CN216354254U - 一种电子元件的转移系统 - Google Patents

Abstract

一种电子元件的转移系统，包括批量转移系统和补充转移系统，所述批量转移系统和所述补充转移系统均包括至少一个光照系统，至少一个承载系统，所述承载系统包括供应基件承载台和接收基件承载台，所述供应基件承载台支撑供应基件，所述接收基件承载台支撑接收基件，所述转移系统还包括控制系统，所述控制系统控制所述批量转移系统和所述补充转移系统，在所述批量转移系统和所述补充转移系统之间传输供应基件和接收基件电子元件的信息。合理利用供应基件，保证电子元件利用率。

Description

一种电子元件的转移系统

技术领域

本发明涉及电子元件的转移系统，尤其是对于巨大数量的微米级小尺寸电子元件的转移系统。

背景技术

显示装置应用于工作生活中的方方面面，其中LED显示装置具有高亮度、工作电压低、功耗小、寿命长、耐冲击、性能稳定等优点应用于室内外多个场景，随着芯片尺寸缩小和封装水平的提高，更小尺寸的Mini-LED、Micro-LED应用于显示装置中，相较于常规尺寸的LED，清晰度更高、对比度更高、可视角度更开阔等优点，成为新一代的显示技术。因Mini-LED、Micro-LED尺寸微缩，能够显著提高的显示分辨率和画质，但同时因其尺寸微缩，在生产过程中，需要在衬底上制造完成后进行分离，转移到基件上进行组装，尤其是对于Micro-LED来说，转移的数量是巨大的，而且要保证转移的准确性和速率，这是目前微小尺寸LED所面临的难题。

发明内容

本发明提供一种能够准确快速转移微小芯片的系统。

为了实现上述目的，本发明提供一种电子元件的转移系统，其特征在于：其包括批量转移系统和补充转移系统，所述批量转移系统和所述补充转移系统均包括至少一个光照系统，至少一个承载系统，所述承载系统包括供应基件承载台和接收基件承载台，所述供应基件承载台支撑供应基件，所述接收基件承载台支撑接收基件，所述转移系统还包括控制系统，所述控制系统控制所述批量转移系统和所述补充转移系统，在所述批量转移系统和所述补充转移系统之间传输供应基件和接收基件电子元件的信息。

所述光照系统包含至少一个光照装置。

所述光照装置包括光源组件、空间光调制元件和投影组件，所述光源组件发出的光线经空间光调制元件和投影组件部分或全部的投射至供应基件。

所述控制系统接收供应基件的侦测信息、位置信息以及接收基件的位置信息，根据所述供应基件和接收基件的位置信息调整所述供应基件和接收基件的位置，根据所述供应基件的侦测信息，控制所述空间光调制元件，使得供应基件上合格的电子元件转移至接收基件的相应位置。

所述补充转移系统中光照系统包含的光照装置的数量小于所述批量转移系统中光照装置的数量。

所述供应基件承载台的数量根据所述电子元件的种类设置。

所述接收基件承载台与所述供应基件承载台一一对应设置。

所述承载系统包括至少两个供应基件承载台和一个接收基件承载台，所述控制系统控制所述供应基件承载台分别移动至所述接收基件承载台上方，实现供应基件和接收基件的对准。

所述承载系统包括至少两个供应基件承载台和一个接收基件承载台，所述控制系统控制所述接收基件承载台分时移动至所述接收基件承载台下方，实现供应基件和接收基件的对准。

所述控制系统包括批量转移控制系统和补充转移控制系统，所述批量转移控制系统根据所述供应基件转移至接收基件的电子元件信息，更新供应基件和接收基件的电子元件的信息，并传输至补充转移系统，所述补充转移控制系统接收更新的供应基件和接收基件的电子元件的信息，控制所述补充转移系统的光照系统和承载系统，最大限度在所述接收基件空缺电子元件的位置匹配所述补充供应基件的合格电子元件。

与现有技术相比，本发明的电子元件转移系统利用空间光调制元件实现电子元件有选择性的转移，通过合理利用供应基件，在保证电子元件利用率的基础上，保证电子元件的转移效率。

附图说明

图1是接收基件示意图。

图2是接收基件制作流程示意图。

图3是供应基件示意图。

图4是转移系统框图结构示意图。

图5是转移系统中光照系统示意图一。

图6是转移系统中光照系统示意图二。

图7是转移系统第一实施例示意图。

图8是转移系统第二实施例示意图。

图9是转移系统第二实施例流程示意图。

图10是转移系统第三实施例示意图。

图11是电子元件批量转移示意图一。

图12是电子元件批量转移示意图二。

图13是供应基件和接收基件示意图。

图14是转移装置第一实施例示意图。

图15是转移装置第二实施例示意图。

具体实施方式

随着电子元件尺寸的减小，电子元件转移的问题越来越突出，若采用拾取的方式进行电子元件的转移，无法在转移的过程中剔除不合格的产品，且效率较低。尤其是对于一个基件上包含多种数量巨大的电子元件时，问题更加突出。为了实现高效率的多个种类的电子元件的转移，本发明提供一种电子元件的转移系统和转移方法。

如图1-2所示，本发明的一个实施例，所述接收基件1中包括阵列排列的标准电子元件10，所述标准电子元件10包括依序排列的第一电子元件11、第二电子元件12、第三电子元件13。所述接收基件1中电子元件（11、12、13）的排列方式仅是示例性的，所述电子元件（11、12、13）的排列方式可以采用其他的排列方式，如第一电子元件11、第二电子元件12和第三电子元件13构成三角排列。

在制作所述接收基件1时，第一电子元件11、第二电子元件12和第三电子13元件分别来自不同的供应基件2，所述第一电子元件11、第二电子元件12和第三电子元件13需要顺序安装至所述接收基件1，即先在接收基件1上完成或基本完成第一电子元件11的安装，再进行第二电子元件12的安装，最后进行第三电子元件13的安装。由于所述第一电子元件11、第二电子元件12、第三电子元件13尺寸微小，通常在几微米至几十微米之间，需转移到接收基件1的电子元件（11、12、13）的数量是巨大的。

如图3所示，所述供应基件2包括支撑层20和释放层21，所述支撑层20为透光材质，所述释放层21附接电子元件22，所述电子元件22是第一电子元件11、第二电子元件12、第三电子元件13的任意一种。所述释放层21受到光线照射的区域，电子元件的粘附力降低，使得所述电子元件脱离所述供应基件2转移至所述接收基件1。

如图4-9所示，将所述供应基件上的电子元件转移到接收基件的转移系统包括批量转移系统、补充转移系统和控制系统，所述控制系统包括批量转移控制系统和补充转移控制系统，所述批量转移控制系统控制所述批量转移系统，所述补充转移控制系统控制所述补充转移系统，所述批量转移控制系统输出信息至所述补充转移控制系统。

如图5-7所示，为所述转移系统的第一实施例，所述转移系统包括批量转移系统100、补充转移系统200所述批量转移系统包括第一批量转移系统101、第二批量转移系统102和第三批量转移系统103。

所述第一批量转移系统101包括光照系统30和承载系统31，所述光照系统30包括光源组件（未示出）、空间光调制元件32和投影组件33。所述光源组件发出的光线投射至空间光调制元件32，经过空间光调制元件32对光线路径选择，部分光线经投影组件33入射至供应基件1，使得附接于所述供应基件1上的第一电子元件11有选择的落入接收基件1。一组光源组件、空间光调制元件32、投影组件33构成一个光照装置，所述光照系统30中可以包含多个光照装置。所述光源组件中包括光源和光学处理组件，所述光学处理组件对光源发出的光线进行光学处理获得所需的光线，所述光学处理组件包括用于匀光的光学元件，如匀光棒、复眼透镜等。所述空间光调制元件32能够根据数字图像在二维或者一维方向上对入射光进行调制，进而有选择的使部分或全部光线投射至基件中需要照射的部位，如：数字微镜器件（DMD）依据数字图像通过控制阵列排列的微反射镜的旋转角度，控制光线射出的路径，实现对入射光线的二维控制。

所述光照装置中也可以包含其他的光学元件，如在光源组件和空间光调制元件之间设置TIR棱镜。所述光源根据所述供应基件中释放层的特性选择红外激光或者紫外激光。

所述承载系统31包括供应基件承载台34和接收基件承载台35，所述承载系统31使得供应基件2和接收基件1能够相对运动，包括多种实现方式，如：所述供应基件承载台34在一个方向调节所述供应基件2和所述接收基件1的位置，所述接收基件承载台35在另一方向调节所述供应基件2和所述接收基件1的位置；所述供应基件承载台34和/或所述接收基件承载台35在两个方向调节所述供应基件2和所述接收基件1的位置；以及其他使得供应基件2和接收基件1相对运动的方式。所述供应基件承载台34和所述接收基件承载台35能够同步运动。

所述批量转移系统还包括对位系统，所述对位系统包括图像识别装置和/或图像获取装置。所述供应基件2和所述接收基件1上设有对位标记，通过所述对位系统获取所述供应基件和所述接收基件之间的位置偏差，对所述供应基件和所述接收基件进行对位。

所述第二批量转移系统102和所述第三批量转移系统103具有与第一批量转移系统相同的结构。所述接收基件1自第一批量转移系统101完成第一电子元件11的批量转移，移动至第二批量转移系统102；所述接收基件1在第二批量转移系统102完成第二电子元件12的批量转移，移动至第三批量转移系统103；所述接收基件1在第三批量转移系统103完成第三电子元件13的批量转移。所述接收基件1在所述第一批量转移系统101、第二批量转移系统102和第三批量转移系统103之间通过流转台进行转移或者通过机械手臂进行转移，所述流转台带动所述接收基件进行线性移动，所述机械手臂自前一工位抓取接收基件，放置于下一工位。

所述补充转移系统200包括第一补充转移系统201、第二补充转移系统202和第三补充转移系统203，具有与第一批量转移系统101相同的光照系统和承载系统，根据需要释放的电子元件的数量以及区域。所述第一补充转移系统201、第二补充转移系统202和第三补充转移系统203中所述光照系统中光照装置的数量可以不同于所述第一批量转移系统101，所述光照系统中可仅包含一个光照装置。

所述接收基件1自所述批量转移系统100流转至所述补充转移系统200，所述第一补充转移系统201完成第一电子元件11的补充转移，即将第一电子元件11补充转移至接收基件中第一电子元件空缺的位置，然后所述接收基件1移动至第二补充转移系统202，完成第二电子元件12的补充转移，最后所述接收基件1移动至第三补充转移系统203，完成第三电子元件13的补充转移，完成接收基件1的电子元件转移过程。

所述批量转移控制系统接收供应基件2的侦测信息以及关于供应基件2和接收基件1的对位信息，根据所述供应基件2和接收基件1的对位信息调整所述供应基件2和接收基件1的位置，根据所述供应基件2的侦测信息，控制所述空间光调制元件，使得供应基件2上合格的电子元件转移至接收基件1的相应位置。

所述批量转移控制系统记录供应基件2完成转移后所述供应基件2的电子元件的信息以及所述接收基件1的电子元件的信息。所述供应基件2的电子元件信息包括电子元件的数量信息、位置信息、电子元件的转移信息、电子元件的性能信息等，所述电子元件的性能信息包括电子元件是否为合格电子元件。所述接收基件1的电子元件的信息包括电子元件预定位置信息和预定位置是否具有电子元件信息，所述预定位置是否具有电子元件的信息包括接收基件1空缺电子元件的位置信息。

所述补充转移控制系统获得补充转移系统中补充供应基件的电子元件的信息，所述补充供应基件的电子元件的信息包括电子元件的数量信息、位置信息和电子元件的性能信息等，所述电子元件的性能信息包括电子元件是否为合格电子元件。根据接收基件的电子元件的信息和所述补充转移系统的补充供应基件的电子元件的信息，所述补充转移控制系统控制所述补充转移系统将合格的电子元件补充至接收基件1中电子元件空缺的位置。

若所述批量转移的供应基件中的合格电子元件未全部转移至接收基件，所述批量转移控制系统依据所述供应基件中电子元件的信息和完成批量转移的接收基件1的电子信息的比对结果，判断其是否可以作为补充转移系统中的补充供应基件，或者所述控制系统依据所述供应基件中合格电子原件的信息判断其是否可以作为补充转移系统中的补充供应基件，判断方法为依据所述供应基件中合格电子元件的数量是否在阈值范围内。若大于所述阈值，则可以作为补充供应基件应用于补充转移系统中。若小于所述阈值，则不能作为补充供应基件，移出转移系统。通过上述方式充分利用供应基件中的合格电子元件，同时保证转移效率。

如图8-9所示，为所述转移系统的第二实施例，所述转移系统包括批量转移系统300和补充转移系统400，所述批量转移系统300包括光照系统301和承载系统302，所述光照系统301与前述实施例相同，所述承载系统302包括供应基件承载台303和接收基件承载台304。所述供应基件承载台303包括第一供应基件承载台305、第二供应基件承载台306和第三供应基件承载台307，所述第一供应基件承载台305用于放置具有第一电子元11件的第一供应基件110，所述第二供应基件承载台306用于放置具有第二电子元件12的第二供应基件120，所述第三供应基件承载台307用于放置具有第三电子元件13的第三供应基件130，所述第一供应基件承载台305、第二供应基件承载台306和第三供应基件承载台307分别移动至所述接收基件承载台304的上方，完成第一电子元件11、第二电子元件12和第三电子元件13的转移。

相应的所述补充转移系统也包括三个供应基件承载台，分别移动至接收基件承载台的上方，完成电子元件的补充。

如图10所示，为所述转移系统的第三实施例，所述转移系统包括批量转移系统500和补充转移系统600，所述批量转移系统500包括光照系统501和承载系统502，所述光照系统501与前述实施例相同，所述承载系统502包括供应基件承载台503和接收基件承载台504。通过机械手臂将第一供应基件110、第二供应基件120和第三供应基件130依次放置于所述供应基件承载台503，完成第一电子元件11、第二电子元件12和第三电子元件13的批量转移。

相应的所述补充转移系统也采用批量转移系统相同的结构，分别将第一补充供应基件210、第二补充供应基件220和第三补充供应基件230放置于补充供应基件承载台601，完成电子元件的补充转移。

上述三个实施例中批量转移系统和补充转移系统的结构可以任意组合，所述批量转移系统和所述补充转移系统不必采用相同的机构，如：所述批量转移系统可以采用实施例一中批量转移系统的机构，补充转移系统可以采用实施例二中补充转移系统的结构。

具体的转移流程如下。

供应基件制作

在基底上制作多个独立的电子元件，所述电子元件之间彼此分隔。利用中间件具有释放层的一侧贴附所述电子元件，通过机械剥离、化学蚀刻等方式使得电子元件与基底分离，所述电子元件附接于所述中间件，所述中间件和所述电子元件构成供应基件。

通过上述方式分别获得第一电子元件11的第一供应基件110、第二电子元件12的第二供应基件120和第三电子元件13的第三供应基件130。

分别对第一供应基件110、第二供应基件120和第三供应基件130的电子元件进行侦测，获知第一供应基件110、第二供应基件120和第三供应基件130的侦测信息，所述侦测信息中包含合格电子元件和不合格电子元件的位置信息。根据第一供应基件的侦测信息，获得第一供应基件110的第一电子元件信息，根据第二供应基件120的侦测信息，获得第二供应基件120的第二电子元件信息，根据第三供应基件130的侦测信息，获得第三供应基件130的第三电子元件信息。所述第一电子元件信息、第二电子元件信息和第三电子元件信息包括所述电子元件的位置信息和性能信息。

电子元件批量转移

依次进行第一电子元件11、第二电子元件12和第三电子元件13的批量转移。

首先进行第一电子元件11的批量转移。所述第一供应基件110与接收基件1进行对位，所述批量转移控制系统根据第一图像以及所述第一供应基件110与接收基件1的对位信息获得第一光调制图像，根据所述第一光调制图像控制空间光调制元件，经过多次刷新所述空间光调制元件，对应调整所述光照系统和所述承载系统之间的位置关系，使得对应于合格电子元件的光线投射至所述第一供应基件，第一供应基件110上合格的第一电子元件11转移至接收基件1，而对应于不合格电子元件的光线偏出，使得不合格的第一电子元件11留存于所述第一供应基件110，完成接收基件第一电子元件的全部转移。完成第一电子元件11的转移后，所述批量转移控制系统更新所述第一供应基件的电子元件信息，并输出所述接收基件1中空缺第一电子元件的信息，所述空缺第一电子元件的信息包括确实第一电子元件的位置信息。根据所述第一供应基件的电子元件的信息判断其是否继续应用于所述批量转移系统，若所述第一供应基件能够满足接收基件的第一电子元件的批量转移，则无需更换第一供应基件；反之，则不能够应用，进一步判断其是否能够应用于补充转移系统，若所述第一供应基件中合格电子元件的数量在阈值范围内，则转移所述第一供应基件至补充转移系统，将所述第一供应基件转移至补充转移系统作为第一补充转移基件，若不能够应用于补充转移系统，则移出所述转移系统。所述阈值为接收基件在完成批量电子元件转移后需补充电子元件的平均值，或者所述阈值根据供应基件制作过程中的不良率确定。

完成第一电子元件11的批量转移后，所述第二供应基件120与所述接收基件1进行对位，进行第二电子元件12的批量转移，与第一电子元件11批量转移的方式相同，所述批量转移控制系统根据第二图像以及所述第二供应基件120与接收基件1的对位信息获得第二光调制图像，根据所述第二光调制图像控制空间光调制元件，经过多次刷新所述空间光调制元件，对应调整所述光照系统和所述承载系统之间的位置关系，使得对应于合格电子元件的光线投射至所述第二供应基件120，第二供应基件120上合格的第二电子元件12转移至接收基件1，而对应于不合格电子元件的光线偏出，使得不合格的第二电子元件12留存于所述第二供应基件120，完成接收基件1第二电子元件12的全部转移。完成第二电子元件12的转移后，所述批量转移控制系统更新所述第二供应基件的电子元件信息，并输出所述接收基件1中空缺第二电子元件的信息，根据所述第二供应基件的电子元件的信息判断其是否继续应用于所述批量转移系统，若不能够应用于所述批量转移系统，则进一步判断其是否可用于所述补充转移系统。

完成第二电子元件的批量转移后，将第三供应基件130与所述接收基件1对位，进行第三电子元件13的批量转移，与第一电子元件11批量转移的方式相同，所述批量转移控制系统根据第三图像以及所述第三供应基件130与接收基件1的对位信息获得第三光调制图像，根据所述第三光调制图像控制空间光调制元件，经过多次刷新所述空间光调制元件，对应调整所述光照系统和所述承载系统之间的位置关系，使得对应于合格电子元件的光线投射至所述第三供应基件130，第三供应基件130上相应位置合格的第三电子元件13转移至接收基件1，而对应于不合格电子元件的光线偏出，使得不合格的第三电子元件13留存于所述第三供应基件130，完成接收基件第三电子元件的全部转移。完成第三电子元件13的转移后，所述批量转移控制系统更新所述第三供应基件130的电子元件信息，并输出所述接收基件中空缺第三电子元件的信息，根据所述第三供应基件130的电子元件的信息判断其是否继续应用于所述批量转移系统，若不能够应用于所述批量转移系统，则进一步判断其是否可用于所述补充转移系统。

第一电子元件11、第二电子元件12和第三电子元件13的批量转移可以采用所述第一供应基件110、第二供应基件120和第三供应基件130位置固定，所述接收基件1先移动至第一供应基件110位置处，完成第一电子元件11的批量转移，然后移动至第二供应基件120位置处，完成第二电子元件12的批量转移，再移动至第三供应基件130位置处，完成第三电子元件13的批量转移。也可以采用接收基件1相对位置固定，所述第一供应基件110、第二供应基件120和第三供应基件130分别移动至所述接收基件1的上方，完成第一电子元件11、第二电子元件12和第三电子元件13的批量转移。

电子元件的补充转移

完成第一电子元件11、第二电子元件12和第三电子元件13的批量转移后，针对接收基件1中对应于第一供应基件110、第二供应基件120、第三供应基件130中不合格电子元件的位置处，需要补充合格的电子元件。通过第一补充供应基件210、第二补充供应基件220和第三补充供应基件230对接收基件1进行电子元件的补充。所述第一补充供应基件210、第二补充供应基件220和第三补充供应基件230来自批量转移系统或者未使用的新的供应基件，对于新的供应基件同样需要进行电子元件的侦测，获知合格电子元件和不合格电子元件的信息。

通过所述第一补充供应基件210对接收基件1的第一电子元件11进行补充时，所述补充转移控制系统接收来自批量转移控制系统的接收基件第一电子元件的空缺信息，获取所述第一补充供应基件的电子元件信息。所述第一补充供应基件210与接收基件1进行对位，所述补充转移控制系统根据所述第一补充供应基件的电子元件信息、所述接收基件1中第一电子元件的空缺信息以及所述第一补充供应基件210与接收基件1的对位信息获得第一补充光调制图像，根据所述第一补充光调制图像控制空间光调制元件，经过多次刷新所述空间光调制元件，对应调整所述光照系统和所述承载系统之间的位置关系。若接收基件1中待补充的第一电子元件11的位置可以完全对应于第一补充供应基件210中的合格电子产品的位置，可以只整体移动所述承载系统，完成第一电子元件11的补充。若通过整体移动所述承载系统无法完成第一电子元件11的补充，在完成整体移动承载系统的第一电子元件11的补充后，更新所述第一补充供应基件210的电子元件信息以及所述接收基件中空缺电子元件的信息，所述补充转移控制系统根据更新后的所述第一补充供应基件210的电子元件信息和所述接收基件空缺电子元件的信息，最大限度在所述接收基件空缺电子元件的位置匹配所述第一补充供应基件的合格电子元件，调整所述补充供应基件210和所述接收基件1的相对位置，使得第一补充供应基件210中合格的第一电子元件11的补充至接收基件1的相应位置，完成全部的第一电子元件11的补充。所述批量转移控制系统更新所述第一补充供应基件210的电子元件信息，供下一次进行第一电子元件11补充转移时调用。所述最大限度在所述接收基件1空缺电子元件的位置匹配所述第一补充供应基件210的合格电子元件是指在通过调整所述补充供应基件210和所述接收基件1的相对位置后，无需再次调整所述补充供应基件210和所述接收基件1的相对位置，可以完成所述接收基件中第一电子元件补充的百分比最高。最大限度在所述接收基件1空缺电子元件的位置匹配所述第一补充供应基件210的合格电子元件能够减少所述补充给供应基件210和所述接收基件1相对移动的次数。在所述接收基件上空缺的电子元件的数量达到预定值，所述第一补充供应基件210无法通过一次调整和所述接收基件1的相对位置关系完成在所述接收基件上全部空缺的第一电子元件的补充时，更换所述补充供应基件210。在保证电子元件利用率的基础上，保证电子元件的转移效率。

完成第一电子元件11的补充转移后，通过所述第二补充供应基件220对接收基件1进行第二电子元件12的补充，第二电子元件12的补充方式与所述第一电子元件11的补充方式相同。

完成第二电子元件12的补充转移后，通过所述第三补充供应基件230对接收基件1的第二电子元件13进行补充时，第三电子元件13的补充方式与所述第一电子元件11的补充方式相同。

与电子元件的批量转移相同，所述第一电子元件11、第二电子元件12和第三电子元件13的补充转移可以采用所述第一补充供应基件210、第二补充供应基件220和第三补充供应基件230位置固定，所述接收基件1先移动至第一补充供应基件210位置处，完成第一电子元件的补充转移，然后移动至第二补充供应基件220位置处，完成第二电子元件的补充转移，再移动至第三补充供应基件330位置处，完成第三电子元件13的补充转移。也可以采用接收基件1相对位置固定，所述第一补充供应基件1210、第二补充供应基件220和第三补充供应基件230分别移动至所述接收基件1的上方，完成第一电子元件11、第二电子元件12和第三电子元件13的补充转移。

所述补充转移系统的光照系统可采用单个光照装置，小范围投射光线，所述补充供应基件和所述接收基件相对移动的方式最大程度的利用补充供应基件的合格电子元件。

将上述转移装置和转移方法应用于显示装置中的LED面板，特别是应用于Micro-LED面板和Mini-LED面板。标准电子元件对应于LED面板的像素，第一电子元件、第二电子元件和第三电子元件分别对应于红色光的LED元件、绿色光的LED元件和蓝色光的LED元件，第一电子元件、第二电子元件、第三电子元件与红色光的LED元件、绿色光的LED元件、蓝色光的LED元件并非一一对应关系，可以是任何对应关系，只需一种电子元件对应一个颜色的LED。

常用的显示装置通常是方形的，而制作电子元件（micro-LED或者mini-LED）的基底通常是圆形的，在进行批量转移时，需考虑最大化的利用在基底上制成的电子元件。

第一种方式

如图11所示，将圆形基底上的电子元件转移到中间件上构成供应基件，所述供应基件上电子元件的排布区域仍呈圆形，对供应基件上的电子元件进行侦测，获得合格电子元件和不合格电子元件的信息。根据所述接收基件的需转移电子元件的区域，在所述供应基件上划定适宜的转移区域，将所述转移区域内的合格电子元件批量转移至接收基件。所述供应基件剩余的部分作为补充供应基件来补充接收基件1中空缺的电子元件。

第二种方式

如图12所示，将圆形基底上的电子元件转移到中间件上构成供应基件，所述供应基件上电子元件的排布区域仍呈圆形，对供应基件上的电子元件进行侦测，获得合格电子元件和不合格电子元件的信息。在批量转移系统中将所述供应基件上合格的电子元件全部转移至接收基件。对接收基件进行补充电子元件的操作，包括在接收基件中电子元件的圆形分布区域的四周补充合格的电子元件，使得接收基件中电子元件的分布区域成为方形区域，同时在空缺电子元件的位置处补充合格的电子元件。

如图13所示，所述接收基件同种类电子元件的间隔距离L是所述供应基件中电子元件之间间隔距离l的整数倍。若所述接收基件同种类电子元件的间隔距离L是所述供应基件中电子元件之间间隔距离l的N倍数，则所述供应基件和所述接收基件之间经过N次的调整相对之间的位置，实现大面积供应基件中电子元件的批量转移，或者是多个小面积供应基件的电子元件的批量转移。每次转移供应基件上每N行（列）中的一行（列），经过N次转移即N次调整位置完成供应基件上电子元件的批量转移。

在进行电子元件转移时，所述供应基件和所述接收基件之间相近或者相接，使得电子元件脱离供应基件后转移至接收基件的精度。

对应于上述电子元件的转移系统的一种转移装置。

如图14所示，是所述转移装置的一个实施例，所述转移装置包括支架1000、光照机构1100、承载机构1200、对位机构以及控制机构（图示未示出），所述控制机构控制所述光照机构1100、承载机构1200和对位机构1300。

所述光照机构1100包括第一批量转移机构的光照机构1101、第二批量转移机构的光照机构1102和第三批量转移机构的光照机构1103，所述光照机构1100设置于所述支架1000，包含多个光照装置1110，所述光照装置1110可以直线排列，也可以分为至少两行两列，行列之间交错排列。

所述承载机构1200包括基台1240、供应基件承载台1210、接收基件承载台1220和驱动机构1230，所述供应基件承载台1210和所述接收基件承载台1220置于所述基台1240，所述接收基件承载台1220在所述供应基件承载台1210和所述基台1240之间形成的空间移动。所述供应基件承载台1210包括第一供应基件接收孔1211、第二供应基件接收孔1212和第三供应基件接收孔1213，所述第一供应基件接收孔1211、第二供应基件接收孔1212和第三供应基件接收孔1213同步运动，所述第一供应基件接收孔1211用于放置第一供应基件110，所述第二供应基件接收孔1212用于放置第二供应基件120，所述第三供应基件接收孔1213用于放置第三供应基件130。所述接收基件承载台1220设置于所述供应基件承载台1210的下方，在所述第一供应基件接收孔1211、第二供应基件接收孔1212和第三供应基件接收孔1213之间移动。所述驱动机构1230包括第一驱动机构1231、第二驱动机构1232和第三驱动机构1233，所述第一驱动机构1231驱动所述基台1240移动，所述供应基件承载台1210和所述接收基件承载台1220整体纵向（Y方向）移动至光照机构1100下方，所述第二驱动机构1232驱动接收基件承载台1220横向（X方向）运动，所述第三驱动机构1233驱动所述供应基件承载台1210纵向运动和竖向（Z方向）运动，所述第二驱动机构1232和第三驱动机构1233使得所述供应基件2和所述接收基件1对准。通过所述第三驱动机构1233驱动所述供应基件承载台1210纵向运动，既可以用于所述供应基件与所述接收基件对准，同时还能够使所述供应基件承载台1210与所述接收基件承载台1220错位分离，方便所述接收基件的取放。

所述对位机构包括对位装置，所述对位装置为图像识别元件和/或者图像获取元件，所述对位装置对所述供应基件2和所述接收基件1上的标记进行识别，获得对位信息。

所述控制机构控制所述驱动机构1230将所述供应基件承载台和所述接收基件承载台移动至光照机构下方，在这个过程中所述对位机构对所述供应基件和所述接收基件进行对位获得对位信息，根据对位机构的对位信息调整所述供应基件承载台和所述接收基件承载台，使得供应基件和接收基件对准。所述控制机构同步控制所述光照机构和所述承载机构，根据所述承载机构的位置，控制所述光照机构的投射相应的图像，即控制所述空间光调制元件的调制投射光束，使得所述供应基件的合格电子元件转移至接收基件的对应位置。

对应于所述光照机构1100，设计所述驱动机构1230，若所述光照机构1100可以覆盖所述供应基件2的横向区域，无需在横向上移动供应基件2即可完成供应基件电子元件的转移，则所述第一驱动机构1231只需具有纵向整体驱动所述供应基件承载台1210和所述接收基件承载台1220的功能；若所述光照机构1100不可以覆盖所述供应基件2的横向区域，需要在横向上移动供应基件2才能完成供应基件2上电子元件的转移，则所述第一驱动机构1231需要既能够整体驱动所述供应基件承载台1210和所述接收基件承载台1220纵向运动，也能够整体驱动所述供应基件承载台1210和所述接收基件承载台1220横向移动。

如图15所示，是转移装置的另一实施例，所述转移装置包括底座2000、支架2100、光照机构2200、承载机构2300、对位机构以及控制机构，所述控制机构控制所述光照机构2100、承载机构2300和对位机构。所述支架2100置于所述底座2000，所述光照机构2200包括多个光照装置2210，所述光照装置2210可以单行直线排列，也可以分为至少两行两列，行列之间交错排列，所述光照机构2200安装于所述支架2100。

所述承载机构2300包括供应基件承载台2310、接收基件承载台2320和驱动机构2330，所述供应基件承载台2310吊装于所述支架2100，包括第一供应基件接收孔2311、第二供应基件接收孔2312和第三供应基件接收孔2313，所述第一供应基件接收孔2311用于放置第一供应基件，所述第二供应基件接收孔2312用于放置第二供应基件，所述第三供应基件接收孔2313用于放置第三供应基件。所述接收基件承载台2320与所述供应基件承载台2310分开设置，所述接收基件承载台2320置于底座2000，所述供应基件承载台2310和所述接收基件承载台2320通过所述驱动机构2330移动。所述驱动机构2330包括第一驱动机构2331、第二驱动机构2332、第三驱动机构2333和第四驱动机构2334，所述第一驱动机构2331包括纵向导轨，驱动所述接收基件承载台2320纵向（Y方向）移动；所述第二驱动机构2332包括横向导轨，驱动所述接收基件承载台2320横向（X方向）运动；所述第三驱动机构2333驱动所述接收基件承载台2320竖向（Z方向）移动，所述第四驱动机构2334带动所述供应基件承载台2310转动并跟随所述接收基件承载台同步运动，即跟随所述接收基件承载台XY方向移动，使得所述第一供应基件、第二供应基件和第三供应基件依次移动至所述接收基件1的上方。所述供应基件承载台采用转动的方式使得不同的供应基件与所述接收基件进行对准，相对于直线排列，更加节省空间，所述供应基件的行程短，切换速度快。

所述对位机构包括对位装置，所述对位装置为图像识别元件和/或者图像获取元件，所述对位装置对所述供应基件2和所述接收基件1上的图像进行识别，获得对位信息。所述控制机构控制所述承载机构2300移动至光照机构2200下方，根据对位机构的对位信息调整所述供应基件载台2310和所述接收基件载台2320，使得所述供应基件2和所述接收基件1对准。所述控制机构同步控制所述光照机构和所述承载机构，根据所述承载机构的位置，控制所述光照机构的投射相应的图像，即控制所述空间光调制元件的调制投射光束，使得所述供应基件的合格电子元件转移至接收基件的对应位置。

所述转移装置可以应用于批量转移系统，也可以应用于补充转移系统。根据需要调整所述光照系统中光照装置的数量。

上述实施例中，所述曝光机构固定，通过所述供应基件承载台和所述接收基件承载台同步运动实现电子元件的转移，也可以通过驱动曝光机构移动，实现将供应基件上的电子元件转移至接收基件。

上述方法不仅可以应用于显示装置，也可以应用于其他微小电子元件组成的方形的装置中。所述电子元件的种类也不限定于三种，可以为两种，或者三种以上的数量。

本领域技术人员应该知晓，上述实施例只是示意性的，仅是为了更清楚的表达发明思想，并非是对本发明保护范围的限制。

Claims (10)

1.一种电子元件的转移系统，其特征在于：其包括批量转移系统和补充转移系统，所述批量转移系统和所述补充转移系统均包括至少一个光照系统，至少一个承载系统，所述承载系统包括供应基件承载台和接收基件承载台，所述供应基件承载台支撑供应基件，所述接收基件承载台支撑接收基件，所述转移系统还包括控制系统，所述控制系统控制所述批量转移系统和所述补充转移系统，在所述批量转移系统和所述补充转移系统之间传输供应基件和接收基件电子元件的信息。

2.根据权利要求1所述的电子元件的转移系统，其特征在于：所述光照系统包含至少一个光照装置。

3.根据权利要求2所述的电子元件的转移系统，其特征在于：所述光照装置包括光源组件、空间光调制元件和投影组件，所述光源组件发出的光线经空间光调制元件和投影组件部分或全部的投射至供应基件。

4.根据权利要求3所述的电子元件的转移系统，其特征在于：所述控制系统接收供应基件的侦测信息、位置信息以及接收基件的位置信息，根据所述供应基件和接收基件的位置信息调整所述供应基件和接收基件的位置，根据所述供应基件的侦测信息，控制所述空间光调制元件，使得供应基件上合格的电子元件转移至接收基件的相应位置。

5.根据权利要求2所述的电子元件的转移系统，其特征在于：所述补充转移系统中光照系统包含的光照装置的数量小于所述批量转移系统中光照装置的数量。

6.根据权利要求1所述的电子元件的转移系统，其特征在于：所述供应基件承载台的数量根据所述电子元件的种类设置。

7.根据权利要求1所述的电子元件的转移系统，其特征在于：所述接收基件承载台与所述供应基件承载台一一对应设置。

8.根据权利要求1所述的电子元件的转移系统，其特征在于：所述承载系统包括至少两个供应基件承载台和一个接收基件承载台，所述控制系统控制所述供应基件承载台分别移动至所述接收基件承载台上方，实现供应基件和接收基件的对准。

9.根据权利要求1所述的电子元件的转移系统，其特征在于：所述承载系统包括至少两个供应基件承载台和一个接收基件承载台，所述控制系统控制所述接收基件承载台分时移动至所述接收基件承载台下方，实现供应基件和接收基件的对准。

10.根据权利要求1所述的电子元件的转移系统，其特征在于：所述控制系统包括批量转移控制系统和补充转移控制系统，所述批量转移控制系统根据所述供应基件转移至接收基件的电子元件信息，更新供应基件和接收基件的电子元件的信息，并传输至补充转移系统，所述补充转移控制系统接收更新的供应基件和接收基件的电子元件的信息，控制所述补充转移系统的光照系统和承载系统，最大限度在所述接收基件空缺电子元件的位置匹配所述补充转移系统的补充供应基件的合格电子元件。

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