CN216667271U - 氮气供给系统及具有该氮气供给系统的氮气柜 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种氮气供给系统及具有该氮气供给系统的氮气柜，氮气供给系统包括气路，气路包括：高速出气管，用于给氮气柜的内部腔体提供高流速氮气；与高速出气管并联设置的低速出气管，用于给氮气柜的内部腔体提供低流速氮气，低速出气管上设置有流量计二，低速出气管和高速出气管连通至氮气柜的内部腔体中；电磁阀，高速出气管和低速出气管上均安装有电磁阀；进气管，进气管的一端与外接氮气管路连通，进气管的另一端与高速气路和低速气路连通。本实用新型通过设置高速出气管和低速出气管，可以选择性地为氮气柜提供高流速或低流速氮气，大大减少了氮气浪费，经济效益高，节能环保。

Description

氮气供给系统及具有该氮气供给系统的氮气柜

技术领域

本实用新型涉及用于氮气柜技术领域，具体为氮气供给系统及具有该氮气供给系统的氮气柜。

背景技术

氮气柜是一种利用氮气吹扫达到防潮防氧化的柜体，在半导体、新能源、电气电子等领域有广泛的应用。

现有的氮气柜的氮气供给系统只能保持一个流速，在氮气柜开始工作时，需要尽快置换出空气，使箱内的环境尽快处于一个氮气的氛围中，如果进氮流速过慢，产品可能会被氧化；在使用过程中，需要维持氮气柜内部氮气环境，如果进氮流速过快，造成氮气浪费，经济效益低，因此需要一种氮气流速可调节的氮气供给系统及具有该氮气供给系统的氮气柜。

实用新型内容

针对上述存在的技术不足，本实用新型的目的是提供氮气供给系统及具有该氮气供给系统的氮气柜，在保证工作性能的前提下，节能环保，具有一定的经济型。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种氮气供给系统，其特征在于，包括气路，所述气路包括：

高速出气管，用于给氮气柜的内部腔体提供高流速氮气；

与高速出气管并联设置的低速出气管，用于给氮气柜的内部腔体提供低流速氮气，所述低速出气管上设置有流量计二，所述低速出气管和高速出气管连通至氮气柜的内部腔体中；

电磁阀，所述高速出气管和低速出气管上均安装有所述电磁阀，两个所述电磁阀分别用于控制高速出气管和低速出气管的启闭；

进气管，所述进气管的一端与外接氮气管路连通，所述进气管的另一端与高速气路和低速气路连通。

优选地，所述低速出气管和所述高速出气管的末端合并为一条出气总管。

优选地，所述进气管的一端安装有进气密封接头，所述进气密封接头与外接氮气管路连通，所述进气管的另一端与流量计一的进气口连通，所述流量计一的出气口通过气管分别与并列设置的所述低速出气管和所述高速出气管连通。

优选地，所述出气总管的末端安装有出气密封接头，所述出气密封接头与所述氮气柜密封腔体顶部的进气口连通。

优选地，所述低速出气管和高速出气管的两端分别通过Y形接头与出气总管和流量计一出气口引出的气管连通。

优选地，所述出气密封接头与内部腔体上的进气口连通，所述出气密封接头为一个，或者

所述出气密封接头为多个，多个所述出气密封接头均匀布置在氮气柜内部腔体的上方，并与氮气柜内部腔体上的多个进气口对应连通。

优选地，用于根据氮气柜内部腔体温湿度控制高速出气管和低速出气管的启闭，所述控制器与流量计一、流量计二、两个电磁阀以及氮气柜的温湿度控制系统电性连接。

优选地，所述进气管上安装有气动过滤器。

优选地，两个所述电磁阀通过电磁阀支架固定在氮气柜壳体上两个所述电磁阀螺纹固定在电磁阀支架的底部，所述电磁阀支架呈U形板状，所述电磁阀支架两侧顶部分别水平垂直一体连接一个挂耳，所述电磁阀支架通过螺栓穿过挂耳固定在氮气柜壳体的顶板上。

优选地，所述气路为多个，所述气路数量与氮气柜内部腔体数量相同且并联设置，多个所述气路分别连通至氮气柜各个内部腔体中，多个所述气路的进气管与进气总管连通，所述进气总管的一端与外接氮气管路连通。

氮气柜，所述氮气柜具有上述的氮气供给系统，所述氮气柜包括壳体和设置在壳体内的内部腔体，所述氮气供给系统安装于所述壳体与所述内部腔体顶部之间的空间中。

本实用新型的有益效果在于：

(1)本实用新型的氮气供给系统通过设置高速出气管和低速出气管，因此可以根据需求选择性地为氮气柜的内部腔体提供高流速或低流速氮气，大大减少了氮气浪费，经济效益高，节能环保。

(2)本实用新型通过在进气管上安装有气动过滤器，可以有效去除外来氮气中的微小颗粒。

(3)对于具有多个内部腔体的氮气柜，本实用新型的氮气供给系统对氮气柜的各个内部腔体进行独立控制，使各个内部腔体氮气环境相互独立，互不影响，通过控制器智能控制，自动化程度高。

(4)通过设置低速出气管，持续的低速氮气可以确保放置在氮气柜中的部件死角部分水汽能够快速吹干排出，同时也确保了一定的经济型。

(5)本实用新型不受当前技术限制，还可应用于量具、对水分敏感的设备或其他对精密仪器保存的柜体类。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例1提供的氮气供给系统的结构示意图；

图2为本实用新型实施例2提供的氮气供给系统的结构示意图。

附图标记说明：

进气总管1、进气密封接头11、Y形接头12、气动过滤器2、进气管3、流量计一4、低速出气管5、流量计二6、高速出气管7、出气总管8、出气密封接头81、电磁阀9、电磁阀支架91。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1：

如图1所示，本实用新型提供了一种氮气供给系统，所述氮气供给系统为双壳体氮气柜的内部腔体提供氮气，所述氮气供给系统位于氮气柜的壳体与内部腔体之间的空间中；

所述氮气供给系统包括进气管3，所述进气管3的一端安装有进气密封接头11，所述进气密封接头11与外接氮气管路连通，所述进气管3的另一端与流量计一4的进气口连通，所述流量计一4的出气口通过气管分别与并列设置的低速出气管5和高速出气管7连通，所述低速出气管5上依次安装有电磁阀9和流量计二6，所述高速出气管7上也安装有电磁阀9，两个所述电磁阀9用于控制低速出气管5和高速出气管7的启闭，所述低速出气管5和所述高速出气管7分别与内部腔体连通,当然，也可以采用如下方式：所述低速出气管5和所述高速出气管7的末端合并为一条出气总管8，通过低速出气管5和高速出气管7共用一段管路出气，可以节约材料，减少成本，所述出气总管8的末端安装有出气密封接头81。

进一步地，所述低速出气管5和高速出气管7的两端分别通过Y形接头与出气总管8和流量计一4出气口引出的气管连通。

进一步地，所述出气密封接头81与内部腔体上的进气口连通，所述出气密封接头81为一个，或者

所述出气密封接头81为多个，多个所述出气密封接头81均匀布置在内部腔体的上方，并与内部腔体上的多个进气口对应连通。

进一步地，所述进气管3上安装有气动过滤器2，可以有效去除外来氮气中的微小颗粒。

进一步地，两个所述电磁阀9螺纹固定在电磁阀支架91的底部，所述电磁阀支架91呈U形板状，所述电磁阀支架91两侧顶部分别水平垂直一体连接一个挂耳，所述电磁阀支架91通过螺栓穿过挂耳固定在氮气柜壳体的顶板上。

所述氮气供给系统还包括控制器，所述控制器与流量计一4、流量计二6、两个电磁阀9以及氮气柜的温湿度控制系统电性连接。控制器作为氮气供给系统的中枢部分全面控制其中的各部件的运行，所述控制器可以选用现有的PLC控制器或者其他具有多种操控功能、可以完成上述控制功能的控制器。通过控制器预先设定高速出气管7的流速和低速出气管5的流速。

本实施例的氮气供给系统适用于含有一个内部腔体的氮气柜。

本实用新型还提供了一种氮气柜，所述氮气柜具有上述氮气供给系统。所述氮气柜包括壳体和设置在壳体内的内部腔体，氮气供给系统安装于氮气柜壳体与内部腔体顶部之间的空间中。

工作原理：

氮气供给系统为氮气柜的内部腔体提供氮气，当氮气柜首次使用，或者长时间没使用时，控制器控制打开高速出气管7上的电磁阀9，关闭低速出气管5上的电磁阀9，使得氮气柜的内部腔体快速充入氮气，当温湿度达到设定值，控制器控制关闭高速出气管7上的电磁阀9；

在使用过程中，当氮气柜的温湿度低于设定值，控制器控制打开低速气路的电磁阀9，当温湿度达到设定值，控制器控制关闭低速出气管5上的电磁阀9，使得氮气柜的维持一定的温湿度和氮气浓度。

实施例2

如图2所示，本实施例的氮气供给系统由两个并列的气路组成，两个气路的进气管3通过Y形接头12与进气总管1连通，所述进气总管1上安装有气动过滤器2，所述进气总管1的端部安装有进气密封接头11，所述进气密封接头11与外接氮气管路连通。

所述气路包括进气管3、流量计一4、低速出气管5、流量计二6、高速出气管7、出气总管8和电磁阀9，所述进气管3的另一端与流量计一4的进气口连通，所述流量计一4的出气口通过气管分别与并列设置的低速出气管5和高速出气管7连通，所述低速出气管5上依次安装有电磁阀9和流量计二6，所述高速出气管7上也安装有电磁阀9，两个所述电磁阀9用于控制低速出气管5和高速出气管7的启闭，低速出气管5和高速出气管7的末端合并为一条出气总管8，所述出气总管8的末端安装有出气密封接头81。两个出气总管8上的所述出气密封接头81分别与两个内部腔体连通，两个气路结构相同。

进一步地，所述低速出气管5和高速出气管7的两端分别通过Y形接头12与流量计一4出气口引出的气管和出气总管8连通。

进一步地，所述出气密封接头81与内部腔体上的进气口连通，所述出气密封接头81为一个，或者

所述出气密封接头81为多个，多个所述出气密封接头81均匀布置在内部腔体的上方，并与内部腔体顶部上的多个进气口对应连通。

进一步地，所述进气管3上安装有气动过滤器2，可以有效去除外来氮气中的微小颗粒。

进一步地，两个所述电磁阀9螺纹固定在电磁阀支架91的底部，所述电磁阀支架91呈U形板状，所述电磁阀支架91两侧顶部分别水平垂直一体连接一个挂耳，所述电磁阀支架91通过螺栓穿过挂耳固定在氮气柜壳体的顶板上。

所述氮气供给系统还包括两个控制器(图中未画出)，所述两个控制器分别与两个气路相对应，每个所述控制器与该控制器对应气路上的流量计一4、流量计二6、两个电磁阀9电性连接。控制器可以选用TE-KHT49P智能双数显温湿度控制仪。

本实施例还提供了一种氮气柜，所述氮气柜具有上述氮气供给系统。所述氮气柜含有两个相互独立的内部腔体，相互独立的内部腔体是指，关闭氮气柜门后，该内部腔体与氮气柜门组成密封空间，且相邻内部腔体之间氮气环境互补影响。两个气路分别位于两个内部腔体的上方。

本实施例的氮气供给系统适用于含有两个相互独立的内部腔体的氮气柜。

工作原理：

两个气路控制氮气柜的两个内部腔体，相对独立运行，可以对相应的内部腔体的氮气环境进行控制调节，具体调节方法与实施例1相同。

当然，对于具有多个内部腔体的氮气柜，氮气供给系统的设置与内部腔体相同数量的气路和控制器，例如3个、4个、5个、6个等。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种氮气供给系统，其特征在于，包括气路，所述气路包括：

高速出气管(7)，用于给氮气柜的内部腔体提供高流速氮气；

与高速出气管(7)并联设置的低速出气管(5)，用于给氮气柜的内部腔体提供低流速氮气，所述低速出气管(5)上设置有流量计二(6)，所述低速出气管(5)和高速出气管(7)连通至氮气柜的内部腔体中；

电磁阀(9)，所述高速出气管(7)和低速出气管(5)上均安装有所述电磁阀(9)，两个所述电磁阀(9)分别用于控制高速出气管(7)和低速出气管(5)的启闭；

进气管(3)，所述进气管(3)的一端与外接氮气管路连通，所述进气管(3)的另一端分别与高速气路和低速气路连通。

2.如权利要求1所述的氮气供给系统，其特征在于，所述低速出气管(5)和所述高速出气管(7)的末端合并为一条出气总管(8)。

3.所如权利要求2所述的氮气供给系统，其特征在于，所述进气管(3)的一端安装有进气密封接头(11)，所述进气密封接头(11)与外接氮气管路连通，所述进气管(3)的另一端与流量计一(4)的进气口连通，所述流量计一(4)的出气口通过气管分别与并列设置的所述低速出气管(5)和所述高速出气管(7)连通；

所述出气总管(8)的末端安装有出气密封接头(81)，所述出气密封接头(81)与所述氮气柜密封腔体顶部的进气口连通。

4.如权利要求2所述的氮气供给系统，其特征在于，所述低速出气管(5)和所述高速出气管(7)的两端分别通过Y形接头(12)与出气总管(8)和流量计一(4)出气口引出的气管连通。

5.如权利要求3所述的氮气供给系统，其特征在于，所述出气密封接头(81)与所述内部腔体上的进气口连通，所述出气密封接头(81)为一个，或者

所述出气密封接头(81)为多个，多个所述出气密封接头(81)均匀布置在所述内部腔体的上方，并与氮所述内部腔体上的多个进气口对应连通。

6.如权利要求3所述的氮气供给系统，其特征在于，还包括控制器，用于根据氮气柜的内部腔体温湿度控制高速出气管(7)和低速出气管(5)的启闭，所述控制器与流量计一(4)、流量计二(6)、两个电磁阀(9)以及氮气柜的温湿度控制系统电性连接。

7.如权利要求4所述的氮气供给系统，其特征在于，所述进气管(3)上安装有气动过滤器(2)。

8.如权利要求1所述的氮气供给系统，其特征在于，两个所述电磁阀(9)通过电磁阀支架(91)固定在氮气柜壳体上两个所述电磁阀(9)螺纹固定在电磁阀支架(91)的底部，所述电磁阀支架(91)呈U形板状，所述电磁阀支架(91)两侧顶部分别水平垂直一体连接一个挂耳，所述电磁阀支架(91)通过螺栓穿过挂耳固定在氮气柜壳体的顶板上。

9.如权利要求8所述的氮气供给系统，其特征在于，所述气路为多个，所述气路数量与氮气柜内部腔体数量相同且并联设置，多个所述气路分别连通至氮气柜各个内部腔体中，多个所述气路的进气管(3)与进气总管(1)连通，所述进气总管(1)的一端与外接氮气管路连通。

10.氮气柜，其特征在于，所述氮气柜具有权利要求1-9任一项所述的氮气供给系统，所述氮气柜包括壳体和设置在壳体内的内部腔体，所述氮气供给系统安装于所述壳体与所述内部腔体顶部之间的空间中。

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