CN216827595U - 一种硅片超声波清洗机用密封结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片超声波清洗机用密封结构，属于超声波清洗机技术领域，包括密封壳体，所述密封壳体的内部装配有驱动结构，所述密封壳体的底端设置有移动架，驱动结构使移动架具有升降功能，所述移动架远离密封壳体的一端底端连接有密封块，密封块为圆台形结构，所述密封块的外侧套接有密封套；本实用新型通过正反转手柄带动螺杆正反转，带动移动架在螺杆上上下移动，带动密封块和密封套上下移动的方式实现硅片超声波清洗机出液口的打开或密封，密封性能好，且打开或封闭全程无需工作人员接触清洗液，提高使用安全性能以及便捷性。

Description

一种硅片超声波清洗机用密封结构

技术领域

本实用新型属于超声波清洗机技术领域，具体涉及一种硅片超声波清洗机用密封结构。

背景技术

超声波清洗机是通过换能器将功率超声频源的声能转换成机械振动，通过清洗槽壁将超声波辐射到清洗液上，使槽内液体中的微气泡能够在声波的作用下保持振动，对清洗件表面进行擦洗，破坏污物与清洗件表面的吸附，引起污物层的疲劳破坏而被驳离的清洗机器。

超声波清洗机在对硅片进行清洗时为了实现清洗液的重复利用，多数在超声波清洗机的底壁设置有出液口，出液口内设置密封塞，同时在超声波清洗机的下方设置清洗废液处理结构，这样在硅片清洗完成取出后，可人工打开密封塞，使清洗废液通过出液口进入清洗废液处理结构内进行处理，处理后通过水泵重新抽至超声波清洗机内即可实现清洗液的重复利用，但在该过程中，需要工作人员接触清洗液，清洗液会对工作人员的手部造成一定程度的不适，降低了结构的使用安全性和便捷性。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种硅片超声波清洗机用密封结构，具有提高使用安全性能、便捷性以及整体密封性能的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片超声波清洗机用密封结构，包括密封壳体，所述密封壳体的内部装配有驱动结构，所述密封壳体的底端设置有移动架，驱动结构使移动架具有升降功能，所述移动架远离密封壳体的一端底端连接有密封块，密封块为圆台形结构，所述密封块的外侧套接有密封套。

优选的，所述驱动结构包括设置在密封壳体内的装配槽，所述装配槽的内部设置有螺杆，所述螺杆的顶端穿过装配槽的顶端并延伸至密封壳体的上方连接有手柄，所述螺杆与装配槽的两端均连接有轴承，所述密封壳体的内部且位于装配槽的下方设置有移动槽，所述螺杆的底端贯穿装配槽的底端并延伸至移动槽内与移动槽的底壁间连接有轴承，所述移动架远离密封块的一端延伸至移动槽内并与螺杆间连接有传动螺母。

优选的，还包括超声波清洗机壳和清洗废液过滤壳体，所述超声波清洗机壳的外壁装配有超声波发生器，所述超声波清洗机壳的内壁装配有超声波换能器，所述超声波清洗机壳的底壁设置有出液口，密封块位于出液口内，所述清洗废液过滤壳体位于超声波清洗机壳的下方，所述清洗废液过滤壳体的内部且位于出液口靠近清洗废液过滤壳体的流向侧装配有滤板，所述清洗废液过滤壳体的外壁装配有水泵，水泵的进水端和出水端均连接有连接管，水泵进水端连接的连接管与清洗废液过滤壳体连通，水泵出水端连接的连接管延伸至超声波清洗机壳的上方并与超声波清洗机壳连通。

优选的，所述密封块的底端连接有清扫刷。

优选的，所述密封壳体的安装壁四角均连接有安装块。

优选的，还包括设置在超声波清洗机壳另一内壁的安装槽，密封壳体被放置在安装槽内，并通过螺栓将四个安装块拧紧在安装槽内的方式实现定位。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过正反转手柄带动螺杆正反转，带动移动架在螺杆上上下移动，带动密封块和密封套上下移动的方式实现硅片超声波清洗机出液口的打开或密封，密封性能好，且打开或封闭全程无需工作人员接触清洗液，提高使用安全性能以及便捷性。

2、本实用新型密封块下设置清扫刷，能够在出液口需被密封时在密封块未到达出液口前对出液口的内壁面进行清扫，避免出液口的内壁面存在杂质影响密封块和密封套的密封性能，提高结构的整体密封性能。

3、本实用新型通过安装块与螺栓的配合实现安装的，即该结构与硅片超声波清洗机具有可拆装的功能，从而在任一结构损坏时仅需更换损坏的结构即可，节能环保。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的竖剖图；

图3为本实用新型装配在超声波清洗机内的结构示意图；

图中：1、安装块；2、密封壳体；3、移动架；4、密封块；5、密封套；6、清扫刷；7、手柄；8、装配槽；9、螺杆；10、移动槽；11、超声波清洗机壳；12、超声波换能器；13、安装槽；14、超声波发生器；15、出液口；16、清洗废液过滤壳体；17、滤板；18、水泵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1-3，本实用新型提供以下技术方案：一种硅片超声波清洗机用密封结构，包括密封壳体2，密封壳体2的内部装配有驱动结构，密封壳体2的底端设置有移动架3，驱动结构使移动架3具有升降功能，移动架3远离密封壳体2的一端底端连接有密封块4，密封块4为圆台形结构，密封块4的外侧套接有密封套5。

具体的，驱动结构包括设置在密封壳体2内的装配槽8，装配槽8的内部设置有螺杆9，螺杆9的顶端穿过装配槽8的顶端并延伸至密封壳体2的上方连接有手柄7，螺杆9与装配槽8的两端均连接有轴承，密封壳体2的内部且位于装配槽8的下方设置有移动槽10，螺杆9的底端贯穿装配槽8的底端并延伸至移动槽10内与移动槽10的底壁间连接有轴承，移动架3远离密封块4的一端延伸至移动槽10内并与螺杆9间连接有传动螺母。

具体的，还包括超声波清洗机壳11和清洗废液过滤壳体16，超声波清洗机壳11的外壁装配有超声波发生器14，超声波清洗机壳11的内壁装配有超声波换能器12，超声波清洗机壳11的底壁设置有出液口15，密封块4位于出液口15内，清洗废液过滤壳体16位于超声波清洗机壳11的下方，清洗废液过滤壳体16的内部且位于出液口15靠近清洗废液过滤壳体16的流向侧装配有滤板17，清洗废液过滤壳体16的外壁装配有水泵18，水泵18的进水端和出水端均连接有连接管，水泵18进水端连接的连接管与清洗废液过滤壳体16连通，水泵18出水端连接的连接管延伸至超声波清洗机壳11的上方并与超声波清洗机壳11连通。

本实施例的工作原理：

超声波清洗机清洗硅片需要密封住出液口15时，反向转动手柄7，手柄7带动连接的螺杆9反向转动，螺杆9反向转动过程中，移动架3在移动槽10内的螺杆9上向下移动，移动架3带动连接的密封块4向下移动，直至移动架3的底壁接触移动槽10的底壁无法再移动时，停止反向转动手柄7，此时密封块4位于出液口15内密封住出液口15，由于密封块4的外壁套接密封套5，因此密封性能更佳；

清洗废液进行杂质过滤重新利用需要打开出液口15时，正向转动手柄7，手柄7带动连接的螺杆9正向转动，螺杆9正向转动过程中，移动架3在移动槽10内的螺杆9上向上移动，移动架3带动连接的密封块4向上移动，直至移动架3的顶壁接触移动槽10的顶壁无法再移动时，停止正向转动手柄7，此时密封块4位于出液口15上方，清洗废液可通过出液口15进入清洗废液过滤壳体16内，经滤板17过滤杂质，由水泵18重新抽入超声波清洗机壳11内进行重复利用；

密封性能好，且全程无需工作人员接触清洗液，提高使用安全性能。

实施例2

本实施例较实施例1的不同之处在于：

具体的，密封块4的底端连接有清扫刷6。

本实施例的工作原理：

移动架3带动连接的密封块4向下移动时，密封块4同步带动连接的清扫刷6向下移动，在密封块4未到达出液口15前对出液口15的内壁面进行清扫，避免出液口15的内壁面存在杂质影响密封块4和密封套5的密封性能。

实施例3

本实施例较实施例2的不同之处在于：

具体的，密封壳体2的安装壁四角均连接有安装块1。

具体的，还包括设置在超声波清洗机壳11另一内壁的安装槽13，密封壳体2被放置在安装槽13内，并通过螺栓将四个安装块1拧紧在安装槽13内的方式实现定位。

本实施例的工作原理：

将密封壳体2放置在安装槽13内，调整密封壳体2的位置，通过螺栓将四个安装块1安装在安装槽13内，完成结构的安装工作。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种硅片超声波清洗机用密封结构，包括密封壳体(2)，其特征在于：所述密封壳体(2)的内部装配有驱动结构，所述密封壳体(2)的底端设置有移动架(3)，驱动结构使移动架(3)具有升降功能，所述移动架(3)远离密封壳体(2)的一端底端连接有密封块(4)，密封块(4)为圆台形结构，所述密封块(4)的外侧套接有密封套(5)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片超声波清洗机用密封结构，其特征在于：所述驱动结构包括设置在密封壳体(2)内的装配槽(8)，所述装配槽(8)的内部设置有螺杆(9)，所述螺杆(9)的顶端穿过装配槽(8)的顶端并延伸至密封壳体(2)的上方连接有手柄(7)，所述螺杆(9)与装配槽(8)的两端均连接有轴承，所述密封壳体(2)的内部且位于装配槽(8)的下方设置有移动槽(10)，所述螺杆(9)的底端贯穿装配槽(8)的底端并延伸至移动槽(10)内与移动槽(10)的底壁间连接有轴承，所述移动架(3)远离密封块(4)的一端延伸至移动槽(10)内并与螺杆(9)间连接有传动螺母。

3.根据权利要求1所述的一种硅片超声波清洗机用密封结构，其特征在于：还包括超声波清洗机壳(11)和清洗废液过滤壳体(16)，所述超声波清洗机壳(11)的外壁装配有超声波发生器(14)，所述超声波清洗机壳(11)的内壁装配有超声波换能器(12)，所述超声波清洗机壳(11)的底壁设置有出液口(15)，密封块(4)位于出液口(15)内，所述清洗废液过滤壳体(16)位于超声波清洗机壳(11)的下方，所述清洗废液过滤壳体(16)的内部且位于出液口(15)靠近清洗废液过滤壳体(16)的流向侧装配有滤板(17)，所述清洗废液过滤壳体(16)的外壁装配有水泵(18)，水泵(18)的进水端和出水端均连接有连接管，水泵(18)进水端连接的连接管与清洗废液过滤壳体(16)连通，水泵(18)出水端连接的连接管延伸至超声波清洗机壳(11)的上方并与超声波清洗机壳(11)连通。

4.根据权利要求1所述的一种硅片超声波清洗机用密封结构，其特征在于：所述密封块(4)的底端连接有清扫刷(6)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片超声波清洗机用密封结构，其特征在于：所述密封壳体(2)的安装壁四角均连接有安装块(1)。

6.根据权利要求4所述的一种硅片超声波清洗机用密封结构，其特征在于：还包括设置在超声波清洗机壳(11)另一内壁的安装槽(13)，密封壳体(2)被放置在安装槽(13)内，并通过螺栓将四个安装块(1)拧紧在安装槽(13)内的方式实现定位。

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