的一端均设置有限位块B(15)，所述限位块B(15)的宽度大于滑动套(17)的宽度。

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