CN216860227U - 一种硅棒切割装置的线切割装置及硅棒切割装置 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种硅棒切割装置的线切割装置及硅棒切割装置。线切割装置包括：切割支架；放线机构和收线机构，分别设置在所述切割支架的两侧；所述放线机构用于将储存的单根金刚线放出，所述收线机构用于接收金刚线并储存；线网机构，设置在所述切割支架处；线网张力机构，设置在所述线网机构内；所述金刚线经过所述线网机构和线网张力机构进行走线，在所述切割支架处形成至少一根竖向设置的切割线；其中，所述线网张力机构用于对位于线网机构内的金刚线施加张力，使得切割线保持预设张力。硅棒切割装置包括上述线切割装置。本申请实施例解决了传统的硅棒切割装置的金刚线进行切割时张力不足的技术问题。

Description

一种硅棒切割装置的线切割装置及硅棒切割装置

技术领域

本申请涉及切割技术领域，具体地，涉及一种硅棒切割装置的线切割装置及硅棒切割装置。

背景技术

通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒是圆柱形的单晶硅棒。单晶硅片由单晶硅棒切割而成，一般先将单晶硅棒进行切方，得到用于制备单晶硅片的方棒，再将方棒切片制得单晶硅片。单晶硅棒切方会产生边皮料，而边皮料一般都是回炉或用作高效多晶铸锭籽晶等使用，造成单晶硅棒的利用率较低。传统的硅棒切割装置的金刚线走线复杂且较长，导致金刚线进行切割时张力不足。

因此，传统的硅棒切割装置的金刚线进行切割时张力不足，是本领域技术人员急需要解决的技术问题。

在背景技术中公开的上述信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此其可能包含没有形成为本领域普通技术人员所知晓的现有技术的信息。

实用新型内容

本申请实施例提供了一种硅棒切割装置的线切割装置及硅棒切割装置，以解决传统的硅棒切割装置的金刚线进行切割时张力不足的技术问题。

本申请实施例提供了一种硅棒切割装置的线切割，包括：

切割支架，所述切割支架安装在所述机座之上；

放线机构和收线机构，分别设置在所述切割支架的两侧；所述放线机构用于将储存的单根金刚线放出，所述收线机构用于接收金刚线并储存；

线网机构，设置在所述切割支架处；

线网张力机构，设置在所述线网机构内；所述金刚线经过所述线网机构和线网张力机构进行走线，在所述切割支架处形成至少一根竖向设置的切割线；

其中，所述线网张力机构用于对位于线网机构内的金刚线施加张力，使得切割线保持预设张力。

本申请实施例还提供一种硅棒切割装置，包括：

上述线切割装置；

机座；

承载装置，安装于所述机座，用于固定硅棒，所述承载装置用于承载硅棒位置的形状与硅棒外表面的形状相配合；

线切割装置，安装于所述机座，所述承载装置和所述线切割装置能够相对做直线运动；

其中，在所述承载装置和所述线切割装置相对直线运动过程中，所述线切割装置的切割线用于沿硅棒的长度方向切割。

本申请实施例由于采用以上技术方案，具有以下技术效果：

切割支架是安装基础，单根的金刚线经放线机构放出，经线网机构和线网张力机构进行走线，在切割支架处形成至少一根竖向设置的切割线，即在形成竖向设置的切割线的过程中，通过线网张力机构对线网机构内的金刚线施加张力，使得切割线保持预设张力。这样，在距离切割线较近的位置对金刚线施加张力，使得切割线能够保持预设张力，进而使得本申请实施例的硅棒切割装置的线切割装置的切割效率较高。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1至图3为本申请实施例的硅棒切割装置的三个具体实施例的示意图；

图4为图3所示的硅棒切割装置的承载装置进行直线运动后的示意图；

图5为图1至图3所示的硅棒切割装置的承载装置承载硅棒进行切割的示意图；

图6为图5的俯视图；

图7为本申请实施例的硅棒切割装置的夹紧机构的示意图；

图8为本申请实施例的硅棒切割装置又一个具体实施例的机座和承载装置的示意图；

图9为图8的局部示意图；

图10为本申请实施例的硅棒切割装置另一个具体实施例的承载装置的示意图；

图11为本申请实施例的硅棒切割装置的一根金刚线的线切割装置和机座安装的示意图；

图12为本申请实施例的硅棒切割装置的线收放装置的示意图；

图13至图15为本申请实施例的硅棒切割装置的环形的金刚线的线切割装置和机座安装的示意图；

图16为图13至图15的硅棒切割装置的上切割线轮和下切割线轮的局部示意图；

图17和图18为本申请实施例的硅棒切割装置的夹持装置夹持硅棒的示意图；

图19至图21为本申请实施例的硅棒切割装置的另外三个具体实施例的示意图；

图22为图19至图21所述的硅棒切割装置的承载装置的示意图；

图23和图24为本申请实施例的硅棒切割装置另外两个具体实施例的承载装置的局部示意图；

图25为本申请实施例的硅棒切割装置切割边皮料的示意图。

具体实施方式

为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

实施例五是本申请的权利要求书要求保护的硅棒切割装置的线切割装置的描述。 实施例一至实施例八是本申请的硅棒切割装置的描述。

实施例一

如图1至图4所示，本申请实施例的一种硅棒切割装置，包括：

机座1；

承载装置2，安装于所述机座1，用于固定以平放的方式放置的待切割的硅棒，所述承载装置用于承载硅棒位置的形状与硅棒的外表面的形状相配合；

线切割装置3，安装于所述机座1，所述线切割装置3的切割线竖向设置，且所述承载装置和所述线切割装置能够相对做直线运动；

其中，在所述承载装置2和所述线切割装置3相对直线运动过程中，所述线切割装置的切割线用于从硅棒的一端端面切割到另一端端面，即所述线切割装置的切割线用于沿硅棒的长度方向切割。

本申请实施例的硅棒切割装置，承载装置能够固定以平放方式放置的待切割的硅棒，线切割装置的切割线竖向设置。承载装置和线切割装置能够相对做直线运动，在此过程中，线切割装置的切割线从硅棒的一端端面向另一端端面进行切割，实现将硅棒的一部分切割下来。本申请实施例的硅棒切割装置，通过竖向设置的切割线，能够方便的实现对以平放方式固定的硅棒的切割。承载装置能够以平放的方式固定待切割的硅棒，而且承载装置用于以平放方式承载硅棒的位置的形状与硅棒的外表面的形状相配合。这样，无论是圆柱形的硅棒，还是端面为弧形的硅棒，还是端面为其他形状的硅棒，只要承载装置承载硅棒的位置的形状与硅棒的外表面的形状相配合，能够使用硅棒切割装置进行切割。线切割装置的切割线竖向设置，承载装置和线切割装置能够相对做直线运动。在此过程中，线切割装置的切割线从硅棒的一端端面向另一端端面进行切割，即所述线切割装置的切割线用于沿硅棒的长度方向切割，实现将硅棒的一部分切割下来。本申请实施例的硅棒切割装置，通过竖向设置的切割线，能够方便的实现对以平放方式固定的硅棒的切割。

具体的，本申请实施例的硅棒切割装置能够用于切割的硅棒，包括单晶硅棒和多晶硅棒。

具体的，硅棒本身是长棒形状。承载装置固定以平放方式放置的硅棒是指硅棒的外周面放置在承载装置处，露出硅棒两端端面的固定方式。

对于同时能够适用于切割单根和多根硅棒的承载装置的结构，具有如下特点。

实施中，所述承载装置包括：

承载台，所述承载台的一侧具有至少一个直线型的预设开口，所述预设开口将承载台的一部分分隔为：

至少两个承载部，两个承载部之间为所述预设开口，所述承载部用于承载以平放的方式放置的硅棒，所述预设开口用于硅棒切割装置的竖向设置的切割线进入从硅棒的一端端面切割到另一端端面。

承载台是一个一体化结构的承载台，在这个一体化结构的承载台的一侧开有至少一个直线型的预设开口。这样，承载部是承载台有连接关系的部分，使得各个承载部的上表面的平面度较为一致。同理，承载台能够承载一个硅棒，还能够承载多个硅棒。各个承载部都是承载台有连接关系的一部分，使得各个承载部的上表面的平面度差异较小，进而使得各个硅棒以平放的方式承载硅棒时高度差异较小。

作为一个具体的例子，仅能适用于切割单个硅棒的承载装置的结构，具有如下特点。

具体的，所述承载装置包括承载台，所述承载台为板状，不具有预设开口。

硅棒以平放方式固定在承载台上后，硅棒需要被切割的部分凸出于承载台的一侧边缘。切割线在承载台的外侧对硅棒凸出于承载台部分进行切割。

关于承载装置和线切割装置能够相对做直线运动的实现方式。至少包括以下两种：

一种是：所述线切割装置固定安装于所述机座；

所述承载装置滑动安装于所述机座且所述承载装置能够相对于所述机座做直线运动。即线切割装置固定不动，承载装置相对于线切割装置做直线运动。就是切割线的位置不动，硅棒进行直线运动，实现对硅棒沿长度方向的切割。

作为一种可选的方式，如图2所示，硅棒切割装置还包括：

两个平行设置的滑块43，向下凸设在所述承载装置2的外底面；

两个平行设置的滑轨42，所述滑轨42固定在所述机座1的上表面，且所述滑块坐落在所述滑轨的外侧面；

切割驱动机构41，用于驱动所述承载装置沿所述滑轨进行直线运动，使得竖向传动的切割线从硅棒的端面进行切割。

这样，通过滑块，滑轨和切割驱动机构，实现了承载装置相对于线切割装置做直线运动。

另一种是：所述承载装置固定安装于所述机座；

所述线切割装置滑动安装于所述机座且所述线切割装置能够相对于所述机座做直线运动。即承载装置固定不动，线切割装置相对于承载装置做直线运动，就是硅棒平放不动，切割线进行直线运动，实现对硅棒沿长度方向的切割。

作为一种可选的方式，如图1所示，硅棒切割装置还包括：

两个平行设置的滑块43，向下凸设在所述线切割装置的外底面；

两个平行设置的滑轨42，所述滑轨固定在所述机座的上表面，且所述滑块坐落在所述滑轨的外侧面；

切割驱动机构，用于驱动所述线切割装置沿所述滑轨进行直线运动，使得竖向传动的切割线从硅棒的端面进行切割。

这样，通过滑块，滑轨和切割驱动机构，实现了线切割装置相对于承载装置做直线运动。

除了滑轨和滑块实现直线运动，还可以通过电动滑台、齿轮传动、皮带传动、气缸结构等实现线切割装置和承载装置的相对直线运动，切割驱动机构可位于边承载装置或者机座上，切割驱动机构的安放位置可以根据具体空间放置。

具体的，根据硅棒的规格大小不同，竖向设置的切割线之间的间距也可以实现调整。

具体的，承载装置和线切割装置相对做直线运动是直线往复运动，且直线往复运动的距离大于硅棒的长度。具体的，直线往复运动的距离大于硅棒的长度。

这样能够实现对硅棒的长度方向的切割。

实施例二

本申请实施例的硅棒切割装置，在实施例一的基础上，承载装置还具有以下特点。

实施中，如图1至图6所示，所述承载台包括第一承载台211，所述预设开口包括第一预设开口261，所述承载部包括主承载部211-1和辅承载部211-2；

所述第一承载台的一侧具有至少一对平行的直线型的第一预设开口261，一对所述第一预设开口261将所述第一承载台的一部分分隔为：

主承载部211-1；

两个辅承载部211-2，设置在所述主承载部211-1的两侧，且所述辅承载部211-2和所述主承载部211-1之间为所述第一预设开口；

其中：

所述主承载部211-1和所述辅承载部211-2用于共同承载待切割的硅棒；

所述第一预设开口261用于线切割装置的切割线进入且从硅棒的一端端面进行切割；

所述辅承载部211-2还用于承载硅棒被切割掉的部分。

在需要对硅棒进行切割时，先将硅棒以平放方式固定在第一承载台之上，此时，硅棒位于主承载部、两个辅承载部和两个第一预设开口之上。线切割装置的竖向切割线从第一预设开口进入到主承载部和辅承载部之间，从硅棒的一端端面开始切割，直至切割至另一端端面，实现将硅棒的两边的部分切割下来。

具体的，如图5和图6所示，第一承载台211是一个一体化结构的第一承载台，在这个一体化结构的第一承载台的一侧开有至少一对平行的直线型的第一预设开口261。这样，主承载部和辅承载部是第一承载台有连接关系的部分，使得主承载部和辅承载部的上表面的平面度较为一致。同理，主承载部和两个辅承载部为一组用于承载一个硅棒，第一承载台可以包括多组主承载部和两个辅承载部，能够承载多个硅棒。多组的主承载部和两个辅承载部，都是第一承载台有连接关系的部分，使得各个主承载部和各个辅承载部的上表面的平面度差异较小，使得各个硅棒以平放的方式承载硅棒时高度差异较小，方便后续的切割。

所述主承载部和两个所述辅承载部的上表面的形状，限制了硅棒切割装置能够适用的硅棒的形状。

如图5和图6所示，所述主承载部211-1和两个所述辅承载部211-2的上表面为平面。

这样，主承载部和两个辅承载部的上表面为平面，能够平稳的承载至少具有一个平面的硅棒，如端面为弧形的硅棒，端面为弧形的硅棒的底面为平面。

具体的，端面为弧形的硅棒的弧形包括优弧，劣弧和半圆。

主承载部和辅承载部的存在，使得硅棒能够以平放的方式进行放置。为了实现硅棒以平放的方式固定，如图5，图6和图7所示，所述承载装置还需要包括：

相对设置的第一限位机构和夹紧机构23；

所述夹紧机构包括夹紧驱动机构231、伸缩杆232和夹紧头233；所述伸缩杆232的一端固定在所述夹紧驱动机构231的侧面，所述伸缩杆232能够伸缩的另一端固定所述夹紧头233，且所述夹紧头233与所述第一限位机构相对设置；

其中，所述夹紧驱动机构231用于驱动所述伸缩杆232伸缩调整所述夹紧头233和所述第一限位机构之间的距离以将所述硅棒置于所述夹紧头和所述第一限位机构之间，所述第一限位机构和所述夹紧头233用于顶在硅棒的两端端面处将所述硅棒进行固定。

在需要以平放的方式固定硅棒时，保持第一限位机构和夹紧头之间的距离大于硅棒的长度，此时将硅棒放置在主承载部和两个辅承载部的上表面，硅棒的一端端面顶在第一限位机构处；之后，夹紧驱动机构驱动伸缩杆伸长，将夹紧头顶在硅棒的另一端端面处。这样，硅棒的两端端面分别被第一限位机构和夹紧头顶住，实现了硅棒以平放的方式被固定。

具体的，为了切割线能够对硅棒进行切割，第一限位机构的尺寸小于硅棒的端面的尺寸。

即实施例二的硅棒切割装置适用于对至少具有一个平面的硅棒进行切割。至少具有一个平面的硅棒如端面为弧形的硅棒，端面为弧形的硅棒的底面为平面。

圆柱形的硅棒被切形成矩形棒后，形成四个端面为弧形的边皮料。端面为弧形的边皮料即一种端面为弧形的硅棒。

因此，实施例二的硅棒切割装置尤其能够适用于对端面为弧形的边皮料的边角进行切割。

实施例三

本申请实施例的硅棒切割装置，在实施例二的基础上，第一限位机构和夹紧机构 的设置位置具有以下特点。

实施中，如图5和图6所示，所述第一限位机构包括第一主限位机构 221-1，所述夹紧机构23包括主夹紧机构，所述主夹紧机构的夹紧头为主夹紧头；

所述第一主限位机构221-1固定在所述主承载部211-1的上表面且靠近所述第一预设开口的开口端的位置，所述第一主限位机构和所述主夹紧头相对设置。

这样，第一主限位机构是固定在主承载部的上表面且靠近第一预设开口的开口端的位置，主夹紧机构与第一主限位机构相对设置，使得第一主限位机构和主夹紧头相对设置，实现了第一主限位机构和主夹紧头对硅棒的两端面中部顶住，实现了硅棒以平放的方式固定。

实施中，如图5和图6所示，所述第一主限位机构221-1的左侧面与所述主承载部211-1的左侧面平齐，所述第一主限位机构221-1右侧面与所述主承载部211-1的右侧面平齐。

所述第一主限位机构的左侧面与所述主承载部的左侧面平齐，所述第一主限位机构右侧面与所述主承载部的右侧面平齐的方式，使得第一预设开口自上而下的宽度是一致的，切割线能够方便的进入到第一预设开口内，对硅棒的端面进行切割。

实施中，如图5所示，所述承载装置还包括：

平板型靠紧板251，所述平板型靠紧板251固定安装在所述主承载部211-1 和所述辅承载部211-2的上表面；所述主承载部211-1的上表面和固定在主承载部的平板型靠紧板的板面紧贴，所述辅承载部211-2的上表面和固定在辅承载部的平板型靠紧板的板面紧贴；

其中：

如图5所示，所述平板型靠紧板251是通长的平板型靠紧板，所述主承载部211-1和两个所述辅承载部211-2之上各固定一个平板型靠紧板；

或者所述主承载部和两个所述辅承载部之上各自间隔固定至少两个所述平板型靠紧板，图中未示出。

第一承载台为了实现对硅棒以及对安装于其上的多个部件的承载作用。设置平板型靠紧板能够为硅棒提供平整的固定位置，也降低了对第一承载台精度的要求。在平板型靠紧板损坏时，只需要更换损坏的即可，维修方便。

通长的平板型靠紧板能够提供更好的保护。

间隔固定至少两个平板型靠紧板，所需的平板型靠紧板总长度较小，也能提供足够的保护，同时重量大大减小。

具体的，单独设置的平板型靠紧板，在平板型靠紧板发生磨损后，能够单独进行更换，维护方便且使用成本较低。

即实施例三的硅棒切割装置，尤其能够适用于对端面为弧形的边皮料的边角进行切割。

实施例四

本申请实施例的硅棒切割装置，在实施例二的基础上，承载装置还具有以下特点。

实施中，如图8，图9和图10，所述承载装置还包括：

所述主承载部211-1和所述辅承载部211-2是端面为矩形的矩形管；所述第一承载台还包括：

第一承载台本体，所述主承载部211-1和所述辅承载部211-2焊接固定在所述第一承载台本体的一侧；

多个固定板27，各自固定在所述主承载部211-1和各个所述辅承载部211-2 之上；所述固定板27的上侧具有多个靠紧板安装槽271，所述靠紧板安装槽 271的长度方向与所述第一预设开口261的宽度方向一致；

多个块型靠紧板256，所述块型靠紧板256固定安装在各个所述靠紧板安装槽271内。

固定板固定在主承载部个各个辅承载部之上，其上侧提供了靠紧板安装槽，使得块型靠紧板固定安装在靠紧板安装槽的位置。设置块型靠紧板能够为硅棒提供平整的固定位置，也降低了对第一承载台精度的要求。在块型靠紧板损坏时，只需要更换损坏的即可，维修方便。

实施中，如图9所示，位于主承载部上方的块型靠紧板的上表面具有间隔设置的用于增大摩擦力的凹槽256-1。

这样，位于主承载部上方的块型靠紧板的上表面的凹槽，使得硅棒和主承载部上方块型靠紧板之间的摩擦力较大，硅棒的平放更加稳固。

实施中，如图9和图10所示，所述第一限位机构包括第一主限位机构221-1，所述夹紧机构包括主夹紧机构，所述主夹紧机构的夹紧头为主夹紧头；

所述第一主限位机构221-1固定在所述主承载部211-1的上表面且靠近所述第一预设开口261的开口端的位置，所述第一主限位机构和所述主夹紧头相对设置；

所述第一限位机构还包括第一辅限位机构221-2；

所述第一辅限位机构221-1固定在所述辅承载部211-2的上表面且靠近所述第一预设开口的开口端的位置；

其中，所述第一主限位机构221-1和所述第一辅限位机构221-2之间保持预设间隙用于切割线进入。

这样，第一主限位机构和第二辅限位机构共同顶住硅棒的一端端面。第一主限位机构和主夹紧头从硅棒的两端端面固定硅棒。

实施中，如图9和图10所示，所述固定板27的上侧靠近所述第一预设开口的开口端的位置具有第一限位机构安装槽272，所述第一限位机构安装槽272 的长度方向与所述第一预设开口的宽度方向一致；

所述第一限位机构固定安装在各个所述第一限位机构安装槽内。

实施中，如图9和图10所示，所述第一主限位机构221-1为块型的第一主限位机构；

所述第一辅限位机构221-2为L型的第一辅限位机构，且所述第一辅限位机构的竖向臂靠近所述主承载部；

其中，所述第一主限位机构和所述第一辅限位机构的竖向臂之间保持预设间隙，且所述预设间隙的宽度小于所述第一预设开口的宽度。

即实施例四的硅棒切割装置适用于对至少具有一个平面的硅棒进行切割。至少具有一个平面的硅棒如端面为弧形的硅棒，端面为弧形的硅棒的底面为平面。

实施例四的硅棒切割装置尤其能够适用于对端面为弧形的边皮料的边角进行切割。

实施例五

本申请实施例的硅棒切割装置，在实施例一至实施例四的基础上，线切割装置还 具有以下特点。

实施中，如图3，图4和图11所示，所述线切割装置包括：

切割支架33，所述切割支架33安装在所述机座1之上；

放线机构34和收线机构36，分别设置在所述切割支架33的两侧；所述放线机构34用于将储存的单根金刚线32放出，所述收线机构36用于接收金刚线并储存；

线网机构35，设置在所述切割支架33处；

线网张力机构，设置在所述线网机构内；所述金刚线经过所述线网机构35 和线网张力机构进行走线，在所述切割支架处形成至少一根竖向设置的切割线；

其中，所述线网张力机构用于对位于线网机构内的金刚线施加张力，使得切割线保持预设张力。

本申请实施例的硅棒切割装置，切割支架是安装基础，单根的金刚线经放线机构放出，经线网机构和线网张力机构进行走线，在切割支架处形成至少一根竖向设置的切割线，即在形成竖向设置的切割线的过程中，通过线网张力机构对线网机构内的金刚线施加张力，使得切割线保持预设张力。这样，在距离切割线较近的位置对金刚线施加张力，使得切割线能够保持预设张力，进而使得本申请实施例的硅棒切割装置的切割效率较高。

具体的，切割线是金刚线中竖向设置用于进行切割的部分。

实施中，如图11所示，所述线网机构包括：

至少两个上切割线轮351，安装在所述切割支架的远离机座的一侧且能够在竖向方向旋转；

与上切割线轮一一对应的下切割线轮352，与上切割线轮351上下相对设置且能够在竖向方向旋转；两个下切割线轮相对于切割支架固定；

所述线网张力机构包括：

换向张力轮355-1，设置在两个上切割线轮351和/或两个下切割线轮之间且能够在横向方向旋转；所述金刚线绕过所述换向张力轮355且两端分别经过两侧的下切割线轮352和上切割线轮351走线；

线网张力电机355-2，用于驱动所述换向张力轮355-1转动对所述金刚线施加张力。

线网张力机构包括换向张力轮和线网张力电机，两者相互配合，换向张力轮同时起到了换向和施加张力的作用，使得能够对在线网机构内的金刚线施加张力，使得切割线保持预设张力。

实施中，如图11所示，所述线网机构还包括：

底部换向轮354，一个底部换向轮354对应两个下切割线轮352，所述底部换向轮354固定在与之对应的两个下切割线轮352的后方且位于两者之间，所述底部换向轮354能够在横向方向旋转；

底部走线轮312，一个底部换向轮354和与之对应的一个下切割线轮之间固定一个底部走线轮312，所述底部走线轮能够在横向方向旋转；

底部换向轮将与之对应的两个下切割线轮的金刚线在底部改变方向，使得两个下切割线轮能够位于同一侧。金刚线在底部换向轮和与之对应的两个下切割线轮之间走线，在底部换向轮和其中一个与之对应的下切割线轮之间设置底部走线轮，调整金刚线的走线方向，同时也对金刚线施加顶推的作用力以施加张力。这样，实现了在下切割线轮之间调整金刚线走线方向和施加张力，使得竖向设置的切割线保持预设张力。

实施中，如图11所示，所述线网机构还包括：

顶部换向轮353，一个顶部换向轮353对应两个上切割线轮351，所述顶部换向轮353固定在与之对应的两个上切割线轮351的后方且位于两者之间，所述顶部换向轮353能够在横向方向旋转；

顶部走线轮311，一个顶部换向轮311和与之对应的一个上切割线轮之间固定一个顶部走线轮311，所述顶部走线轮311能够在横向方向旋转；

其中，所述金刚线经一个上切割线轮走线到对应的顶部换向轮，所述顶部走线轮用于调整金刚线的走线方向。

顶部换向轮将与之对应的两个上切割线轮的金刚线在顶部改变方向，使得两个上切割线轮能够位于同一侧。金刚线在顶部换向轮和与之对应的两个上切割线轮之间走线，在顶部换向轮和其中一个与之对应的上切割线轮之间设置顶部走线轮，调整金刚线的走线方向，同时也对金刚线施加顶推的作用力以施加张力。这样，实现了在上切割线轮之间调整金刚线走线方向和施加张力，使得竖向设置的切割线保持预设张力。

具体的，如图11所示，所述换向张力轮355-1的直径大于所述顶部换向轮的直径。

由于，换向张力轮355-1的直径大于所述顶部换向轮的直径，本身就有提供张力的作用。

实施中，如图11所示，所述切割支架为U型的切割支架且以开口朝下的方式安装在所述机座上；

所述线网机构还包括：

前方第一换向轮356-1，固定在所述切割支架33靠近放线机构一侧的竖臂后侧面；

前方第二换向轮356-2，固定在所述切割支架33的横臂的后侧面且靠近第一个上切割线轮的位置；

其中，所述前方第一换向轮356-1和前方第二换向轮356-2用于将放线机构放出的金刚线调整方向以水平的方式进入到第一个上切割线轮的外缘，第一个上切割线轮是最靠近放线机构一侧的上切割线轮。

通过前方第一换向轮和前方第二换向轮，实现了将放线机构放出的金刚线调整方向，以水平的方式进入到第一个上切割线轮的外缘。

实施中，如图11所示，所述线网机构还包括：

后方第一换向轮357-1，固定在所述切割支架33靠近收线机构一侧的竖臂后侧面；

后方第二换向轮357-2，固定在所述切割支架33的横臂的后侧面且靠近最后一个上切割线轮的位置；

其中，所述后方第二换向轮357-2和前方第一换向轮357-1用于将经最后一个上切割线轮的外缘出线的金刚线调整方向以预设角度进入到放线机构，最后一个上切割线轮是最靠近收线机构一侧的上切割线轮。

通过后方第一换向轮和后方第二换向轮，实现了将收线机构收回金刚线调整方向。

实施中，所述放线机构和收线机构各自采用线收放装置，如图12所示，所述线收放装置包括：

线辊341、线辊安装座342和线收放电机343；所述线辊安装在线辊安装座的侧面且所述线收放电机与所述线辊连接；其中，所述线收放电机驱动所述线辊旋转；

排线轮344，平衡块345和排线连接板346，所述排线轮和所述平衡块分别安装在所述排线连接板的两侧，所述排线连接板能够带动排线轮沿着所述线辊的长度方向在线辊的长度范围内往复运动；

线收放张力轮347，线辊处的金刚线经排线轮和线收放张力轮后从线收放装置收线或放线。

排线连接板能够带动排线轮沿着所述线辊的长度方向在线辊的长度范围内往复运动。这样，在线收放装置进行收线的过程中，排线轮在线辊的长度范围内往复运动，使得金刚线相对均匀的缠绕在线辊的外周面。在线收放装置进行放线时，排线轮被金刚线带动，在线辊的长度范围内往复移动，使得线辊和排线轮之间的张力保持稳定。

具体的，排线轮和平衡块可在固定轴线上旋转，调整平衡块位置可以实现排线轮和平衡块稳定平衡，保证排线轮在往复运动过程中无晃动。

具体的，如图11所示，上切割线轮351为2n个，下切割线轮352为2n 个；换向张力轮设置在2n个上切割线轮的中间位置；

所述底部换向轮354为n个，所述底部走线轮312为n个，所述顶部换向轮353为

个，所述顶部走线轮311为

个。

这样，能形成2n条竖向设置的切割线。

位于中间的两个上切割线轮以及位于两端的两个上切割线轮是不需要设置顶部换向轮的，相对应的也不设置顶部走线轮。

实施例六

本申请实施例的硅棒切割装置，在实施例一至实施例四的基础上，线切割装置还 具有如下特点。

实施中，如图13至图15所示，所述线切割装置包括：

切割支架33，所述切割支架33安装在所述机座之上；

上切割线轮351，安装在所述切割支架远离所述机座的一侧且能够在竖向方向旋转；

与上切割线轮一一对应的下切割线轮352，与上切割线轮上下相对设置且能够在竖向方向旋转；下切割线轮352相对于切割支架固定；

与上切割线轮一一对应的环形的金刚线32，一个环形的金刚线套在上下相对设置的上切割线轮和下切割线轮的外缘；其中，所述金刚线能够随着所述上切割线轮和下切割线轮的旋转在竖向方向传动，形成竖向设置的切割线。

本申请实施例的硅棒切割装置，线切割装置通过上切割线轮，下切割线轮和环形的金刚线，环形的金刚线套在上下相对设置的上切割线轮和下切割线轮的外缘，形成竖向设置的切割线。采用环形的金刚线，使得线切割装置的走线简洁，在其中一根环形的金刚线损坏的情况下，能够方便的进行更换，维护较为便捷。

具体的，所述线切割装置还包括：

与环形的金刚线相对应的一个或多个环形走线轮，一根环形的金刚线走线经过上下相对设置的上切割线轮、下切割线轮和环形走线轮形成环形走线的金刚线；

其中，所述环形走线轮位于上切割线轮和下切割线轮之间的部分形成切割线。

这样，只要上切割线轮、下切割线轮和环形走线轮形成环形走线的金刚线即可。有时，从空间布置和张力等方面的需求，需要设置上切割线轮和下切割线轮以外的环形走线轮共同形成环形走线的金刚线。

实施中，如图16所示，所述上切割线轮351的外缘和下切割线轮352的外缘分别具有多个平行设置的线槽351-1；

环形的金刚线32分别套接一个上切割线轮351的一个线槽和一个下切割线轮352的一个线槽内。

这样，金刚线在线槽中传动，对线槽的磨损很大。在其中一个线槽被磨损后，直接使用其他备用的线槽即可，使得维护较为便捷。

实施中，如图13至图15所示，所述线切割装置还包括：

上切割线轮支撑架358-1，与上切割线轮351一一对应，各个所述上切割线轮支撑架固定在所述切割支架的横臂之下，所述上切割线轮与上切割线轮支撑架通过轴孔间隙配合实现转动连接以实现上切割线轮能够在竖向方向旋转；

下切割线轮支撑架358-2，与下切割线轮352一一对应，各个所述下切割线轮支撑架固定在所述上切割线轮支撑架的下方且相对于切割支架固定；所述下切割线轮与下切割线轮支撑架通过轴孔间隙配合实现转动连接以实现下切割线轮能够在竖向方向旋转。

这样，通过上切割线轮支撑架和下切割线轮支撑架，实现了上切割线轮在竖向方向的旋转，下切割线轮在竖向方向的旋转。

实施中，如图15所示，所述切割支架为U型的切割支架33，所述切割支架以开口朝向机座的方式安装在所述机座处；

所述线切割装置还包括：

切割支架连接板331，固定在所述切割支架33的开口处使得切割支架33 和所述切割支架连接板331固定在一起；

与下切割线轮支撑架一一对应的固定装置359，所述固定装置359与所述切割支架连接板331固定，且所述固定装置和与之对应的下切割线轮支撑架固定使得下切割线轮和切割支架固定。

U型的切割支架是线切割装置的安装基础，U型的切割支架的结构，为各个部件提供了安装的位置。通过切割支架连接板实现了U型的切割支架和切割支架连接板固定为一体，通过固定装置和下切割线轮支撑架实现了下切割线轮和切割支架的固定。这样，U型的切割支架，下切割线轮，上切割线轮和切割支架连接板是固定在一起的，能够整体进行移动。

作为一个可选的方式，如图14所示，所述切割支架为U型的切割支架33，所述切割支架以开口朝向机座的方式安装在所述机座处；

所述线切割装置还包括：

切割支架连接板331，固定在所述切割支架33的开口处使得切割支架和所述切割支架连接板331固定在一起；

所述切割支架连接板331和各个下切割线轮支撑架固定使得下切割线轮和切割支架固定。

通过切割支架连接板实现了U型的切割支架和切割支架连接板固定为一体，各个下切割线轮支撑架与切割支架连接板固定。这样，U型的切割支架，下切割线轮，上切割线轮和切割支架连接板是固定在一起的，能够整体进行移动。

实施中，硅棒切割装置还包括：

线轮驱动机构，各个上切割线轮由同一个所述线轮驱动机构进行驱动旋转。

这样，只需要设置一个线轮驱动机构，就能实现对所有上切割线轮的驱动，所需的线轮驱动机构较少。

作为一种可选的方式，硅棒切割装置还包括两个线轮驱动机构，一半上切割线轮由一个所述线轮驱动机构进行驱动旋转。

这样，只需要设置两个线轮驱动机构，一个线轮驱动机构能够实现对一半上切割线轮的驱动，从而能够实现将所有上切割线轮分为两组进行控制，既可以驱动任一组的上切割线轮旋转，对应的环形的金刚线形成竖向设置的切割线；也可以驱动两组的所有的上切割线轮同时旋转，对应的环形的金刚线形成竖向设置的切割线。

实施中，如图15所示，所述线轮驱动机构包括：

线轮传动轴351-2，转动连接在所述切割支架的横臂处；

凸起的盘形轮351-3，凸设在所述线轮传动轴的外周面，且一个所述盘形轮对应一个上切割线轮；

线轮驱动电机351-4，所述线轮驱动电机的输出轴与所述线轮传动轴固定连接；

皮带351-5，一个皮带对应一个盘形轮，所述皮带套在所述盘形轮和一个上切割线轮的外缘，实现所述上切割线轮和所述线轮传动轴的同步传动。

具体的，如图13至图15所示，2n个上切割线轮351安装在所述切割支架的横臂之下且能够在竖向方向旋转；

2n个下切割线轮352，与2n个上切割线轮上下相对设置且能够在竖向方向旋转；

2n根环形的金刚线32，一个环形的金刚线32套在上下相对设置的上切割线轮351和下切割线轮352的外缘；其中，所述金刚线能够随着所述上切割线轮和下切割线轮的旋转在竖向方向传动，形成2n根竖向设置的切割线；

其中，n是大于等于1的正整数。

这样，线切割装置通过2n个上切割线轮，2n个下切割线轮和2n根环形的金刚线，一个环形的金刚线套在上下相对设置的上切割线轮和下切割线轮的外缘，形成了2n根竖向设置的切割线。采用环形的金刚线，使得线切割装置的走线简洁，在其中一根环形的金刚线损坏的情况下，能够方便的进行更换，维护较为便捷。

实施例七

本申请实施例的硅棒切割装置，实施例一至实施例六的基础上，还具有以下特点。

实施中，如图17和图18所示，硅棒切割装置还包括夹持装置5，夹持装置5用于将硅棒6逐次置于承载装置之上，为对硅棒的切割进行准备。

实施中，如图17和图18所示，所述夹持装置5包括：

固定件51；

两个相对设置的夹爪52，至少一个所述夹爪52滑动安装在所述固定件51 的下底面；

其中，两个所述夹爪52之间的间距能够调整。

本申请实施例的硅棒切割装置，夹持装置用于在硅棒的宽度方向夹持硅棒。固定件是夹持装置的安装基础，两个相对设置的夹爪之间的间距能够调整。这样，在需要夹持硅棒时，调整两个夹爪之间的间距大于硅棒的宽度，且移动夹持装置的位置，使得两个夹爪分别位于硅棒的宽度方向的两侧；之后，调整两个夹爪之间的间距变小，直至夹持住硅棒的宽度方向。在夹持住硅棒之后，通过提升硅棒直至硅棒预设位置的上方后下降至硅棒预设位置；此时，调整两个夹爪之间的间距变大，夹持装置松开硅棒。本申请实施例的硅棒切割装置，通过夹持装置能够方便的实现对硅棒的夹持，为硅棒的移动提供了条件。

实施中，如图17和图18所示，所述夹爪52包括：

竖向的安装板521，至少一个所述安装板521滑动安装在所述固定件51 的下底面；

夹爪本体522，所述夹爪本体522固定在所述安装板521的内板面。

这样，夹爪本身不是一体化结构，而是安装板和夹爪本体两个独立的部件形成的。竖向的安装板是夹爪本体的安装基础，同时也是夹爪能够移动的基础。安装板和夹爪本体两个独立的部件，在夹爪本体夹持硅棒的过程中，夹爪本体的磨损很严重，只需要更换夹爪本体即可，安装板不需要更换。

实施中，如图17和图18所示，所述夹爪本体522包括：

夹爪竖向臂522-1；

夹爪底部横向臂522-2，所述夹爪底部横向臂522-2固定在夹爪竖向臂 522-1的内侧底端；

夹爪中部横向臂522-3，所述夹爪中部横向臂522-3固定在所述夹爪竖向臂522-1的中部，且所述夹爪中部横向臂522-3的长度大于所述夹爪底部横向臂522-2的长度。

夹爪底部横向臂用于承载硅棒的底部，夹爪中部横向臂用于抵靠硅棒的顶部，这样，实现了对硅棒的夹持。

实施中，如图17和图18所示，所述夹爪本体522为一体化结构；

所述夹爪本体522可拆卸的固定在所述安装板的内板面。

所述夹爪本体是一体化结构。在夹爪本体夹持硅棒的过程中，夹爪本体的磨损很严重，只需要更换夹爪本体即可，安装板不需要更换。

实施中，如图17和图18所示，所述夹爪底部横向臂522-2的上表面为平面；

所述夹爪中部横向臂522-3的开放端为向上拱起的夹爪曲面，所述夹爪曲面与待抓取的硅棒的曲面相配合。

上述形状的夹爪底部横向臂和夹爪中部横向臂适用于端面为弧形的硅棒的夹持，尤其适用于端面为弧形的边皮料的夹持。

圆柱形的硅棒被切形成矩形棒后，形成四个端面为弧形的边皮料。端面为弧形的边皮料即一种端面为弧形的硅棒。

实施中，所述夹爪底部横向臂的上表面具有防滑凸起；

所述夹爪曲面具有防滑凸起。

防滑凸起的设置，使得夹爪底部横向臂的上表面和夹爪曲面对硅棒进行夹持时，能够防滑，使得夹持的稳定性更高。

作为一种可选的方式，所述夹持装置还包括：

多个防滑缓冲垫，固定在所述夹爪底部横向臂的上表面，固定在所述夹爪曲面。

夹爪本体为了实现对硅棒的夹持，需要是刚性材料的夹爪本体。而的硅棒，本身又脆有硬。为了避免的硅棒与刚性材料的夹爪本体的硬对硬的接触，设置的防滑缓冲垫。夹爪本体进行夹持时，防滑缓冲垫为硅棒提供了缓冲和防滑，对硅棒起到了保护的作用。

实施中，两个所述夹爪滑动安装在所述固定件的下底面。

两个夹爪都是滑动安装在固定架的下底面，两者能够同时移动，这样，能够提高夹爪夹持硅棒的效率。

实施中，所述夹持装置还包括：

至少两个平行设置的滑轨，固定在所述固定件的下底面；所述滑轨的长度方向与两个所述夹爪的排列方向一致；

滑块，每个所述夹爪竖向臂的顶端具有所述滑块，每个所述夹爪竖向臂的滑块的数量与所述滑轨的数量一致；所述滑块吊装在所述滑轨处；

用于锁定所述滑块相对于滑轨相对位置的锁紧装置。

通过滑块，滑轨和锁紧装置的配合，能够实现两个夹爪之间的距离调整到位后的锁紧，实现对硅棒的夹持，为硅棒的移动提供了条件。

实施中，所述固定件是刚性的板状的固定件；

所述安装板是刚性的安装板；

所述夹爪本体是刚性的夹爪本体。

硅棒本身重量较大，为了能够实现夹持，夹持装置的多数部件，如固定件、安装板和夹爪本体都是刚性的部件。

实施例八

本申请实施例的硅棒切割装置，在实施例一的基础上，还具有以下特点。

实施中，如图19至图24所示，所述承载台包括第二承载台212，所述预设开口包括第二预设开口262，所述承载部包括第一承载部212-1和第二承载部212-2；

所述第二承载台的一侧具有至少一个直线型的第二预设开口262，所述第二预设开口262将所述第二承载台的一部分分隔为第一承载部212-1和第二承载部212-2；

所述承载装置还包括：

第一靠紧板253，固定在所述第一承载部之上，且所述第一靠紧板的一端伸入到所述第二预设开口中；

其中，所述第一靠紧板253用于支撑端面为矩形和弧形组合形状硅棒的弧形面。

第一承载部和第一靠紧板共同作用，使得第一靠紧板能够稳定的支撑端面为矩形和弧形组合形状硅棒的弧形面。

实施中，如图22至图24所示，所述承载装置还包括：

板状的竖向靠紧板254，所述竖向靠紧板254竖向固定安装在所述第二承载部212-2的上表面，且所述竖向靠紧板254的板面和所述第二承载部212-2 的上表面垂直；

板状的横向靠紧板255，所述横向靠紧板255横向固定安装在所述第二承载部212-2的上表面，且所述横向靠紧板255的板面和所述第二承载部212-1 的上表面紧贴，且所述横向靠紧板255的一端面伸入到所述第二预设开口262 中；

其中：

所述横向靠紧板255用于承载端面为矩形和弧形组合形状硅棒的侧面；

所述竖向靠紧板254用于顶住端面为矩形和弧形组合形状硅棒的底面；

伸入到第二预设开口中的所述第一靠紧板253的一端和所述横向靠紧板 255的端面之间的间隙用于线切割装置的切割线进入一对硅棒的端面进行切割；

所述第一靠紧板还用于支撑端面为矩形和弧形组合形状硅棒被切割掉的端面为弧形的部分。

第一靠紧板，竖向靠紧板和横向靠紧板的设置位置和形状，限制硅棒切割装置能够适用的硅棒的形状。第一靠紧板，竖向靠紧板和横向靠紧板，能够平稳的承载平放方式放置的端面为矩形和弧形组合形状的硅棒。

具体的，第一靠紧板朝向第二预设开口的顶侧具有斜面或曲面，所述第一靠紧板的斜面或曲面伸入到所述第二预设开口中。

第一靠紧板的斜面或曲面，使得第一靠紧板能够稳定的支撑端面为矩形和弧形组合形状硅棒的弧形面。

具体的，如图22至图24所示，所述竖向靠紧板254完全位于所述第二承载部的上表面之上的位置，没有向第二预设开口方向伸出。

竖向靠紧板为端面为矩形和弧形组合形状硅棒的底面的提供侧向支撑。上述结构的竖向靠紧板既能提供侧向支撑，同时又避免对金刚线产生干扰。

具体的，第二承载台是一个一体化结构的第二承载台，在这个一体化结构的第二承载台的一侧开有至少一个直线型的第二预设开口262。这样，第一承载部和第二承载部是第二承载台有连接关系的部分，使得第一承载部和第二承载部的上表面的平面度较为一致。同理，第一承载部和第二承载部为一组用于承载一个硅棒，第二承载台可以包括多组第一承载部和第二承载部，能够承载多个硅棒。多组的第一承载部和第二承载部，都是第二承载台有连接关系的部分，使得各个第一承载部和第二承载部的上表面的平面度差异较小，使得各个硅棒以平放的方式承载硅棒时高度差异较小，方便后续的切割。

对端面为矩形和弧形组合形状的硅棒的弧形进行切割时，将硅棒与弧形相对的底面顶住竖向靠紧板，且竖向靠紧板支撑硅棒与弧形相邻的一个侧面，使得硅棒的弧形伸入到第二预设开口内且被第一靠紧板的伸入到第二预设开口的一端顶住，以便切割线进入到第二预设开口处，进行切割。第一靠紧板，竖向靠紧板和横向靠紧板共同限定了硅棒的位置。

实施中，如图22至图24所示，所述第一靠紧板253是多个，且固定在同一第一承载部的上表面的第一靠紧板253间隔设置。这样，第一靠紧板能够在硅棒的整个长度方向为硅棒的弧形提供足够的支撑，同时，第一靠紧板的总体重量也较小。

所述横向靠紧板是多个，所述竖向靠紧板是多个；固定在同一第二承载部的横向靠紧板255和竖向靠紧板254交替间隔设置。这样，横向靠紧板和竖向靠紧板交替间隔设置，能够在硅棒的整个长度方向提供足够的竖向支撑和侧向支撑。

对端面为矩形和弧形组合形状硅棒的侧面和底面的支撑，还能够采用其他方式实现。作为一种可选的方式，

如图24所示，所述承载装置还包括：

L型靠紧板252，所述L型靠紧板252固定在所述第二承载部的上表面，且L型靠紧板252的开口朝向所述第一靠紧板253，所述L型靠紧板252的横向臂固定在所述第二承载部的上表面且所述L型靠紧板的横向臂伸入到所述第二预设开口中；

其中：

所述L型靠紧板252的内侧夹角用于承载端面为矩形和弧形组合形状硅棒的侧面和底面；

伸入到第二预设开口中的所述第一靠紧板的一端和所述L型靠紧板的横向臂之间的间隙用于线切割装置的切割线进入一对硅棒的端面进行切割；

所述第一靠紧板253还用于支撑端面为矩形和弧形组合形状硅棒被切割掉的端面为弧形的部分。

对端面为矩形和弧形组合形状的硅棒的弧形进行切割时，将硅棒与弧形相对的底面顶住L型靠紧板252的竖向臂内侧，将硅棒的一个侧面由L型靠紧板 252的横向臂内侧，使得硅棒的弧形伸入到第二预设开口内且被第一靠紧板的伸入到第二预设开口的一端顶住，以便切割线进入到第二预设开口处，进行切割。第一靠紧板，L型靠紧板共同限定了硅棒的位置。

为了实现硅棒以平放的方式固定，如图22所示，所述承载装置还需要包括：

第二限位机构222，固定在所述第一承载部212-1和所述第二承载部212-2 的上表面且靠近所述第二预设开口262的开口端的位置；

夹紧机构23，固定在所述第二承载台之上且和第二承载部之上的第二限位机构相对设置；其中，所述第二限位机构和所述夹紧机构之间的距离能够调整以夹紧在硅棒的两端端面处。

这样，在切割前第二限位机构和夹紧机构夹紧在硅棒的两端端面处，从硅棒的长度方向稳定的固定硅棒。在切割后，夹紧机构和第二承载部之上的第二限位机构，仍然能够夹紧切割后形成的端面为矩形的矩形棒，对矩形棒起到了保护作用。

实施中，本申请实施例中的夹紧机构采用图7中的夹紧机构。如图7所示，所述夹紧机构23包括夹紧驱动机构231、伸缩杆232和夹紧头233；所述伸缩杆232的一端固定在所述夹紧驱动机构231的侧面，所述伸缩杆232能够伸缩的另一端固定所述夹紧头233，所述夹紧驱动机构231用于驱动所述伸缩杆232 伸缩调整所述夹紧头233和所述第二限位机构222之间的距离；

所述第二限位机构222和所述夹紧头233用于夹紧在硅棒的两端端面处。

在需要以平放的方式固定硅棒时，保持第二限位机构和夹紧头之间的距离大于硅棒的长度，此时将硅棒放置在横向靠紧板和竖向靠紧板之间或者L型靠紧板的夹角处，硅棒的一端端面顶在第二限位机构处；之后，夹紧驱动机构驱动伸缩杆伸长，将夹紧头顶在硅棒的另一端端面处。这样，硅棒的两端端面分别被第二限位机构和夹紧头顶住，实现了硅棒以平放的方式被固定。

具体的，如图22所示，固定在第二承载部之上的第二限位机构和固定在第一承载部之上的第二限位机构之间预设保持间隙，这个间隙用来切割线进入进行切割；

固定在第二承载部之上的第二限位机构伸入到第二限位开口内，且凸出于所述第一靠紧板伸入到第二限位开口内的一端；这样，进入的切割线不会切割到第一靠紧板，对第一靠紧板起到了保护作用。

固定在第一承载部之上的第二限位机构伸入到第二预设开口内，且凸出于横向靠紧板伸入到第二限位开口的端面。这样，进入切割线不会切割到横向靠紧板，对横向靠紧板起到了保护作用。

实施例八的硅棒切割装置尤其能够适用于对形成矩形和弧形组合形状的硅棒的弧形部分进行切割。

本申请实施例的硅棒切割装置，线切割装置可以采用实施例五或实施例六任一所述的线切割装置，夹持装置可以采用实施例七所述的夹持装置。

使用本申请的硅棒切割装置，能够实现对端面为弧形的边皮料的切割。切割的过程如图25所示：

首先，将端面为弧形的边皮料的两端的边角进行切割，形成端面为矩形和弧形组合形状的边皮料；可以使用实施例二、实施例三和实施例四的硅棒切割装置对端面为弧形的边皮料的两端的边角进行切割；图5示出了使用实施例三的硅棒切割装置对边皮料的边角进行切割的状态；图10示出了使用实施例四的硅棒切割装置对边皮料的边角进行切割的状态。

然后，将端面为矩形和弧形组合形状的边皮料顶部的弧形进行切割；可以是使用实施例八的硅棒切割装置对端面为矩形和弧形组合形状的边皮料顶部的弧形进行切割，形成端面为矩形的矩形棒。图22至图23示出了使用实施例八的硅棒切割装置对端面为矩形和弧形组合形状的边皮料顶部的弧形进行切割的状态。

在对边皮料的边角进行切割之前，将边皮料放在承载装置上后，首先经过激光定位装置进行激光标线定位，让保证边皮料安放在合适正确的位置。此时，如图5所示，承载装置在第一预设开口处固定有底部感应装置371，对边皮料是否安装到位进行检测，只有全部检测条件满足后，夹紧机构才会运动对边皮料进行顶紧，与第一限位机构或第二限位机构一同压紧固定边皮料。

在硅棒切割装置切割弧顶的之前，边皮料置于承载装置后触发有料感应开关，检测边皮料放置就位。此时通过激光定位器和固定在承载装置的辅承载部之上的侧部感应装置对边皮料进行标线定位，保证边皮料置于正确的位置，满足全部检测条件完成边皮料定位。启动夹紧机构开始伸出运动，完成边皮料的定位夹紧过程。

实施例一至实施例八的硅棒切割装置，如图1至图4所示，还包括激光找正装置38和喷淋润滑装置39。

激光找正装置设置在边皮料切割台的上方，实现边皮料精准安装上料功能。激光找正装置上设置多个激光发生器，在边皮料安装到在边皮料切割台前，激光发生器开启形成直线状的激光，投射到承载装置上。边皮料安装到承载装置的时候，首先通过直线状激光找正对齐，使得切割后形成矩形块正好为所需要的尺寸。其中，各个激光发生器的位置和距离是可以调整的，具体根据不同的边皮料规格确定。

激光找正装置的具体工作过程如下：

利用工装或者量具(游标卡尺、钢板尺)找出两轮中线。

调整对好焦的激光标线器位置，使得激光标线器射出的激光对准两轮中线，固定激光标线器。

在硅棒上找出中线位置并划线。

上料时调整硅棒的位置，使硅棒中线对准激光标线器射出的激光。

喷淋润滑装置在切割过程中不断往竖直的金刚线上喷洒切割液，提升边皮料切割后的质量。喷淋润滑装置正常也需要安装到边皮料切割台的上方，在切割过程中不断往竖直金刚线喷洒切割液，切割液会竖直流到待切割边皮位置点，实现冷却润滑的目的。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (15)

1.一种硅棒切割装置的线切割装置，其特征在于，包括：

切割支架；

放线机构和收线机构，分别设置在所述切割支架的两侧；所述放线机构用于将储存的单根金刚线放出，所述收线机构用于接收金刚线并储存；

线网机构，设置在所述切割支架处；

线网张力机构，设置在所述线网机构内；所述金刚线经过所述线网机构和线网张力机构进行走线，在所述切割支架处形成至少一根竖向设置的切割线；

其中，所述线网张力机构用于对位于线网机构内的金刚线施加张力，使得切割线保持预设张力。

2.根据权利要求1所述的线切割装置，其特征在于，所述线网机构包括：

至少两个上切割线轮，安装在所述切割支架的上侧且能够在竖向方向旋转；

与上切割线轮一一对应的下切割线轮，与上切割线轮上下相对设置且能够在竖向方向旋转；两个下切割线轮相对于切割支架固定；

所述线网张力机构包括：

换向张力轮，设置在两个上切割线轮和/或两个下切割线轮之间且能够在横向方向旋转；所述金刚线绕过所述换向张力轮且两端分别经过两侧的下切割线轮和上切割线轮走线；

线网张力电机，用于驱动所述换向张力轮转动对所述金刚线施加张力。

3.根据权利要求2所述的线切割装置，其特征在于，所述线网机构还包括：

底部换向轮，一个底部换向轮对应两个下切割线轮，所述底部换向轮固定在与之对应的两个下切割线轮的后方且位于两者之间，所述底部换向轮能够在横向方向旋转；

底部走线轮，一个底部换向轮和与之对应的一个下切割线轮之间固定一个底部走线轮，所述底部走线轮能够在横向方向旋转；

其中，所述金刚线经一个下切割线轮走线到对应的底部换向轮，所述底部走线轮用于调整金刚线的走线方向。

4.根据权利要求3所述的线切割装置，其特征在于，所述线网机构还包括：

顶部换向轮，一个顶部换向轮对应两个上切割线轮，所述顶部换向轮固定在与之对应的两个上切割线轮的后方且位于两者之间，所述顶部换向轮能够在横向方向旋转；

顶部走线轮，一个顶部换向轮和与之对应的一个上切割线轮之间固定一个顶部走线轮，所述顶部走线轮能够在横向方向旋转；

其中，所述金刚线经一个上切割线轮走线到对应的顶部换向轮，所述顶部走线轮用于调整金刚线的走线方向。

5.根据权利要求4所述的线切割装置，其特征在于，所述切割支架为U型的切割支架且以开口朝下的方式安装在硅棒切割装置的机座上；

所述线网机构还包括：

前方第一换向轮，固定在所述切割支架靠近放线机构一侧的竖臂后侧面；

前方第二换向轮，固定在所述切割支架的横臂的后侧面且靠近第一个上切割线轮的位置；

其中，所述前方第一换向轮和前方第二换向轮用于将放线机构放出的金刚线调整方向以水平的方式进入到第一个上切割线轮的外缘，第一个上切割线轮是最靠近放线机构一侧的上切割线轮。

6.根据权利要求5所述的线切割装置，其特征在于，所述线网机构还包括：

后方第一换向轮，固定在所述切割支架靠近收线机构一侧的竖臂后侧面；

后方第二换向轮，固定在所述切割支架的横臂的后侧面且靠近最后一个上切割线轮的位置；

其中，所述后方第二换向轮和前方第一换向轮用于将经最后一个上切割线轮的外缘出线的金刚线调整方向以预设角度进入到放线机构，最后一个上切割线轮是最靠近收线机构一侧的上切割线轮。

7.根据权利要求1所述的线切割装置，其特征在于，所述放线机构和收线机构各自采用线收放装置，所述线收放装置包括：

线辊、线辊安装座和线收放电机；所述线辊安装在线辊安装座的侧面且所述线收放电机与所述线辊连接；其中，所述线收放电机驱动所述线辊旋转；

排线轮，平衡块和排线连接板，所述排线轮和所述平衡块分别安装在所述排线连接板的两侧，所述排线连接板能够带动排线轮沿着所述线辊的长度方向在线辊的长度范围内往复运动；

线收放装置张力轮，线辊处的金刚线经排线轮和线收放装置张力轮后从线收放装置收线或放线。

8.一种硅棒切割装置，其特征在于，包括：

权利要求1至7任一所述的线切割装置；

机座；

承载装置，安装于所述机座，用于固定硅棒，所述承载装置用于承载硅棒位置的形状与硅棒外表面的形状相配合；

线切割装置，安装于所述机座，所述承载装置和所述线切割装置能够相对做直线运动；

其中，在所述承载装置和所述线切割装置相对直线运动过程中，所述线切割装置的切割线用于沿硅棒的长度方向切割。

9.根据权利要求8所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述承载装置包括：

承载台，所述承载台的一侧具有至少一个直线型的预设开口，所述预设开口将承载台的一部分分隔为：

至少两个承载部，两个承载部之间为所述预设开口，所述承载部用于承载以平放的方式放置的硅棒，所述预设开口用于硅棒切割装置的竖向设置的切割线进入从硅棒的一端端面切割到另一端端面。

10.根据权利要求9所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述承载台包括第一承载台，所述预设开口包括第一预设开口，所述承载部包括主承载部和辅承载部；

所述第一承载台的一侧具有至少一对平行的直线型的所述第一预设开口，所述第一预设开口将第一承载台的一部分分隔为：

所述主承载部；

两个所述辅承载部，设置在所述主承载部的两侧，且所述辅承载部和所述主承载部之间为所述第一预设开口；

其中：

所述主承载部和所述辅承载部用于共同承载硅棒，所述第一预设开口用于线切割装置的切割线进入且从硅棒的端面进行切割，所述辅承载部还用于承载硅棒被切割掉的部分。

11.根据权利要求9所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述承载台包括第二承载台，所述预设开口包括第二预设开口，所述承载部包括第一承载部和第二承载部；

所述第二承载台的一侧具有至少一个直线型的所述第二预设开口，所述第二预设开口将第二承载台的一部分分隔为所述第一承载部和第二承载部；

所述承载装置还包括：

第一靠紧板，固定在所述第一承载部之上，且所述第一靠紧板的一端伸入到所述第二预设开口中；

其中，所述第一靠紧板用于支撑端面为矩形和弧形组合形状硅棒的弧形面。

12.根据权利要求10所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述承载装置还包括：

平板型靠紧板，所述平板型靠紧板固定安装在所述主承载部和所述辅承载部的上表面；所述主承载部的上表面和固定在主承载部的平板型靠紧板的板面紧贴，所述辅承载部的上表面和固定在辅承载部的平板型靠紧板的板面紧贴；

其中：

所述平板型靠紧板是通长的平板型靠紧板，所述主承载部和两个所述辅承载部之上各固定一个平板型靠紧板；

或者所述主承载部和两个所述辅承载部之上各自间隔固定至少两个所述平板型靠紧板。

13.根据权利要求10所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述主承载部和所述辅承载部是端面为矩形的矩形管；所述第一承载台还包括：

第一承载台本体，所述主承载部和所述辅承载部固定在所述第一承载台本体的一侧；

多个固定板，各自固定在所述主承载部和各个所述辅承载部之上；所述固定板的上侧具有多个靠紧板安装槽，所述靠紧板安装槽的长度方向与所述第一预设开口的宽度方向一致；

多个块型靠紧板，所述块型靠紧板固定安装在各个所述靠紧板安装槽内。

14.根据权利要求11所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述承载装置还包括：

板状的竖向靠紧板，所述竖向靠紧板竖向固定安装在所述第二承载部的上表面，且所述竖向靠紧板的板面和所述第二承载部的上表面垂直；

板状的横向靠紧板，所述横向靠紧板横向固定安装在所述第二承载部的上表面，且所述横向靠紧板的板面和所述第二承载部的上表面紧贴，且所述横向靠紧板的一端面伸入到所述第二预设开口中；

其中：

所述横向靠紧板用于承载端面为矩形和弧形组合形状硅棒的侧面；

所述竖向靠紧板用于顶住端面为矩形和弧形组合形状硅棒的底面；

伸入到第二预设开口中的所述第一靠紧板的一端和所述横向靠紧板的端面之间的间隙用于线切割装置的切割线进入一对硅棒的端面进行切割；

所述第一靠紧板还用于支撑端面为矩形和弧形组合形状硅棒被切割掉的端面为弧形的部分。

15.根据权利要求11所述的硅棒切割装置，其特征在于，所述承载装置还包括：

L型靠紧板，所述L型靠紧板固定在所述第二承载部的上表面，且L型靠紧板的开口朝向所述第一靠紧板，所述L型靠紧板的横向臂固定在所述第二承载部的上表面且所述L型靠紧板的横向臂伸入到所述第二预设开口中；

其中：

所述L型靠紧板的内侧夹角用于承载端面为矩形和弧形组合形状硅棒的侧面和底面；

伸入到第二预设开口中的所述第一靠紧板的一端和所述L型靠紧板的横向臂之间的间隙用于线切割装置的切割线进入一对硅棒的端面进行切割；

所述第一靠紧板还用于支撑端面为矩形和弧形组合形状硅棒被切割掉的端面为弧形的部分。

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