CN216845683U - 一种还原炉热能回收系统及物料生产系统 - Google Patents

一种还原炉热能回收系统及物料生产系统 Download PDF

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Abstract

本实用新型提供一种还原炉热能回收系统及物料生产系统,包括:第一闪蒸罐和第二闪蒸罐,第一闪蒸罐用于对第一闪蒸液进行减压闪蒸,以形成第一蒸汽和第一冷却液,第一冷却液对还原炉进行冷却,再进入第一闪蒸罐中形成第一闪蒸液;第二闪蒸罐用于对第二闪蒸液进行减压闪蒸,以形成第二蒸汽和第二冷却液,第二冷却液以对还原炉尾气进行冷却,再进入第二闪蒸罐中形成第二闪蒸液;第二冷却液的温度高于第一冷却液,第二蒸汽的压力大于第一蒸汽。本实用新型通过对还原工序热能进行梯级回收,以供生产系统中不同热量需求的用热设备使用,从而使还原工序热量尽可能多地被回收利用,且还降低了还原尾气温度,以降低尾气回收工序的冷却循环量。

Description

一种还原炉热能回收系统及物料生产系统
技术领域
本实用新型具体涉及一种还原炉热能回收系统及物料生产系统。
背景技术
随着新能源产业的不断发展壮大,国内多晶硅生产技术也高速发展,目前国内外多晶硅生产多采用改良西门子法。改良西门子法多晶硅生产工艺中50%以上的能量消耗来源于还原炉,目前国内外多晶硅企业利用150℃左右的脱盐水对还原炉底盘、炉筒及还原尾气进行冷却,然后将升温后的脱盐水(180℃)通过减压闪蒸的方法得到0.4MPaG蒸汽,然后利用0.4MPaG蒸汽对多晶硅生产原料中的氢气、三氯氢硅进行预热,或者将0.4MPaG蒸汽送往蒸汽管网,用于多晶硅生产过程中其他工序设备及物料加热,进而回收来自还原炉的热量。
上述方法虽然能有效回收多晶硅生产过程中还原炉的热量,降低多晶硅生产能量消耗,但是也存在一定弊端:通过物料及热能衡算,多晶硅生产过程中0.4MPaG蒸汽富余过剩,无法100%被利用,甚至有部分企业将富余的0.4MPaG蒸汽直接进行放空处理,造成了一定的能源浪费;并且,由于0.4MPaG蒸汽减压蒸发的局限性,导致脱盐水对尾气冷却不足,因此不但不能够充分利用尾气热量,而且会使尾气回收工序冷却循环量增大,导致多晶硅生产过程中电耗增加。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术存在的不足,提供一种还原炉热能回收系统,以使还原工序热量尽可能多的被回收利用,且降低尾气回收工序的冷却循环量,还相应提供一种具有该还原炉热能回收系统的物料生产系统。
解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是:
本实用新型提供一种还原炉热能回收系统,包括:第一闪蒸罐和第二闪蒸罐,
所述第一闪蒸罐用于对第一闪蒸液进行减压闪蒸,以形成第一蒸汽和第一冷却液,所述第一蒸汽输出至外部蒸汽管网,第一冷却液进入还原炉的炉身冷却结构中以对还原炉进行冷却,再进入第一闪蒸罐中形成第一闪蒸液;
所述第二闪蒸罐用于对第二闪蒸液进行减压闪蒸,以形成第二蒸汽和第二冷却液,所述第二蒸汽输出至外部蒸汽管网,第二冷却液进入还原炉的尾气冷却结构中以对还原炉尾气进行冷却,再进入第二闪蒸罐中形成第二闪蒸液;
所述第二冷却液的温度高于第一冷却液,所述第二闪蒸液的温度高于第一闪蒸液,所述第二蒸汽的压力大于第一蒸汽。
可选地,所述第一闪蒸液和所述第二闪蒸液均采用脱盐水。
可选地,所述第一闪蒸罐采用0.4MPaG蒸汽闪蒸罐,所述第二闪蒸罐采用1MPaG蒸汽闪蒸罐;
第一冷却液的温度为135-150℃,第一闪蒸液的温度为 155-170℃,第一蒸汽的压力为0.4MpaG;
第二冷却液的温度为145-185℃,第二闪蒸液的温度为 200-210℃,所述第二蒸汽的压力为1MpaG。
可选地,所述炉身冷却结构为炉筒夹套和/或炉底冷却盘管,
所述系统还包括循环单元,所述循环单元包括第一循环泵和/ 或第二循环泵,
所述第一循环泵设于第一闪蒸罐与炉筒夹套之间,用于使第一冷却液在第一闪蒸罐与炉筒夹套之间循环;
所述第二循环泵设于第一闪蒸罐与炉底冷却盘管之间,用于使第一冷却液在第一闪蒸罐与炉底冷却盘管之间循环。
可选地,所述尾气冷却结构为尾气夹套,
所述循环单元还包括第三循环泵,所述第三循环泵设于第二闪蒸罐与尾气冷却结构之间,用于使第二冷却液在第二闪蒸罐与尾气夹套之间循环。
可选地,所述循环单元还包括第四循环泵,所述第四循环泵设于第一闪蒸罐和第二闪蒸罐之间,用于将第一闪蒸罐中的第一闪蒸液泵入第二闪蒸罐中。
可选地,所述循环单元还包括溢流通道,所述溢流通道连通第二闪蒸罐和第一闪蒸罐,第二闪蒸罐中的第二闪蒸液在第二蒸汽的压力作用下经所述溢流通道能够压入第一闪蒸罐中,所述溢流通道上设有启闭阀门。
可选地,还包括控制单元,
所述控制单元与所述第一循环泵电连接,用于在还原炉生产时控制第一循环泵开启,且用于在还原炉停产时控制第一循环泵关闭,
所述控制单元还与所述第二循环泵电连接,用于在还原炉生产时控制第二循环泵开启,且用于在还原炉停产时控制第二循环泵关闭,
所述控制单元还与所述第三循环泵电连接,用于在还原炉生产时控制第三循环泵开启,且用于在还原炉停产时控制第三循环泵关闭,
所述控制单元还与第四循环泵以及所述启闭阀门电连接,用于在第二闪蒸罐中的液面低于设定值时,控制启闭阀门和第四循环泵开启。
本实用新型还提供一种物料生产系统,包括还原炉、第一用热设备、第二用热设备,以及上述的还原炉热能回收系统;
所述还原炉具有炉身冷却结构和尾气冷却结构,所述炉身冷却结构与还原炉热能回收系统的第一闪蒸罐相连,所述尾气冷却结构与还原炉热能回收系统的第二闪蒸罐相连,
所述第一闪蒸罐产生的第一蒸汽进入第一用热设备,以与第一用热设备进行热交换;
所述第二闪蒸罐产生的第二蒸汽进入第二用热设备,以与第二用热设备进行热交换。
可选地,所述第二用热设备与第一闪蒸罐之间设有回流管,用于将所述第二蒸汽与第二用热设备热交换后形成的冷凝液返回至第一闪蒸罐内形成第一闪蒸液。
本实用新型中,针对还原炉炉身冷却结构体量较尾气冷却结构大的多的特点,采用较低温度的第一冷却液对炉身进行冷却,升温相应较小的第一冷却液经第一闪蒸罐闪蒸得到压力较低的第一蒸汽(相应温度也较低),以供生产系统中具有较低加热需求的操作系统使用,并采用较高温度的第二冷却液对尾气进行冷却,升温相应较大的第二冷却液经第二闪蒸罐闪蒸得到压力较高的第二蒸汽(相应温度也较高),以供生产系统中具有较高加热需求的操作单元使用,第一蒸汽和第二蒸汽的压力可以根据生产实际需要选定。从而本实用新型通过对还原工序热能的梯级利用,以供物料生产系统中不同热量需求的操作单元使用,实现了还原工序热量尽可能多地被回收利用,减少了高品位蒸汽对外管网的依赖,并且,还尽可能地降低了还原尾气温度,以降低尾气回收工序的冷却循环量。
附图说明
图1为本实用新型实施例的多晶硅还原炉热能回收系统的结构示意图。
图中:1、第一闪蒸罐;2、第二闪蒸罐;3、第四循环泵;4、第三循环泵;5、第一循环泵;6、第二循环泵;7、还原炉;71、炉筒夹套;72、炉底冷却盘管;8-尾气夹套。
具体实施方式
下面将结合本实用新型中的附图,对实用新型中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型的范围。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,属于“上”等指示方位或位置关系是基于附图所示的方位或者位置关系,仅是为了便于和简化描述,而并不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须设有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或者暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“连接”、“设置”、“安装”、“固定”等应做广义理解,例如可以是固定连接也可以是可拆卸地连接,或者一体地连接;可以是直接相连,也可以是通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
本实用新型提供一种还原炉热能回收系统,包括:第一闪蒸罐和第二闪蒸罐,
所述第一闪蒸罐用于对第一闪蒸液进行减压闪蒸,以形成第一蒸汽和第一冷却液,所述第一蒸汽输出至外部蒸汽管网,第一冷却液进入还原炉的炉身冷却结构中以对还原炉进行冷却,再进入第一闪蒸罐中形成第一闪蒸液;
所述第二闪蒸罐用于对第二闪蒸液进行减压闪蒸,以形成第二蒸汽和第二冷却液,所述第二蒸汽输出至外部蒸汽管网,第二冷却液进入还原炉的尾气冷却结构中以对还原炉尾气进行冷却,再进入第二闪蒸罐中形成第二闪蒸液;
所述第二冷却液的温度高于第一冷却液,所述第二闪蒸液的温度高于第一闪蒸液,所述第二蒸汽的压力大于第一蒸汽。
本实用新型还提供一种物料生产系统,包括还原炉、第一用热设备、第二用热设备,以及上述的还原炉热能回收系统;
所述还原炉具有炉身冷却结构和尾气冷却结构,所述炉身冷却结构与还原炉热能回收系统的第一闪蒸罐相连,所述尾气冷却结构与还原炉热能回收系统的第二闪蒸罐相连,
所述第一闪蒸罐产生的第一蒸汽进入第一用热设备,以与第一用热设备进行热交换;
所述第二闪蒸罐产生的第二蒸汽进入第二用热设备,以与第二用热设备进行热交换。
实施例1:
如图1所示,本实施例的还原炉热能回收系统,包括:第一闪蒸罐1和第二闪蒸罐2。
如图1所示,本实施例的还原炉热能回收系统,包括:第一闪蒸罐1和第二闪蒸罐2,
第一闪蒸罐1用于对第一闪蒸液进行减压闪蒸,以形成第一蒸汽和第一冷却液,第一蒸汽输出至外部蒸汽管网,第一冷却液进入还原炉7的炉身冷却结构中以对还原炉7进行冷却,再进入第一闪蒸罐1中形成第一闪蒸液;
第二闪蒸罐2用于对第二闪蒸液进行减压闪蒸,以形成第二蒸汽和第二冷却液,第二蒸汽输出至外部蒸汽管网,第二冷却液进入还原炉7的尾气冷却结构中以对还原炉尾气进行冷却,再进入第二闪蒸罐2中形成第二闪蒸液;
第二冷却液的温度高于第一冷却液,第二闪蒸液的温度高于第一闪蒸液,第二蒸汽的压力大于第一蒸汽。
由此,针对还原炉7炉身冷却结构体量较尾气冷却结构大的多的特点,采用较低温度的第一冷却液对炉身进行冷却,升温相应较小的第一冷却液经第一闪蒸罐1闪蒸得到压力较低的第一蒸汽(相应温度也较低),以供生产系统中具有较低加热需求的操作系统使用;并采用较高温度的第二冷却液对尾气进行冷却,升温相应较大的第二冷却液经第二闪蒸罐2闪蒸得到压力较高的第二蒸汽(相应温度也较高),以供生产系统中具有较高加热需求的操作单元使用,第一蒸汽和第二蒸汽的压力可以根据生产实际需要选定。从而本实用新型通过对还原工序热能的梯级利用,以供物料生产系统中不同热量需求的操作单元使用,实现了还原工序热量尽可能多地被回收利用,减少了高品位蒸汽对外管网的依赖,并且,还尽可能地降低了还原尾气温度,以降低尾气回收工序的冷却循环量。
本实施例中,炉身冷却结构为炉筒夹套71和/或炉底冷却盘管 72,
本系统还包括循环单元,循环单元包括第一循环泵6和/或第二循环泵5,
第一循环泵6设于第一闪蒸罐1与炉筒夹套71之间,用于使第一冷却液在第一闪蒸罐1与炉筒夹套71之间循环;
第二循环泵5设于第一闪蒸罐1与炉底冷却盘管72之间,用于使第一冷却液在第一闪蒸罐1与炉底冷却盘管72之间循环。
本实施例中,尾气冷却结构为尾气夹套8,
循环单元还包括第三循环泵4,第三循环泵4设于第二闪蒸罐 2与尾气冷却结构之间,用于使第二冷却液在第二闪蒸罐2与尾气夹套之间循环。第三循环泵4为高温循环水泵,型号为01P04A04。
本实施例中,循环单元还包括第四循环泵3,第四循环泵3 设于第一闪蒸罐1和第二闪蒸罐2之间,用于将第一闪蒸罐1中的第一闪蒸液泵入第二闪蒸罐2中。以对第二闪蒸罐2进行补液。
第一闪蒸罐1可以通过外网补液,此外,还可以将第二闪蒸罐2产生的第二蒸汽对生产系统中的操作单元进行冷却后所得的冷凝液作为补液送回至第一闪蒸罐1,以维持本实施例的还原炉热能回收系统的正常运行,且最大化利用还原炉热能。
本实施例中,循环单元还包括溢流通道,溢流通道连通第二闪蒸罐2和第一闪蒸罐1,第二闪蒸罐2中的第二闪蒸液在第二蒸汽的压力作用下经溢流通道能够压入第一闪蒸罐1中,溢流通道上设有启闭阀门。第二闪蒸罐2中设有液位计,用于检测第二闪蒸罐2液面高度,当第二闪蒸罐2内液面过高时,开启启闭阀门,使第二闪蒸罐2中的第二闪蒸液在第二蒸汽的压力作用下经溢流通道压入第一闪蒸罐1中,以调整第二闪蒸罐2内充液量。
本实施例中,还包括控制单元,
控制单元与第一循环泵6电连接,用于在还原炉生产时控制第一循环泵6开启,且用于在还原炉停产时控制第一循环泵6关闭,
控制单元还与第二循环泵5电连接,用于在还原炉生产时控制第二循环泵5开启,且用于在还原炉停产时控制第二循环泵5 关闭,
控制单元还与第三循环泵4电连接,用于在还原炉生产时控制第三循环泵4开启,且用于在还原炉停产时控制第三循环泵4 关闭,
第二闪蒸罐2中的液位计与控制单元电连接,用于检测第二闪蒸罐2中第二闪蒸液的液面高度,且将检测到的实时液面高度信号传输至控制单元,
控制单元还与第四循环泵3以及启闭阀门电连接,用于将所述实时液面高度信号与设定值比较,且在所述实时液面高度信号低于设定值时,控制启闭阀门和第四循环泵3开启。
本实施例具体用于多晶硅还原热能回收,其中,第一闪蒸液和第二闪蒸液均为脱盐水。
第一闪蒸罐采用0.4MPaG蒸汽闪蒸罐,第二闪蒸罐采用 1MPaG蒸汽闪蒸罐。
第一冷却液的温度为150℃左右,第一闪蒸液的温度为170 ℃左右,第一蒸汽的压力为0.4MpaG。
第二冷却液的温度为185℃左右,第一闪蒸液的温度为205 ℃左右,第二蒸汽的压力为1MpaG。
具体地:
第一闪蒸罐1(0.4MPaG蒸汽闪蒸罐)内的脱盐水通过第一循环泵6和第二循环泵5分别打入多晶硅还原炉的炉筒夹套71 和炉底冷却盘管72中,以对还原炉7炉身进行冷却,脱盐水温度由150℃左右升高至170℃左右,然后进入第一闪蒸罐1中进行减压闪蒸,获得0.4MPaG蒸汽送至蒸汽管网,一部分作为热源供还原工序三氯氢硅汽化器、过热器使用,对还原进料三氯氢硅进行汽化过热,另一部分供0.4MPaG蒸汽送蒸汽管网,通过蒸汽管网送至精馏工序及其他需要0.4MPaG加热的操作单元使用。
第二闪蒸罐2(1MPaG蒸汽闪蒸罐)内的185℃左右的脱盐水,经第三循环泵4对多晶硅还原尾气进行冷却,脱盐水温度由 185℃升高至205℃,然后回到第二闪蒸罐2进行闪蒸操作,所得1MPaG蒸汽经管道输送至冷氢化工序及还原尾气回收单元使用,1MPaG蒸汽在冷氢化工序中主要用于氢气加热器、氢气二级加热器,硅粉干燥罐,四氯化硅汽化器,混合气蒸汽加热,在还原尾气回收单元主要用于氢气吸附塔吸附剂再生。
1MPaG蒸汽经冷氢化工序及还原尾气回收单元使用后冷凝,所得1MPaG蒸汽凝液返回0.4MPaG蒸汽闪蒸罐形成第一闪蒸液,继续闪蒸0.4MPaG蒸汽,从而最大化利用还原炉热能。
由此,采用本实施例的还原炉热能回收系统对多晶硅还原工序的热能进行梯级利用,实现了多晶硅还原能量最大限度的回收利用,减少了多晶硅生产中冷氢化三氯氢硅合成过程及硅粉干燥过程对外来蒸汽热源的依赖,通过其自身配套系统实现了全厂蒸汽的平衡。且同时降低了尾气回收工序的冷却循环量。可见,本系统的设计对于多晶硅生产过程能耗的降低具有很好的指导意义。
实践表明,通过1MPaG闪蒸罐,每小时可产生1MPaG蒸汽40.1t,同时用1MPaG闪蒸罐冷凝液为0.4MPaG闪蒸罐补水,不影响0.4MPaG蒸汽产量,每小时产生0.4MPaG蒸汽57.086t,在不影响0.4MPaG蒸汽产量的同时多产生了1MPaG40.1t/h,从而采用本系统对多晶硅还原过程中的能量进行梯级回收,以供多晶硅生产系统中不同能量需求的操作单元利用,降低了多晶硅生产的能量消耗。
实施例2:
本实施例提供一种多晶硅生产系统,包括还原炉7、第一用热设备、第二用热设备,以及实施例的还原炉热能回收系统;
还原炉7具有炉身冷却结构和尾气冷却结构,炉身冷却结构与还原炉热能回收系统的第一闪蒸罐1相连,尾气冷却结构与还原炉热能回收系统的第二闪蒸罐2相连,
第一闪蒸罐1产生的第一蒸汽进入第一用热设备,以与第一用热设备进行热交换;
第二闪蒸罐2产生的第二蒸汽进入第二用热设备,以与第二用热设备进行热交换。
其中,第一用热设备主要为还原工序中的三氯氢硅汽化器、过热器,以及精馏工序及其他需要0.4MPaG加热的用热设备。
第二用热设备主要为冷氢化工序中的氢气加热器、氢气二级加热器,硅粉干燥罐,四氯化硅汽化器,混合气蒸汽加热器等,还包括还原尾气回收工序中的氢气吸附剂再生设备。
由此,通过还原炉热能回收系统对还原工序热能进行梯级回收,且输送给生产系统中不同热量需求的用热设备使用,从而最大化回收利用了还原炉热能,并实现了全厂蒸汽的平衡。
本实施例中,第二用热设备与第一闪蒸罐1之间设有回流管,用于将第二蒸汽与第二用热设备热交换后形成的冷凝液返回至第一闪蒸罐1内形成第一闪蒸液,从而最大化利用还原炉热能。
可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式,然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种还原炉热能回收系统,其特征在于,包括:第一闪蒸罐(1)和第二闪蒸罐(2),
所述第一闪蒸罐(1)用于对第一闪蒸液进行减压闪蒸,以形成第一蒸汽和第一冷却液,所述第一蒸汽输出至外部蒸汽管网,第一冷却液进入还原炉(7)的炉身冷却结构中以对还原炉(7)进行冷却,再进入第一闪蒸罐(1)中形成第一闪蒸液;
所述第二闪蒸罐(2)用于对第二闪蒸液进行减压闪蒸,以形成第二蒸汽和第二冷却液,所述第二蒸汽输出至外部蒸汽管网,第二冷却液进入还原炉(7)的尾气冷却结构中以对还原炉尾气进行冷却,再进入第二闪蒸罐(2)中形成第二闪蒸液;
所述第二冷却液的温度高于第一冷却液,所述第二闪蒸液的温度高于第一闪蒸液,所述第二蒸汽的压力大于第一蒸汽。
2.根据权利要求1所述的还原炉热能回收系统,其特征在于,所述第一闪蒸液和所述第二闪蒸液均采用脱盐水。
3.根据权利要求2所述的还原炉热能回收系统,其特征在于,所述第一闪蒸罐采用0.4MPaG蒸汽闪蒸罐,所述第二闪蒸罐采用1MPaG蒸汽闪蒸罐;
第一冷却液的温度为135-150℃,第一闪蒸液的温度为155-170℃,第一蒸汽的压力为0.4MpaG;
第二冷却液的温度为145-185℃,第二闪蒸液的温度为200-210℃,所述第二蒸汽的压力为1MpaG。
4.根据权利要求1-3任一项所述的还原炉热能回收系统,其特征在于,所述炉身冷却结构为炉筒夹套(71)和/或炉底冷却盘管(72),
所述系统还包括循环单元,所述循环单元包括第一循环泵(6) 和/或第二循环泵(5),
所述第一循环泵(6)设于第一闪蒸罐(1)与炉筒夹套(71)之间,用于使第一冷却液在第一闪蒸罐(1)与炉筒夹套(71)之间循环;
所述第二循环泵(5)设于第一闪蒸罐(1)与炉底冷却盘管(72)之间,用于使第一冷却液在第一闪蒸罐(1)与炉底冷却盘管(72)之间循环。
5.根据权利要求4所述的还原炉热能回收系统,其特征在于,所述尾气冷却结构为尾气夹套(8),
所述循环单元还包括第三循环泵(4),所述第三循环泵(4)设于第二闪蒸罐(2)与尾气冷却结构之间,用于使第二冷却液在第二闪蒸罐(2)与尾气夹套之间循环。
6.根据权利要求5所述的还原炉热能回收系统,其特征在于,所述循环单元还包括第四循环泵(3),所述第四循环泵(3)设于第一闪蒸罐(1)和第二闪蒸罐(2)之间,用于将第一闪蒸罐(1)中的第一闪蒸液泵入第二闪蒸罐(2)中。
7.根据权利要求6所述的还原炉热能回收系统,其特征在于,所述循环单元还包括溢流通道,所述溢流通道连通第二闪蒸罐(2)和第一闪蒸罐(1),第二闪蒸罐(2)中的第二闪蒸液在第二蒸汽的压力作用下经所述溢流通道能够压入第一闪蒸罐(1)中,所述溢流通道上设有启闭阀门。
8.根据权利要求7所述的还原炉热能回收系统,其特征在于,还包括控制单元,
所述控制单元与第四循环泵(3)以及所述启闭阀门电连接,用于在第二闪蒸罐(2)中的液面低于设定值时,控制启闭阀门和第四循环泵(3)开启。
9.一种物料生产系统,其特征在于,包括还原炉(7)、第一用热设备、第二用热设备,以及如权利要求1-8任一项所述的还原炉热能回收系统;
所述还原炉(7)具有炉身冷却结构和尾气冷却结构,所述炉身冷却结构与还原炉热能回收系统的第一闪蒸罐(1)相连,所述尾气冷却结构与还原炉热能回收系统的第二闪蒸罐(2)相连,
所述第一闪蒸罐(1)产生的第一蒸汽进入第一用热设备,以与第一用热设备进行热交换;
所述第二闪蒸罐(2)产生的第二蒸汽进入第二用热设备,以与第二用热设备进行热交换。
10.根据权利要求9所述的物料生产系统,其特征在于,所述第二用热设备与第一闪蒸罐(1)之间设有回流管,用于将所述第二蒸汽与第二用热设备热交换后形成的冷凝液返回至第一闪蒸罐(1)内形成第一闪蒸液。
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