CN216718904U - 一种浸泡式去胶剥离机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种浸泡式去胶剥离机，包括机架，机架上设置有浸泡腔体，浸泡腔体上设置有操作窗口，机架上位于浸泡腔体的外部设置有底座，底座上竖直升降安装有升降座，该升降座由升降动力装置驱动，升降座上设置有安装座，该安装座设置有处于浸泡腔体上方的安装板，安装板上安装有用于悬挂并且调节花篮角度的悬挂调节装置，悬挂调节装置的下端伸入到浸泡腔体内，并悬挂花篮，浸泡腔体上设置有进液管，浸泡腔体内设置有用于加热化学液的加热装置，该去胶剥离机不但能驱动花篮的升降，而且能驱动花篮倾斜，这样使晶圆处于倾斜状态浸没在化学液中，避免晶圆无规律的位置移动，去胶更彻底。

Description

一种浸泡式去胶剥离机

技术领域

本实用新型涉及一种浸泡式去胶剥离机，用于对晶圆上的胶水进行浸泡去胶。

背景技术

去胶剥离机是芯片生产过程中需要用到的设备，该去胶剥离机的主要目的是将经过光刻及金属离子蒸发后，晶圆上已经镀上有的晶圆上的胶利用化学液去除剥离，，该去胶剥离机包括一个浸泡腔体，浸泡腔体内存放有化学液，而花篮放置在浸泡腔体内并由花篮驱动装置驱动，花篮驱动装置驱动花篮升降，从而使花篮中的晶圆浸泡在化学液中或者取出。

目前的花篮驱动装置只能驱动花篮升降，因此原本放置时花篮中晶圆的位置在是比较准确的，但是浸没到化学液后就可能受到浮力而发生位置改变，而且晶圆位置改变是无规律的，当去胶完成后，需要移载机械手将花篮中的晶圆逐个吸取转移到其他位置，由于花篮中晶圆位置改变，那么吸取转移到其他位置也不准确，从而影响自动化的生产，另外晶圆水平状态浸泡在化学液中，去胶时可能残液难以从晶圆的图形中脱离，导致去胶不彻底。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种浸泡式去胶剥离机，该去胶剥离机不但能驱动花篮的升降，而且能驱动花篮倾斜，这样使晶圆处于倾斜状态浸没在化学液中，避免晶圆无规律的位置移动，去胶更彻底。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种浸泡式去胶剥离机，包括机架，所述机架上设置有浸泡腔体，所述浸泡腔体上设置有操作窗口，所述机架上位于浸泡腔体的外部设置有底座，所述底座上竖直升降安装有升降座，该升降座由升降动力装置驱动，所述升降座上设置有安装座，该安装座设置有处于浸泡腔体上方的安装板，所述安装板上安装有用于悬挂并且调节花篮角度的悬挂调节装置，所述悬挂调节装置的下端伸入到浸泡腔体内，并悬挂花篮，所述浸泡腔体上设置有进液管，浸泡腔体内设置有用于加热化学液的加热装置。

作为一种优选的方案，所述浸泡腔体包括相互固定的上腔体和下腔体，所述操作窗口设置于上腔体上，所述进液管和加热装置设置于下腔体上。

作为一种优选的方案，所述上腔体上位于操作窗口处活动安装有仓门，所述上腔体上设置有驱动所述仓门关闭或打开的开闭动力装置。

作为一种优选的方案，所述操作窗口位于上腔体的侧壁上，所述操作窗口的口沿外侧固定有矩形的门框，所述门框的上端开口，所述门框上设置有安装嵌槽，所述安装嵌槽内滑动安装有所述的仓门，所述开闭动力装置驱动所述仓门在安装嵌槽内竖直滑动。

作为一种优选的方案，所述上腔体上设置有排气口，所述排气口与排气管连通。

作为一种优选的方案，所述悬挂调节装置包括平行的第一悬挂杆和第二悬挂杆，所述第一悬挂杆的上端固定在安装板上，所述第一悬挂杆的下端铰接在花篮的上端一侧，所述第二悬挂杆轴向滑动安装于安装板上且由轴向动力装置驱动，所述第二悬挂杆的下端铰接在花篮上端的另一侧。

作为一种优选的方案，所述轴向动力装置包括固定于安装板上的无杆电缸，所述无杆电缸的滑动部件的滑动方向为竖直方向，所述无杆电缸的动力端通过连接座与第二悬挂杆的上端连接。

作为一种优选的方案，所述连接座包括L形的连接板，所述连接板的一个板部通过螺栓固定在无杆电缸的滑动部件上，所述连接板的另一个板部的下端通过螺栓连接有连接套，所述连接套上螺纹连接有圆柱螺套，所述第二悬挂杆的上端设置成球头部，所述圆柱螺套上设置有方便球头部连接的球形内孔，所述球头部安装于圆柱螺套的球形内孔内。

作为一种优选的方案，所述安装板上设置有一个安装槽，所述无杆电缸固定在一个L形的电缸支座上，所述电缸支座上通过固定螺栓固定在安装槽内，所述电缸支座上设置有水平安装条孔，所述水平安装条孔的延伸向第一悬挂杆，所述固定螺栓约束于水平安装条孔内，所述安装板上设置有方便所述连接座升降的避让孔。

作为一种优选的方案，所述下腔体的底部设置有放液口，该放液口上连接有放液阀，所述下腔体上设置有用于检测液位的液位计。

采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于该浸泡式去胶剥离机，包括机架，机架上设置有浸泡腔体，浸泡腔体上设置有操作窗口，机架上位于浸泡腔体的外部设置有底座，底座上竖直升降安装有升降座，该升降座由升降动力装置驱动，升降座上设置有安装座，该安装座设置有处于浸泡腔体上方的安装板，安装板上安装有用于悬挂并且调节花篮角度的悬挂调节装置，悬挂调节装置的下端伸入到浸泡腔体内，并悬挂花篮，浸泡腔体上设置有进液管，浸泡腔体内设置有用于加热化学液的加热装置，因此，在使用时，首先利用进液管往浸泡腔体内通入化学液，利用加热装置进行加热，使化学液的温度满足去胶工艺要求，利用机械手将晶圆从操作窗口送入到花篮内，此时悬挂调节装置悬挂的花篮处于水平状态，方便晶圆的进入，花篮上的放片槽每放入一片晶圆，升降座向下移动一个放片槽的高度，使空的放片槽对准操作窗口，当所有的放片槽都放置好晶圆后，悬挂调节装置使花篮倾斜，然后花篮被升降动力装置带动浸没到化学液中进行去胶，由于花篮倾斜，因此晶圆就会统一朝向一侧倾斜，在进入到化学液内时，由于浮力的影响虽然可能会使晶圆位置发生改变，但是由于晶圆倾斜，因此在重力的作用下依旧会倾向同侧，最终依靠在花篮的侧壁上，而同时去胶时由于晶圆倾斜，可以更好的方便化学液与胶层的接触，去胶更彻底，尤其是晶圆上光刻后不会有残留的胶，当被提起脱离化学液后，悬挂调节装置又能调节角度使其水平，从而方便晶圆的移出。

又由于所述上腔体上位于操作窗口处活动安装有仓门，所述上腔体上设置有驱动所述仓门关闭或打开的开闭动力装置，这样利用开闭动力装置可以将仓门打开或关闭，当仓门的打开时，可以方便晶圆的上下料，而仓门关闭时，可以有效避免内部化学液气味的逸出。

又由于所述操作窗口位于上腔体的侧壁上，所述操作窗口的口沿外侧固定有矩形的门框，所述门框的上端开口，所述门框上设置有安装嵌槽，所述安装嵌槽内滑动安装有所述的仓门，所述开闭动力装置驱动所述仓门在安装嵌槽内竖直滑动，该仓门安装简单，竖直驱动方式也合理且动作迅速，并且方便仓门与门框更好的密封。

又由于所述上腔体上设置有排气口，所述排气口与排气管连通，该利用排气管可以将浸泡腔体内逸散的气味抽出，方便集中处理。

又由于悬挂调节装置包括平行的第一悬挂杆和第二悬挂杆，所述第一悬挂杆的上端固定在安装板上，所述第一悬挂杆的下端铰接在花篮的上端一侧，所述第二悬挂杆轴向滑动安装于安装板上且由轴向动力装置驱动，所述第二悬挂杆的下端铰接在花篮上端的另一侧，因此该悬挂调节装置利用轴向动力装置驱动第二悬挂轴的升降，这样第二悬挂轴和第一悬挂轴的悬挂高度不同，这样花篮就会倾斜，而第二悬挂轴的升降幅度大小直接反应出花篮不同的倾斜角度，该悬挂调节装置机构合理，适应性强。

又由于连接座包括L形的连接板，所述连接板的一个板部通过螺栓固定在无杆电缸的滑动部件上，所述连接板的另一个板部的下端通过螺栓连接有连接套，所述连接套上螺纹连接有圆柱螺套，所述第二悬挂杆的上端设置成球头部，所述圆柱螺套上设置有方便球头部连接的球形内孔，所述球头部安装于圆柱螺套的球形内孔内。利用球头部和球形内孔可以更好的驱动第二悬挂杆，球头部和球形内孔的配合可以方便第二悬挂杆更好更稳定的升降，即使有一些装配误差也能第二悬挂杆的动作顺畅。

又由于安装板上设置有一个安装槽，无杆电缸固定在一个L形的电缸支座上，电缸支座上通过固定螺栓固定在安装槽内，电缸支座上设置有水平安装条孔，水平安装条孔的延伸向第一悬挂杆，固定螺栓约束于水平安装条孔内，安装板上设置有方便所述连接座升降的避让孔，采用上述的结构，无杆电缸的安装位置可以调整，从而方便与第二悬挂杆连接。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型实施例的结构示意图；

图2是本实用新型实施例另一角度的结构示意图；

图3是本实用新型实施例隐藏部分结构后的结构示意图；

图4是本实用新型实施例的部分结构放大图；

附图中：1、机架；2、操作窗口；3、底座；4、升降座；5、安装座；6、安装板；7、花篮；8、进液管；9、加热装置；10、上腔体；11、下腔体；12、仓门；13、开闭动力装置；14、门框；15、安装嵌槽；16、排气管；17、第一悬挂杆；18、第二悬挂杆；181、球头部；19、无杆电缸；20、连接座；21、连接套；22、圆柱螺套；221、球形内孔；23、安装槽；24、电缸支座；25、水平安装条孔；26、避让孔；27、放液口；28、液位计；29、温度传感器；30.视窗。

具体实施方式

下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。

如图1-4所示，一种浸泡式去胶剥离机，包括机架1，机架1上设置有浸泡腔体，浸泡腔体上设置有操作窗口2，机架1上位于浸泡腔体的外部设置有底座3，底座3上竖直升降安装有升降座4，该升降座4由升降动力装置驱动，升降座4上设置有安装座5，该安装座5设置有处于浸泡腔体上方的安装板6，安装板6上安装有用于悬挂并且调节花篮7角度的悬挂调节装置，悬挂调节装置的下端伸入到浸泡腔体内，并悬挂花篮7，浸泡腔体上设置有进液管8，浸泡腔体内设置有用于加热化学液的加热装置9。

本实施例中，浸泡腔体包括相互固定的上腔体10和下腔体11，操作窗口2设置于上腔体10上，进液管8和加热装置9设置于下腔体11上，上腔体10上位于操作窗口2处活动安装有仓门12，上腔体10上设置有驱动仓门12关闭或打开的开闭动力装置13，操作窗口2位于上腔体10的侧壁上，操作窗口2的口沿外侧固定有矩形的门框14，门框14的上端开口，门框14上设置有安装嵌槽15，安装嵌槽15内滑动安装有的仓门12，开闭动力装置13驱动仓门12在安装嵌槽15内竖直滑动，上腔体10上设置有排气口，排气口与排气管16连通。

本实施例中，悬挂调节装置包括平行的第一悬挂杆17和第二悬挂杆18，第一悬挂杆17的上端固定在安装板6上，第一悬挂杆17的下端铰接在花篮7的上端一侧，第二悬挂杆18轴向滑动安装于安装板6上且由轴向动力装置驱动，第二悬挂杆18的下端铰接在花篮7上端的另一侧，轴向动力装置包括固定于安装板6上的无杆电缸19，无杆电缸19的滑动部件的滑动方向为竖直方向，无杆电缸19的动力端通过连接座20与第二悬挂杆18的上端连接，连接座20包括L形的连接板，连接板的一个板部通过螺栓固定在无杆电缸19的滑动部件上，连接板的另一个板部的下端通过螺栓连接有连接套21，连接套21上螺纹连接有圆柱螺套22，第二悬挂杆18的上端设置成球头部181，圆柱螺套22上设置有方便球头部181连接的球形内孔221，球头部181安装于圆柱螺套22的球形内孔221内，安装板6上设置有一个安装槽23，无杆电缸19固定在一个L形的电缸支座24上，电缸支座24上通过固定螺栓固定在安装槽23内，电缸支座24上设置有水平安装条孔25，水平安装条孔25的延伸向第一悬挂杆17，固定螺栓约束于水平安装条孔25内，安装板6上设置有方便连接座20升降的避让孔26，下腔体11的底部设置有放液口27，该放液口27上连接有放液阀，下腔体11上设置有用于检测液位的液位计28，下腔体11内还可以设置温度传感器29，用来实时监测下腔体11内化学液的温度。

在上腔体10上还可以设置便于观察浸泡腔体内情况的视窗30，视窗30设置于操作窗口2的对面。

在使用时，首先利用进液管8往浸泡腔体的下腔体11内通入化学液，利用加热装置9进行加热，可以使用加热管，温度传感器29实时监测下腔体11内化学液的温度，使得化学液的温度可以满足去胶工艺要求，开闭动力装置13驱动仓门12向上打开，然后，利用机械手将晶圆从操作窗口2送入到花篮7内，此时悬挂调节装置悬挂的花篮7处于水平状态，方便晶圆的放入，每放入一片晶圆，升降动力装置会升降座4向下移动一个放片槽的高度，使得空的放片槽能够对准操作窗口2，当所有的放片槽都放置好晶圆后，开闭动力装置13驱动仓门12向下运动，关闭操作窗口2，浸泡腔体内的情况可通过视窗30进行观察，无杆电缸19驱动连接座20滑动，第二悬挂杆18随之运动，从而使花篮7倾斜，然后花篮7被升降动力装置驱动整体下移，浸没到化学液中进行去胶，由于花篮7整体处于倾斜状态，晶圆就会朝向一侧倾斜，在浸没到化学液内时，由于晶圆倾斜，在重力的作用下依旧会倾向同侧，最终依靠在花篮7的侧壁上，方便化学液与胶层的接触，去胶更彻底。去胶完成后，升降动力装置驱动花篮7向上运动，脱离化学液后，无杆电缸19驱动第二悬挂杆18复位，调节花篮7角度，使其处于水平状态，然后开闭动力装置13驱动仓门12向上打开，机械手将花篮7内的晶圆移出即可。

放置晶圆的花篮7为现有技术，在此不再赘述。

以上实施例仅是对本实用新型的优选实施方式的描述，不作为对本实用新型范围的限定，在不脱离本实用新型设计精神的基础上，对本实用新型技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。

Claims (10)

1.一种浸泡式去胶剥离机，包括机架，所述机架上设置有浸泡腔体，所述浸泡腔体上设置有操作窗口，所述机架上位于浸泡腔体的外部设置有底座，其特征在于：所述底座上竖直升降安装有升降座，该升降座由升降动力装置驱动，所述升降座上设置有安装座，该安装座设置有处于浸泡腔体上方的安装板，所述安装板上安装有用于悬挂并且调节花篮角度的悬挂调节装置，所述悬挂调节装置的下端伸入到浸泡腔体内，并悬挂花篮，所述浸泡腔体上设置有进液管，浸泡腔体内设置有用于加热化学液的加热装置。

2.如权利要求1所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述浸泡腔体包括相互固定的上腔体和下腔体，所述操作窗口设置于上腔体上，所述进液管和加热装置设置于下腔体上。

3.如权利要求2所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述上腔体上位于操作窗口处活动安装有仓门，所述上腔体上设置有驱动所述仓门关闭或打开的开闭动力装置。

4.如权利要求3所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述操作窗口位于上腔体的侧壁上，所述操作窗口的口沿外侧固定有矩形的门框，所述门框的上端开口，所述门框上设置有安装嵌槽，所述安装嵌槽内滑动安装有所述的仓门，所述开闭动力装置驱动所述仓门在安装嵌槽内竖直滑动。

5.如权利要求4所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述上腔体上设置有排气口，所述排气口与排气管连通。

6.如权利要求1至5任一项所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述悬挂调节装置包括平行的第一悬挂杆和第二悬挂杆，所述第一悬挂杆的上端固定在安装板上，所述第一悬挂杆的下端铰接在花篮的上端一侧，所述第二悬挂杆轴向滑动安装于安装板上且由轴向动力装置驱动，所述第二悬挂杆的下端铰接在花篮上端的另一侧。

7.如权利要求6所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述轴向动力装置包括固定于安装板上的无杆电缸，所述无杆电缸的滑动部件的滑动方向为竖直方向，所述无杆电缸的动力端通过连接座与第二悬挂杆的上端连接。

8.如权利要求7所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述连接座包括L形的连接板，所述连接板的一个板部通过螺栓固定在无杆电缸的滑动部件上，所述连接板的另一个板部的下端通过螺栓连接有连接套，所述连接套上螺纹连接有圆柱螺套，所述第二悬挂杆的上端设置成球头部，所述圆柱螺套上设置有方便球头部连接的球形内孔，所述球头部安装于圆柱螺套的球形内孔内。

9.如权利要求8所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述安装板上设置有一个安装槽，所述无杆电缸固定在一个L形的电缸支座上，所述电缸支座上通过固定螺栓固定在安装槽内，所述电缸支座上设置有水平安装条孔，所述水平安装条孔的延伸向第一悬挂杆，所述固定螺栓约束于水平安装条孔内，所述安装板上设置有方便所述连接座升降的避让孔。

10.如权利要求2所述的一种浸泡式去胶剥离机，其特征在于：所述下腔体的底部设置有放液口，该放液口上连接有放液阀，所述下腔体上设置有用于检测液位的液位计。

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