CN216895965U - 一种腔室系统的泄压控制装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种腔室系统的泄压控制装置，该系统包括：腔室，包括顶板、底板和侧板，所述顶板具有开口部；泄压板，位于所述开口部上，用于盖合所述开口部；密封部，包括至少2个密封件，所述密封部设于所述顶板和所述泄压板之间，相邻的所述密封件之间形成环形腔；真空装置，与所述环形腔连接，用于控制所述环形腔内的压力，使所述顶板与所述泄压板密封连接，当所述腔室内的压力达到开启压力时，所述泄压板开启，所述腔室内的气体由所述泄压板排出，本实用新型通过设置可精确控制开启压力的泄压板，避免了影响腔室内部件更换的耐压选择范围，增强了系统的可靠性。

Description

一种腔室系统的泄压控制装置

技术领域

本实用新型涉及半导体处理设备领域，尤其涉及一种腔室系统的泄压控制装置。

背景技术

现有腔室系统中如果采用冷却水对石英等非金属反应腔盖组件进行冷却以减少预反应，由于反应腔内的反应区域温度会超过1300℃，会存在非金属材质开裂，水蒸气膨胀造成系统腔室内的高压风险。如果采用泄压板对腔室进行密封，那么泄压板的开启压力则由泄压板的材料和厚度决定，如果更换腔室内的部件，若该部件能承受的最大压力小于该泄压板的开启压力，则会导致部件损坏，因此更换部件的可选择范围变窄，一旦有其他需求，则需重新定制泄压板。因此，如何精确控制腔室的泄压开启压力，从而避免影响腔室内部件更换的耐压选择范围，是目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种腔室系统的泄压控制装置，可精确控制泄压压力，解决了水蒸气膨胀造成的高压风险的问题，增强了系统的可靠性。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种腔室系统的泄压控制装置，包括：腔室，包括顶板，所述顶板具有开口部；泄压板，位于所述开口部上，用于盖合所述开口部；密封部，包括至少2个密封件，所述密封部设于所述顶板和所述泄压板之间，相邻的所述密封件之间形成环形腔；真空装置，与所述环形腔连接，用于控制所述环形腔内的压力，使所述顶板与所述泄压板密封连接；当所述腔室内的压力达到开启压力时，所述泄压板开启，所述腔室内的气体由所述泄压板排出。

本实用新型的提供的腔室系统的泄压控制装置有益效果在于：通过设置至少2个密封件从而形成至少1个环形腔，且环形腔与真空装置连接，使环形腔可通过真空装置调节压力大小，从而可精确控制泄压开启压力，不仅解决了水蒸气膨胀造成的高压风险的问题，还避免了影响腔室内部件更换的耐压选择范围，增强了系统的可靠性

可选的，所述开启压力根据所述真空装置控制所述环形腔内的压力进行调节。

可选的，所述环形腔至少为2个，所述真空装置与所述环形腔一一对应连接。其有益效果在于：使每个环形腔可单独调节压力大小，可进一步精确控制泄压开启压力，进一步扩大腔室内更换的耐压选择范围。

可选的，还包括真空测量装置，所述真空测量装置与所述环形腔一一对应连接。

可选的，还包括排气组件，所述排气组件与所述腔室导通，所述排气组件包括排气管路、动力泵和泄压阀，所述排气管路的一端与所述腔室导通，所述排气管路的另一端与动力泵连接，所述泄压阀与所述动力泵并联设置。其有益效果在于：在腔室系统上还设置泄压阀，进一步提高了系统的可靠性。

可选的，所述泄压阀与所述动力泵尾端连接至尾气处理装置。其有益效果在于：通过将泄压阀与动力泵尾端连接至尾气处理装置，避免了环境的污染。

可选的，所述腔室内设有反应腔，所述排气组件与所述反应腔导通，所述反应腔内设有盖组件、承载盘和与所述盖组件相对设置的底部组件，所述承载盘用于承载基板，所述盖组件内设有冷却腔，所述冷却腔用于通入冷却液体，所述底部组件开设有开口，所述承载盘可活动的设于所述开口，当执行工艺生长过程时，所述承载盘的上表面与所述底部组件的上表面高度持平。

可选的，所述外腔室的材质为金属。

可选的，所述盖组件的材质为耐高温的非金属材质。

附图说明

图1为本实用新型提供的腔室系统的泄压控制装置的结构示意图；

图2为图1中A处的详细图。

附图标记：

腔室100、顶板101、密封部102、环形腔103、泄压板104、开口部105、环形槽106、侧板107、底板108；

排气组件200、排气管路201、动力泵202、泄压阀203；

反应腔300、盖组件301、冷却腔302、承载盘303、底部组件304；进气管400；尾气处理装置500。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

针对现有技术存在的问题，本实用新型的实施例提供了一种腔室系统的泄压控制装置，参考图1和图2所示，该泄压控制装置包括腔室100，该腔室包括顶板101，底板108和侧板107，所述顶板101具有开口部105。泄压板104位于所述开口部105上，用于盖合所述开口部105。密封部102，包括至少2个密封件，且该密封部102设于所述顶板101和所述泄压板104之间，相邻的所述密封件之间形成环形腔103。真空装置(未示出)与所述环形腔103连接，用于控制所述环形腔103内的压力，使所述顶板101与所述泄压板104通过密封连接。所以，当腔室内的压力达到开启压力时，所述泄压板104开启，所述腔室内的气体由所述泄压板104排出。

可以理解的是，环形腔103内的压力通过所述真空装置来控制，因此通过抽空环形腔103内的空气，使得泄压板104被大气自然压紧密封，而无需通过螺钉等紧固件压紧所述密封件来实现密封。

可以理解的是，所述开启压力是根据真空装置控制环形腔103内的压力而形成的，所以该开启压力可由真空装置控制调节。如需增加开启压力，则通过所述真空装置提高所述环形腔103的真空度，如需减小开启压力，则通过所述真空装置减小所述环形腔103的真空度。并且，将所述开启压力设置为小于所述腔室中各部件能承受的最大压力值相比中的最小值，避免开启压力设置过大使腔室100内的各部件结构受损。

在本实施例中，通过设置至少2个密封件从而形成至少1个环形腔103，且每个环形腔103与真空装置连接，使每个环形腔103可通过真空装置单独设置压力大小，从而可精确控制泄压压力，实现每个环形腔103内的压力值调节，可进一步精确控制泄压开启压力，增强了系统的可靠性。

可选的，所述环形腔103至少为2个，即所述密封件至少为3个，真空装置的数量与环形腔103的数量相同，真空装置与环形腔103一一对应连接，从而使每个环形腔103均可单独设置压力大小。

在本实施例中，所述开口部105设于所述顶板101上，所述顶板101的周向设有环形槽106，密封部102设于所述环形槽106内。在有些实施例中，所述环形槽106也可设于所述泄压板104的周向。

可选的，该泄压控制装置还包括排气组件200，所述排气组件200与所述腔室导通，所述排气组件200包括排气管路201、动力泵202和泄压阀203，所述排气管路201的一端与所述腔室导通，所述排气管路201的另一端与动力泵202 连接，所述泄压阀203与所述动力泵202并联设置，所述腔室内的气体可由所述泄压阀排出。

可选的，所述腔室内设有反应腔300，所述排气组件200中的排气管路201 与所述反应腔300导通。所述反应腔300内设有盖组件301、承载盘303和与所述盖组件301相对设置的底部组件304，所述承载盘303用于承载基板，所述盖组件301内设有冷却腔302，所述冷却腔302用于通入冷却液体。所述底部组件 304开设有开口，所述承载盘303可活动的设于所述开口，当所述反应腔300执行工艺生长过程时，所述承载盘303正好位于所述底部组件304的开口中。根据工艺需求，可以调节所述承载盘303，使其上表面与所述底部组件304上表面的高度持平，或者略低，或者略高，所述承载盘303、底部组件304与所述盖组件301之间的空间构成了所述反应腔300的气相沉积区域。工艺生长过程执行完毕后，所述承载盘303通过旋转升降轴(图中未示出)经所述底部组件304 的开口移出所述反应腔300，执行卸片和载片。

具体的，所述排气组件200包括排气管路201、动力泵202和泄压阀203，所述排气管路201的一端与所述腔室内的反应腔300导通，所述排气管路201 的另一端与动力泵202连接，所述泄压阀203与所述动力泵202并联设置。所以，当反应室内气压过大时，反应腔300内的气体还可通过泄压阀203排出，避免内部气压过大导致的腔室内器件的损坏。

需要说明的是，泄压阀203的开启压力小于泄压板104的开启压力，所述反应腔300内的压力达到泄压阀的开启压力时，所述泄压阀203开启，所述腔室内的气体由所述泄压阀203排出。其中，所述泄压阀的开启压力设置为小于所述排气组件200中各部件能承受的最大压力值相比中的最小值。

可选的，所述泄压阀203与所述动力泵202的尾端连接至尾气处理装置500，避免了介质排出对环境产生的污染。

在本实施例中，所述腔室100采用金属材质，如采用不锈钢材质制备，使整体结构强度大大提高。当然，在其他实施例中，可采用其他金属材质制备腔室100。所述盖组件301为耐高温的非金属材质，如采用石英材质制备，当然也可采用其他耐高温的非金属材质，比如刚玉、陶瓷等，在此不一一阐述。

在一些实施例中，腔室100内还设置有进气管400，所述进气管400与所述反应腔300导通，用于向所述反应腔300提供反应气体。在本实用新型一些实施例中，所述进气管400为耐高温的非金属材质，如石英、刚玉、陶瓷等。

以上所述，仅为本申请实施例的具体实施方式，但本申请实施例的保护范围并不局限于此，任何在本申请实施例揭露的技术范围内的变化或替换，都应涵盖在本申请实施例的保护范围之内。因此，本申请实施例的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种腔室系统的泄压控制装置，其特征在于，包括：

腔室，包括顶板，所述顶板具有开口部；

泄压板，位于所述开口部上，用于盖合所述开口部；

密封部，包括至少2个密封件，所述密封部设于所述顶板和所述泄压板之间，相邻的所述密封件之间形成环形腔；

真空装置，与所述环形腔连接，用于控制所述环形腔内的压力，使所述顶板与所述泄压板密封连接；

当所述腔室内的压力达到开启压力时，所述泄压板开启，所述腔室内的气体由所述泄压板排出。

2.根据权利要求1所述的腔室系统的泄压控制装置，其特征在于，所述开启压力根据所述真空装置控制所述环形腔内的压力进行调节。

3.根据权利要求1所述的腔室系统的泄压控制装置，其特征在于，所述环形腔至少为2个，所述真空装置与所述环形腔一一对应连接。

4.根据权利要求3所述的腔室系统的泄压控制装置，其特征在于，还包括真空测量装置，所述真空测量装置与所述环形腔一一对应连接。

5.根据权利要求1所述的腔室系统的泄压控制装置，其特征在于，还包括排气组件，所述排气组件与所述腔室导通，所述排气组件包括排气管路、动力泵和泄压阀，所述排气管路的一端与所述腔室导通，所述排气管路的另一端与动力泵连接，所述泄压阀与所述动力泵并联设置，所述腔室内的气体可由所述泄压阀排出。

6.根据权利要求5所述的腔室系统的泄压控制装置，其特征在于，所述泄压阀与所述动力泵的尾端连接至尾气处理装置。

7.根据权利要求6所述的腔室系统的泄压控制装置，其特征在于，所述腔室内设有反应腔，所述排气组件与所述反应腔导通，所述反应腔内设有盖组件、承载盘和与所述盖组件相对设置的底部组件，所述承载盘用于承载基板，所述盖组件内设有冷却腔，所述冷却腔用于通入冷却液体，所述底部组件开设有开口，所述承载盘可活动的设于所述开口。

8.根据权利要求1所述的腔室系统的泄压控制装置，其特征在于，所述腔室的材质为金属。

9.根据权利要求7所述的腔室系统的泄压控制装置，其特征在于，所述盖组件的材质为耐高温的非金属。

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