CN216902887U - 一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆技术领域，且公开了一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，包括底座，所述底座上表面的四角处均固定连接有稳定板，四个所述稳定板的表面从上至下依次共同滑动套接有第一测试机构和第二测试机构，四个所述稳定板的顶端共同固定连接有顶板。该半导体晶圆凸块用推拉力测试机，通过底座、稳定板、顶板、电动推杆、活动板和活动槽等结构的设置，转动双向螺纹杆使其上的夹板相互远离，转动承载座从而可以调整其上的拉力测试机构和压力测试机构的位置，且反向转动双向螺纹杆，使其上的夹板相互靠近，又可以对承载座进行限位固定，进而可以通过该测试机实现拉力和压力的共同测试，提高了测试效率，方便了工作人员的操作使用。

Description

一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。

在半导体晶圆的生产制造过程中需要通过测试机对其性能进行测试，其中就包括拉力和压力测试，传统的压力和拉力测试机大多为相互独立的设置，因此在对其进行测试时需要转运至不同的设备内进行有序测试，测试效率较低，使用较为不便，为此提出一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，解决了上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，包括底座，所述底座上表面的四角处均固定连接有稳定板，四个所述稳定板的表面从上至下依次共同滑动套接有第一测试机构和第二测试机构，四个所述稳定板的顶端共同固定连接有顶板，所述顶板的背面安装有控制面板，所述顶板下表面的两侧均固定安装有电动推杆，所述第一测试机构包括滑动套接于四个所述稳定板表面的活动板，所述活动板的表面开设有活动槽，所述活动槽的内侧通过滑槽活动连接有活动环，所述活动环的数量为两个，两个所述活动环的相对侧共同固定连接有活动筒，所述活动筒的表面固定连接有承载座，所述活动板的内部通过轴座活动安装有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的两端均螺纹连接有夹板，所述夹板的表面固定连接有限位块，所述承载座的表面开设有与限位块相适配的限位槽，所述承载座的上表面固定连接有拉力测试机构，所述承载座的下表面固定连接有压力测试机构。

可选的，所述电动推杆的输出端固定连接于活动板的上表面，所述第一测试机构和第二测试机构的结构相同。

可选的，所述拉力测试机构包括固定连接于承载座上表面的拉力测试传感器，所述拉力测试传感器的表面固定连接有安装板。

可选的，所述安装板的两侧均螺纹连接有丝杆，所述丝杆的一端通过轴座活动安装有夹持板。

可选的，所述丝杆的另一端固定连接有旋钮，所述夹持板与安装板滑动连接。

可选的，所述压力测试机构包括固定连接于承载座下表面的固定盘。

可选的，所述固定盘的一端固定安装有压力测试传感器，所述压力测试传感器的表面固定连接有测试台。

可选的，所述底座正面和背面的两侧均固定连接有稳定块，所述稳定块的形状为矩形。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，具备以下有益效果：

1、该半导体晶圆凸块用推拉力测试机，通过底座、稳定板、顶板、电动推杆、活动板和活动槽等结构的设置，转动双向螺纹杆使其上的夹板相互远离，转动承载座从而可以调整其上的拉力测试机构和压力测试机构的位置，且反向转动双向螺纹杆，使其上的夹板相互靠近，又可以对承载座进行限位固定，进而可以通过该测试机实现拉力和压力的共同测试，提高了测试效率，方便了工作人员的操作使用。

2、该半导体晶圆凸块用推拉力测试机，通过调整第一测试机构和第二测试机构上的拉力检测装置，使其处于相对状态，转动丝杆使夹持板对晶圆进行夹持，启动电动推杆使第一测试机构向上移动，从而可以通过其上的拉力测试传感器对其进行拉力测试，通过调整第一测试机构和第二测试机构上的压力检测装置，使其处于相对状态，将晶圆放置于测试台上，启动电动推杆使其带动第一测试机构向下移动，进而可以通过其上的压力传感器对其进行压力检测，继而增大了该测试机的适用范围，提高了该测试机的实用性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型第二形态结构示意图；

图3为本实用新型拆解结构示意图；

图4为本实用新型部分剖视结构示意图；

图5为本实用新型部分拆解结构示意图。

图中：1、底座；2、稳定板；3、顶板；4、电动推杆；5、活动板；6、活动槽；8、活动环；9、活动筒；10、承载座；11、双向螺纹杆；12、夹板；13、限位块；14、限位槽；15、拉力测试传感器；16、安装板；17、丝杆；18、夹持板；19、测试台；20、固定盘；21、压力测试传感器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图5，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，包括底座1，底座1上表面的四角处均固定连接有稳定板2，四个稳定板2的表面从上至下依次共同滑动套接有第一测试机构和第二测试机构，四个稳定板2的顶端共同固定连接有顶板3，顶板3的背面安装有控制面板，顶板3下表面的两侧均固定安装有电动推杆4，第一测试机构包括滑动套接于四个稳定板2表面的活动板5，活动板5的表面开设有活动槽6，活动槽6的内侧通过滑槽活动连接有活动环8，活动环8的数量为两个，两个活动环8的相对侧共同固定连接有活动筒9，活动筒9的表面固定连接有承载座10，活动板5的内部通过轴座活动安装有双向螺纹杆11，双向螺纹杆11的两端开设有反向螺纹，双向螺纹杆11的一端贯穿活动板5固定连接有旋动钮，通过旋动钮的设置，方便了双向螺纹杆11的转动，双向螺纹杆11的两端均螺纹连接有夹板12，夹持12与活动板5滑动连接，夹板12的表面固定连接有限位块13，承载座10的表面开设有与限位块13相适配的限位槽14，承载座10的上表面固定连接有拉力测试机构，承载座10的下表面固定连接有压力测试机构。

电动推杆4的输出端固定连接于活动板5的上表面，第一测试机构和第二测试机构的结构相同，拉力测试机构包括固定连接于承载座10上表面的拉力测试传感器15，拉力测试传感器15的表面固定连接有安装板16，安装板16的两侧均螺纹连接有丝杆17，丝杆17的一端通过轴座活动安装有夹持板18，丝杆17的另一端固定连接有旋钮，旋钮方便了丝杆17的转动，夹持板18与安装板16滑动连接，通过夹持板18与安装板16的滑动连接，从而提高了夹持板18对晶圆夹持时的稳定性，压力测试机构包括固定连接于承载座10下表面的固定盘20，固定盘20的一端固定安装有压力测试传感器21，压力测试传感器21的表面固定连接有测试台19，底座1正面和背面的两侧均固定连接有稳定块，稳定块的形状为矩形。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备，本公开具体实施方式省略了已知功能和已知部件的详细说明，为保证设备的兼容性，所采用的操作手段均与市面器械参数保持一致。

综上所述，该半导体晶圆凸块用推拉力测试机的操作步骤如下；

1、使用时，使用者转动双向螺纹杆11，使其上的夹板12相互远离，转动承载座10，从而可以调整其上的拉力测试机构和压力测试机构的位置，且反向转动双向螺纹杆11，使其上的夹板12相互靠近，使限位块13卡接于对应的限位槽14内，又可以对承载座10进行限位固定，进而可以通过该测试机实现拉力和压力的共同测试；

2、调整第一测试机构和第二测试机构上的拉力测试机构，使其处于相对状态，转动丝杆17使夹持板18相互靠近，实现对晶圆的夹持，启动电动推杆4，使第一测试机构向上移动，从而可以通过其上的拉力测试传感器15对其进行拉力测试；

3、调整第一测试机构和第二测试机构上的压力检测机构，使其处于相对状态，将晶圆放置于测试台19上，启动电动推杆4，使其带动第一测试机构向下移动，进而可以通过其上的压力传感器21对其进行压力检测。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面的四角处均固定连接有稳定板(2)，四个所述稳定板(2)的表面从上至下依次共同滑动套接有第一测试机构和第二测试机构，四个所述稳定板(2)的顶端共同固定连接有顶板(3)，所述顶板(3)的背面安装有控制面板，所述顶板(3)下表面的两侧均固定安装有电动推杆(4)，所述第一测试机构包括滑动套接于四个所述稳定板(2)表面的活动板(5)，所述活动板(5)的表面开设有活动槽(6)，所述活动槽(6)的内侧通过滑槽活动连接有活动环(8)，所述活动环(8)的数量为两个，两个所述活动环(8)的相对侧共同固定连接有活动筒(9)，所述活动筒(9)的表面固定连接有承载座(10)，所述活动板(5)的内部通过轴座活动安装有双向螺纹杆(11)，所述双向螺纹杆(11)的两端均螺纹连接有夹板(12)，所述夹板(12)的表面固定连接有限位块(13)，所述承载座(10)的表面开设有与限位块(13)相适配的限位槽(14)，所述承载座(10)的上表面固定连接有拉力测试机构，所述承载座(10)的下表面固定连接有压力测试机构。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述电动推杆(4)的输出端固定连接于活动板(5)的上表面，所述第一测试机构和第二测试机构的结构相同。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述拉力测试机构包括固定连接于承载座(10)上表面的拉力测试传感器(15)，所述拉力测试传感器(15)的表面固定连接有安装板(16)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述安装板(16)的两侧均螺纹连接有丝杆(17)，所述丝杆(17)的一端通过轴座活动安装有夹持板(18)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述丝杆(17)的另一端固定连接有旋钮，所述夹持板(18)与安装板(16)滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述压力测试机构包括固定连接于承载座(10)下表面的固定盘(20)。

7.根据权利要求6所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述固定盘(20)的一端固定安装有压力测试传感器(21)，所述压力测试传感器(21)的表面固定连接有测试台(19)。

8.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试机，其特征在于：所述底座(1)正面和背面的两侧均固定连接有稳定块，所述稳定块的形状为矩形。

Images