CN216668612U - 石英坩埚弧度间隙自动检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石英坩埚弧度间隙自动检测装置，其包括卡板、翼板，卡板的外侧板面上固定连接有翼板；卡板包括第一弧形段、竖直段，第一弧形段与竖直段之间固定连接有第二弧形段，第一弧形段的弧度与石英坩埚的底壁弧度相匹配。本实用新型的优点：通过第一激光测距传感器、第二激光测距传感器对石英坩埚的底壁弧度进行检测，节省了人力，同时减少了人为操作的误差，保证了读数准确，操作方便，节省了操作时间，提高了工作效率，一人即可完成整个测量工作，节省人力；在直壁定位板的作用下使得该装置与石英坩埚的直壁贴合，使得第一弧形段沿石英坩埚的径向设置，第一弧形段能过石英坩埚的轴线，保证了测量的准确性。

Description

石英坩埚弧度间隙自动检测装置

技术领域：

本实用新型涉及坩埚技术领域，具体涉及石英坩埚弧度间隙自动检测装置。

背景技术：

石英坩埚在毛坯坩埚初检以及半成品检验阶段需要检测坩埚的底壁的弧度，石英坩埚的底壁为呈大R角的圆弧面，底壁与直壁连接处设计有小R角做圆弧过渡，当石英坩埚的底壁弧度大于标准的弧度，石英坩埚置于热场中拉制单晶硅时，石英坩埚无法保持平衡，在拉制的过程中会晃动；当石英坩埚的底壁弧度小于标准的弧度或存在中心内凹时，会导致硅料的盛装量少，同时也能反映出投料成型工艺出现问题，所以对于石英坩埚底壁的弧度检测是至关重要的。

目前石英坩埚底壁弧度的检测工具主要是标准卡尺、刻度尺进行检测，测量时根据石英坩埚的型号选择相对应的标准卡尺，将坩埚口朝下放置在平台，人工手持标准卡尺，通过目视找到石英坩埚底壁的最高点，即为底壁中心，使标准卡尺的中心与石英坩埚的轴线置于同一条竖直线上，标准卡尺的两侧分别与坩埚的两个直壁贴合，然后用刻度尺测量标准卡尺与石英坩埚小R角之间的间隙值，及标准卡尺与石英坩埚的最高点之间的间隙值，由于弧度检测方式受测量者习惯、操作熟练程度等因素的影响，人工找不准测量位置，容易误判，人为误差较大；而且标准卡尺是否过石英坩埚的轴线也不容易判断；且不锈钢卡板较为笨重，有8kg重，测量时需要多人配合，操作不方便，测量作业时间较长。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种石英坩埚弧度间隙自动检测装置。

本实用新型由如下技术方案实施：石英坩埚弧度间隙自动检测装置，其包括卡板、翼板，所述卡板的外侧板面上固定连接有所述翼板；

所述卡板包括第一弧形段、竖直段，所述第一弧形段与所述竖直段之间固定连接有第二弧形段，所述第一弧形段的弧度与石英坩埚的底壁弧度相匹配；

所述第一弧形段远离所述第二弧形段的一端固定有第一激光测距传感器，所述第一激光测距传感器的轴线与石英坩埚的轴线置于同一条直线上；

所述第二弧形段的中部设有第二激光测距传感器，所述第二激光测距传感器沿所述第二弧形段的径向设置。

进一步的，所述翼板上开设有多个镂空口。

进一步的，所述翼板与所述卡板螺栓连接。

进一步的，所述第一弧形段远离所述第二弧形段的一端固定有底壁定位板，所述底壁定位板的形状与石英坩埚的底壁形状相匹配，所述第一激光测距传感器置于所述底壁定位板的上方，所述底壁定位板上开设有与所述第一激光测距传感器相对设置的导通孔。

进一步的，所述竖直段的远离所述第二弧形段的一端固定有直壁定位板，所述直壁定位板的内侧板面与石英坩埚的直壁形状相匹配。

进一步的，还包括有控制器、显示器，所述第一激光测距传感器、所述第二激光测距传感器的输出端与所述控制器的输入端电连接，所述控制器的输出端与所述显示器的输入端电连接。

本实用新型的优点：通过第一激光测距传感器、第二激光测距传感器对石英坩埚的底壁弧度进行检测，节省了人力，同时减少了人为操作的误差，保证了读数准确，操作方便，节省了操作时间，提高了工作效率，一人即可完成整个测量工作，节省人力；在直壁定位板的作用下使得该装置与石英坩埚的直壁贴合，使得第一弧形段沿石英坩埚的径向设置，第一弧形段能过石英坩埚的轴线，保证了测量的准确性；翼板设计成镂空结构，使得该装置耐高温、耐腐蚀、耐磨性强、抗老化，实现了轻量化、便捷化和耐用，同时镂空口提供了手把持空间，操作更便捷。

附图说明：

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为该实用新型的结构示意图；

图2为该实用新型的立体图；

图3是使用本实用新型测量石英坩埚的底壁弧度符合标准值时的示意图；

图4是使用本实用新型测量石英坩埚的底壁弧度小于标准值时的示意图；

图5是使用本实用新型测量石英坩埚的底壁弧度大于标准值时的示意图；

图中：卡板1、翼板2、螺栓3、镂空口4、第一弧形段5、竖直段6、第二弧形段7、第一激光测距传感器8、第二激光测距传感器9、底壁定位板10、导通孔11、直壁定位板12、控制器13、显示器14、石英坩埚15、小R角16、底壁17。

具体实施方式：

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-5所示，石英坩埚弧度间隙自动检测装置，其包括卡板1、翼板2，卡板1的外侧板面上固定连接有翼板2，具体为翼板2与卡板1螺栓3连接，具体的翼板2的底端固定连接板，通过连接板与卡板1螺栓连接，根据不同直径的石英坩埚15对应设计多个卡板1，根据需要将翼板2固定在相应的卡板1上，节省收纳空间，翼板2上开设有多个镂空口4，该装置采用聚四氟乙烯材质制成，翼板2设计成镂空结构，配合镂空结构，使得该装置耐高温、耐腐蚀、耐磨性强、抗老化，实现了轻量化、便捷化和耐用，同时镂空口4提供了手把持空间，操作更便捷。

卡板1包括第一弧形段5、竖直段6，第一弧形段5与竖直段6之间固定连接有第二弧形段7，第一弧形段5的弧度与石英坩埚15的底壁弧度相匹配；

第一弧形段5远离第二弧形段7的一端固定有第一激光测距传感器8，第一激光测距传感器8的轴线与石英坩埚15的轴线置于同一条直线上，当石英坩埚15底壁17的弧度小于标准值或存在中心内凹时，通过第一激光测距传感器8测量石英坩埚15底壁17的最高点位置与第一圆弧段之间的间隙值，测量出的数值与标准值进行比较，判断石英坩埚15的底壁弧度是否在合格的范围内；

第二弧形段7的中部设有第二激光测距传感器9，第二激光测距传感器9沿第二弧形段7的径向设置，当石英坩埚15底壁17的弧度大于标准弧度时，通过第二激光测距传感器9测量石英坩埚15的小R角16与第二弧形段7之间的间隙，测量出的数值与标准值进行比较，判断石英坩埚15的底壁弧度是否在合格的范围内；通过第一激光测距传感器8、第二激光测距传感器对石英坩埚15的底壁弧度进行检测，节省了人力，同时减少了人为操作的误差，保证了读数准确。

第一弧形段5远离第二弧形段7的一端固定有底壁定位板10，底壁定位板10的形状与石英坩埚15的底壁形状相匹配，底壁定位板10能保证该装置放在石英坩埚15底壁17上的稳定性，减少该装置对石英坩埚15外壁的磨损，第一激光测距传感器8置于底壁定位板10的上方，底壁定位板10上开设有与第一激光测距传感器8相对设置的导通孔11，第一激光测距传感器8的发射端发出的激光穿过导通孔11对石英坩埚15底壁17的位置进行测量。

竖直段6的远离第二弧形段7的一端固定有直壁定位板12，直壁定位板12的内侧板面与石英坩埚15的直壁形状相匹配，在直壁定位板12的作用下使得该装置与石英坩埚15的直壁贴合，使得第一弧形段5沿石英坩埚15的径向设置，第一弧形段5能过石英坩埚15的轴线，保证了测量的准确性；在底壁定位板10和直壁定位板12的配合下，对该装置具有限位作用，减少测量过程中该装置偏移对石英坩埚15造成的磨损，同时能将卡板1和翼板2做成薄形的，减轻了该装置的重量，在底壁定位板10和直壁定位板12的配合下，能实现稳定的支撑。

还包括有控制器13、显示器14，第一激光测距传感器8、第二激光测距传感器9的输出端与控制器13的输入端电连接，控制器13的输出端与显示器14的输入端电连接，第一激光测距传感器8和第二激光测距传感器9检测到的数值反馈至控制器13，经过控制器13显示到显示器14上，检测人员能测量值进行读数即可，操作方便，节省了操作时间，提高了工作效率，一人即可完成整个测量工作，节省人力。

使用说明：

测量时，第一弧形段5与石英坩埚15的底壁抵接，竖直段6与石英坩埚15的直壁抵接，第二弧形段7与石英坩埚15的小R角16抵接，即第一激光测距传感器8、第二激光测距传感器测量的值为标准值，石英坩埚15为标准石英坩埚15；

当竖直段6与石英坩埚15的直壁抵接，第二弧形段7与石英坩埚15的小R角16抵接，但石英坩埚15底壁17的最高点位置与第一圆弧段之间有间隙，证明石英坩埚15底壁17的弧度小于标准值或存在中心内凹，该间隙值通过第一激光测距传感器8进行测量，测量出的数值与标准值进行比较，判断石英坩埚15的底壁弧度是否在合格的范围内；

当竖直段6与石英坩埚15的直壁抵接，石英坩埚15底壁17的最高点与第一弧形段5接触，但石英坩埚15的小R角16与第二弧形段7之间有间隙，证明石英坩埚15底壁17的弧度大于标准弧度时，该间隙值通过第二激光测距传感器9进行测量，测量出的数值与标准值进行比较，判断石英坩埚15的底壁弧度是否在合格的范围内；

第一激光测距传感器8和第二激光测距传感器9检测到的数值反馈至控制器13，经过控制器13显示到显示器14上。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.石英坩埚弧度间隙自动检测装置，其特征在于，其包括卡板、翼板，所述卡板的外侧板面上固定连接有所述翼板；

所述卡板包括第一弧形段、竖直段，所述第一弧形段与所述竖直段之间固定连接有第二弧形段，所述第一弧形段的弧度与石英坩埚的底壁弧度相匹配；

所述第一弧形段远离所述第二弧形段的一端固定有第一激光测距传感器，所述第一激光测距传感器的轴线与石英坩埚的轴线置于同一条直线上；

所述第二弧形段的中部设有第二激光测距传感器，所述第二激光测距传感器沿所述第二弧形段的径向设置。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚弧度间隙自动检测装置，其特征在于，所述翼板上开设有多个镂空口。

3.根据权利要求2所述的石英坩埚弧度间隙自动检测装置，其特征在于，所述翼板与所述卡板螺栓连接。

4.根据权利要求1至3任一所述的石英坩埚弧度间隙自动检测装置，其特征在于，所述第一弧形段远离所述第二弧形段的一端固定有底壁定位板，所述底壁定位板的形状与石英坩埚的底壁形状相匹配，所述第一激光测距传感器置于所述底壁定位板的上方，所述底壁定位板上开设有与所述第一激光测距传感器相对设置的导通孔。

5.根据权利要求4所述的石英坩埚弧度间隙自动检测装置，其特征在于，所述竖直段的远离所述第二弧形段的一端固定有直壁定位板，所述直壁定位板的内侧板面与石英坩埚的直壁形状相匹配。

6.根据权利要求1、2、3或5任一所述的石英坩埚弧度间隙自动检测装置，其特征在于，还包括有控制器、显示器，所述第一激光测距传感器、所述第二激光测距传感器的输出端与所述控制器的输入端电连接，所述控制器的输出端与所述显示器的输入端电连接。

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