CN216726752U - 一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，包含有料仓（2）、料斗（7）和搅拌罐（9），所述料仓（2）的底部出料口连接至螺旋输送装置（5）的进料口，所述螺旋输送装置（5）的出料口连接至料斗（7）的顶部进料口，所述料斗（7）的底部出料口与搅拌罐（9）的顶部进料口之间相连通的波纹管上安装有波纹管称重传感器（17）。本实用新型一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，有效的提高了清洗液的配置生产效率。

Description

一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备

技术领域

本实用新型涉及一种清洗液配置装置，尤其是涉及一种用于对晶圆电镀板进行清洗的含有火山灰的清洗液的自动定量配制设备，属于半导体技术领域。

背景技术

随着经济社会的发展，市场对芯片的需求激增。晶圆是制造半导体芯片的基本材料，也带代表了电子半导体行业的底层尖端技术。在晶圆加工工艺中，电镀是是应用广泛的一种工艺制程。晶圆制造过程对环境的洁净度要求极为严苛，因此要保证电镀设备或装置的清洁。电镀板的表面和沟槽在晶圆电镀工艺过程中会沉积电镀液中物质，若不清洗干净则会污染晶圆，导致芯片合格率降低。如今，对电镀板的清洗主要依靠清水进行，清水对沉积物的清洗效果较差且清洗效率较低，为此人们开始采用含有火山灰的清洗液对电镀板进行高效清洁，但是目前缺乏自动化的配置装置，需要人工进行称量和调配，从而导致效率低下。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种生产效率高的含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，包含有料仓、料斗和搅拌罐，所述料仓的底部出料口连接至螺旋输送装置的进料口，所述螺旋输送装置的出料口连接至料斗的顶部进料口，所述料斗的底部出料口与搅拌罐的顶部进料口之间相连通的波纹管上安装有波纹管称重传感器。

优选的，料斗位于料仓的下方，且料斗位于搅拌罐的上方，所述料仓和料斗的外壁上分别安装有调速震动马达和震动马达。

优选的，所述料斗与搅拌罐相连通的波纹管上插接有一水平设置的下料挡板，且下料挡板与气缸的活塞杆相连，气缸通过气缸安装座固定于搅拌罐的顶部。

优选的，所述搅拌罐的顶部安装有搅拌器，搅拌器的搅拌桨叶穿插至搅拌罐内，且搅拌罐的底部设置有液体进出孔。

优选的，所述螺旋输送装置包含有安装于输送箱内的绞龙，且绞龙的转动轴通过联轴器与调速电机相连接，输送箱的一侧的顶部进料口与料仓的底部出料口相连通，输送箱的另一侧底部出料口与料斗的顶部进料口相连通。

优选的，所述搅拌罐上安装有连杆浮球液位开关，所述连杆浮球液位开关包含有安装于搅拌罐顶部外壁上的接线盒，接线盒的连杆触发部件与连杆相连，且连杆插入搅拌罐内的一端与浮球相连。

优选的，所述搅拌罐内安装有液位计。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型结构简单，操作方便，调配的清洗液中含有火山灰，可提高对电镀板的清洗效果。且火山灰容量可调，适应电镀板上不同程度的沉积物，提高了设备的柔性。同时，设备自动化程度高，降低了人工参与率，提高了清洗效率，减少了电镀板上沉积物质对人体的健康危害。

附图说明

图1为本实用新型一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备的正视图。

图2为本实用新型一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备的左视图。

图3为本实用新型一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备的等轴测视图。

图4为本实用新型一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备的螺旋输送结构示意图。

图5为本实用新型一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备的连杆浮球液位开关结构示意图。

图6为本实用新型一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备的料斗和下料挡板结构示意图。

图7为本实用新型一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备的应用状态示意图。

其中：

1框架，2料仓，3料仓支撑座，4橡胶减震器，5螺旋输送装置，6支撑块，7料斗，8称重安装盖，9搅拌罐，10电机安装盖，11搅拌器，12帆布软连接，13调速震动马达，14气缸安装座，15震动马达，16连杆浮球液位开关，17波纹管称重传感器，18搅拌罐固定座，19气缸，20料仓盖，21料斗盖，22下料挡板，23挡板安装块，24液体进出孔，25螺旋输送安装板。

601调速电机，602联轴器，603轴承挡块，604紧定螺母，605一对角接触球轴承，606输送箱，607绞龙，608深沟球轴承，609支撑端轴承座，610密封圈轴套，611密封圈挡片，612固定端轴承座，613电机安装座。

1601接线盒，1602连杆，1603浮球。

具体实施方式

参见图1~7，本实用新型涉及的一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，包含有料仓2、料斗7和搅拌罐9，料斗7位于料仓2的下方，且料斗7位于搅拌罐9的上方，所述料仓2和料斗7的外壁上分别安装有调速震动马达13和震动马达15，所述料仓2的底部出料口连接至螺旋输送装置5的进料口，所述螺旋输送装置5的出料口连接至料斗7的顶部进料口，所述料斗7的底部出料口与搅拌罐9的顶部进料口之间相连通的波纹管上安装有波纹管称重传感器17，该波纹管称重传感器17可采用如中国专利 CN201821368127.9 “一种波纹管称重传感器的保护安装结构”所述的结构或其他可实现该功能的类似结构。

所述料斗7与搅拌罐9相连通的波纹管上插接有一水平设置的下料挡板22，且下料挡板22与气缸19的活塞杆相连，气缸19通过气缸安装座14固定于搅拌罐9的顶部；气缸19驱动下料挡板22的横向水平移动可实现对料斗7底部出料口下料的开启和闭合控制。

所述搅拌罐9的顶部安装有搅拌器11，搅拌器11的搅拌桨叶穿插至搅拌罐9内，且搅拌罐9的底部设置有液体进出孔24，一液体进出孔24通过泵与清水水源相连通，用于补充清水，另一液体进出孔24通过泵对外提供调配好的清洗液使用。

所述螺旋输送装置5包含有安装于输送箱606内的绞龙607，且绞龙607的转动轴通过联轴器602与调速电机601相连接，输送箱606的一侧的顶部进料口与料仓2的底部出料口相连通，输送箱606的另一侧底部出料口与料斗7的顶部进料口相连通；上述电机安装座613通过电机安装座613进行固定安装于机架上；上述绞龙607的转动轴的两端均穿出输送箱606（且转动轴上套装密封圈轴套610和密封圈挡片611实现与输送箱606的密封穿插），该转动轴的一端通过深沟球轴承608架设于支撑端轴承座609上，另一端通过角接触球轴承605架设于固定端轴承座612上，且角接触球轴承605一侧通过轴承挡块603限位，该轴承挡块603通过紧定螺母固定于固定端轴承座612上。

所述搅拌罐9上安装有连杆浮球液位开关16，所述连杆浮球液位开关16包含有安装于搅拌罐9顶部外壁上的接线盒1601，接线盒1601的连杆触发部件与连杆1602相连，且连杆1602插入搅拌罐9内的一端与浮球1603相连。

配置时：料仓2内预先装入一定量的火山灰，设备启动时，在调速震动马达13的作用下，料仓2的壁发生振动，促进料仓2内的火山灰从料仓2的出料口经过帆布软连接12进入螺旋输送装置5的输送箱内，调速电机601通过联轴器602带动蛟龙607旋转，推动火山灰经过输送箱606的出料口进入料斗7。根据清洗液中火山灰和水的比例，以及料斗7上安装零件的总重，预先给波纹管称重传感器17设置一个重量值m，当料斗7、料斗7上安装零件和火山灰的总重达到m时，调速电机关闭，停止往料斗7内加料。

在气缸19的作用下，挡住料斗7出料口的下料挡板22随气缸19活塞杆收缩。震动马达15启动，促进料斗7内的火山灰落入搅拌罐9。在规定时间t后，气缸19活塞杆推动下料挡板22复位，料斗7出料口被挡住。搅拌器11启动，促进搅拌罐9内火山灰与水的混合。启动系统外的泵即可抽取清洗液对晶圆电镀板进行冲洗。当搅拌罐9内的清洗液的液位降低到低液位时，泵启动往搅拌罐9内注水，当液位达到高液位时，泵停止注水。此时，重复上述动作，调速震动马达13启动，通过螺旋输送装置5往料斗7内补料，达到重量m时，火山灰被补充进入搅拌罐9。当搅拌罐9内液位达到高高液位和低低液位时，系统报警，设备停止工作。

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，其特征在于：包含有料仓（2）、料斗（7）和搅拌罐（9），所述料仓（2）的底部出料口连接至螺旋输送装置（5）的进料口，所述螺旋输送装置（5）的出料口连接至料斗（7）的顶部进料口，所述料斗（7）的底部出料口与搅拌罐（9）的顶部进料口之间相连通的波纹管上安装有波纹管称重传感器（17）。

2.根据权利要求1所述一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，其特征在于：料斗（7）位于料仓（2）的下方，且料斗（7）位于搅拌罐（9）的上方，所述料仓（2）和料斗（7）的外壁上分别安装有调速震动马达（13）和震动马达（15）。

3.根据权利要求1所述一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，其特征在于：所述料斗（7）与搅拌罐（9）相连通的波纹管上插接有一水平设置的下料挡板（22），且下料挡板（22）与气缸（19）的活塞杆相连，气缸（19）通过气缸安装座（14）固定于搅拌罐（9）的顶部。

4.根据权利要求1所述一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，其特征在于：所述搅拌罐（9）的顶部安装有搅拌器（11），搅拌器（11）的搅拌桨叶穿插至搅拌罐（9）内，且搅拌罐（9）的底部设置有液体进出孔（24）。

5.根据权利要求1所述一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，其特征在于：所述螺旋输送装置（5）包含有安装于输送箱（606）内的绞龙（607），且绞龙（607）的转动轴通过联轴器（602）与调速电机（601）相连接，输送箱（606）的一侧的顶部进料口与料仓（2）的底部出料口相连通，输送箱（606）的另一侧底部出料口与料斗（7）的顶部进料口相连通。

6.根据权利要求1所述一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，其特征在于：所述搅拌罐（9）上安装有连杆浮球液位开关（16），所述连杆浮球液位开关（16）包含有安装于搅拌罐（9）顶部外壁上的接线盒（1601），接线盒（1601）的连杆触发部件与连杆（1602）相连，且连杆（1602）插入搅拌罐（9）内的一端与浮球（1603）相连。

7.根据权利要求1所述一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备，其特征在于：所述搅拌罐（9）内安装有液位计。

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