CN216631186U - 一种半导体材料静电除尘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体材料静电除尘装置，包括移动板，所述移动板上端固定安装有除尘箱，所述除尘箱上端固定安装有风机，所述风机一侧连接有吸尘管，所述吸尘管另一端设有吸尘罩，所述风机另一侧连接有出尘管，所述出尘管贯穿所述除尘箱上端，所述除尘箱内腔两侧螺栓安装有安装块，两个所述安装块之间固定安装有阴极电极棒，所述除尘箱内腔两侧螺栓安装有安装板，两个所述安装板之间固定安装有若干阳极电极棒，所述除尘箱内腔下端设有除尘抽屉，所述除尘箱一侧设有排气管，所述排气管内设有过滤结构，本实用新型具有静电除尘效果，且便于多角度除尘，除尘箱内安装有阴极电极棒与若干阳极电极棒，可将粉尘进行吸附。

Description

一种半导体材料静电除尘装置

技术领域

本实用新型涉及半导体除尘技术领域，具体为一种半导体材料静电除尘装置。

背景技术

半导体设备即为利用半导体元件制造的电气设备。半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，常见的半导体设备有激光打标机，激光喷码机，包装机，纯水机等等。在半导体将过程中需要进行除尘，现有的除尘装置很少有可以进行静电除尘。

参照现有公开号为CN209287515U的中国专利公开了一种用于半导体设备的排气装置，包括装置主体、安装板、叶窗自动开关组件、除尘清理机构和排气扇，装置主体后方固定连接有安装板，安装板四个拐角均设置有螺栓，装置主体上方中部安装有叶窗自动开关组件，百叶窗前端下表面胶合连接有密封软垫，密封软垫为长条状，连杆为铝合金材料轻杆，连杆共有两组，百叶窗一端通过活动铰链连接有连杆，百叶窗另一端通过活动铰链连接有连杆。

上述的这种用于半导体设备的排气装置，利用叶窗自动开关组件能让排气装置在停止工作后，自动关闭排风孔，使外界的灰尘与杂志无法通过排风孔，进入设备内部，有效的保护了设备的工作环境，在正常工作时又可以利用电磁铁自动打开，整体机构简单而实用，对设备内部环境有良好的效果。但是上述的这种用于半导体设备的排气装置依旧存在着一些缺点，如：不具有静电除尘效果，且不便移动除尘。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体材料静电除尘装置，具有静电除尘效果，且便于多角度和移动除尘，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体材料静电除尘装置，包括移动板，所述移动板上端固定安装有除尘箱，所述除尘箱上端固定安装有风机，所述风机一侧连接有吸尘管，所述吸尘管另一端设有吸尘罩，所述风机另一侧连接有出尘管，所述出尘管贯穿所述除尘箱上端，所述除尘箱内腔两侧螺栓安装有安装块，两个所述安装块之间固定安装有阴极电极棒，所述除尘箱内腔两侧螺栓安装有安装板，两个所述安装板之间固定安装有若干阳极电极棒，所述除尘箱内腔下端设有除尘抽屉，所述除尘箱一侧设有排气管，所述排气管内设有过滤结构。

优选的，所述除尘箱一侧固定安装有支撑块，所述支撑块一侧固定安装有弧形夹具。

优选的，所述弧形夹具内侧设有橡胶层。

优选的，所述吸尘管上设有伸缩管。

优选的，所述过滤结构包括有分子筛过滤网、活性炭过滤网和防尘网，所述分子筛过滤网、所述活性炭过滤网和所述防尘网依次安装在所述排气管内。

优选的，所述除尘箱上安装有检修窗。

优选的，所述移动板下端固定安装有四个自锁万向轮，所述移动板一端固定安装有推杆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型包括除尘箱，除尘箱上端固定安装有风机，使用时，风机通过吸尘管与除尘管，将灰尘吸入除尘箱内，收集的灰尘进入集尘抽屉，除尘箱内的气体通过排气管进行排出，过滤结构可对排出的气体进行过滤；

2、本实用新型除尘箱内安装有阴极电极棒与若干阳极电极棒，将阴极电极棒与若干阳极电极棒进行通电，粉尘吸附在若干阳极电极棒上，在阳极电极棒断电时使其上所吸附的粉尘因重力作用自然沉降至除尘抽屉中，方便清理收集到的灰尘，降低了除尘过程中的二次污染现象。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的剖视结构示意图；

图3为本实用新型的阳极电极棒结构示意图；

图4为本实用新型的弧形夹具结构示意图。

图中：1、移动板；2、除尘箱；3、风机；4、吸尘管；5、吸尘罩；6、出尘管；7、安装块；8、阴极电极棒；9、安装板；10、阳极电极棒；11、除尘抽屉；12、排气管；13、过滤结构；1301、分子筛过滤网；1302、活性炭过滤网；1303、防尘网；14、支撑块；15、弧形夹具；16、橡胶层；17、伸缩管；18、检修窗；19、自锁万向轮；20、推杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：

一种半导体材料静电除尘装置，包括移动板1，移动板1上端固定安装有除尘箱2，除尘箱2上端固定安装有风机3，风机3一侧连接有吸尘管4，吸尘管4另一端设有吸尘罩5，风机3另一侧连接有出尘管6，出尘管6贯穿除尘箱2上端，除尘箱2内腔两侧螺栓安装有安装块7，两个安装块7之间固定安装有阴极电极棒8，除尘箱2内腔两侧螺栓安装有安装板9，两个安装板9之间固定安装有若干阳极电极棒10，除尘箱2内腔下端设有除尘抽屉11，除尘箱2一侧设有排气管12，排气管12内设有过滤结构13。

参考图4，由于除尘箱2一侧固定安装有支撑块14，支撑块14一侧固定安装有弧形夹具15，故便于将吸尘管4进行夹持放置。

参考图4，由于弧形夹具15内侧设有橡胶层16，故可减少对吸尘管4的磨损。

参考图1，由于吸尘管4上设有伸缩管17，故便于调节吸尘管4的长度，便于吸尘。

参考图2，由于过滤结构13包括有分子筛过滤网1301、活性炭过滤网1302和防尘网1303，分子筛过滤网1301、活性炭过滤网1302和防尘网1303依次安装在排气管12内，故可将空气进行过滤净化，防止灰尘飞出，造成二次污染。

参考图1，由于除尘箱2上安装有检修窗18，故螺栓安装检修窗18，便于将检修窗18进行拆卸更换，检修窗18便于将除尘箱2内进行检修。

参考图1，由于移动板1下端固定安装有四个自锁万向轮19，移动板1一端固定安装有推杆20，故自锁万向轮19便于移动板1进行移动，推杆20便于将移动板1进行推动。

结构原理：本实用新型包括除尘箱2，除尘箱2上端固定安装有风机3，使用时，风机3通过吸尘管4与除尘管，将灰尘吸入除尘箱2内，除尘箱2内安装有阴极电极棒8与若干阳极电极棒10，将阴极电极棒8与若干阳极电极棒10进行通电，粉尘吸附在若干阳极电极棒10上，在阳极电极棒10断电时使其上所吸附的粉尘因重力作用自然沉降至除尘抽屉11中，方便清理收集到的灰尘，降低了除尘过程中的二次污染现象，除尘箱2内的气体通过排气管12进行排出，过滤结构13可对排出的气体进行过滤。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种半导体材料静电除尘装置，包括移动板(1)，其特征在于：所述移动板(1)上端固定安装有除尘箱(2)，所述除尘箱(2)上端固定安装有风机(3)，所述风机(3)一侧连接有吸尘管(4)，所述吸尘管(4)另一端设有吸尘罩(5)，所述风机(3)另一侧连接有出尘管(6)，所述出尘管(6)贯穿所述除尘箱(2)上端，所述除尘箱(2)内腔两侧螺栓安装有安装块(7)，两个所述安装块(7)之间固定安装有阴极电极棒(8)，所述除尘箱(2)内腔两侧螺栓安装有安装板(9)，两个所述安装板(9)之间固定安装有若干阳极电极棒(10)，所述除尘箱(2)内腔下端设有除尘抽屉(11)，所述除尘箱(2)一侧设有排气管(12)，所述排气管(12)内设有过滤结构(13)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料静电除尘装置，其特征在于：所述除尘箱(2)一侧固定安装有支撑块(14)，所述支撑块(14)一侧固定安装有弧形夹具(15)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体材料静电除尘装置，其特征在于：所述弧形夹具(15)内侧设有橡胶层(16)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体材料静电除尘装置，其特征在于：所述吸尘管(4)上设有伸缩管(17)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体材料静电除尘装置，其特征在于：所述过滤结构(13)包括有分子筛过滤网(1301)、活性炭过滤网(1302)和防尘网(1303)，所述分子筛过滤网(1301)、所述活性炭过滤网(1302)和所述防尘网(1303)依次安装在所述排气管(12)内。

6.根据权利要求1所述的一种半导体材料静电除尘装置，其特征在于：所述除尘箱(2)上安装有检修窗(18)。

7.根据权利要求1所述的一种半导体材料静电除尘装置，其特征在于：所述移动板(1)下端固定安装有四个自锁万向轮(19)，所述移动板(1)一端固定安装有推杆(20)。

Images