CN217443488U - 一种基于ccd实时监控的高低温探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及探针台技术领域，尤其涉及一种基于CCD实时监控的高低温探针台。其技术方案包括：工作平台，支撑台板的顶部固定安装有横纵滑动载物台，横纵滑动载物台的顶部固定安装伸缩气缸，且伸缩气缸的顶部固定安装有安装台板，工作平台的顶部固定安装有安装腔体，安装腔体内滑动安装有支撑板，支撑板上套装有安装框体，安装框体内通过连接柱贯穿安装有CCD摄像头，工作平台顶部的一侧固定安装有显示器。本实用新型通过CCD摄像头实现了对探针机构的实时监控，避免了传统的人为式实时观察监控的情况，便于人员无需靠近探针台即可得知实时情况；通过横纵滑动载物台使探针台可以根据实际作业需求对探针机构进行横纵调节。

Description

一种基于CCD实时监控的高低温探针台

技术领域

本实用新型涉及探针台技术领域，尤其涉及一种基于CCD实时监控的高低温探针台。

背景技术

高低温探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的工艺试验仪器，用于测试不同环境、不同温度条件下微结构半导体器件、微电子器件及材料电学特性表征。

经检索，专利公告号为CN211955566U公开了一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台的实用新型，包括真空腔体、三维移动机构、电学测试机构、光学测试机构和光学观察机构，真空腔体设置电信接口、冷源接口、抽气接口和三维移动机构接口，并且真空腔体内设置载物台，载物台设置冷源流通管道，真空腔体外的冷源装置通过循环管道与所述冷源流通管道相接，并且载物台底面设置加热部件，真空腔体通过真空接头把光电信号引入真空腔体内的同时也能保证真空腔体的真空度；制冷剂直接通过载物台循环，能够实现快速降温，同时配合加热部件，通过加热与降温交替进行，快速达到半导体的测试温度，大大缩减测试时间，提升半导体器件的测试效率。

现有的高低温探针台存在的缺陷是：

1、现有的高低温探针台在作业期间，需要人员消耗较多时间的进行实时观察，增加了人力的损耗，降低了实用效果；

2、现有的高低温探针台在作业期间，整体结构形态较为固定，无法更好的根据实际检测需求进行灵活调节，增加了作业期间的局限性。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对背景技术中存在的问题，提出一种基于CCD实时监控的高低温探针台。

本实用新型的技术方案：一种基于CCD实时监控的高低温探针台，包括工作平台，所述工作平台底部的四角固定安装有支撑腿，所述支撑腿之间固定安装有支撑台板，所述支撑台板的顶部固定安装有横纵滑动载物台，所述横纵滑动载物台的顶部固定安装伸缩气缸，且伸缩气缸的顶部固定安装有安装台板，所述工作平台的顶部固定安装有安装腔体，所述安装腔体内滑动安装有支撑板，所述支撑板上套装有安装框体，所述安装框体内通过连接柱贯穿安装有CCD摄像头，所述工作平台顶部的一侧固定安装有显示器。

使用人员对基于CCD实时监控的高低温探针台完整性进行检测作业，通过支撑腿实现对探针台的稳定支撑，通过支撑台板实现了作业器件的承载安装，通过横纵滑动载物台使探针台可以根据实际作业需求对探针机构进行横纵调节，通过伸缩气缸便于人员将探针结构进行安装固定，通过安装腔体、支撑板及安装框体组件的配合使探针台实现了XYZ轴的调节作业，通过CCD摄像头实现了对探针机构的实时监控，通过显示器可以将检测及监控的实时情况进行显示。

优选的，安装腔体内设有与支撑板滑动连接的滑动结构，安装腔体内安装有贯穿支撑板的第三螺纹调节杆。通过滑动结构保证支撑板在平移期间的稳定性，并且滑动结构通过滑槽及滑块组成，滑槽设置在安装腔体内的底部，通过滑块与支撑板滑动连接，通过第三螺纹调节杆的旋转实现对支撑板的横向平移调节。

优选的，支撑板的背面固定安装有两组安装块，安装块之间固定安装有贯穿安装框体的第二螺纹调节杆。通过安装块实现对第二螺纹调节杆的承接安装，通过第二螺纹调节杆进行旋转时带动安装框体进行上下调节，并且安装框体卡套在支撑板上，上下时通过支撑板进行限位。

优选的，横纵滑动载物台的顶部固定安装有与伸缩气缸连接的安装板，安装台板的顶部均匀分布有安装孔。通过安装板实现了横纵滑动载物台与伸缩气缸的承接安装，通过安装孔便于工作人员将需要检查的探针机构进行安装固定。

优选的，工作平台上设有操作口，工作平台的顶部固定安装有配合使用的探针座。通过操作口保证了工作平台下方结构的作业，通过探针座保证了人员对探针机构的安装固定。

优选的，支撑腿的底端套装有LED补光灯环，安装框体内固定安装有贯穿连接柱的第一螺纹调节杆。通过LED补光灯环可以对监控的区域进行补光照明，保证监控的清晰度，通过第一螺纹调节杆的旋转调节，实现了对连接柱的前后平移调节。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益的技术效果：

该基于CCD实时监控的高低温探针台通过CCD摄像头实现了对探针机构的实时监控，通过显示器可以将检测及监控的实时情况进行显示，两者之间的相互配合，避免了传统的人为式实时观察监控的情况，便于人员无需靠近探针台即可得知实时情况；通过横纵滑动载物台使探针台可以根据实际作业需求对探针机构进行横纵调节，使人员在调试期间更加方便快捷，通过伸缩气缸便于人员将探针结构进行安装固定，通过安装腔体、支撑板及安装框体组件的配合使探针台实现了XYZ轴的调节作业，确保探针台在进行检测期间的局限性降低。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的内部结构图；

图3为本实用新型的第一局部结构图；

图4为本实用新型的第二局部结构图；

图5为本实用新型的第三局部结构图。

附图标记：1、支撑台板；2、支撑腿；3、工作平台；4、安装腔体；401、第三螺纹调节杆；402、滑动结构；5、显示器；6、支撑板；601、第二螺纹调节杆；602、安装块；7、安装框体；701、第一螺纹调节杆；8、横纵滑动载物台；9、伸缩气缸；10、安装台板；11、探针座；12、CCD摄像头；1201、LED补光灯环；1202、连接柱。

具体实施方式

下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。

实施例一

如图1、2、3、4、5所示，本实用新型提出的一种基于CCD实时监控的高低温探针台，包括工作平台3，工作平台3底部的四角固定安装有支撑腿2，支撑腿2之间固定安装有支撑台板1，支撑台板1的顶部固定安装有横纵滑动载物台8，横纵滑动载物台8的顶部固定安装伸缩气缸9，且伸缩气缸9的顶部固定安装有安装台板10，工作平台3的顶部固定安装有安装腔体4，安装腔体4内滑动安装有支撑板6，支撑板6上套装有安装框体7，支撑板6的背面固定安装有两组安装块602，安装块602之间固定安装有贯穿安装框体7的第二螺纹调节杆601，安装框体7内通过连接柱1202贯穿安装有CCD摄像头12，支撑腿2的底端套装有LED补光灯环1201，安装框体7内固定安装有贯穿连接柱1202的第一螺纹调节杆701，工作平台3顶部的一侧固定安装有显示器5。

基于实施例1的基于CCD实时监控的高低温探针台工作原理是：使用人员对基于CCD实时监控的高低温探针台完整性进行检测作业，通过支撑腿2实现对探针台的稳定支撑，通过支撑台板1实现了作业器件的承载安装，通过横纵滑动载物台8使探针台可以根据实际作业需求对探针机构进行横纵调节，使人员在调试期间更加方便快捷，通过伸缩气缸9使探针台可以根据不同的尺寸高度进行针对调节，通过安装台板10便于人员将探针结构进行安装固定，通过安装腔体4、支撑板6及安装框体7组件的配合使探针台实现了XYZ轴的调节作业，通过安装块602实现对第二螺纹调节杆601的承接安装，通过第二螺纹调节杆601进行旋转时带动安装框体7进行上下调节，并且安装框体7卡套在支撑板6上，上下时通过支撑板6进行限位，确保探针台在进行检测期间的局限性降低，通过CCD摄像头12实现了对探针机构的实时监控，通过LED补光灯环1201可以对监控的区域进行补光照明，保证监控的清晰度，通过第一螺纹调节杆701的旋转调节，实现了对连接柱1202的前后平移调节，通过显示器5可以将检测及监控的实时情况进行显示，两者之间的相互配合，避免了传统的人为式实时观察监控的情况，便于人员无需靠近探针台即可得知实时情况。

实施例二

如图1、3、4、5所示，本实用新型提出的一种基于CCD实时监控的高低温探针台，相较于实施例一，本实施例还包括：安装腔体4内设有与支撑板6滑动连接的滑动结构402，安装腔体4内安装有贯穿支撑板6的第三螺纹调节杆401，横纵滑动载物台8的顶部固定安装有与伸缩气缸9连接的安装板，安装台板10的顶部均匀分布有安装孔。

本实施例中，通过滑动结构402保证支撑板6在平移期间的稳定性，并且滑动结构402通过滑槽及滑块组成，滑槽设置在安装腔体4内的底部，通过滑块与支撑板6滑动连接，通过第三螺纹调节杆401的旋转实现对支撑板6的横向平移调节，通过安装板实现了横纵滑动载物台8与伸缩气缸9的承接安装，通过安装孔便于工作人员将需要检查的探针机构进行安装固定。

上述具体实施例仅仅是本实用新型的几种优选的实施例，基于本实用新型的技术方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。

Claims (6)

1.一种基于CCD实时监控的高低温探针台，包括工作平台(3)，其特征在于：所述工作平台(3)底部的四角固定安装有支撑腿(2)，所述支撑腿(2)之间固定安装有支撑台板(1)，所述支撑台板(1)的顶部固定安装有横纵滑动载物台(8)，所述横纵滑动载物台(8)的顶部固定安装伸缩气缸(9)，且伸缩气缸(9)的顶部固定安装有安装台板(10)，所述工作平台(3)的顶部固定安装有安装腔体(4)，所述安装腔体(4)内滑动安装有支撑板(6)，所述支撑板(6)上套装有安装框体(7)，所述安装框体(7)内通过连接柱(1202)贯穿安装有CCD摄像头(12)，所述工作平台(3)顶部的一侧固定安装有显示器(5)。

2.根据权利要求1所述的一种基于CCD实时监控的高低温探针台，其特征在于：所述安装腔体(4)内设有与支撑板(6)滑动连接的滑动结构(402)，安装腔体(4)内安装有贯穿支撑板(6)的第三螺纹调节杆(401)。

3.根据权利要求1所述的一种基于CCD实时监控的高低温探针台，其特征在于：所述支撑板(6)的背面固定安装有两组安装块(602)，安装块(602)之间固定安装有贯穿安装框体(7)的第二螺纹调节杆(601)。

4.根据权利要求1所述的一种基于CCD实时监控的高低温探针台，其特征在于：所述横纵滑动载物台(8)的顶部固定安装有与伸缩气缸(9)连接的安装板，安装台板(10)的顶部均匀分布有安装孔。

5.根据权利要求1所述的一种基于CCD实时监控的高低温探针台，其特征在于：所述工作平台(3)上设有操作口，工作平台(3)的顶部固定安装有配合使用的探针座(11)。

6.根据权利要求1所述的一种基于CCD实时监控的高低温探针台，其特征在于：所述支撑腿(2)的底端套装有LED补光灯环(1201)，安装框体(7)内固定安装有贯穿连接柱(1202)的第一螺纹调节杆(701)。

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