CN216631889U - 一种用于ldi设备自动清洁的吸尘装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，属于电路板生产技术领域。所述吸尘装置包括：吸尘组件(2)、过滤单元(3)、控制单元(4)及鼓风机(6)；吸尘组件(2)设置在LDI设备的立柱上，过滤单元(3)设置在LDI设备的平台(5)的一侧，吸尘组件(2)和过滤单元(3)之间由气管连接；吸尘组件(2)包括吸嘴(21)和吸尘盒(22)，吸嘴(21)嵌入安装于吸尘盒(22)中；控制单元(4)设置在所述平台(5)上，过滤单元(3)与控制单元(4)之间由气管连接；并且，控制单元(4)通过气管连接至鼓风机(6)；控制单元(4)用于控制过滤单元(3)和鼓风机(6)之间的管路的通断。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，属于电路板生产技术领域。
背景技术
在PCB板生产或半导体光刻过程中，用于承载PCB板或晶圆的吸盘载体必须要保证完全清洁，若吸盘载体表面有灰尘、纸屑等细小颗粒物，这些颗粒物会附着在待曝光的PCB板或晶圆上，从而会导致激光直写曝光设备(laser direct imaging,LDI)曝光出来的图形不清晰或者不完整以致曝光失败。
LDI设备中，传统的除尘方式通常在固定的时间或者曝光完成固定作业量后进行除尘，需要停止生产，并且由操作人员将带粘尘纸卷的滚轮放置在吸盘台面上，由人工进行来回滚动以达到除尘的目的；这种方法不仅耗时耗力，且效果不稳定，除尘效率较低。
现有的自动吸尘装置中，例如，CN206348593U公开的一种LDI自动吸尘装置，能够将PCB板的除尘工艺由曝光前延伸到曝光过程中；然而其中需要另外增加工业吸尘器，不仅占用空间，同时也增加了设备成本。
实用新型内容
[技术方案]
为了解决上述问题，本实用新型提供一种用于激光直写曝光设备(laser directimaging,LDI)的吸尘装置，将人工除尘改为自动化结构，所述吸尘装置主要结构与原理如下：在吸盘台面上方安装吸尘组件，吸尘组件上的多个出气口连接多根气管经过过滤组件后集合成一根气管接入鼓风机，过滤组件和鼓风机之间设置控制单元用于控制过滤组件至鼓风机间管路的通断。根据本实用新型的吸尘装置利用LDI设备本身所需要携带的鼓风机来完成除尘的功能，无需另外新增工业吸尘器，节省成本的同时也节省了空间。
本实用新型提供一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，所述吸尘装置包括：吸尘组件(2)、过滤单元(3)、控制单元(4)及鼓风机(6)；其中，所述吸尘组件(2)设置在所述LDI设备的立柱上，位于吸盘(1)的上方，所述过滤单元(3)设置在所述LDI设备的平台(5)的一侧，所述吸尘组件(2)和所述过滤单元(3)之间由气管连接；所述吸尘组件(2)包括吸嘴(21)和吸尘盒(22)，所述吸嘴(21)嵌入安装于所述吸尘盒(22)中。
根据本实用新型的吸尘装置，所述控制单元(4)设置在平台(5)上，所述过滤单元(3)与所述控制单元(4)之间由气管连接，并且所述控制单元(4)通过气管连接至鼓风机(6)；所述控制单元(4)用于控制所述过滤单元(3)和所述鼓风机(6)之间的管路的通断。
根据本实用新型所述的吸尘装置用于在所述LDI设备的吸盘(1)的吸真空功能处于关闭的状态下进行除尘。
根据本实用新型所述的吸尘装置，所述吸嘴(21)的进气口沿着所述吸嘴的前缘形成为一条窄缝，并且所述吸嘴(21)的出气口为多个，多个所述出气口与所述吸尘盒(22)上的多个开口一一对应，所述吸尘盒(22)的多个开口均安装有开口接头(23)，所述吸尘组件(2)通过多个开口接头(23)及多根气管连接至所述过滤单元(3)。
根据本实用新型的吸尘装置，所述控制单元(4)可采用气控阀，通过控制所述气控阀的通断，从而控制所述吸尘装置的除尘功能的开启与关闭。
在一种实施方式中，所述控制单元(4)的气控阀采用三通气控阀，所述三通气控阀包括两个进气口和一个出气口，所述两个进气口分别连接过滤单元(3)和吸盘(1)，所述出气口与鼓风机(6)连接。
在一种实施方式中，所述LDI设备在进行曝光作业时，所述控制单元(4)的三通气控阀连接至过滤单元(3)的进气口与所述出气口之间处于阻断状态，连接至吸盘(1)的进气口与所述出气口之间处于贯通状态，LDI设备吸真空功能开启；所述LDI设备在进行除尘作业时，三通气控阀连接至过滤单元(3)的进气口与所述出气口之间处于贯通状态，连接吸盘(1)的进气口与所述出气口之间处于阻断状态，所述吸尘装置的除尘功能开启。
在另一种实施方式中，所述吸尘装置的控制单元(4)包括第一控制单元(41)和第二控制单元(42)；所述第一控制单元(41)用于控制所述吸尘装置的除尘功能；所述第二控制单元(42)用于控制吸盘(1)的吸真空功能。
在另一种实施方式中，所述第一控制单元(41)和所述第二控制单元(42)所均包括二通气控阀，所述二通气控阀包括一个进气口和一个出气口，所述第一控制单元(41)的进气口连接至过滤单元(3)，所述第二控制单元(42)的进气口连接吸盘(1)的吸真空结构，所述第一控制单元(41)和所述第二控制单元(42)的出气口分别通过气管与转接件(7)连接，所述转接件(7)通过管路与所述鼓风机(6)连接。
在另一种实施方式中，所述LDI设备在进行曝光作业时，所述第一控制单元(41)处于关闭状态，所述第二控制单元(42)处于开启状态，所述吸盘(1)的吸真空功能开启，所述吸尘装置的除尘功能处于关闭状态。
在另一种实施方式中，所述LDI设备需要除尘时，所述第一控制单元(41)处于开启状态，所述第二控制单元(42)处于关闭状态，所述吸尘装置的除尘功能开启，所述吸盘(1)的吸真空功能处于关闭状态。
[有益效果]
本实用新型的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，本实用新型的吸尘装置可配合气控阀的操作，在达到一定时间或者是连续工作固定时间之后就会自动吸尘。不需在人为的进行吸尘动作。
本实用新型的吸尘装置均设置在LDI设备机台内部，外部不会增加任何物件，并且与吸盘吸附PCB板的真空吸附使用同一个鼓风机，从而装置可应用于各种生产场地。
附图说明
图1为根据实施例一的吸尘装置的总体示意图；
图2为根据实施例二的吸尘装置的总体示意图；
图3为根据本实用新型的吸尘组件的总体示意图；
图4为根据本实用新型的吸尘组件的吸嘴的示意图；
图5(a)、图5(b)为根据实施例一的三通气控阀的示意图；
图6(a)、图6(b)为根据实施例二的二通气控阀的示意图；
其中，1-吸盘，2-吸尘组件，3-过滤单元，4-控制单元，41-第一控制单元，42-第二控制单元，5-平台，6-鼓风机，7-转接件；401-进气口；402-出气口；403-气缸。
具体实施方式
为使得本实用新型实现上述目的、特征和优点且能够更加明显易懂，下面结合具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
实施例一
本实施例提供一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，如图1所示，所述吸尘装置包括：吸尘组件2、过滤单元3、控制单元4及鼓风机6；其中，所述吸尘组件2设置在所述LDI设备的立柱上，位于吸盘1的上方，所述过滤单元3设置在所述LDI设备的平台5的一侧，所述吸尘组件2和所述过滤单元3之间由多根气管连接。
如图3和图4所示，所述吸尘组件2包括吸嘴21和吸尘盒22，所述吸嘴21嵌入安装于所述吸尘盒22中，所述吸嘴21的进气口沿着所述吸嘴的前缘形成为一条窄缝，并且所述吸嘴21的出气口为多个，所述吸嘴21的多个所述出气口与所述吸尘盒22上的多个开口一一对应，所述吸尘盒22的多个开口均安装有开口接头23，所述吸尘组件2通过多个开口接头23和多根气管与述过滤单元3连接。
根据本实用新型的吸尘装置，所述控制单元4设置在平台5上，所述过滤单元3与所述控制单元4之间由气管连接，并且所述控制单元4通过气管连接至鼓风机6；所述控制单元4用于控制所述过滤单元3和所述鼓风机6之间的管路的通断。
根据本实用新型所述的吸尘装置用于在所述LDI设备的吸盘1的吸真空功能处于关闭的状态下进行除尘。
根据本实用新型的吸尘装置，所述控制单元4包括气控阀，通过控制所述气控阀的通断，从而控制所述吸尘装置的除尘功能吸尘组件2的开启与关闭。
在一种实施方式中，所述控制单元4的气控阀采用三通气控阀，所述三通气控阀包括两个进气口和一个出气口，所述两个进气口分别连接过滤单元3和吸盘1，所述出气口与鼓风机6连接。
如图5(a)、图5(b)所示，在一种实施方式中，所述LDI设备在进行曝光作业时，所述三通气控阀连接至过滤单元3的进气口与所述出气口之间处于阻断状态，连接至吸盘1的进气口与所述出气口之间处于贯通状态，LDI设备吸真空功能开启；所述LDI设备在进行除尘作业时，所述三通气控阀连接至过滤单元3的进气口与所述出气口之间处于贯通状态，连接至吸盘1的进气口与所述出气口之间处于阻断状态，LDI设备除尘功能开启。
实施例二：
如图1所示，所述吸尘装置包括：吸尘组件2、过滤单元3、控制单元4及鼓风机6；其中，所述吸尘组件2设置在所述LDI设备的立柱上，位于吸盘1的上方，所述过滤单元3设置在所述LDI设备的平台5的一侧，所述吸尘组件2和所述过滤单元3之间由多根气管连接。所述过滤单元3与所述控制单元4之间由气管连接，并且所述控制单元4通过气管连接至鼓风机6；所述控制单元4用于控制所述过滤单元3和所述鼓风机6之间的管路的通断。
如图3和图4所示，所述吸尘组件2包括吸嘴21和吸尘盒22，所述吸嘴21嵌入安装于所述吸尘盒22中，所述吸嘴21的进气口沿着所述吸嘴的前缘形成为一条窄缝，并且所述吸嘴21的出气口为多个，所述吸嘴21的多个所述出气口与所述吸尘盒22上的多个开口一一对应，所述吸尘盒22的多个开口均安装有开口接头23。
根据本实施例的吸尘装置，所述控制单元设置在平台5上，所述过滤单元3与所述控制单元4之间由气管连接，并且所述控制单元4通过气管连接至鼓风机6；所述控制单元4用于控制所述过滤单元3和所述鼓风机6之间的管路的通断。
根据本实施例所述的吸尘装置用于在所述LDI设备的吸盘1的吸真空功能处于关闭的状态下进行除尘。
如图2、图6(a)和图6(b)所示，所述吸尘装置的控制单元4包括第一控制单元41和第二控制单元42；所述第一控制单元41用于控制所述吸尘装置的除尘功能；所述第二控制单元42用于控制吸盘1的吸真空功能。
在一种实施方式中，第一控制单元41和所述第二控制单元42均包括二通气控阀，所述二通气控阀相同结构，均包括一个进气口401和一个出气口402，如图6(a)和图6(b)所示。
在一种实施方式中，所述第一控制单元41的二通气控阀的进气口401连接至过滤单元3，所述第二控制单元42的二通气控阀的进气口401连接吸盘1的吸真空结构，所述第一控制单元41和所述第二控制单元42的出气口分别通过气管与转接件7连接，所述转接件7通过管路与所述鼓风机6连接。
在一种实施方式中，所述LDI设备在进行曝光作业时，所述第一控制单元41的气缸403运动，阻塞进气口401，所述第一控制单元41处于关闭状态，如图6(b)所示；所述第二控制单元42的气缸403收缩，所述第二控制单元42处于开启状态，如图6(a)所示，所述吸盘1的吸真空功能开启，所述吸尘装置的除尘功能处于关闭状态。
在一种实施方式中，所述LDI设备需要除尘时，所述第一控制单元41的气缸403收缩，所述第一控制单元41处于开启状态，如图6(a)所示；所述第二控制单元42的气缸403运动，阻塞进气口401，所述第二控制单元42处于关闭状态，如图6(b)所示，所述吸尘装置的除尘功能开启，所述吸盘1的吸真空功能处于关闭状态。
本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡是在本实用新型构思的精神和原则之内，本领域的专业人员能够做出的任何修改、等同替换和改进等均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述吸尘装置包括：吸尘组件(2)、过滤单元(3)、控制单元(4)及鼓风机(6)；其中，所述吸尘组件(2)设置在所述LDI设备的立柱上，位于吸盘(1)的上方，所述过滤单元(3)设置在所述LDI设备的平台(5)的一侧，所述吸尘组件(2)和所述过滤单元(3)之间由气管连接；
所述吸尘组件(2)包括吸嘴(21)和吸尘盒(22)，所述吸嘴(21)嵌入安装于所述吸尘盒(22)中；
所述控制单元(4)设置在所述平台(5)上，所述过滤单元(3)与所述控制单元(4)之间由气管连接；并且，所述控制单元(4)通过气管连接至鼓风机(6)；所述控制单元(4)用于控制所述过滤单元(3)和所述鼓风机(6)之间的管路的通断。
2.根据权利要求1所述的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述吸嘴(21)的进气口沿着所述吸嘴的前缘形成为一条窄缝，并且所述吸嘴(21)的出气口为多个，多个所述出气口与所述吸尘盒(22)上的多个开口一一对应，所述吸尘盒(22)的多个开口均安装有开口接头(23)，所述吸尘组件(2)通过多个开口接头(23)及多根气管连接至所述过滤单元(3)。
3.根据权利要求1所述的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述控制单元(4)采用气控阀，通过控制所述气控阀的通断，从而控制所述吸尘装置的除尘功能的开启与关闭。
4.根据权利要求3所述的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述控制单元(4)的气控阀采用三通气控阀，所述三通气控阀包括两个进气口和一个出气口，所述两个进气口分别连接至过滤单元(3)和吸盘(1)，所述出气口通过管路与鼓风机(6)连接。
5.根据权利要求4所述的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述LDI设备在进行曝光作业时，所述控制单元(4)的三通气控阀连接至所述过滤单元(3)的进气口与所述出气口之间处于阻断状态，连接至所述吸盘(1)的进气口与所述出气口之间处于贯通状态，所述LDI设备吸真空功能开启。
6.根据权利要求4所述的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述LDI设备在进行除尘作业时，所述控制单元(4)的三通气控阀连接所述过滤单元(3)的进气口与出气口之间处于贯通状态，连接所述吸盘(1)的进气口与出气口之间处于阻断状态，所述吸尘装置的除尘功能开启。
7.根据权利要求1所述的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述控制单元(4)包括第一控制单元(41)和第二控制单元(42)；所述第一控制单元(41)用于控制所述吸尘装置的除尘功能；所述第二控制单元(42)用于控制所述吸盘(1)的吸真空功能。
8.根据权利要求7所述的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述第一控制单元(41)和所述第二控制单元(42)均采用二通气控阀，所述二通气控阀包括一个进气口和一个出气口，所述第一控制单元(41)的二通气控阀进气口连接至过滤单元(3)，所述第二控制单元(42)的二通气控阀进气口连接吸盘(1)，所述第一控制单元(41)和所述第二控制单元(42)的二通气控阀出气口分别通过气管与转接件(7)连接，所述转接件(7)通过管路与鼓风机(6)连接。
9.根据权利要求8所述的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述LDI设备在进行曝光作业时，所述第一控制单元(41)处于关闭状态，所述第二控制单元(42)处于开启状态，所述吸盘(1)的吸真空功能开启，所述吸尘装置的除尘功能处于关闭状态。
10.根据权利要求8所述的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述LDI设备需要除尘时，所述第一控制单元(41)处于开启状态，所述第二控制单元(42)处于关闭状态，所述吸尘装置的除尘功能开启，所述吸盘(1)的吸真空功能处于关闭状态。
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