CN216843487U - 一种用于分子束外延的真空软管 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于分子束外延的真空软管，包括有进液外管、进液内管和排气管；所述进液内管套设在进液外管内，且所述进液外管与进液内管之间的空腔呈真空状态设置；所述排气管套设在进液外管内，且其两端分别从进液内管对应两端伸出在外。本装置在输送液氮时，处于真空包覆，对进液内管中流过的液氮保温处理，减少液氮在进液内管升温中汽化；同时设置有排气管，分子束外延(MBE)设备中汽化的部分氮气可及时经过排气管排入气液分离器内，以得到更好的排气效果。

Description

一种用于分子束外延的真空软管

技术领域

本实用新型涉及分子束外延技术领域，具体为一种用于分子束外延的真空软管。

背景技术

在半导体芯片制造，分子束外延(MBE)是新发展起来的外延制膜方法，也是一种特殊的真空镀膜工艺。外延是一种制备单晶薄膜的新技术，它是在适当的衬底与合适的条件下，沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜的方法。分子束外延(MBE)行业中，使用分子束外延(MBE)设备，需要使用与液氮气液分离器连接输送液氮的特殊真空管道，但是液氮在输送过程中会出现汽化，需要及时将分子束外延(MBE)设备排出。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于分子束外延的真空软管，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于分子束外延的真空软管，包括有进液外管、进液内管和排气管；所述进液内管套设在进液外管内，且所述进液外管与进液内管之间的空腔呈真空状态设置；所述排气管套设在进液外管内，且其两端分别从进液内管对应两端伸出在外。

更进一步的，所述进液内管的一端连通设置有真空管母接头，在其另一端连通设置有真空管公接头。

更进一步的，所述进液外管侧壁上设置有抽真空嘴，所述抽真空嘴连通外界与进液外管与进液内管之间的空腔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本软管在输送液氮时，处于真空包覆，对进液内管中流过的液氮保温处理，减少液氮在进液内管升温中汽化；同时设置有排气管，分子束外延(MBE)设备中汽化的部分氮气可及时经过排气管排入气液分离器内，以得到更好的排气效果。

附图说明

图1为本实用新型的真空软管整体结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图，本实用新型提供一种技术方案：一种用于分子束外延的真空软管，包括有进液外管3、进液内管5和排气管1；所述进液内管5套设在进液外管3内，且所述进液外管3与进液内管5之间的空腔呈真空状态设置；所述排气管1套设在进液外管3内，且其两端分别从进液内管5对应两端伸出在外。进液内管5在输送液氮时，处于真空包覆，对进液内管5中流过的液氮保温处理，减少液氮在管内升温中汽化；同时设置有排气管1，分子束外延(MBE)设备中汽化的部分氮气可及时经过排气管1排入气液分离器内，以得到更好的排气效果。

所述进液内管5的一端连通设置有真空管母接头2，所述真空管接头2用于连通分子束外延(MBE)专用气液分离器出液口，在其另一端连通设置有真空管公接头6，所述真空管接头2用于连通分子束外延(MBE)设备进液口。

所述进液外管3侧壁上设置有抽真空嘴4，所述抽真空嘴4连通外界与进液外管3与进液内管5之间的空腔，真空嘴4用于外界真空泵将进液外管3 与进液内管5之间的空腔内空气抽空，达到真空状态。

本装置的工作原理：分子束外延(MBE)专用真空软管是输送与排气并存的一根圆管状管道。为有效传输纯液氮和排气更快更顺畅而设计的一根三层式管道。真空母接头2连接分子束外延(MBE)专用气液分离器出液口，真空公接头6连接分子束外延(MBE)设备。纯液氮经过真空母接头2流入，在真空公接头6流出至分子束外延(MBE)设备，所汽化的部分氮气可经过排气管1排入分子束外延(MBE)专用气液分离器，以得到更好的排气效果。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种用于分子束外延的真空软管，其特征在于，包括有进液外管(3)、进液内管(5)和排气管(1)；所述进液内管(5)套设在进液外管(3)内，且所述进液外管(3)与进液内管(5)之间的空腔呈真空状态设置；所述排气管(1)套设在进液外管(3)内，且其两端分别从进液内管(5)对应两端伸出在外。

2.根据权利要求1所述的一种用于分子束外延的真空软管，其特征在于：所述进液内管(5)的一端连通设置有真空管母接头(2)，在其另一端连通设置有真空管公接头(6)。

3.根据权利要求1所述的一种用于分子束外延的真空软管，其特征在于：所述进液外管(3)侧壁上设置有抽真空嘴(4)，所述抽真空嘴(4)连通外界与进液外管(3)与进液内管(5)之间的空腔。

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