CN216765043U - 一种用于真空镀膜机的抽气口结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的抽气口结构，包括：真空腔室，在真空腔室的外周壁设置有抽气口，抽气口为呈上下延伸的长形口结构，在抽气口处设置有调节阀板，调节阀板可绕竖直的旋转轴线可转动调节地设置于抽气口处，抽气口的外侧连接有抽气罩，抽气罩设置有进气口和出气口，进气口与抽气口匹配连接。通过转动调节阀板来使得调节阀板的竖直侧边与抽气口之间形成过流间隙，过流间隙使得真空腔室上、中、下部的抽气流通面积相同，进而令真空腔室上、中、下部的抽气更加均匀，避免出现真空腔室内上、中、下的镀膜膜层的色差问题，同时根据实际的加工情况，转动调节阀板调节过流间隙的气体流通面积，无需通过抽气动力装置来调节。

Description

一种用于真空镀膜机的抽气口结构

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机的技术领域，特别涉及一种用于真空镀膜机的抽气口结构。

背景技术

利用真空蒸发技术在工件表面镀制一层具有特殊性能膜层的技术，已经成熟运用于工业生产及装饰材料上，现有一般采用立式真空镀膜机，而立式真空镀膜机在使用时，存在以下问题：镀膜室与抽气系统连接处的抽气口，多开在镀室的壁体中部，现有为了提高抽真空的均匀度，会在镀室的壁体开设多个抽气口，多个抽气口呈上下间隔排布，在实际使用时由于相邻两个抽气口之间具有一定的距离，如果镀膜室的高度较高时，镀室上下两端与中部之间的抽气均匀性会很差，影响到工件的镀膜效果，并且在调节抽气量时，也难以控制。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种用于真空镀膜机的抽气口结构，以解决现有技术中所存在的一个或多个技术问题，至少提供一种有益的选择或创造条件。

为解决上述技术问题所采用的技术方案：

本实用新型提供一种用于真空镀膜机的抽气口结构，其包括：呈竖直设置的真空腔室，在所述真空腔室的外周壁设置有至少一个抽气口，所述抽气口为呈上下延伸的长形口结构，在所述抽气口处设置有调节阀板，所述调节阀板可绕竖直的旋转轴线可转动调节地设置于所述抽气口处，所述抽气口的外侧连接有抽气罩，所述抽气罩设置有进气口和出气口，所述进气口与所述抽气口匹配连接。

本实用新型的有益效果是：在使用时，外设的抽气动力装置与出气口连通，通过转动调节阀板来使得调节阀板的竖直侧边与抽气口之间形成呈上下延伸设置的过流间隙，也就是说过流间隙使得真空腔室上、中、下部的抽气流通面积相同，进而令真空腔室上、中、下部的抽气更加均匀，可满足较高的真空腔室，提高镀膜的质量，避免出现真空腔室内上、中、下的镀膜膜层的色差问题，同时根据实际的加工情况，转动调节阀板调节过流间隙的气体流通面积，这时就是同步快速地调节真空腔室上、中、下部的抽气量，而无需通过抽气动力装置来调节。

作为上述技术方案的进一步改进，所述旋转轴线与调节阀板上下两端中心的连线共线。本方案中的调节阀板两竖直侧边与抽气口之间均形成过流间隙，并两个过流间隙的流通面积相同，这样可提高抽气的量，也提高流通面积的调节范围、灵活性和准确性。

作为上述技术方案的进一步改进，所述调节阀板的上下两端分别通过转动轴与抽气罩转动连接。调节阀板的上下两端均通过转动轴与抽气罩的内壁转动连接，这样可提高调节阀板安装的牢固性，避免在抽气时，调节阀板倾斜晃动。

作为上述技术方案的进一步改进，所述调节阀板传动连接有驱动调节组件，所述驱动调节组件用于驱动调节阀板绕所述旋转轴线转动。

本方案设置了驱动调节组件来驱动调节阀板绕所述旋转轴线转动，实现调节阀板的自动调节，驱动调节组件还带有锁紧的功能。

作为上述技术方案的进一步改进，所述驱动调节组件为电机，所述电机的输出轴与调节阀板连接。本方案通过电机直接驱动调节阀板转动，电机采用伺服电机。

作为上述技术方案的进一步改进，所述出气口设置于抽气罩与进气口相对一侧的中部位置。

进气口也为长形口结构，而出气口一般为圆口结构，出气口设置于进气口对侧的中部位置，这样可使得进气口各个地方的气压均匀。

作为上述技术方案的进一步改进，在所述真空腔室的外周壁设置有多个所述抽气口，多个所述抽气口呈环形间隔排列设置。

本方案可根据实际的加工需求，来选择不同的抽气口进行抽气。

作为上述技术方案的进一步改进，所述出气口连接有连接法兰。出气口可通过连接法兰与外设的抽气动力装置连接，或者与封盖连接。

作为上述技术方案的进一步改进，在所述出气口内安装有传感器组件。传感器组件可采用流量传感器或者压力传感器，通过传感器组件检测出气口处的气体参数，以便于镀膜质量的控制。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明；

图1是本实用新型所提供的抽气口结构，其一实施例的结构示意图；

图2是本实用新型所提供的抽气口结构，其一实施例的主视图；

图3是图2中的A-A剖视图。

具体实施方式

本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，如果具有“若干”之类的词汇描述，其含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

参照图1至图3，本实用新型的用于真空镀膜机的抽气口结构作出如下实施例：

本实施例的抽气口结构：呈竖直设置的真空腔室100，在所述真空腔室100的外周壁设置有抽气口110，所述抽气口110为呈上下延伸的长形口结构，在所述抽气口110处设置有调节阀板120，所述调节阀板120可绕竖直的旋转轴线可转动调节地设置于所述抽气口110 处，为了提高调节阀板120安装的牢固性，所述调节阀板120的上下两端分别通过转动轴121与抽气罩130转动连接。

并且所述抽气口110的外侧连接有抽气罩130，所述抽气罩130 设置有进气口140和出气口150，所述进气口140与所述抽气口110 匹配连接。

在使用时，外设的抽气动力装置与出气口150连通，通过转动调节阀板120来使得调节阀板120的竖直侧边与抽气口110之间形成呈上下延伸设置的过流间隙，也就是说过流间隙使得真空腔室100上、中、下部的抽气流通面积相同，进而令真空腔室100上、中、下部的抽气更加均匀，可满足较高的真空腔室100，提高镀膜的质量，避免出现真空腔室100内上、中、下的镀膜膜层的色差问题，同时根据实际的加工情况，转动调节阀板120调节过流间隙的气体流通面积，这时就是同步快速地调节真空腔室100上、中、下部的抽气量，而无需通过抽气动力装置来调节。

进一步地，为了实现调节阀板120的自动调节，所述调节阀板 120传动连接有驱动调节组件，所述驱动调节组件用于驱动调节阀板 120绕所述旋转轴线转动，本实施例的所述驱动调节组件为电机160，通过电机160直接驱动调节阀板120转动，电机160采用伺服电机，使得驱动调节组件带有锁紧的功能。

并且在所述出气口150内安装有传感器组件。传感器组件可采用流量传感器或者压力传感器，通过传感器组件检测出气口150处的气体参数，以便于镀膜质量的控制，这时的传感器组件可与控制器连接，控制器又与电机160连接，控制器根据传感器组件检测的数据，来控制电机160驱动调节阀板120转动角度。

本实施例中的所述旋转轴线与调节阀板120上下两端中心的连线共线，这样调节阀板120两竖直侧边与抽气口110之间均形成过流间隙，并两个过流间隙的流通面积相同，这样可提高抽气的量，也提高流通面积的调节范围、灵活性和准确性，调节阀板120的尺寸可小于抽气口110的尺寸，也就是说，过流间隙一直存在，而转动调节阀板120就是调节过流间隙的流通面积。

更进一步地，所述出气口150设置于抽气罩130与进气口140相对一侧的中部位置，由于进气口140也为长形口结构，而出气口150 一般为圆口结构，出气口150设置于进气口140对侧的中部位置，这样可使得进气口140各个地方的气压均匀。

所述出气口150连接有连接法兰151，出气口150可通过连接法兰151与外设的抽气动力装置连接，或者与封盖连接。

在其他一些实施例中，在所述真空腔室100的外周壁设置有多个所述抽气口110，多个所述抽气口110呈环形间隔排列设置，本实施例中的抽气口110为四个，可根据实际的加工需求，来选择不同的抽气口110进行抽气。

以上对本实用新型的较佳实施方式进行了具体说明，但本发明创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可作出种种的等同变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (9)

1.一种用于真空镀膜机的抽气口结构，其特征在于：其包括：呈竖直设置的真空腔室(100)，在所述真空腔室(100)的外周壁设置有至少一个抽气口(110)，所述抽气口(110)为呈上下延伸的长形口结构，在所述抽气口(110)处设置有调节阀板(120)，所述调节阀板(120)可绕竖直的旋转轴线可转动调节地设置于所述抽气口(110)处，所述抽气口(110)的外侧连接有抽气罩(130)，所述抽气罩(130)设置有进气口(140)和出气口(150)，所述进气口(140)与所述抽气口(110)匹配连接。

2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的抽气口结构，其特征在于：所述旋转轴线与调节阀板(120)上下两端中心的连线共线。

3.根据权利要求2所述的用于真空镀膜机的抽气口结构，其特征在于：所述调节阀板(120)的上下两端分别通过转动轴(121)与抽气罩(130)转动连接。

4.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的抽气口结构，其特征在于：所述调节阀板(120)传动连接有驱动调节组件，所述驱动调节组件用于驱动调节阀板(120)绕所述旋转轴线转动。

5.根据权利要求4所述的用于真空镀膜机的抽气口结构，其特征在于：所述驱动调节组件为电机(160)，所述电机(160)的输出轴与调节阀板(120)连接。

6.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的抽气口结构，其特征在于：所述出气口(150)设置于抽气罩(130)与进气口(140)相对一侧的中部位置。

7.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的抽气口结构，其特征在于：在所述真空腔室(100)的外周壁设置有多个所述抽气口(110)，多个所述抽气口(110)呈环形间隔排列设置。

8.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的抽气口结构，其特征在于：所述出气口(150)连接有连接法兰(151)。

9.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的抽气口结构，其特征在于：在所述出气口(150)内安装有传感器组件。

Images