CN216590244U - 一种气体流量阀口 - Google Patents
一种气体流量阀口 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216590244U CN216590244U CN202123369628.3U CN202123369628U CN216590244U CN 216590244 U CN216590244 U CN 216590244U CN 202123369628 U CN202123369628 U CN 202123369628U CN 216590244 U CN216590244 U CN 216590244U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- connecting portion
- direction parallel
- face
- valve port
- cross
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Lift Valve (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种气体流量阀口，该气体流量阀口包括阀口本体，阀口本体包括相对平行设置的进气面和出气面，进气面的中心处设有第一通孔，第一通孔包括靠近进气面的第一部分和靠近出气面的第二部分，出气面的中心处设有第二通孔，第一部分和第二部分连通，第二部分和第二通孔连通，第二部分呈半球面结构，第二部分沿平行于进气面方向的截面半径自靠近进气面的一端至靠近出气面的一端逐渐减小，第二部分沿平行于进气面方向的最小截面半径不小于第二通孔沿平行于进气面方向的最大截面半径。
Description
技术领域
本实用新型涉及阀门技术领域，尤其涉及一种气体流量阀口。
背景技术
阀门是流体输送系统中的控制部件，用来开闭管路、控制流向等的管路附件，不同的阀门可以控制输送不同的流体。
在半导体领域，很多工艺过程中都需要对使用到的气体流量进行控制，以保证工艺生产的质量，这就需要使用到气体流量阀。目前的气体流量阀中使用的阀口，无法对较小的气体流量进行精确地控制，影响了半导体工艺生产的质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种气体流量阀口。
为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种气体流量阀口，包括阀口本体，阀口本体包括相对平行设置的进气面和出气面，进气面的中心处设有第一通孔，第一通孔包括靠近进气面的第一部分和靠近出气面的第二部分，出气面的中心处设有第二通孔，第一部分和第二部分连通，第二部分和第二通孔连通，第二部分呈半球面结构，第二部分沿平行于进气面方向的截面半径自靠近进气面的一端至靠近出气面的一端逐渐减小，第二部分沿平行于进气面方向的最小截面半径不小于第二通孔沿平行于进气面方向的最大截面半径。
较佳地，第一部分呈圆柱体结构，第二部分沿平行于进气面方向的最大截面半径等于第一部分的内径。
较佳地，进气面上设有两个第一凹槽，两个第一凹槽关于第一通孔的对称面对称设置，出气面上设有第二凹槽，第二凹槽和第二通孔共中心轴设置，第二凹槽内与两个第一凹槽对应的位置分别设有连接孔，连接孔与其对应的第一凹槽连通。
进一步地，连接孔包括第一连接部分、中间连接部分和第二连接部分，第一连接部分、中间连接部分和第二连接部分依次连通，第一连接部分远离中间连接部分的一端与其对应的第一凹槽连通，第二连接部分远离中间连接部分的一端与第二凹槽连通，第一连接部分沿平行于进气面方向的截面积自靠近进气面的一端至靠近中间连接部分的一端逐渐减小，第二连接部分沿平行于进气面方向的截面积自靠近中间连接部分的一端至靠近出气面的一端逐渐增大，中间连接部分与第一连接部分连接的一端沿平行于进气面方向的截面积等于第一连接部分与中间连接部分连接的一端沿平行于进气面方向的截面积，中间连接部分与第二连接部分连接的一端沿平行于进气面方向的截面积等于第二连接部分与中间连接部分连接的一端沿平行于进气面方向的截面积，中间连接部分沿进气面方向的截面积自靠近第一连接部分的一端至靠近第二连接部分的一端均匀变化。
再进一步地，中间连接部分与第二连接部分连接的一端沿平行于进气面方向的截面积不小于中间连接部分与第一连接部分连接的一端沿平行于进气面方向的截面积。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：通过第二部分呈半球面结构、第二部分沿平行于进气面方向的截面半径自靠近进气面的一端至靠近出气面的一端逐渐减小的设计，便于对进入第二通孔的气体流量进行控制；通过第二部分沿平行于进气面方向的最小截面半径不小于第二通孔沿平行于进气面方向的最大截面半径的设计，便于通过第二通孔进行进一步地流量控制，从而对于较小的气体流量能够实现更精确地控制，保证了半导体工艺生产的质量。
附图说明
图1为本实用新型一实施例的一种气体流量阀口的结构示意图；
图2为图1的出气面的结构示意图。
具体实施方式
为使对本实用新型的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。
请结合参照图1和图2，本实用新型的一种气体流量阀口，包括阀口本体100，阀口本体100包括相对平行设置的进气面1和出气面2，进气面1的中心处设有第一通孔11，第一通孔11包括靠近进气面1的第一部分111和靠近出气面2的第二部分112，出气面2的中心处设有第二通孔21，第一部分111和第二部分112连通，第二部分112和第二通孔21连通，第二部分112呈半球面结构，第二部分112沿平行于进气面1方向的截面半径自靠近进气面1的一端至靠近出气面2的一端逐渐减小，第二部分112沿平行于进气面1方向的最小截面半径不小于第二通孔21沿平行于进气面1方向的最大截面半径。
该实施例的气体流量阀口，通过第二部分112呈半球面结构、第二部分112沿平行于进气面1方向的截面半径自靠近进气面1的一端至靠近出气面2的一端逐渐减小的设计，便于对进入第二通孔21的气体流量进行控制；通过第二部分112沿平行于进气面1方向的最小截面半径不小于第二通孔21沿平行于进气面1方向的最大截面半径的设计，便于通过第二通孔21进行进一步地流量控制，从而对于较小的气体流量能够实现更精确地控制，保证了半导体工艺生产的质量。
优选地，第一部分111呈圆柱体结构，第二部分112沿平行于进气面1方向的最大截面半径等于第一部分111的内径，以便于加工，同时使该气体流量阀口能够通过的气体流量尽可能的大。
优选地，进气面1上设有两个第一凹槽12，两个第一凹槽12关于第一通孔11的对称面对称设置，出气面2上设有第二凹槽22，第二凹槽22和第二通孔21共中心轴设置，第二凹槽22内与两个第一凹槽12对应的位置分别设有连接孔3，连接孔3与其对应的第一凹槽12连通，以通过第二凹槽22、两组互相连通的连接孔3和第一凹槽12进行泄压，从而实现对使用该槽口的气体流量阀内气体流量的控制，保证气体流量的精度。
进一步地，连接孔3包括第一连接部分31、中间连接部分32和第二连接部分33，第一连接部分31、中间连接部分32和第二连接部分33依次连通，第一连接部分31远离中间连接部分32的一端与其对应的第一凹槽12连通，第二连接部分33远离中间连接部分32的一端与第二凹槽22连通，第一连接部分31沿平行于进气面1方向的截面积自靠近进气面1的一端至靠近中间连接部分32的一端逐渐减小，第二连接部分33沿平行于进气面1方向的截面积自靠近中间连接部分32的一端至靠近出气面2的一端逐渐增大，以便于气体的进入和流出，中间连接部分32与第一连接部分31连接的一端沿平行于进气面1方向的截面积等于第一连接部分31与中间连接部分32连接的一端沿平行于进气面1方向的截面积，中间连接部分32与第二连接部分33连接的一端沿平行于进气面1方向的截面积等于第二连接部分33与中间连接部分32连接的一端沿平行于进气面1方向的截面积，中间连接部分32沿进气面1方向的截面积自靠近第一连接部分31的一端至靠近第二连接部分33的一端均匀变化，以保证气体在中间连接部分32内的流通速度，从而保证该气体流量阀口的泄压效果。
进一步地，中间连接部分32与第二连接部分33连接的一端沿平行于进气面1方向的截面积不小于中间连接部分32与第一连接部分31连接的一端沿平行于进气面1方向的截面积，以便于对泄压过程进行控制，保证气体流量的精度。
本实用新型的一种气体流量阀口，通过第二部分呈半球面结构、第二部分沿平行于进气面方向的截面半径自靠近进气面的一端至靠近出气面的一端逐渐减小的设计，便于对进入第二通孔的气体流量进行控制；通过第二部分沿平行于进气面方向的最小截面半径不小于第二通孔沿平行于进气面方向的最大截面半径的设计，便于通过第二通孔进行进一步地流量控制，从而对于较小的气体流量能够实现更精确地控制，保证了半导体工艺生产的质量。
本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本实用新型的范围。相反地，在不脱离本实用新型的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本实用新型的专利保护范围。
Claims (5)
1.一种气体流量阀口，其特征在于，包括阀口本体，所述阀口本体包括相对平行设置的进气面和出气面，所述进气面的中心处设有第一通孔，所述第一通孔包括靠近所述进气面的第一部分和靠近所述出气面的第二部分，所述出气面的中心处设有第二通孔，所述第一部分和所述第二部分连通，所述第二部分和所述第二通孔连通，所述第二部分呈半球面结构，所述第二部分沿平行于所述进气面方向的截面半径自靠近所述进气面的一端至靠近所述出气面的一端逐渐减小，所述第二部分沿平行于所述进气面方向的最小截面半径不小于所述第二通孔沿平行于所述进气面方向的最大截面半径。
2.如权利要求1所述的一种气体流量阀口，其特征在于，所述第一部分呈圆柱体结构，所述第二部分沿平行于所述进气面方向的最大截面半径等于所述第一部分的内径。
3.如权利要求1所述的一种气体流量阀口，其特征在于，所述进气面上设有两个第一凹槽，所述两个第一凹槽关于所述第一通孔的对称面对称设置，所述出气面上设有第二凹槽，所述第二凹槽和所述第二通孔共中心轴设置，所述第二凹槽内与所述两个第一凹槽对应的位置分别设有连接孔，所述连接孔与其对应的第一凹槽连通。
4.如权利要求3所述的一种气体流量阀口，其特征在于，所述连接孔包括第一连接部分、中间连接部分和第二连接部分，所述第一连接部分、所述中间连接部分和所述第二连接部分依次连通，所述第一连接部分远离所述中间连接部分的一端与其对应的第一凹槽连通，所述第二连接部分远离所述中间连接部分的一端与所述第二凹槽连通，所述第一连接部分沿平行于所述进气面方向的截面积自靠近所述进气面的一端至靠近所述中间连接部分的一端逐渐减小，所述第二连接部分沿平行于所述进气面方向的截面积自靠近所述中间连接部分的一端至靠近所述出气面的一端逐渐增大，所述中间连接部分与所述第一连接部分连接的一端沿平行于所述进气面方向的截面积等于所述第一连接部分与所述中间连接部分连接的一端沿平行于所述进气面方向的截面积，所述中间连接部分与所述第二连接部分连接的一端沿平行于所述进气面方向的截面积等于所述第二连接部分与所述中间连接部分连接的一端沿平行于所述进气面方向的截面积，所述中间连接部分沿所述进气面方向的截面积自靠近所述第一连接部分的一端至靠近所述第二连接部分的一端均匀变化。
5.如权利要求4所述的一种气体流量阀口，其特征在于，所述中间连接部分与所述第二连接部分连接的一端沿平行于所述进气面方向的截面积不小于所述中间连接部分与所述第一连接部分连接的一端沿平行于所述进气面方向的截面积。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202123369628.3U CN216590244U (zh) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | 一种气体流量阀口 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202123369628.3U CN216590244U (zh) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | 一种气体流量阀口 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216590244U true CN216590244U (zh) | 2022-05-24 |
Family
ID=81629855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202123369628.3U Active CN216590244U (zh) | 2021-12-30 | 2021-12-30 | 一种气体流量阀口 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216590244U (zh) |
-
2021
- 2021-12-30 CN CN202123369628.3U patent/CN216590244U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106593837B (zh) | 液压柱塞泵变量控制结构及其控制方法 | |
| EP2226536A1 (en) | A control ball valve | |
| CN106884996B (zh) | 电子膨胀阀及其阀芯 | |
| CN203532127U (zh) | 三级压力调节溢流阀 | |
| CN216590244U (zh) | 一种气体流量阀口 | |
| CN108533802B (zh) | 一种船用大流量高压单向阀 | |
| CN105626509A (zh) | 一种柱塞泵阀组 | |
| CN102767924A (zh) | 电子膨胀阀 | |
| CN211779057U (zh) | 一种便于调节开度大小的调节阀 | |
| CN209800788U (zh) | 一种流体比例调节阀 | |
| CN115929915A (zh) | 一种新型气动双工位节流阀 | |
| CN108302232B (zh) | 节能型精密调压阀改良结构 | |
| CN205349901U (zh) | 一种背压阀 | |
| CN211737617U (zh) | 一种直动式压力正反馈二通比例减压阀 | |
| CN220452843U (zh) | 一种气体流量阀 | |
| CN217898881U (zh) | 电子膨胀阀 | |
| CN216590162U (zh) | 一种气体流量阀 | |
| CN215110749U (zh) | 一种差动式大流量矿用安全阀 | |
| CN104895857A (zh) | 一种低噪声锥阀 | |
| CN217583188U (zh) | 流量控制阀 | |
| CN205559907U (zh) | 变流量自动减压控制器 | |
| CN212804241U (zh) | 一种整体加工的多通道阀体 | |
| CN212155981U (zh) | 一种防爆进气电磁阀 | |
| CN217898882U (zh) | 电子膨胀阀 | |
| CN215861946U (zh) | 直动式联体电磁阀 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |