CN216501135U

CN216501135U - 一种碳化硅晶片清洗用固定机构

Info

Publication number: CN216501135U
Application number: CN202123033060.8U
Authority: CN
Inventors: 贺贤汉; 卓世异; 王升; 陈辉; 李有群
Original assignee: Anhui Microchip Changjiang Semiconductor Materials Co ltd
Current assignee: Anhui Microchip Changjiang Semiconductor Materials Co ltd
Priority date: 2021-12-06
Filing date: 2021-12-06
Publication date: 2022-05-13
Anticipated expiration: 2031-12-06

Abstract

本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种碳化硅晶片清洗用固定机构，包括清洗槽，还包括拆装机构和旋转移位机构，所述拆装机构固定安装在清洗槽内壁底部，所述拆装机构顶部固定安装有提升减震机构，所述提升减震机构顶部固定安装有防飞溅机构，本实用新型通过设置有夹持翻转机构和旋转移位机构，将晶片放置在四个伸缩杆之间，伸缩杆在伸缩套内侧收缩，在产生回弹力，对晶片上下两面夹紧固定，再打开丝杆滑台使丝杆滑台的两个滑动块分别向内移动，使两个夹板分别向内移动，从而对晶片两侧夹紧固定，再对晶片顶部进行清洗，清洗一遍之后，打开电动推杆使电动推杆带动防滑垫向上移动直至防滑垫与晶片底部贴紧固定。

Description

一种碳化硅晶片清洗用固定机构

技术领域

本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，特别是涉及一种碳化硅晶片清洗用固定机构。

背景技术

碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件，该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势，碳化硅晶片在清洗过程中需要对晶片进行固定，确保晶片在清洗过程中保持稳定。

目前使用的固定机构在使用时无法更加自动化的对晶片的位置进行旋转调节，夹板在对晶片固定的过程中会产生一定面积的遮挡，无法对该面积进行清洗，容易造成化学制剂的残留，影响清洗的效果，同时无法更便捷的对晶片进行翻转调节，使用不够便捷。

因此，现在亟需设计一种能解决上述一个或者多个问题的一种碳化硅晶片清洗用固定机构。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本实用新型提供了一种碳化硅晶片清洗用固定机构。

本实用新型为达到上述目的所采用的技术方案是：一种碳化硅晶片清洗用固定机构，包括清洗槽，还包括拆装机构和旋转移位机构，所述拆装机构固定安装在清洗槽内壁底部，所述拆装机构顶部固定安装有提升减震机构，所述提升减震机构顶部固定安装有防飞溅机构，所述防飞溅机构顶部设置有夹持翻转机构，所述旋转移位机构固定安装在提升减震机构顶部，所述旋转移位机构包括支撑架、多个分别拧紧固定在支撑架两侧的固定螺栓、固定安装在支撑架顶部的转台、固定安装在转台顶部的连接块和固定安装在连接块顶部的电动推杆。

优选的，所述拆装机构包括支撑板、两个分别固定安装在清洗槽内壁底部的底座、两个分别开设在两个底座顶部的卡槽和两个分别配合安装在两个卡槽内侧的卡块，所述支撑板固定安装在两个卡块顶部。

优选的，所述提升减震机构包括第一电动升降套杆、操作台、多个分别固定安装在支撑板顶部两侧的安装套、多个分别固定安装在多个安装套内部的固定块、伸缩弹簧和多个分别活动安装在多个安装套内侧的支撑杆，每个所述固定块与支撑杆之间均连接有一个伸缩弹簧，所述第一电动升降套杆固定安装在支撑板顶部，所述操作台固定安装在第一电动升降套杆的伸缩端。

优选的，所述防飞溅机构包括连接板、两个分别固定安装在连接板两侧的销轴和两个分别固定安装在两个销轴一侧的防护罩，每个所述防护罩的外壁两侧分别与清洗槽顶部两侧相接触，所述连接板固定安装在操作台顶部。

优选的，所述夹持翻转机构包括丝杆滑台、两个分别固定安装在丝杆滑台的两个滑动块顶部的第二电动升降套杆、两个分别固定安装在两个第二电动升降套杆的伸缩端一侧的安装块、两个分别固定安装在两个安装块一侧的第一电动旋转块、两个分别固定安装在两个第一电动旋转块一侧的连杆、两个分别固定安装在两个连杆一侧的夹板、四个分别固定安装在两个夹板内壁两侧的伸缩套和四个分别配合安装在四个伸缩套内侧的伸缩杆，所述丝杆滑台固定安装在连接板顶部。

优选的，所述旋转移位机构还包括防滑垫，所述防滑垫固定安装在电动推杆的伸缩端。

本实用新型的有益效果是：

其一：本实用新型通过设置有夹持翻转机构和旋转移位机构，将晶片放置在四个伸缩杆之间，伸缩杆在伸缩套内侧收缩，在产生回弹力，对晶片上下两面夹紧固定，再打开丝杆滑台使丝杆滑台的两个滑动块分别向内移动，使两个夹板分别向内移动，从而对晶片两侧夹紧固定，再对晶片顶部进行清洗，清洗一遍之后，打开电动推杆使电动推杆带动防滑垫向上移动直至防滑垫与晶片底部贴紧固定，再将两个夹板分开，再打开转台使转台带动防滑垫从而带动晶片进行旋转，旋转至合适位置后，再对晶片进行夹持，再进行二次清洗，可以更加便捷的对晶片的位置进行旋转调节，确保晶片的每一个位置都会被清洗到，防止夹板遮挡的部位无法清洗，导致化学制剂的残留，影响晶片后续的使用，同时防滑垫的设置，可以更好的对晶片进行防滑，防止在晶片旋转过程中发生移位，影响使用的效果，然后当晶片的一面清洗完成，打开第二电动升降套杆使第二电动升降套杆带动夹板向上移动，移动至合适位置后，打开第一电动旋转块使第一电动旋转块带动两个夹板进行翻转，从而带动晶片进行翻转，再将第二电动升降套杆收缩至清洗位置，可以更加便捷快速的对晶片的两面进行翻转，无需人工进行触碰，避免晶片的二次污染，装置使用更加的便捷自动化。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的旋转移位机构结构示意图；

图3为本实用新型的图1中A处放大结构示意图；

图4为本实用新型的图1中B处放大结构示意图。

附图标记说明：1、清洗槽；2、拆装机构；21、底座；22、卡槽；23、卡块；24、支撑板；3、提升减震机构；31、第一电动升降套杆；32、操作台；33、安装套；34、固定块；35、伸缩弹簧；36、支撑杆；4、防飞溅机构；41、连接板；42、销轴；43、防护罩；5、夹持翻转机构；51、丝杆滑台；52、第二电动升降套杆；53、安装块；54、第一电动旋转块；55、连杆；56、夹板；57、伸缩套；58、伸缩杆；6、旋转移位机构；61、支撑架；62、固定螺栓；63、转台；64、连接块；65、电动推杆；66、防滑垫。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加浅显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

如图1至4所示，本实用新型提供了一种碳化硅晶片清洗用固定机构，包括清洗槽1，还包括拆装机构2和旋转移位机构6，拆装机构2固定安装在清洗槽1内壁底部，拆装机构2顶部固定安装有提升减震机构3，提升减震机构3顶部固定安装有防飞溅机构4，防飞溅机构4顶部设置有夹持翻转机构5，旋转移位机构6固定安装在提升减震机构3顶部，旋转移位机构6包括支撑架61、多个分别拧紧固定在支撑架61两侧的固定螺栓62、固定安装在支撑架61顶部的转台63、固定安装在转台63顶部的连接块64和固定安装在连接块64顶部的电动推杆65。

上述具体实施方案：清洗一遍之后，打开电动推杆65使电动推杆65带动防滑垫66向上移动直至防滑垫66与晶片底部贴紧固定，再将两个夹板56分开，再打开转台63使转台63带动防滑垫66从而带动晶片进行旋转，旋转至合适位置后，再对晶片进行夹持，再进行二次清洗，可以更加便捷的对晶片的位置进行旋转调节，确保晶片的每一个位置都会被清洗到，防止夹板56遮挡的部位无法清洗，导致化学制剂的残留，影响晶片后续的使用。

具体的，拆装机构2包括支撑板24、两个分别固定安装在清洗槽1内壁底部的底座21、两个分别开设在两个底座21顶部的卡槽22和两个分别配合安装在两个卡槽22内侧的卡块23，支撑板24固定安装在两个卡块23顶部，通过设置有底座21、卡槽22、卡块23和支撑板24，可以更加便捷的对固定机构进行拆装更换，防止装置长时间使用导致损坏，影响后续的使用。

具体的，提升减震机构3包括第一电动升降套杆31、操作台32、多个分别固定安装在支撑板24顶部两侧的安装套33、多个分别固定安装在多个安装套33内部的固定块34、伸缩弹簧35和多个分别活动安装在多个安装套33内侧的支撑杆36，每个固定块34与支撑杆36之间均连接有一个伸缩弹簧35，第一电动升降套杆31固定安装在支撑板24顶部，操作台32固定安装在第一电动升降套杆31的伸缩端，通过设置有第一电动升降套杆31、操作台32、安装套33、固定块34、伸缩弹簧35和支撑杆36，可以更加便捷的对晶片进行移动减震，在清洗过程中最大限度的减轻清洗装置给晶片的晃动，使晶片更加的稳定，避免晶片的损坏。

具体的，防飞溅机构4包括连接板41、两个分别固定安装在连接板41两侧的销轴42和两个分别固定安装在两个销轴42一侧的防护罩43，每个防护罩43的外壁两侧分别与清洗槽1顶部两侧相接触，连接板41固定安装在操作台32顶部，通过设置有连接板41、销轴42和防护罩43，通过第一电动升降套杆31的上下移动，可以更加便捷的对防护罩43进行开合，有效的防止清洗过程中液体飞溅，导致周围环境的污染。

具体的，夹持翻转机构5包括丝杆滑台51、两个分别固定安装在丝杆滑台51的两个滑动块顶部的第二电动升降套杆52、两个分别固定安装在两个第二电动升降套杆52的伸缩端一侧的安装块53、两个分别固定安装在两个安装块53一侧的第一电动旋转块54、两个分别固定安装在两个第一电动旋转块54一侧的连杆55、两个分别固定安装在两个连杆55一侧的夹板56、四个分别固定安装在两个夹板56内壁两侧的伸缩套57和四个分别配合安装在四个伸缩套57内侧的伸缩杆58，丝杆滑台51固定安装在连接板41顶部，通过设置有丝杆滑台51、第二电动升降套杆52、安装块53、第一电动旋转块54、连杆55、夹板56、伸缩套57和伸缩杆58，可以更加便捷快速的对晶片的两面进行翻转，无需人工进行触碰，避免晶片的二次污染，装置使用更加的便捷自动化。

具体的，旋转移位机构6还包括防滑垫66，防滑垫66固定安装在电动推杆65的伸缩端，通过设置有防滑垫66，可以更好的对晶片进行防滑，防止在晶片旋转过程中发生移位，影响使用的效果。

综上，本实用新型包括：首先接通外部电源，推动支撑板24使支撑板24带动卡块23向下移动，使卡块23固定安装在卡槽22内侧，从而使支撑板24固定安装在清洗槽1内部，再将晶片放置在四个伸缩杆58之间，伸缩杆58在伸缩套57内侧收缩，在产生回弹力，对晶片上下两面夹紧固定，再打开丝杆滑台51使丝杆滑台51的两个滑动块分别向内移动，使两个夹板56分别向内移动，从而对晶片两侧夹紧固定，然后打开第一电动升降套杆31使第一电动升降套杆31带动操作台32向下移动，防护罩43的外壁与清洗槽1两侧相接触，操作台32下降的过程中，带动防护罩43通过销轴42旋转向内，使防护罩43尽量的靠近闭合状态，减小两个防护罩43之间的缝隙，对水滴进行防护，其次，清洗一遍之后，打开电动推杆65使电动推杆65带动防滑垫66向上移动直至防滑垫66与晶片底部贴紧固定，再将两个夹板56分开，再打开转台63使转台63带动防滑垫66从而带动晶片进行旋转，旋转至合适位置后，再对晶片进行夹持，再进行二次清洗，再当晶片的一面清洗完成，打开第一电动升降套杆31使防护罩43打开，最后打开第二电动升降套杆52使第二电动升降套杆52带动夹板56向上移动，移动至合适位置后，打开第一电动旋转块54使第一电动旋转块54带动两个夹板56进行翻转，从而带动晶片进行翻转，再将第二电动升降套杆52收缩至清洗位置，其中第一电动升降套杆31的型号为：YS-NZ100-12A，丝杆滑台51的型号为：PKH40，第二电动升降套杆52的型号为：YS-NZ100-12A，第一电动旋转块54的型号为：DG60-5，转台63的型号为：DG60-5，电动推杆65的型号为：XYDHA24-800。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种或者多种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims

1.一种碳化硅晶片清洗用固定机构，包括清洗槽（1），其特征在于：还包括拆装机构（2）和旋转移位机构（6），所述拆装机构（2）固定安装在清洗槽（1）内壁底部，所述拆装机构（2）顶部固定安装有提升减震机构（3），所述提升减震机构（3）顶部固定安装有防飞溅机构（4），所述防飞溅机构（4）顶部设置有夹持翻转机构（5），所述旋转移位机构（6）固定安装在提升减震机构（3）顶部，所述旋转移位机构（6）包括支撑架（61）、多个分别拧紧固定在支撑架（61）两侧的固定螺栓（62）、固定安装在支撑架（61）顶部的转台（63）、固定安装在转台（63）顶部的连接块（64）和固定安装在连接块（64）顶部的电动推杆（65）。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片清洗用固定机构，其特征在于：所述拆装机构（2）包括支撑板（24）、两个分别固定安装在清洗槽（1）内壁底部的底座（21）、两个分别开设在两个底座（21）顶部的卡槽（22）和两个分别配合安装在两个卡槽（22）内侧的卡块（23），所述支撑板（24）固定安装在两个卡块（23）顶部。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶片清洗用固定机构，其特征在于：所述提升减震机构（3）包括第一电动升降套杆（31）、操作台（32）、多个分别固定安装在支撑板（24）顶部两侧的安装套（33）、多个分别固定安装在多个安装套（33）内部的固定块（34）、伸缩弹簧（35）和多个分别活动安装在多个安装套（33）内侧的支撑杆（36），每个所述固定块（34）与支撑杆（36）之间均连接有一个伸缩弹簧（35），所述第一电动升降套杆（31）固定安装在支撑板（24）顶部，所述操作台（32）固定安装在第一电动升降套杆（31）的伸缩端。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶片清洗用固定机构，其特征在于：所述防飞溅机构（4）包括连接板（41）、两个分别固定安装在连接板（41）两侧的销轴（42）和两个分别固定安装在两个销轴（42）一侧的防护罩（43），每个所述防护罩（43）的外壁两侧分别与清洗槽（1）顶部两侧相接触，所述连接板（41）固定安装在操作台（32）顶部。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅晶片清洗用固定机构，其特征在于：所述夹持翻转机构（5）包括丝杆滑台（51）、两个分别固定安装在丝杆滑台（51）的两个滑动块顶部的第二电动升降套杆（52）、两个分别固定安装在两个第二电动升降套杆（52）的伸缩端一侧的安装块（53）、两个分别固定安装在两个安装块（53）一侧的第一电动旋转块（54）、两个分别固定安装在两个第一电动旋转块（54）一侧的连杆（55）、两个分别固定安装在两个连杆（55）一侧的夹板（56）、四个分别固定安装在两个夹板（56）内壁两侧的伸缩套（57）和四个分别配合安装在四个伸缩套（57）内侧的伸缩杆（58），所述丝杆滑台（51）固定安装在连接板（41）顶部。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片清洗用固定机构，其特征在于：所述旋转移位机构（6）还包括防滑垫（66），所述防滑垫（66）固定安装在电动推杆（65）的伸缩端。