CN216463972U

CN216463972U - 一种压覆装置

Info

Publication number: CN216463972U
Application number: CN202122218286.9U
Authority: CN
Inventors: 田宇石; 代宇盛
Original assignee: Yangtze Memory Technologies Co Ltd
Current assignee: Yangtze Memory Technologies Co Ltd
Priority date: 2021-09-14
Filing date: 2021-09-14
Publication date: 2022-05-10
Anticipated expiration: 2031-09-14

Abstract

本申请实施例公开了一种压覆装置，包括：按压体，按压体包括用于对待按压件进行按压的按压面以及按压弧面，按压弧面位于按压体的侧部，且所述按压弧面的一切面与按压面在同一平面内。本申请实施例在压覆装置中设置按压弧面，当压覆装置在使用时，按压弧面接触并挤压待按压件的气泡凸起处，弧面对待按压件的刮蹭损伤较小，可以减少压覆装置对待按压件的损伤。

Description

一种压覆装置

技术领域

本申请涉及到压覆设备技术，具体为一种压覆装置。

背景技术

在对晶圆进行化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)的过程中需要更换研磨垫，更换研磨垫后，研磨垫与承载台之间容易出现气泡，导致在研磨垫上形成气泡凸起。

实用新型内容

本实用新型提供一种压覆装置，在压覆装置挤压待按压件的气泡凸起处时能够减小对待按压件的损伤。

具体的，本申请提供一种压覆装置，包括：

按压体，所述按压体包括用于对待按压件进行按压的按压面以及按压弧面，所述按压弧面位于所述按压体的侧部，且所述按压弧面的一切面与所述按压面在同一平面内。

在本申请一些实施例中，所述按压体包括：

主体，所述按压面设置于所述主体上；

压筒，所述压筒位于所述主体的侧部，且所述压筒绕其轴向与所述主体转动连接，所述压筒的轴向与所述按压面平行，所述按压弧面设置于所述压筒上。

基于上述实施例，所述压筒在挤压所述待按压件的气泡凸起处时，所述压筒可以绕其轴向转动，减小了所述压筒与所述待按压件发生相对移动时的摩擦力。所述压筒的按压弧面接触并挤压气泡凸起处，弧面对所述待按压件的气泡凸起处的刮蹭损伤较小，故可以减少对所述待按压件的损伤。

在本申请一些实施例中，所述主体包括靠近所述压筒的第一侧面，所述压筒的轴向与所述第一侧面平行。

基于上述实施例，所述压筒挤压气泡凸起处后，若是气泡凸起未被完全消除，此时所述主体以所述第一侧面为前端平面移动并接触挤压气泡凸起，可以防止所述待按压件的大气泡凸起被所述主体的边角碾成小气泡凸起分散乱窜。

在本申请一些实施例中，所述第一侧面沿所述压筒的轴向的长度大于或等于所述压筒的长度。

基于上述实施例，在所述待按压件上能被所述压筒完全挤压到的气泡凸起处，也能被所述主体完全挤压到，使得当气泡凸起在被所述压筒挤压过后未被完全消除时，所述主体能够完全消除气泡凸起，从而提高了挤压消除气泡凸起的效率。

在本申请一些实施例中，所述第一侧面上开设有弧形凹槽，所述弧形凹槽的轴向与所述压筒的轴向平行，所述压筒的部分容纳在所述弧形凹槽中。

基于上述实施例，所述弧形凹槽挡住了所述压筒的一部分，可以防止所述压筒在挤压所述待按压件时与所述主体发生相对移动，便于所述压筒与所述主体更稳定的同步运动。

在本申请一些实施例中，所述压筒包括远离所述按压弧面的第一弧面，所述第一弧面容纳在所述弧形凹槽中。

基于上述实施例，所述弧形凹槽挡住所述第一弧面，当所述压筒在挤压所述待按压件时，所述弧形凹槽可以防止所述压筒向远离所述待按压件的方向滑动，从而使所述压筒紧贴所述待按压件，可以有效挤压消除气泡凸起。

在本申请一些实施例中，所述主体的周侧面与所述按压面的连接部分具有第二弧面。

基于上述实施例，所述按压面在刚接触挤压到气泡凸起处时，所述按压面靠近气泡凸起处的一端会小幅度翘起，此时所述按压面远离气泡凸起的一端会抵接所述待按压件，而与所述待按压件抵接的是所述第二弧面，弧面对所述待按压件的刮蹭损伤较小，可以减少对所述待按压件的损伤。

在本申请一些实施例中，所述按压体上设置有握持部，所述按压体还包括与所述按压面背向设置的第二侧面，所述握持部位于所述第二侧面远离所述按压面的一侧。

基于上述实施例，设置所述握持部使压覆装置的使用更方便、稳定。

在本申请一些实施例中，所述按压面的形状呈方形。

基于上述实施例，压覆装置中的所述按压体在移动挤压所述待按压件时，可以以平面前端向前移动推进，增大了所述按压体挤压气泡凸起时的接触面积，可以防止所述按压体的边角将所述待按压件的大气泡凸起碾成小气泡凸起分散乱窜，提高了挤压消除气泡凸起的效率。

在本申请一些实施例中，所述压筒包括硬质支撑部以及套接在所述硬质支撑部上的软质按压部。

基于上述实施例，所述压筒在挤压所述待按压件的气泡凸起处时，所述软质按压部接触并挤压所述待按压件，所述软质按压部可以减少对所述待按压件的损伤。

本申请的有益效果为：

本申请的所述按压体上的所述按压弧面，通过所述按压弧面接触并挤压所述待按压件的气泡凸起处，可以更平缓的压出气泡凸起。而弧面对所述待按压件的刮蹭损伤较小，故可以减少压覆装置对所述待按压件的损伤。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型一实施例中压覆装置的第一视角的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例中压覆装置的压筒的结构示意图；

图3是本实用新型一实施例中压覆装置的第二视角的结构示意图。

附图标记：

1.按压体；101.按压面；102.按压弧面；103.第二侧面；11.主体；111.第一侧面；111a.弧形凹槽；112.第二弧面；12.压筒；121.第一弧面；122.硬质支撑部；123.软质按压部；2.握持部；3.待按压件。

具体实施方式

为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图来进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

对晶圆进行化学机械抛光时需要用到研磨垫，在更换研磨垫的过程中，研磨垫与承载台之间容易出现气泡，导致在研磨垫上形成气泡凸起，因此需要使用压覆装置来挤压消除研磨垫上的气泡凸起，以保证研磨垫的平坦化。

在相关技术中，压覆装置存在一定的弊端，使用压覆装置来挤压消除气泡凸起时，压覆装置的边角容易刮蹭研磨垫的气泡凸起处，导致研磨垫损伤。

本申请提供一种压覆装置，在压覆装置挤压待按压件的气泡凸起处时能够减小对待按压件的损伤。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

压覆装置，包括：按压体1。

具体的，所述按压体1包括用于对待按压件3进行按压的按压面101以及按压弧面102，所述按压弧面102位于所述按压体1的侧部，且所述按压弧面102的一切面与所述按压面101在同一平面内。

参考图1，具体的，所述按压面101为所述按压体1与所述待按压件3接触的平面；所述待按压件3可以为晶圆研磨的过程中用到的研磨垫，当然，所述待按压件3还可以为抛光垫、抛光皮、软抛垫或其他领域中的同类型用具。如图2所示，所述按压弧面102底部的切面A-A与所述按压面101在同一平面内，从而使得所述按压面101与所述按压弧面102可以同时对所述待按压件3进行按压。其中，所述按压体1的制备材料可以是塑料、橡胶、金属或其他材料，在本申请实施例中不做具体限制。

需要说明的是，在相关技术中，压覆装置的边角为直角，使用压覆装置对所述待按压件3进行挤压时，压覆装置的边角在刮蹭所述待按压件3的气泡凸起处容易导致所述待按压件3损伤。而在本申请实施例中，所述按压弧面102接触并挤压气泡凸起处，弧面对所述待按压件3的气泡凸起处的刮蹭损伤较小，故可以减少对所述待按压件3的损伤。

在本申请一些实施例中，参考图1，所述按压体1包括主体11和压筒12。

具体的，所述按压面101设置于所述主体11上，所述压筒12位于所述主体11的侧部，且所述压筒12绕其轴向与所述主体11转动连接，所述压筒12的轴向与所述按压面101平行，所述按压弧面102设置于所述压筒12上。

可以理解的是，参考图1和图2，所述压筒12为圆柱体结构，此处对所述压筒12的尺寸不作限制。所述压筒12在挤压所述待按压件3处的气泡凸起时，可以绕其轴向转动滚压所述待按压件3，减小了所述压筒12与所述待按压件3发生相对移动时的摩擦力。在本申请实施例中，所述压筒12可以通过轴承或者自身卡接在凹槽内的方法，与所述主体11转动连接，当然，所述压筒12也可以与所述主体11一体成型，具体可以根据实际安装使用情况进行选择，本申请实施例不作具体限制。

其中，使用所述压筒12对所述待按压件3进行按压时，所述压筒12与所述待按压件3接触的底部弧面为按压弧面102。如图1所示，使用压覆装置沿移动方向B-B移动以对所述待按压件3进行按压时，所述按压弧面102接触并挤压气泡凸起处，弧面对所述待按压件3的气泡凸起处的刮蹭损伤较小，故可以减少对所述待按压件3的损伤。

同时，在本申请实施例中，使用压覆装置对所述待按压件3进行按压时，所述压筒12挤压气泡凸起处后，随后所述主体11可以继续挤压气泡凸起处，防止气泡凸起处在被所述压筒12挤压后没有完全消除，所述压筒12和所述主体11都能挤压气泡凸起处，从而将气泡凸起从所述待按压件3上挤压出去，达到挤压消除待按压件3上气泡凸起的目的。

还需要说明的是，图1中仅示意了在所述主体11上设置一个压筒的情况，根据实际需要，还可以在所述主体11移动方向B-B的两端均设置所述压筒12，以提高压覆装置的压覆效率。

在本申请一些实施例中，参考图1和图3，所述主体11包括靠近所述压筒12的第一侧面111，所述压筒12的轴向与所述第一侧面111平行。

进一步的，所述压筒12挤压气泡凸起处后，若是气泡凸起未被完全消除，此时所述主体11以所述第一侧面111为前端平面移动并接触挤压气泡凸起，从而将气泡凸起从所述待按压件3上完全挤压出去，防止所述待按压件3的大气泡凸起被所述主体11的边角碾成小气泡凸起分散乱窜。

在本申请一些实施例中，继续参考图1和图3，所述第一侧面111沿所述压筒12的轴向的长度大于或等于所述压筒12的长度。

可以理解的是，压覆装置在使用过程中需要推动使其按压所述待按压件3，所述第一侧面111沿所述压筒12的轴向的长度不小于所述压筒12的长度，即所述按压面101靠近所述压筒12的一条边的长度不小于所述压筒12的长度。

当压覆装置在挤压消除气泡凸起时，保证能被所述压筒12能完全挤压到的气泡凸起，也能被所述主体11完全挤压到，使得当气泡凸起在被所述压筒12挤压后未被完全消除时，所述主体11也能够完全消除气泡凸起，从而提高挤压消除气泡凸起的效率。

在本申请一些实施例中，参考图1，所述第一侧面111上开设有弧形凹槽111a，所述弧形凹槽111a的轴向与所述压筒12的轴向平行，所述压筒12的部分容纳在所述弧形凹槽111a中。

具体的，所述弧形凹槽111a挡住了所述压筒12的一部分，可以防止所述压筒12在挤压所述待按压件3时与所述主体11发生相对移动，便于所述压筒12与所述主体11更稳定的同步运动。

在本申请一些实施例中，参考图1和图2，所述压筒12包括远离所述按压弧面102的第一弧面121，所述第一弧面121容纳在所述弧形凹槽111a中。

进一步的，所述第一弧面121为所述压筒12远离所述按压弧面102一侧的圆弧面，所述弧形凹槽111a挡住所述第一弧面121。当所述压筒12在挤压所述待按压件3时，可以防止所述压筒12向远离所述待按压件3的方向滑动，从而使得所述压筒12紧贴所述待按压件3，可以有效挤压消除气泡凸起。

在本申请一些实施例中，参考图1，所述主体11的周侧面与所述按压面101的连接部分具有第二弧面112。

需要说明的是，在相关技术中，所述按压面101在刚接触挤压到气泡凸起处时，所述按压面101靠近气泡凸起处的一端会小幅度翘起，此时所述按压面101远离气泡凸起的一端会抵接所述待按压件3，容易刮蹭损伤所述待按压件3。而在本申请实施例中，由于所述主体11的周侧面与所述按压面101的连接部分具有第二弧面112，与所述待按压件3抵接的是所述第二弧面112，而弧面对所述待按压件3的刮蹭损伤较小，可以减少对所述待按压件3的损伤。

在本申请一些实施例中，参考图1和图2，所述压筒12包括硬质支撑部122以及套接在所述硬质支撑部122上的软质按压部123。

具体的，所述压筒12在挤压所述待按压件3的气泡凸起处时，与所述待按压件3接触的部分为所述软质按压部123，故不会损伤所述待按压件3。

其中，所述硬质支撑部122需要硬度较高的材料，如热固性塑料类；所述软质按压部123需要耐磨性能较好，弹性较大的材料，如橡胶或热塑性塑料类，以上可以根据实际情况进行选择，本申请不做具体限制。

在本申请一些实施例中，参考图1和图3，所述按压面101的形状呈方形。

需要说明的是，在相关技术中，压覆装置多为圆盘状，推动压覆装置在所述待按压件3上移动压覆时，圆盘状的压覆装置以其弧形前端向前移动推进，压覆装置的弧形前端接触并挤压气泡凸起处时，容易将大气泡凸起碾成小气泡凸起分散乱窜，从而降低了挤压消除气泡凸起的效率。而在本申请实施例中，压覆装置的所述按压体1在移动压覆时，可以以平面前端向前移动推进，增大了所述按压体1挤压气泡凸起时的接触面积，从而便于将气泡凸起从所述待按压件3上挤压出去，防止所述按压体1的边角将所述待按压件3的大气泡凸起碾成小气泡凸起分散乱窜，提高了挤压消除气泡凸起的效率。

在本申请一些实施例中，参考图1，所述按压体1上设置有握持部2，所述按压1还包括与所述按压面101背向设置的第二侧面103，所述握持部2位于所述第二侧面103远离所述按压面101的一侧。

可以理解的是，所述握持部2便于工作人员对压覆装置的握持，工作人员可以手持所述握持部2，并推动压覆装置在所述待按压件3上移动以挤压消除气泡凸起，使压覆装置在所述待按压件3上的移动压覆更方便稳定。

其中，所述握持部2与所述按压体1之间可以为固定连接，如焊接、胶接、铆接或螺纹连接等连接方式，而所述握持部2的材质、大小、形状均可以根据实际安装情况的不同加以调整，此处不做限定。

压覆装置的工作过程：

所述按压体1在所述待按压件3上移动压覆时，所述按压弧面102挤压所述待按压件3的气泡凸起处，所述按压弧面102接触并挤压气泡凸起处，可以更平缓的从所述待按压件3上压出气泡凸起，且弧面对所述待按压件3的刮蹭损伤较小，可以减少对所述待按压件3的气泡凸起处造成的损伤。

所述压筒12挤压气泡凸起处后，若是气泡凸起处未被完全消除，此时所述主体11以所述第一侧面111的平面随之挤压过气泡凸起处，能被所述压筒12完全挤压到的气泡凸起，也能被所述主体11完全挤压到，所述压筒12和所述主体11将气泡凸起从所述待按压件3上挤压出去，所述按压体1可以更有效的压出气泡凸起，从而提高了挤压消除气泡凸起的效率，保证了所述待按压件3的平坦化。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims

1.一种压覆装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的压覆装置，其特征在于，所述按压体包括：

主体，所述按压面设置于所述主体上；

3.根据权利要求2所述的压覆装置，其特征在于，

所述主体包括靠近所述压筒的第一侧面，所述压筒的轴向与所述第一侧面平行。

4.根据权利要求3所述的压覆装置，其特征在于，

所述第一侧面沿所述压筒的轴向的长度大于或等于所述压筒的长度。

5.根据权利要求3所述的压覆装置，其特征在于，

所述第一侧面上开设有弧形凹槽，所述弧形凹槽的轴向与所述压筒的轴向平行，所述压筒的部分容纳在所述弧形凹槽中。

6.根据权利要求5所述的压覆装置，其特征在于，

所述压筒包括远离所述按压弧面的第一弧面，所述第一弧面容纳在所述弧形凹槽中。

7.根据权利要求2所述的压覆装置，其特征在于，

所述主体的周侧面与所述按压面的连接部分具有第二弧面。

8.根据权利要求2所述的压覆装置，其特征在于，

所述压筒包括硬质支撑部以及套接在所述硬质支撑部上的软质按压部。

9.根据权利要求1所述的压覆装置，其特征在于，

所述按压面的形状呈方形。

10.根据权利要求1所述的压覆装置，其特征在于，

所述按压体上设置有握持部，所述按压体还包括与所述按压面背向设置的第二侧面，所述握持部位于所述第二侧面远离所述按压面的一侧。