CN216902811U - 一种用于碳化硅晶片退火的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种用于碳化硅晶片退火的装置，包括：固定底座，固定底座的顶端固定连接有反应仓；循环结构，反应仓的一端固定连接有循环结构，且循环结构包括传动电机；增压结构，反应仓内部靠近循环结构的一端固定连接有增压结构，且增压结构包括连接底板；启闭结构，反应仓远离循环结构的一端固定连接有观察窗，反应仓一端的底端设有储料仓，且储料仓和反应仓的连接处固定连接有启闭结构。本实用新型通过增压结构便于均匀稳定的退火，退火的原理是通过加热材料后降温从而达到精炼材料的效果，降温的方式有多种，传统的风冷和密封隔绝空气使其自然冷却的方式存在安全隐患。

Description

一种用于碳化硅晶片退火的装置

技术领域

本实用新型涉及碳化硅晶片领域，特别是涉及一种用于碳化硅晶片退火的装置。

背景技术

退火处理是指将材料在特定气氛中加热到一定的温度,保温一段时间之后, 再以合适的速率冷却的一种方法，是材料领域很常见的一种热处理工艺。退火处理在人工晶体的处理顺序中有重要的作用，例如单晶硅、蓝宝石等晶体在生长完成之后都要进行相应的退火处理，以消除晶体中的应力和缺陷，提高晶体的结晶质量；

传统的退火处理装置不便于均匀稳定的退火，退火的方式是通过加热后降温，而降温的方式有多种，风冷和密封隔绝空气使其自然冷却的方式存在安全隐患，因为晶片等材料其内部的化学物质不稳定，易复燃影响反应仓内压力变化，从而导致爆炸隐患；

传统的退火处理装置不便于针对不同的晶体性质，灵活的向反应仓内添加辅助退火的化学物质；

因此，现在亟需设计一种能解决上述一个或者多个问题的一种用于碳化硅晶片退火的装置。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本实用新型提供了一种用于碳化硅晶片退火的装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于碳化硅晶片退火的装置，包括：

固定底座，所述固定底座的顶端固定连接有反应仓，所述反应仓内部的底端固定连接有集料仓；

循环结构，所述反应仓的一端固定连接有循环结构，且循环结构包括传动电机，所述传动电机的底端和固定底座之间固定连接；

增压结构，所述反应仓内部靠近循环结构的一端固定连接有增压结构，且增压结构包括连接底板，所述连接底板和反应仓之间固定连接；

启闭结构，所述反应仓远离循环结构的一端固定连接有观察窗，所述反应仓一端的底端设有储料仓，且储料仓和反应仓的连接处固定连接有启闭结构，所述启闭结构包括金属管道，且金属管道的两端分别与储料仓和启闭结构固定连接。

优选的，所述传动电机靠近反应仓的一端和反应仓贯穿连接，所述传动电机的顶端固定连接有连接管道，且连接管道靠近反应仓一端的顶端固定连接有第一连接管，所述连接管道靠近反应仓一端的底端固定连接有第二连接管。

优选的，所述连接底板的内部固定连接有输送管道，所述连接底板的顶端固定连接有增压泵，且增压泵和输送管道之间贯穿连接，所述增压泵的顶端贯穿有导流管，所述导流管的一侧固定连接有喷淋头，且喷淋头设有多组，多组喷淋头呈等间距分布。

优选的，所述反应仓的顶端固定连接有集料顶盖，且集料顶盖呈弧形的外形。

优选的，所述金属管道的中间位置处贯穿有密封插杆，所述密封插杆和金属管道之间呈直角分布，所述密封插杆呈圆柱形的外形，所述密封插杆底端的两侧贯穿有贯穿孔，且贯穿孔和金属管道之间可对齐。

优选的，所述密封插杆的底端固定连接有连接插杆，且连接插杆的底端设有固定凹槽，所述固定凹槽顶端的两侧固定连接有和连接插杆表面的外螺纹相互配合的内螺纹，所述固定凹槽内部的底端固定连接有弹性海绵，所述连接插杆两侧的底端固定连接有弹力卡块，且弹力卡块具有弹性，所述连接插杆的底端固定连接有固定插杆。

本实用新型的有益效果是：

1、通过增压结构便于均匀稳定的退火，退火的原理是通过加热材料后降温从而达到精炼材料的效果，降温的方式有多种，传统的风冷和密封隔绝空气使其自然冷却的方式存在安全隐患，因为晶片等材料其内部的化学物质不稳定；该实用新型采用的是喷淋的降温方式，避免材料复燃影响反应仓内压力变化，从而导致爆炸隐患，循环结构的作用是环保，达到循环用水的作用；

2、通过在储料仓内加入辅助退火的化学物质，达到提高工作效率的作用，且可针对不同的晶体性质，向储料仓内添加不同的化学物质，启闭结构的作用是启闭储料仓和反应仓的连接处，便于根据实际需要加入化学物质。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的增压结构立体结构示意图；

图3为本实用新型的正视剖面结构示意图；

图4为本实用新型的图3中A处局部放大示意图。

图中：1、固定底座；2、储料仓；3、反应仓；4、集料顶盖；5、循环结构；501、传动电机；502、连接管道；503、第一连接管；504、第二连接管；6、增压结构；601、连接底板；602、输送管道；603、增压泵；604、导流管；605、喷淋头；7、观察窗；8、集料仓；9、启闭结构；901、密封插杆；902、金属管道；903、贯穿孔；904、连接插杆；905、弹力卡块；906、固定插杆；907、固定凹槽。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加浅显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

如图1-4所示，本实用新型提供了一种用于碳化硅晶片退火的装置，包括：

固定底座1，固定底座1的顶端固定连接有反应仓3，反应仓3内部的底端固定连接有集料仓8；

反应仓3的顶端固定连接有集料顶盖4，且集料顶盖4呈弧形的外形，集料顶盖4弧形顶盖的作用是收集在喷淋过程中预热蒸发的水分，使其向底端的集料仓8流去；

循环结构5，反应仓3的一端固定连接有循环结构5，循环结构5的作用是环保，达到循环用水的作用，且循环结构5包括传动电机501，传动电机501的底端和固定底座1之间固定连接；

传动电机501靠近反应仓3的一端和反应仓3贯穿连接，循环结构5的工作原理是通过外接电源启动传动电机501把反应仓3内部的物料抽出，传动电机501的顶端固定连接有连接管道502，且连接管道502靠近反应仓3一端的顶端固定连接有第一连接管503，连接管道502靠近反应仓3一端的底端固定连接有第二连接管504，通过第一连接管503及第二连接管504流入反应仓3内部达到在不同高度喷淋的作用；

增压结构6，反应仓3内部靠近循环结构5的一端固定连接有增压结构6，通过增压结构6便于均匀稳定的退火，增压结构6的作用是增加水流的水压使得降温效果更好，因为大颗粒的水流内杂质较多，在退火的过程中会影响产品的品质；退火的原理是通过加热材料后降温从而达到精炼材料的效果，降温的方式有多种，传统的风冷和密封隔绝空气使其自然冷却的方式存在安全隐患，因为晶片等材料其内部的化学物质不稳定；该实用新型采用的是喷淋的降温方式，避免材料复燃影响反应仓内压力变化，从而导致爆炸隐患，且增压结构6包括连接底板601，连接底板601和反应仓3之间固定连接，第一连接管503和第二连接管504的一端均连接有一组增压结构6，便于提高工作效率；

连接底板601的内部固定连接有输送管道602，连接底板601的顶端固定连接有增压泵603，增压结构6的工作原理是通过外接电源启动增压泵603，且增压泵603和输送管道602之间贯穿连接，增压泵603通过输送管道602把抽出的水流通过导流管604导到喷淋头605中，增压泵603的顶端贯穿有导流管604，导流管604的一侧固定连接有喷淋头605，且喷淋头605设有多组，多组喷淋头605呈等间距分布；

启闭结构9，反应仓3远离循环结构5的一端固定连接有观察窗7，反应仓3一端的底端设有储料仓2，通过在储料仓2内加入辅助退火的化学物质，达到提高工作效率的作用，且可针对不同的晶体性质，向储料仓2内添加不同的化学物质，且储料仓2和反应仓3的连接处固定连接有启闭结构9，启闭结构9的作用是启闭储料仓2和反应仓3的连接处，便于根据实际需要加入化学物质，启闭结构9包括金属管道902，且金属管道902的两端分别与储料仓2和启闭结构9固定连接；

金属管道902的中间位置处贯穿有密封插杆901，密封插杆901和金属管道902之间呈直角分布，启闭结构9的工作原理是通过旋转密封插杆901，使得密封插杆901从金属管道902中间位置处的滑槽内向上提升，反方向旋转密封插杆901便可使得贯穿孔903下落，闭合通道，密封插杆901呈圆柱形的外形，密封插杆901底端的两侧贯穿有贯穿孔903，且贯穿孔903和金属管道902之间可对齐，使得贯穿孔903和金属管道902对齐，从而使得储料仓2内部的化学物料进入反应仓3中，金属管道902使用金属材质更加稳定，避免内部流动的高浓度的化学物料导致管道被腐蚀；

密封插杆901的底端固定连接有连接插杆904，且连接插杆904的底端设有固定凹槽907，固定凹槽907顶端的两侧固定连接有和连接插杆904表面的外螺纹相互配合的内螺纹，连接插杆904和固定凹槽907内侧顶端的螺纹相互配合，达到固定密封插杆901的作用，固定凹槽907内部的底端固定连接有弹性海绵，连接插杆904两侧的底端固定连接有弹力卡块905，且弹力卡块905具有弹性，弹力卡块905挤压连接处，达到加固的作用，连接插杆904的底端固定连接有固定插杆906，固定插杆906和固定凹槽907底端的弹性海绵卡合达到固定的作用。

工作原理：本实用新型在使用时，首先，通过外接电源启动传动电机501把反应仓3内部的物料抽出，通过第一连接管503及第二连接管504流入反应仓3内部达到在不同高度喷淋的作用，第一连接管503和第二连接管504的一端均连接有一组增压结构6，便于提高工作效率，通过外接电源启动增压泵603，增压泵603通过输送管道602把抽出的水流通过导流管604导到喷淋头605中，通过反应仓3顶端的集料顶盖4收集在喷淋过程中预热蒸发的水分，使其向底端的集料仓8流去。

之后，通过旋转密封插杆901，使得密封插杆901从金属管道902中间位置处的滑槽内向上提升，使得贯穿孔903和金属管道902对齐，从而使得储料仓2内部的化学物料进入反应仓3中，金属管道902使用金属材质更加稳定，避免内部流动的高浓度的化学物料导致管道被腐蚀，反方向旋转密封插杆901便可使得贯穿孔903下落，闭合通道，连接插杆904和固定凹槽907内侧顶端的螺纹相互配合，达到固定密封插杆901的作用。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种或者多种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (6)

1.一种用于碳化硅晶片退火的装置，其特征在于，包括：

固定底座（1），所述固定底座（1）的顶端固定连接有反应仓（3），所述反应仓（3）内部的底端固定连接有集料仓（8）；

循环结构（5），所述反应仓（3）的一端固定连接有循环结构（5），且循环结构（5）包括传动电机（501），所述传动电机（501）的底端和固定底座（1）之间固定连接；

增压结构（6），所述反应仓（3）内部靠近循环结构（5）的一端固定连接有增压结构（6），且增压结构（6）包括连接底板（601），所述连接底板（601）和反应仓（3）之间固定连接；

启闭结构（9），所述反应仓（3）远离循环结构（5）的一端固定连接有观察窗（7），所述反应仓（3）一端的底端设有储料仓（2），且储料仓（2）和反应仓（3）的连接处固定连接有启闭结构（9），所述启闭结构（9）包括金属管道（902），且金属管道（902）的两端分别与储料仓（2）和启闭结构（9）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片退火的装置，其特征在于：所述传动电机（501）靠近反应仓（3）的一端和反应仓（3）贯穿连接，所述传动电机（501）的顶端固定连接有连接管道（502），且连接管道（502）靠近反应仓（3）一端的顶端固定连接有第一连接管（503），所述连接管道（502）靠近反应仓（3）一端的底端固定连接有第二连接管（504）。

3.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片退火的装置，其特征在于：所述连接底板（601）的内部固定连接有输送管道（602），所述连接底板（601）的顶端固定连接有增压泵（603），且增压泵（603）和输送管道（602）之间贯穿连接，所述增压泵（603）的顶端贯穿有导流管（604），所述导流管（604）的一侧固定连接有喷淋头（605），且喷淋头（605）设有多组，多组喷淋头（605）呈等间距分布。

4.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片退火的装置，其特征在于：所述反应仓（3）的顶端固定连接有集料顶盖（4），且集料顶盖（4）呈弧形的外形。

5.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片退火的装置，其特征在于：所述金属管道（902）的中间位置处贯穿有密封插杆（901），所述密封插杆（901）和金属管道（902）之间呈直角分布，所述密封插杆（901）呈圆柱形的外形，所述密封插杆（901）底端的两侧贯穿有贯穿孔（903），且贯穿孔（903）和金属管道（902）之间对齐。

6.根据权利要求5所述的一种用于碳化硅晶片退火的装置，其特征在于：所述密封插杆（901）的底端固定连接有连接插杆（904），且连接插杆（904）的底端设有固定凹槽（907），所述固定凹槽（907）顶端的两侧固定连接有和连接插杆（904）表面的外螺纹相互配合的内螺纹，所述固定凹槽（907）内部的底端固定连接有弹性海绵，所述连接插杆（904）两侧的底端固定连接有弹力卡块（905），且弹力卡块（905）具有弹性，所述连接插杆（904）的底端固定连接有固定插杆（906）。

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