CN216898958U - 一种用于测试装置的密封装置、透明罩和底座装置 - Google Patents
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Abstract
一种用于测试装置的密封装置，包括同时与透明罩和底座装置相接触的水平的第一部分，其特征在于，还包括同时接触所述透明罩和所述底座装置的起到定位作用的竖直第二部分。还涉及透明罩和底座装置。
Description
技术领域
本实用新型涉及测试领域，特别涉及一种用于测试装置的密封装置，相应的透明罩和底座装置
背景技术
传统的玻璃钟罩密封结构中，钟罩密封为带翻边法兰的结构，法兰需要经过烧制、定型和磨口等加工工序，因为成品率低，需要加工多个工件进行筛选。密封材料为O型密封圈，对钟罩的法兰尺寸、平面度和法兰的定位都要求比较苛刻，定位不准确，钟罩和密封圈的接触面积小，在实际应用中需要反复找正钟罩和密封圈的相对位置，密封性较差，很难在超高真空环境中使用。常规的测试只能输入低电压进行测试，由于空间有限，无法解决高压输入时放电问题。
新型超高真空用玻璃钟罩密封结构的玻璃钟罩结构为直边结构，不需要法兰边，节省了繁琐的烧制、定型和磨口等法兰加工工序。密封圈为异形结构，外圈带定位结构，和钟罩接触后受力面积增大，密封可靠。钟罩装配时可迅速定位，一次性装配成功，安装效率提高。密封圈为氟橡胶材料，异形橡胶圈弹性好，变形量大，可以弥补钟罩下沿平面度误差，另外氟橡胶放气量小，可耐烘烤，适用于超高真空环境。
实用新型内容
为了解决存在的技术问题实现所述效果，本实用新型提供了如下解决方案：
一种用于测试装置的密封装置，包括同时与透明罩和底座装置相接触的水平的第一部分，其特征在于，还包括同时接触所述透明罩和所述底座装置的起到定位作用的竖直第二部分。
优选地，所述第一部分和第二部分分别为平面部分并且做成一体。
优选地，所述第一部分包括接触所述透明罩的上面和接触所述底座装置的底面，所述第二部分包括接触所述透明罩的内面和接触所底座装置的外面。
优选地，所述第一部分和第二部分共同形成L型。
本实用新型还提出一种用于测试装置的透明罩，包括上述密封装置接触的水平末端和外周面。
本申请人还提出了一种用于测试装置的底座装置，包括上述的用于测试装置的密封装置匹配的凹槽。
优选地，包括设有所述凹槽的第一盘体、用于连接抽真空装置的第二盘体和连接所述第一盘体和所述第二盘体的连接部分。
优选地，所述第一盘体的下侧与所述凹槽对应位置设置冷却装置。
优选地，所述冷却装置包括容纳冷却液的凹腔和封闭冷却液体的水道盖板。
优选地，所述连接部分设置有用于引入传感器信号和电压的缆线出入口。
本申请中的用语“内”、“外”、“上”、“下”，仅是示意性地，针对本实用新型的装置在正常使用时本领域技术人员习惯上用于指示方位的意义。
附图说明
图1为本实用新型的测试装置立体视图，其中密封装置，底座装置和透明罩组装在一起；
图2为图1的本实用新型的测试装置的剖视主视图；
图3示出了本实用新型的测试装置的上述三个组成装置的连接部位的局部放大剖视图。
其中，100为测试装置，底座装置103；1为玻璃钟罩；2为密封圈；21为竖直部分；3为底座装置的第一圆盘，也称为钟罩底部法兰凹槽；31为密封圈定位结构，在该第一圆盘上的凹槽；32为第一圆盘的平面部分或结构；4为水道；41为盖板；5为连接管；6为第一接口；7为第二圆盘。
具体实施方式
本实用新型解决的技术问题是，将传统的法兰式玻璃钟罩密封结构做了优化。去掉了钟罩底部的翻边法兰，改成了直边形式，结构简单合理，安装方便，密封可靠，适合于在超高真空环境下使用，同时节约了安装和调整时间，提高了效率。
本实用新型的超高真空玻璃钟罩密封结构优化了钟罩底部的密封圈结构，设计了异形密封圈，增大了上下密封面的接触面积，密封更可靠。
本实用新型的超高真空玻璃钟罩密封结构在安装时将密封圈和钟罩设计了双重定位，安装简单，节省了钟罩安装的时间。
图1示出了一种测试装置100，其中玻璃钟罩1，也可以为其他透明罩，置于底座装置103上面，密封装置2接触所述玻璃钟罩1和底座装置103。
玻璃钟罩密封1包括可为石英玻璃钟罩1，其下沿如图1-3所示为直边口，无法兰边，简化了钟罩加工过程中的封边、磨口等工序，节约了成本。氟橡胶密封圈2为异形结构，如图3所示，上下为平面结构，外侧带有定位结构21，氟橡胶材料放气量小，耐烘烤，适合于超高真空条件下使用，异形密封圈选用的氟橡胶更柔软，变形量大，密封更可靠。钟罩底部法兰3带有密封圈定位结构31，同时法兰底部开有水道4，使用中可通水冷却，保护密封圈，水道结构有水道盖板41和隔水板(未示出)。钟罩密封结构法兰3上部为平面结构32，可放置测试支架等工装。钟罩密封结构通过连接管5支撑。钟罩密封结构设计有第一接口6，用于引入各种传感器信号和电压等。钟罩密封结构设计有第二圆盘7，用于抽真空。
以上结合附图进行说明所使用的用语仅仅是示范性地，不作为限制本实用新型的保护范围，保护范围应以权利要求书的用语为准。
上述各实施例仅是本实用新型的优选实施方式，在本技术领域内，凡是基于本实用新型技术方案上的变化和改进，不应排除在本实用新型的保护范围之外。
Claims (10)
1.一种用于测试装置的密封装置，包括同时与透明罩和底座装置相接触的水平的第一部分，其特征在于，还包括同时接触所述透明罩和所述底座装置的起到定位作用的竖直第二部分。
2.根据权利要求1所述的用于测试装置的密封装置，其特征在于，所述第一部分和第二部分分别为平面部分并且做成一体。
3.根据权利要求2所述的用于测试装置的密封装置，其特征在于所述第一部分包括接触所述透明罩的上面和接触所述底座装置的底面，所述第二部分包括接触所述透明罩的内面和接触所底座装置的外面。
4.根据权利要求3所述的用于测试装置的密封装置，其特征在于，所述第一部分和第二部分共同形成L型。
5.一种用于测试装置的透明罩，其特征在于，包括与权利要求1-4中任一项所述的密封装置接触的水平末端和外周面。
6.一种用于测试装置的底座装置，其特征在于，包括与根据权利要求1-4中任一项所述的用于测试装置的密封装置匹配的凹槽。
7.根据权利要求6所述的用于测试装置的底座装置，其特征在于，包括设有所述凹槽的第一盘体、用于连接抽真空装置的第二盘体和连接所述第一盘体和所述第二盘体的连接部分。
8.根据权利要求7所述的用于测试装置的底座装置，其特征在于，所述第一盘体的下侧与所述凹槽对应位置设置冷却装置。
9.根据权利要求8所述的用于测试装置的底座装置，其特征在于，所述冷却装置包括容纳冷却液的凹腔和封闭冷却液体的水道盖板。
10.根据权利要求9所述的用于测试装置的底座装置，其特征在于，所述连接部分设置有用于引入传感器信号和电压的缆线出入口。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122822504.XU CN216898958U (zh) | 2021-11-17 | 2021-11-17 | 一种用于测试装置的密封装置、透明罩和底座装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122822504.XU CN216898958U (zh) | 2021-11-17 | 2021-11-17 | 一种用于测试装置的密封装置、透明罩和底座装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216898958U true CN216898958U (zh) | 2022-07-05 |
Family
ID=82200659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122822504.XU Active CN216898958U (zh) | 2021-11-17 | 2021-11-17 | 一种用于测试装置的密封装置、透明罩和底座装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216898958U (zh) |
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2021
- 2021-11-17 CN CN202122822504.XU patent/CN216898958U/zh active Active
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