CN216434187U - 一种半导体探针测试治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体探针测试治具，包括探针安装盘、探针、副测试台、主测试台和测试机箱，所述测试机箱的顶部通过铰接耳架设有可角度调节的顶架，所述主测试台与探针安装盘正对设置，且主测试台设为可自转结构，所述主测试台的边侧设有六个副测试台。该实用新型设有主测试台，在主测试台的边侧设有六个副测试台，且六个副测试台上设有测试件放置副槽，在主测试台上设有测试件放置主槽，通过此种设计的测试台可以进行不同部件的放置，使其可以对元件进行分开检测，且探针安装盘的底部设有七个探针，使其可以同时对电路板进行七个区域的同时测试，且主测试台与电机输出轴连接，使其可以自动控制主测试台旋转，使其方便测试。

Description

一种半导体探针测试治具

技术领域

本实用新型涉及测试治具相关领域，具体为一种半导体探针测试治具。

背景技术

半导体探针测试治具可以通过半导体探针对主板进行检测，在集成电路的研发、生产制造、实效分析过程中，经常要量测内部的电参数，由于制成的越来越低，没有办法用简单的万用表、示波器的表笔来探测信号。手动分析探针台能很好的帮助工程人员实现微小位置的电学参数测试。

目前阶段的治具无法同时进行多区域测试，需要逐步进行，由于电路板需要测试的位置会较多，导致其对于电路板的测试效率较低，测试过程无法进行多角度调节，使其在测试过程无法在不改变电路板位置时，对其不同位置进行检测，使用方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体探针测试治具，以解决上述背景技术中提出的治具无法同时进行多区域测试，需要逐步进行，由于电路板需要测试的位置会较多，导致其对于电路板的测试效率较低，测试过程无法进行多角度调节，使其在测试过程无法在不改变电路板位置时，对其不同位置进行检测，使用方便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体探针测试治具，包括探针安装盘、探针、副测试台、主测试台和测试机箱，所述测试机箱的顶部通过铰接耳架设有可角度调节的顶架，所述主测试台与探针安装盘正对设置，且主测试台设为可自转结构，所述主测试台的边侧设有六个副测试台，所述探针安装盘的底部设有七个可拆卸的探针。

在进一步的实施例中，所述测试机箱包括第二电推杆、连接轴和数据显示面板；

所述测试机箱的正面靠上位置处设有数据显示面板，所述测试机箱的一侧通过铰接方式设有第二电推杆，且第二电推杆的伸缩端与顶架的底部一端铰接；

所述连接轴设在测试机箱的底端，所述连接轴的底端与稳定底座连接。

在进一步的实施例中，所述顶架上靠前位置处设有第一电推杆，所述第一电推杆的伸缩端设与探针安装盘连接，所述探针安装盘的底部设有七个插孔，七个所述探针的一端与插孔插固连接。

在进一步的实施例中，还包括固定架，所述固定架上设有一体结构的电机罩，所述电机罩的内部设有电机，所述电机的输出轴与主测试台的底端中部安装套连接。

在进一步的实施例中，所述固定架的一端设有耳架，且耳架的一端与测试机箱的侧面靠下位置处螺栓固定，所述固定架的另一端设有支撑杆，所述支撑杆的一端与稳定底座连接。

在进一步的实施例中，所述副测试台的中部设有测试件放置副槽，所述主测试台的顶端中部设有测试件放置主槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该实用新型设有主测试台，在主测试台的边侧设有六个副测试台，且六个副测试台上设有测试件放置副槽，在主测试台上设有测试件放置主槽，通过此种设计的测试台可以进行不同部件的放置，使其可以对元件进行分开检测，且探针安装盘的底部设有七个探针，使其可以同时对电路板进行七个区域的同时测试，且主测试台与电机输出轴连接，使其可以自动控制主测试台旋转，使其方便测试。

2、该实用新型的顶架通过铰接耳架与测试机箱连接，使其可以对顶架的角度进行调节，在顶架上设有第一电推杆，且第一电推杆的一端与探针安装盘连接，使其可以带动调节探针安装盘的角度，方便配合副测试台使用。

附图说明

图1为本实用新型的一种半导体探针测试治具的结构示意图；

图2为本实用新型的顶架与测试机箱角度调节后的结构示意图；

图3为本实用新型的主测试台的俯视图；

图4为本实用新型的探针安装盘的仰视图；

图5为本实用新型的固定架的主视图。

图中：1、第一电推杆；2、顶架；3、探针安装盘；4、探针；5、副测试台；6、主测试台；7、固定架；8、支撑杆；9、电机；10、电机罩；11、稳定底座；12、连接轴；13、第二电推杆；14、数据显示面板；15、铰接耳架；16、测试机箱；17、测试件放置副槽；18、测试件放置主槽；19、耳架；20、插孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种半导体探针测试治具，包括探针安装盘3、探针4、副测试台5、主测试台6和测试机箱16，测试机箱16的顶部通过铰接耳架15设有可角度调节的顶架2，主测试台6与探针安装盘3正对设置，且主测试台6设为可自转结构，主测试台6的边侧设有六个副测试台5，探针安装盘3的底部设有七个可拆卸的探针4。

通过顶架2用以安装第一电推杆1，且可以带动第一电推杆1角度调节，通过主测试台6和副测试台5用以放置电路板和元件，通过探针安装盘3可以同时安装七个探针4，使其可以对电路板进行多处测试。

进一步，测试机箱16包括第二电推杆13、连接轴12和数据显示面板14；

测试机箱16的正面靠上位置处设有数据显示面板14，测试机箱16的一侧通过铰接方式设有第二电推杆13，且第二电推杆13的伸缩端与顶架2的底部一端铰接，通过数据显示面板14用以显示测试数据，通过第二电推杆13可以自动调节顶架2的角度；

连接轴12设在测试机箱16的底端，连接轴12的底端与稳定底座11连接。

进一步，顶架2上靠前位置处设有第一电推杆1，第一电推杆1的伸缩端设与探针安装盘3连接，探针安装盘3的底部设有七个插孔20，七个探针4的一端与插孔20插固连接，通过第一电推杆1可以调节探针安装盘3的高低，通过插孔20方便探针4的安装。

进一步，还包括固定架7，固定架7上设有一体结构的电机罩10，电机罩10的内部设有电机9，电机9的输出轴与主测试台6的底端中部安装套连接，通过固定架7用以通过电机罩10对电机9进行安装。

进一步，固定架7的一端设有耳架19，且耳架19的一端与测试机箱16的侧面靠下位置处螺栓固定，固定架7的另一端设有支撑杆8，支撑杆8的一端与稳定底座11连接，通过耳架19方便将固定架7与测试机箱16一侧螺栓固定，通过稳定底座11使测试机箱16可以稳定支撑。

进一步，副测试台5的中部设有测试件放置副槽17，主测试台6的顶端中部设有测试件放置主槽18。

工作原理：使用时，将多个探针4均插固在探针安装盘3的底部，将元件和电路板分别放置在副测试台5上的测试件放置副槽17和主测试台6上的测试件放置主槽18内，通过第二电推杆13控制顶架2的角度，使顶架2带动第一电推杆1角度调节，使第一电推杆1通过伸缩端控制探针安装盘3角度，使探针安装盘3对其上的探针4的角度进行调节，使其与元件或电路板所需测试位置进行检测，通过第一电推杆1调节探针4的高低，通过电机9自动控制主测试台6旋转控制，测试的数据传输至测试机箱16上，使测试机箱16将数据在数据显示面板14上显示，通过测试机箱16用以对第一电推杆1、电机9和第二电推杆13进行智能控制。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种半导体探针测试治具，包括探针安装盘(3)、探针(4)、副测试台(5)、主测试台(6)和测试机箱(16)，其特征在于：所述测试机箱(16)的顶部通过铰接耳架(15)设有可角度调节的顶架(2)，所述主测试台(6)与探针安装盘(3)正对设置，且主测试台(6)设为可自转结构，所述主测试台(6)的边侧设有六个副测试台(5)，所述探针安装盘(3)的底部设有七个可拆卸的探针(4)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体探针测试治具，其特征在于：所述测试机箱(16)包括第二电推杆(13)、连接轴(12)和数据显示面板(14)；

所述测试机箱(16)的正面靠上位置处设有数据显示面板(14)，所述测试机箱(16)的一侧通过铰接方式设有第二电推杆(13)，且第二电推杆(13)的伸缩端与顶架(2)的底部一端铰接；

所述连接轴(12)设在测试机箱(16)的底端，所述连接轴(12)的底端与稳定底座(11)连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体探针测试治具，其特征在于：所述顶架(2)上靠前位置处设有第一电推杆(1)，所述第一电推杆(1)的伸缩端设与探针安装盘(3)连接，所述探针安装盘(3)的底部设有七个插孔(20)，七个所述探针(4)的一端与插孔(20)插固连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体探针测试治具，其特征在于：还包括固定架(7)，所述固定架(7)上设有一体结构的电机罩(10)，所述电机罩(10)的内部设有电机(9)，所述电机(9)的输出轴与主测试台(6)的底端中部安装套连接。

5.根据权利要求4所述的一种半导体探针测试治具，其特征在于：所述固定架(7)的一端设有耳架(19)，且耳架(19)的一端与测试机箱(16)的侧面靠下位置处螺栓固定，所述固定架(7)的另一端设有支撑杆(8)，所述支撑杆(8)的一端与稳定底座(11)连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体探针测试治具，其特征在于：所述副测试台(5)的中部设有测试件放置副槽(17)，所述主测试台(6)的顶端中部设有测试件放置主槽(18)。

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