CN216445454U - 一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件，内挡圈的多个内支撑件沿外圈体圆周分布，并且沿径向滑动安装在外挡圈的第一骨架上，下托盘位于内外挡圈下方，从而满足多品种多批次片状零件的快速装夹，可以大范围适应不同规格的片状零件要求，模块化的设计同时最大化的满足单盘的装片量，同时提供快速散热通道，夹具内部大面积无障碍气流通道，散热效果显著，此外夹具在前期的使用以及后期的维护和管理更加易操作，可大大的降低生产制造费用。
Description
技术领域
本实用新型涉及片状工件镀膜装夹技术领域，尤其涉及一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件。
背景技术
目前,薄膜广泛应用于磁体,光学,半导体等领域,而薄膜制作通常以物理蒸镀法为主,(Physics Vapor Deposition简称PVD),在真空环境下,通过电压和磁场的共同作用,以被离化的惰性气体离子对靶材进行轰击,致使靶材以离子、原子或分子的形式被弹射出并沉积于基片上形成薄膜。片状工件在实际生产中呈现多规格，多批次，定制夹具只可以满足特定规格的工件固定和夹持，不可调节，另外夹具本身比较笨重，散热通道的狭窄，镀膜冷却时间长。由于夹具品种过于繁杂，通用性差，同时增加了夹具管理及维护成本。
实用新型内容
为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件。
本实用新型提出的一种片状工件镀膜用装夹单元，包括：下托盘、内挡圈、外挡圈、多个紧固件；
外挡圈和内挡圈位于下托盘上方，外挡圈包括第一骨架和套设在第一骨架外部的外圈体，外圈体通过第一骨架与下托盘固定连接；
内挡圈位于外圈体内部，内挡圈包括多个内支撑件，多个内支撑件沿外圈体圆周分布，内支撑件设有与外圈体配合的内支撑部和沿径向向远离所述内支撑部方向延伸的滑槽；
多个紧固件安装在第一骨架上，每个紧固件与一个内支撑件的滑槽配合用于将内支撑件与第一骨架固定。
优选地，内支撑件包括上顶片和下顶片，上顶片和下顶片平行于下托盘且二者间隔设置，滑槽设置在上顶片上，下顶片通过螺柱与上顶片连接。
优选地，所述内支撑部具有与外圈体配合的弧形结构。
优选地，第一骨架和外圈体之间形成多个第一散热开口。
优选地，下托盘包括与第一骨架配合的第二骨架和套设在第二骨架外部的支撑圈。
优选地，第二骨架和支撑圈之间形成多个第二散热开口。
优选地，支撑圈外周设有沿圆周分布的多个支撑凸条，相邻两个支撑凸条间隔设置。
优选地，第一骨架上还设有与滑槽配合的滑柱。
本实用新型还提出一种片状工件镀膜用装夹组件，包括至少一个上述的片状工件镀膜用装夹单元。
优选地，还包括中心支杆，下托盘中部设有与中心支杆配合的第一开口，第一骨架上设有与中心支杆配合的第二开口。
优选地，多个所述装夹单元自上而下依次套设在中心支杆外部，所述第一开口内壁设有第一限位结构，中心支杆外壁设有与第一限位结构配合的第二限位结构。
本实用新型中，所提出的片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件，内挡圈的多个内支撑件沿外圈体圆周分布，并且沿径向滑动安装在外挡圈的第一骨架上，下托盘位于内外挡圈下方，从而满足多品种多批次片状零件的快速装夹，可以大范围适应不同规格的片状零件要求，模块化的设计同时最大化的满足单盘的装片量，同时提供快速散热通道，夹具内部大面积无障碍气流通道，散热效果显著，此外夹具在前期的使用以及后期的维护和管理更加易操作，可大大的降低生产制造费用。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种片状工件镀膜用装夹单元的立体结构示意图。
图2为本实用新型提出的一种片状工件镀膜用装夹单元的剖视结构示意图。
图3为本实用新型提出的一种片状工件镀膜用装夹组件的结构示意图。
具体实施方式
如图1至3所示，图1为本实用新型提出的一种片状工件镀膜用装夹单元的立体结构示意图，图2为本实用新型提出的一种片状工件镀膜用装夹单元的剖视结构示意图，图3为本实用新型提出的一种片状工件镀膜用装夹组件的结构示意图。
参照图1和2，本实用新型提出的一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件，包括：下托盘、内挡圈、外挡圈、多个紧固件7；
外挡圈和内挡圈位于下托盘上方，外挡圈包括第一骨架31和套设在第一骨架31外部的外圈体32，外圈体32通过第一骨架31与下托盘固定连接；
内挡圈位于外圈体32内部，内挡圈包括多个内支撑件，多个内支撑件沿外圈体32圆周分布，内支撑件设有与外圈体32配合的内支撑部和沿径向向远离所述内支撑部方向延伸的滑槽2；
多个紧固件7安装在第一骨架31上，每个紧固件7与一个内支撑件的滑槽 2配合用于将内支撑件与第一骨架固定。
本实施例的片状工件镀膜用装夹单元的具体使用过程中，预先松开紧固件，将待镀膜片状工件10插入内支撑件和外圈体之间，使工件底部支撑在下托盘上，通过沿滑槽2移动内支撑件，使内支撑件的内支撑部与外圈体配合夹持工件两侧，然后通过紧固件将内支撑件在第一骨架上锁紧，实现对片状工件的夹紧。
在内支撑件的具体设计方式中，内支撑件包括上顶片21和下顶片22，上顶片21和下顶片22平行于下托盘且二者间隔设置，所述滑槽2设置在上顶片21 上，下顶片22通过螺柱4与上顶片21连接；一方面增大对工件内壁夹持面积，提高夹持稳定性，另一方面在二者之间形成散热间隙，提高散热效果。此外，通过调节螺柱，也可以调节上顶片和下顶片之间的间距，从而适配不同高度和尺寸的工件。
在紧固件的具体设计方式中，可采用螺杆和螺母配合，通过旋转螺母将内支撑件锁紧在第一骨架上；在实际使用中，上下顶片以及第一骨架和第二骨架，均通过螺柱连接，在实际使用过程中，只需更换不同高度尺寸的螺柱高度，就可以满足不同高度片装原件夹装的要求，快换安装，可以大大降低夹具本身的制造费用。
在进一步具体设计方式中，第一骨架31上还设有与滑槽2配合的滑柱6，滑柱与紧固件的螺杆配合，使得内支撑件只能沿滑槽2沿径向滑动，而不能发生偏转，从而保证夹持可靠性。
在其他具体实施方式中，所述内支撑部具有与外圈体32配合的弧形结构，增大夹持面积，进一步提高夹持可靠性。
在下托盘的具体设计方式中，下托盘包括与第一骨架31配合的第二骨架11 和套设在第二骨架11外部的支撑圈。
在支撑圈的具体实施方式中，支撑圈外周设有沿圆周分布的多个支撑凸条 12，相邻两个支撑凸条12间隔设置；在镀膜过程中，工件下端通过多个间隔设置的支撑凸条支撑，提高散热效果，同时除了朝向溅射源的镀层面以外，增大了镀层面周围的溅射镀膜区域，进而提高工件质量。
此外，在镀膜时，由于工件在高温环境中镀膜，因此温度工件镀膜质量存在影响，因此，在其他具体实施方式中，第一骨架31和外圈体32之间形成多个第一散热开口，相应地，第二骨架11和支撑圈之间形成多个第二散热开口；散热的同时，也能够实现夹具的轻量化。
在本实施例中，所提出的片状工件镀膜用装夹单元，内挡圈的多个内支撑件沿外圈体圆周分布，并且沿径向滑动安装在外挡圈的第一骨架上，下托盘位于内外挡圈下方，从而满足多品种多批次片状零件的快速装夹，可以大范围适应不同规格的片状零件要求，模块化的设计同时最大化的满足单盘的装片量，同时提供快速散热通道，夹具内部大面积无障碍气流通道，散热效果显著，此外夹具在前期的使用以及后期的维护和管理更加易操作，可大大的降低生产制造费用。
参照图3，本实施例还提出一种片状工件镀膜用装夹组件，包括至少一个上述的片状工件镀膜用装夹单元。
在具体设计中，本实施例还包括中心支杆5，下托盘中部设有与中心支杆5 配合的第一开口，第一骨架31上设有与中心支杆5配合的第二开口；多个所述装夹单元自上而下依次套设在中心支杆5外部，所述第一开口内壁设有第一限位结构，中心支杆5外壁设有与第一限位结构配合的第二限位结构；工作时，通过转动中心支杆，即可实现对多个装夹单元的驱动。此外，多个装夹单元的散热开口依次连通，可形成竖直的散热通道，便于镀膜完成后工件的快速有效散热。
在实现中心支杆带动装夹单元转动的实际设计中，第一限位结构和第二限位结构可设计为两个限位面配合，也可以设置为凸起凹槽配合。
通过上述设计的装夹组件，满足多品种多批次片状零件的快速装夹，同时提供快速散热通道，模块化的设计，通过调节内支撑件与外圈体之间的间隙，可以大范围适应不同规格的片状零件要求，同时最大化的满足单盘的装片量，以此夹具为单元，组合套入中心支杆使用，夹具组内部大面积无障碍气流通道，散热效果显著。夹具在前期的使用以及后期的维护和管理更加易操作，可大大的降低生产制造费用。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (11)
1.一种片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，包括：下托盘、内挡圈、外挡圈、多个紧固件(7)；
外挡圈和内挡圈位于下托盘上方，外挡圈包括第一骨架(31)和套设在第一骨架(31)外部的外圈体(32)，外圈体(32)通过第一骨架(31)与下托盘固定连接；
内挡圈位于外圈体(32)内部，内挡圈包括多个内支撑件，多个内支撑件沿外圈体(32)圆周分布，内支撑件设有与外圈体(32)配合的内支撑部和沿径向向远离所述内支撑部方向延伸的滑槽(2)；
多个紧固件(7)安装在第一骨架(31)上，每个紧固件(7)与一个内支撑件的滑槽(2)配合用于将内支撑件与第一骨架固定。
2.根据权利要求1所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，内支撑件包括上顶片(21)和下顶片(22)，上顶片(21)和下顶片(22)平行于下托盘且二者间隔设置，滑槽(2)设置在上顶片(21)上，下顶片(22)通过螺柱(4)与上顶片(21)连接。
3.根据权利要求1所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，所述内支撑部具有与外圈体(32)配合的弧形结构。
4.根据权利要求1所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，第一骨架(31)和外圈体(32)之间形成多个第一散热开口。
5.根据权利要求1或4所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，下托盘包括与第一骨架(31)配合的第二骨架(11)和套设在第二骨架(11)外部的支撑圈。
6.根据权利要求5所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，第二骨架(11)和支撑圈之间形成多个第二散热开口。
7.根据权利要求5所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，支撑圈外周设有沿圆周分布的多个支撑凸条(12)，相邻两个支撑凸条(12)间隔设置。
8.根据权利要求1所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，第一骨架(31)上还设有与滑槽(2)配合的滑柱(6)。
9.一种片状工件镀膜用装夹组件，其特征在于，包括至少一个根据权利要求1-8任一项所述的片状工件镀膜用装夹单元。
10.根据权利要求9所述的片状工件镀膜用装夹组件，其特征在于，还包括中心支杆(5)，下托盘中部设有与中心支杆(5)配合的第一开口，第一骨架(31)上设有与中心支杆(5)配合的第二开口。
11.根据权利要求10所述的片状工件镀膜用装夹组件，其特征在于，多个所述装夹单元自上而下依次套设在中心支杆(5)外部，所述第一开口内壁设有第一限位结构，中心支杆(5)外壁设有与第一限位结构配合的第二限位结构。
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| CN202120537708.6U CN216445454U (zh) | 2021-03-15 | 2021-03-15 | 一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件 |
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