CN216404594U - 一种扩散均匀且高效的扩散炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种扩散均匀且高效的扩散炉，包括底座，所述底座的顶部固定连接有扩散炉本体，所述底座内腔的顶部固定连接有调节壳，所述调节壳内腔的顶部固定连接有第一电机，所述第一电机输出端的两侧均固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面套设有螺纹套，所述螺纹套的底部活动连接有连接杆，所述连接杆的底部活动连接有压板。本实用新型通过设置第一电机、螺纹杆、螺纹套、连接杆、压板、支撑杆、稳定板、滑杆、滑套、齿板、第二电机、齿轮、移动轮、卡槽、气缸和卡杆，解决了现有扩散均匀且高效的扩散炉不便于进行位置转移的问题，该扩散均匀且高效的扩散炉，具备便于进行位置转移的优点，值得推广。

Description

一种扩散均匀且高效的扩散炉

技术领域

本实用新型涉及扩散炉技术领域，具体为一种扩散均匀且高效的扩散炉。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉有垂直扩散炉和水平扩散炉两种类型，现有的扩散均匀且高效的扩散炉存在一些问题，如不便于进行位置的转移，当需要对其进行转移时，需要借助吊装设备进行配合，增加工作人员的工作难度，不利于人们的使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扩散均匀且高效的扩散炉，具备便于进行位置转移的优点，解决了现有扩散均匀且高效的扩散炉不便于进行位置转移的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散均匀且高效的扩散炉，包括底座，所述底座的顶部固定连接有扩散炉本体，所述底座内腔的顶部固定连接有调节壳，所述调节壳内腔的顶部固定连接有第一电机，所述第一电机输出端的两侧均固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面套设有螺纹套，所述螺纹套的底部活动连接有连接杆，所述连接杆的底部活动连接有压板，所述压板的底部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的底部贯穿至底座的外侧，所述底座的底部设置有稳定板，所述稳定板的顶部与支撑杆固定连接，所述底座内腔的两侧均固定连接有控制箱，所述控制箱的底部贯穿至底座的外侧，所述控制箱内腔的顶部和底部之间固定连接有滑杆，所述滑杆的表面套设有滑套，两个滑套相对的一侧均贯穿至底座的内腔并固定连接有齿板，所述底座内腔的后侧且位于调节壳的两侧均固定连接有第二电机，所述第二电机输出端的前侧固定连接有齿轮，两个齿轮相反的一侧均与齿板啮合，所述滑套的底部固定连接有移动轮，所述移动轮的底部贯穿至控制箱的外侧，两个滑套相反的一侧均开设有卡槽，所述底座两侧的底部均设置有限位壳，两个限位壳相对的一侧均贯穿底座并与控制箱固定连接，所述限位壳内腔的底部固定连接有气缸，两个气缸相对一侧的输出端均固定连接有卡杆，所述卡杆远离气缸的一侧贯穿至控制箱的内腔。

优选的，所述扩散炉本体底部的两侧均固定连接有液压缸，所述液压缸输出端的底部固定连接有支撑板。

优选的，所述螺纹杆远离第一电机的一侧与调节壳的内壁活动连接，所述连接杆的顶部和底部与螺纹套和压板均通过转轴活动连接。

优选的，所述底座的底部开设有与支撑杆配合使用的第一开口，两个压板相反的一侧均固定连接有滑块，所述调节壳内腔的两侧均开设有与滑块配合使用的滑槽。

优选的，所述滑套的顶部固定连接有拉簧，所述拉簧的顶部与控制箱的内壁固定连接，所述控制箱的底部开设有与移动轮配合使用的第二开口。

优选的，所述稳定板的底部固定连接有防滑垫，所述底座正表面的两侧均开设有散热口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置第一电机、螺纹杆、螺纹套、连接杆、压板、支撑杆、稳定板、滑杆、滑套、齿板、第二电机、齿轮、移动轮、卡槽、气缸和卡杆，解决了现有扩散均匀且高效的扩散炉不便于进行位置转移的问题，该扩散均匀且高效的扩散炉，具备便于进行位置转移的优点，值得推广。

2、本实用新型通过设置螺纹杆，能够与第一电机配合控制螺纹套和连接杆的使用位置，通过设置支撑杆，能够与压板配合控制稳定板的使用位置，通过设置滑杆和滑套，能够与齿板配合控制移动轮的使用高度，通过设置卡槽，能够与卡杆配合控制滑套的使用位置，通过设置液压缸和支撑板，能够方便移动轮的使用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构主视图；

图3为本实用新型底座的侧视局部剖视图。

图中：1、底座；2、扩散炉本体；3、调节壳；4、第一电机；5、螺纹杆；6、螺纹套；7、连接杆；8、压板；9、支撑杆；10、稳定板；11、控制箱；12、滑杆；13、滑套；14、齿板；15、第二电机；16、齿轮；17、移动轮；18、卡槽；19、限位壳；20、气缸；21、卡杆；22、液压缸；23、支撑板；24、拉簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-3，一种扩散均匀且高效的扩散炉，包括底座1，底座1的顶部固定连接有扩散炉本体2，底座1内腔的顶部固定连接有调节壳3，调节壳3内腔的顶部固定连接有第一电机4，第一电机4输出端的两侧均固定连接有螺纹杆5，螺纹杆5的表面套设有螺纹套6，螺纹套6的底部活动连接有连接杆7，连接杆7的底部活动连接有压板8，压板8的底部固定连接有支撑杆9，支撑杆9的底部贯穿至底座1的外侧，底座1的底部设置有稳定板10，稳定板10的顶部与支撑杆9固定连接，底座1内腔的两侧均固定连接有控制箱11，控制箱11的底部贯穿至底座1的外侧，控制箱11内腔的顶部和底部之间固定连接有滑杆12，滑杆12的表面套设有滑套13，两个滑套13相对的一侧均贯穿至底座1的内腔并固定连接有齿板14，底座1内腔的后侧且位于调节壳3的两侧均固定连接有第二电机15，第二电机15输出端的前侧固定连接有齿轮16，两个齿轮16相反的一侧均与齿板14啮合，滑套13的底部固定连接有移动轮17，移动轮17的底部贯穿至控制箱11的外侧，两个滑套13相反的一侧均开设有卡槽18，底座1两侧的底部均设置有限位壳19，两个限位壳19相对的一侧均贯穿底座1并与控制箱11固定连接，限位壳19内腔的底部固定连接有气缸20，两个气缸20相对一侧的输出端均固定连接有卡杆21，卡杆21远离气缸20的一侧贯穿至控制箱11的内腔，扩散炉本体2底部的两侧均固定连接有液压缸22，液压缸22输出端的底部固定连接有支撑板23，螺纹杆5远离第一电机4的一侧与调节壳3的内壁活动连接，连接杆7的顶部和底部与螺纹套6和压板8均通过转轴活动连接，底座1的底部开设有与支撑杆9配合使用的第一开口，两个压板8相反的一侧均固定连接有滑块，调节壳3内腔的两侧均开设有与滑块配合使用的滑槽，滑套13的顶部固定连接有拉簧24，拉簧24的顶部与控制箱11的内壁固定连接，控制箱11的底部开设有与移动轮17配合使用的第二开口，稳定板10的底部固定连接有防滑垫，底座1正表面的两侧均开设有散热口，通过设置螺纹杆5，能够与第一电机4配合控制螺纹套6和连接杆7的使用位置，通过设置支撑杆9，能够与压板8配合控制稳定板10的使用位置，通过设置滑杆12和滑套13，能够与齿板14配合控制移动轮17的使用高度，通过设置卡槽18，能够与卡杆21配合控制滑套13的使用位置，通过设置液压缸22和支撑板23，能够方便移动轮17的使用，通过设置第一电机4、螺纹杆5、螺纹套6、连接杆7、压板8、支撑杆9、稳定板10、滑杆12、滑套13、齿板14、第二电机15、齿轮16、移动轮17、卡槽18、气缸20和卡杆21，解决了现有扩散均匀且高效的扩散炉不便于进行位置转移的问题，该扩散均匀且高效的扩散炉，具备便于进行位置转移的优点，值得推广。

使用时，当需要对扩散炉本体2进行位置转移时，开启第二电机15，第二电机15与齿轮16配合带动齿板14移动，齿板14与滑套13配合拉伸拉簧24并带动移动轮17移动出控制箱11的内腔，当卡槽18与卡杆21处于同一水平位置时，开启气缸20，气缸20带动卡杆21进入卡槽18的内腔，控制滑套13和移动轮17的使用位置，随后开启第一电机4，第一电机4与螺纹杆5配合带动螺纹套6和连接杆7移动，连接杆7与压板8和支撑杆9配合带动稳定板10不与地面接触，同时开启液压缸22，液压缸22带动支撑板23不与地面接触，随后即可通过移动轮17的配合对扩散炉本体2进行位置转移，不需要使用吊装设备，省时省力。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种扩散均匀且高效的扩散炉，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部固定连接有扩散炉本体（2），所述底座（1）内腔的顶部固定连接有调节壳（3），所述调节壳（3）内腔的顶部固定连接有第一电机（4），所述第一电机（4）输出端的两侧均固定连接有螺纹杆（5），所述螺纹杆（5）的表面套设有螺纹套（6），所述螺纹套（6）的底部活动连接有连接杆（7），所述连接杆（7）的底部活动连接有压板（8），所述压板（8）的底部固定连接有支撑杆（9），所述支撑杆（9）的底部贯穿至底座（1）的外侧，所述底座（1）的底部设置有稳定板（10），所述稳定板（10）的顶部与支撑杆（9）固定连接，所述底座（1）内腔的两侧均固定连接有控制箱（11），所述控制箱（11）的底部贯穿至底座（1）的外侧，所述控制箱（11）内腔的顶部和底部之间固定连接有滑杆（12），所述滑杆（12）的表面套设有滑套（13），两个滑套（13）相对的一侧均贯穿至底座（1）的内腔并固定连接有齿板（14），所述底座（1）内腔的后侧且位于调节壳（3）的两侧均固定连接有第二电机（15），所述第二电机（15）输出端的前侧固定连接有齿轮（16），两个齿轮（16）相反的一侧均与齿板（14）啮合，所述滑套（13）的底部固定连接有移动轮（17），所述移动轮（17）的底部贯穿至控制箱（11）的外侧，两个滑套（13）相反的一侧均开设有卡槽（18），所述底座（1）两侧的底部均设置有限位壳（19），两个限位壳（19）相对的一侧均贯穿底座（1）并与控制箱（11）固定连接，所述限位壳（19）内腔的底部固定连接有气缸（20），两个气缸（20）相对一侧的输出端均固定连接有卡杆（21），所述卡杆（21）远离气缸（20）的一侧贯穿至控制箱（11）的内腔。

2.根据权利要求1所述的一种扩散均匀且高效的扩散炉，其特征在于：所述扩散炉本体（2）底部的两侧均固定连接有液压缸（22），所述液压缸（22）输出端的底部固定连接有支撑板（23）。

3.根据权利要求1所述的一种扩散均匀且高效的扩散炉，其特征在于：所述螺纹杆（5）远离第一电机（4）的一侧与调节壳（3）的内壁活动连接，所述连接杆（7）的顶部和底部与螺纹套（6）和压板（8）均通过转轴活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种扩散均匀且高效的扩散炉，其特征在于：所述底座（1）的底部开设有与支撑杆（9）配合使用的第一开口，两个压板（8）相反的一侧均固定连接有滑块，所述调节壳（3）内腔的两侧均开设有与滑块配合使用的滑槽。

5.根据权利要求1所述的一种扩散均匀且高效的扩散炉，其特征在于：所述滑套（13）的顶部固定连接有拉簧（24），所述拉簧（24）的顶部与控制箱（11）的内壁固定连接，所述控制箱（11）的底部开设有与移动轮（17）配合使用的第二开口。

6.根据权利要求1所述的一种扩散均匀且高效的扩散炉，其特征在于：所述稳定板（10）的底部固定连接有防滑垫，所述底座（1）正表面的两侧均开设有散热口。

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